DE2441588C2 - Magnetische Positioniereinrichtung mit zwei linearen Schrittmotoren - Google Patents

Magnetische Positioniereinrichtung mit zwei linearen Schrittmotoren

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Description

Ein Statorteil und ein diesem gegenüber unter Aufrechterhaltung eines schmalen Luftspalts angeordnetes und dem Statorteil gegenüber in Richtung der ersten bzw. der zweiten Koordinatenachse bewegliches Teil, von denen das eine Teil dem Luftspalt zugekehrte erste Zähne aus magnetischem Material aufweist, die quer zur Bewegungsrichtung des beweglichen Teils verlaufen und in dieserBewegungsriehtung mit einem konstanten Abstand voneinander angeordnet sind, während das andere Teil mehrere quer zur Bewegungsrichtung des beweglichen Teils angeordnete elektromagnetische ~D Erregereinrichtungen aufweist, von denen jede ein Paar von Erregerelementen besitzt, die von Erregerspulen umgeben sind und bei deren Erregung' entgegengesetzte magnetische Pole bilden, welche Bestandteil desselben, über das eine 7*il des Schrittmotors geschlossenen Magnetkreises sind, wobei jedes Erregerelement dem Luftspalt zugekehrte Erregerzähne besitzt, die sich in die gleiche Richtung wie die Zähne des einen Teiles erstrecken und in der Bewegungsrichtung des beweglichen Teiles mit konstantem Abstand voneinander angeordnet sind,
wobei das bewegliche Teil des ersten Schrittmotors und das Statorteil des zweiten Schrittmotors zu einem einstückigen Mittelteil zusammengefügt sind, dadurch gekennzeichnet, daß bei beiden Schrittmotoren die beiden Erregerelemente (XA, Xa bis X1, X,) jeder Erregereinrichtung (A bis E) zu einer in Bewegungsrichtung durch den Mittelpunkt (O, 00 der dem einen Teil des jeweiligen Schrittmotors (1,3) gegenüberliegenden Fläche des anderen Teiles (2) verlaufenden Achse symmetrisch angeordnet sind. so
2. Magnetische Positioniereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei beiden Schrittmotoren je ein Paar gleichzeitig erregter Erregereinrichtungen (Elektro- magneteAl, Al ...) zu einer durch den Mittelpunkt (O) der dem einen Teil (1, 3) des jeweiligen Schrittmotors gegenüberliegenden Fläche des anderen Teiles (2) verlaufenden Achse symmetrisch angeordnet sind.
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Die Erfindung betrifft eine magnetische Positioniereinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine solche Positioniereinrichtung ist aus der DE-OS 33 231 bekannt. Bei dieser bekannten Positioniereinrichtung ist allerdings ein erster linearer Schrittmotor auf zwei parallel angeordnete Motoren mit gleicher Bewegungsrichtung aufgeteilt Jeder dieser beiden Motoren umfaßt eine Statorbahn und ein zugeordnetes bewegliches Teil. Zwischen den beiden Statorbahnen befindet sich der Bereich, über den ein Gegenstand (zum Beispiel Schreibstifte im Fail eines Plotters) längs zwei zueinander senkrechten Richtungen bewegt werden soll. Die beiden beweglichen Teile dieser parallelen Schrittmotoren sind durch einen den Arbeitsbereich überspannenden Balken verbunden. Dieser Balken stellt zugleich das Statorteil eines dritten Linearmotors dar, dessen zugeordnetes bewegliches Teil längs dem Balken und damit senkrecht zur Bewegungsrichtung der beiden erstgenannten beweglichen Teile verschiebbar ist Die Zähne des Statorteils des dritten Schrittmotors sind an einer Seite des Balkens und somit senkrecht zur Ebene des Arbeitsbereichs angeordnet In den beweglichen Teilen der drei Schrittmotoreu sind zwei Gruppen von elektromagnetischen Erregereinrichtungen vorgesehen, die auf parallelen, in Bewegungsrichtung verlaufenden Achsen aufgereihte Erregereinrichtungen besitzen. Längs diesen Achsen sind die beiden Gruppen von Erregereinrichtungen gegeneinander versetzt. Jede Erregereinrichtung umfaßt zwei in Bewegungsrichtung direkt benachbarte Erregerelemente, die bei Erregung durch eine beiden gemeinsame Erregerspule Nord- bzw. Südpol eines Magneten darstellen. Die beiden Erregereinrichtungen einer Gruppe von Erregereinrichtungen sind unterschiedlichen zeitlichen Erregerphasen zugeordnet, und diese Zuordnung ist bei beiden Gruppen von Erregereinrichtungen gerade umgekehrt. Hierdurch soll ein verbesserter Ausgleich von Kräften auf das bewegliche Teil erreicht und irgendeine Neigung für das bewegliche Teil verringert werden, sich um eine Achse normal zur zugeordneten Oberfläche des Statorteils zu drehen.
Beim vorgenannten Stand der Technik sind also die Erregereinheiten unterschiedlicher Phasen in Bewegungsrichtung des jeweiligen beweglichen Teiles angeordnet. Anders ausgedrückt, der Phasenwechsel findet bei diesem Stand der Technik längs der Bewegungsrichtung statt. Die Tatsache, daß zwei parallel versetzt angeordnete Gruppen von Erregereinheiten vorgesehen sind, die je aus Erregereinheilen unterschiedlicher Phase bestehen, ändert hieran nichts. Hier springt zwar die Phase auf zwei quer zur Bewegungsrichtung parallel liegenden Linien, jedoch auf beiden Linien in der Bewegungsrichtung.
Wie später noch im einzelnen anhand der Zeichnung erläutert werden wird, führt der Phasenwechsel in Bewegungsrichtung zu unerwünschten Vibrationen. Darüber hinaus wird durch die Hintereinanderreihung von Erregereinrichtungen unterschiedlicher Phase in Bewegungsrichtung der erzielbare Bewegungshub des beweglichen Teils beschränkt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine magnetische Positioniereinrichtung der angegebenen Art zu schaffen, bei der keine unerwünschte Vibration erzeugt wird und die daher eine sehr genaue Positionierung erlaubt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 2 gelöst.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausfuhrungsbeispielen unter bezug auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht, teilweise weggeschnitten, einer Ausfuhrungsform gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 ein Blockschaltbild der Steuerschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 3 die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtung der bereits vorgeschlagenen Positioniereinrichtung,
Fig. 4 die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtimg gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 5 eine Schnittansicht einer Positioniereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung entlang der Linie 5-5 in Fig. 1,
Fig. 6 eine schematische, perspektivische Ansicht von ersten Zähnen, ersten Antriebszähnen und ersten elektromagnetischen Elementen,
Fig. 7 die Anordnung einer zweiten elektromagnetsehen Erregereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 8 die Anordnung einer anderen Ausführungsforrn gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 9 eine perspektivische Ansicht einer Positioniereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, verwendet für ein Herstellungssystern,
Fig. 10-A eine schematische Ansicht «ies ersten und des zweiten Teiles der bereits vorgeschlagenen Positioniereinrichtung, wie sie bei Tests zum Erhalt der in den Fig. 10-B und 10-C dargestellten Kurven verwendet wurden,
Fig. 10-B und 10-C Kurven, die die Ergebnisse zeigen, die bei einem Test unter Verwendung der in Fig. 10-A gezeigten Teile beobachtet wurden,
Fig. H-A eine schematische Ansicht des ersten und des zweiten Teiles gemäß der vorliegenden Erfindung, die bei Tests benutzt wurden, um die in den Fig. H-B und H-C gezeigten Kurven zu erhalten, und
Fig. H-B und H-C Kurven, die die Ergebnisse zei- J5 gen, welche bei einem Test unter Verwendung der in Fig. 11-A gezeigten Teile beobachtet wurden.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht, teilweise weggeschnitten, einer Ausführungsform des impulsgesteuerten zweiachsigen Linearmotors gemäß der vorliegenden Erfindung. In dieser Figur bezeichnet die Bezugszahl 1 ein erstes Teil (Statorteil eines ersten Schrittmotors.). Das erste Teil 1 besitzt eine Vielzahl erster Zähne auf einer ersten Oberfläche 10. Die ersten Zähne 11, die als Skala dienen, welche die Länge eines Schrittes definiert, sind in einer ersten Richtung, d. h. entlang der yt-Achse mit vorbestimmter konstanter Teilung /"angeordnet. Jeder erste Zahn 11 erstreckt sich in einer zweiten Richtung, d. h. entlang der F-Achse, die senkrecht auf der Λ'-Achse steht. Mit der Bezugszahl 2 >» ist ein zweites Teil (bewegliches Teil des ersten Schrittmotors und Statorteil eines zweiten Schrittmotors) bezeichnet, das sich über der ersten Oberfläche 10, d. h. über den oberen Oberflächen der ersten Zähne 11 befindet. Das zweite Teil 2 kann sich mittels Rollen 50 in der ersten Richtung bewegen. Das zweite Teil 2 besitzt erste Antriebszähne 21 (in der Fig. 1 nicht gezeigt) an seiner unteren Oberfläche und zweite Antriebszähne 32 an seiner oberen Oberfläche. Die Rollen 50, die auf einer Schiene 51 auf der ersten Ober- t>o fläche 10 des ersten Teiles 1 laufen, halten zusammen mit dem zweiten Teil 2 einen konstanten kleinen Luftspalt zwischen den ersten Zähnen 11 und den ersten Antriebszähnen 21, die in Fig. 1 nicht gezeigt sind, d.h. der unteren Oberfläche des zweiten Teiles 2 aufrecht. Eine Vielzahl drstef elektromagnetischer Erregereinrichtungen ist auf diir zweiten Oberfläche 20 angeorcinet. Jede der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen besteht aus ersten Antriebszähnen 21 und Erregerspulen 23, die in Fig. 1 nicht gezeigt sind. Die ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen wirken mit den ersten Zähnen 11 elektromagnetisch zusammen und bewegen das zweite Teil 2 in der ersten Richtung X in konstanten kleinen Schritten entsprechend leistungsverstärkteo Befehlsimpulsen aus einer Steuerschaltung C. C, die durch eine Leitung F. L. zugeführt werden.
Die elektrische Verbindung zwischen der Steuerschaltung CC. und den Erregerspulen23 isi in Fig. 2 gezeigt. Die Erregerspulen 23 der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen erregen entsprechende erste Antriebszähne 21 in Übereinstimmung mit der Steuerung der Steuerschaltung C C Die ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen sind In Fig. 2 durch (X^, XJ, (X8, Xb), (Xc, X^ (X0, Xd), bzw. (XE, JTJ, symbolisiert.
Gemäß Fig. 2 werden einem Erregungssteuerge- rätE.C Befehlsimpulse durch einen Eingangsanschluß EI. für VorwärtsbetrieV zugeführt. Das Erregungssteuergerät £ C. gibt die Reihenfolge der Erregung (A, B, C, D und E) der Erregerspulen 23 vor, und seine Ausgangssignale erregen die ausgewählten Erregerspulen über Verstärker23 A, 23B, ..., 23£ entsprechend der Erregungsreihenfolge. Wenn eine umgekehrte Erregungsreihenfolge erforderlich ist, werden die Befehlsimpulse dem Eingangsanschluß R. I. für Rückwärtsbetrieb zugeführt.
Gemäß Fig. 1 besitzt ein drittes Teil 3 (bewegliches Teil des zweiten Schrittmotors) eine Vielzahl zweiter Zähne 42 auf einer vierten Oberfläche 40. Die zweiten Zähne 42 wirken als eine Skala, die die Länge eines Schrittes definiert, und sind mit vorbestimmter Teilung P' in der zweiten Richtung (Y) angeordnet; jeder zweite Zahn 42 erstreckt sich in der ersten Richtung (X). Das dritte Teil 3 ist oberhalb der dritten Oberfläche 30 des zweiten Teiles 2, d. h. über den oberen Oberflächen der zweiten Antriebszähm; 32 angeordnet. Das dritte Teil 3 ist mittels Rollen 60 entlang der y-Achse in der zweiten Richtung beweglich. Eine in Jig. 1 nicht gezeigte Schiene 61 ist auf einer vierten Oberfläche 40, d. h. auf der unteren Oberfläche des dritten Teiles 3 angeordnet und läuft auf den Rollen 60. Die Rollen 60 halten einen kleinen Luftspalt zwischen den zweiten Antriebszähnen 32 und den zweiten Zähnen 42 aufrecht. Das dritte Teil 3 dient beispielsweise als Maschinentisch, der mittels T-formiger Befestigungsnuten 43 ein zu bearbeitendes Werkstück auf seiner oberen Oberfläche 41 festhält. Die zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen, von denen jede zweite Antriebszähne 32 und Erregerspulen 33 (in Fig. 1 nicht gezeigt) aufweist, sind auf der dritten Oberfläche 30 des zweiten Teiles2 angeordnet. Die zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen wirken elektromagnetisch mit den zweiten Zähnen 42 zusamaien und bewegen das dritte Teil 3 in konstanten kleinen Schritten in die zweite Richtung (Y) entsprechend den leistungsverstärkten Befehlsimpulsen aus einer anderen Steuerschaltung CC, die über eine Leitung F. L.' zugeführt werden, Die Verbindung zwischen der Steuerschaltung C. C und den Erregerspulsn 33 ist die gleiche, wie sie in der Blockschaltung von F i g. 2 fur die Erregerspulen 23 und die Steuerschaltung C. C dargestellt ist. Dabei müssen jedoch die Bezugszahlen bzw. Symbole 23 A, 23 ß,..., 23 £fiir die Verstärker, 23 für die Erregerspulen, (XA, Xa), (X8, Xb), (X0 Xc), (X0, Xd) und (XE, Xe) für die ersten elektromagnetischen ElreEerein-
richtungen ersetzt werden durch 33 A bis 33 E, 33 bzw. (Ya, Y.), (Yb, Yt), (Yc Yc), (Yd, Yi) und (YE Y)1 welche die zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen kennzeichnen.
Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausfuhrungsform ist das zweite Teil 2 während des Betriebes auf eine Bewegung allein in der ersten Richtung (X) beschränkt; diese Beschränkung wird durch ein Kugellager 70 hervorgerufen, das auf einer Seite des zweiten Teiles 2 befestigt ist. Das Kugellager 70 ist gleitbar mit einer Führungsstange 71 verbunden, weiche ihrerseits an der ersten Oberfläche 10 befestigt ist und sich in der ersten Richtung Λ" erstreckt. In ähnlicher Weise ist das dritte Teil 3 während des Betriebes auf eine Bewegung allein in der zweiten Richtung Y beschränkt; diese Beschränkung wird durch ein Kugellager 75 erzielt, das an einer anderen Seite des zweiten Teiles 2 befestigt ist. Das Kugellager 75 ist gleitbar mit einer Führungsstange 76 verbunden, welche ihrerseits an der vierten Oberfläche 40, d. h. der unteren Oberfläche des dritten Gliedes 3 befestigt ist.
Die Anordnung der ersten und zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen wird im folgenden beschrieben. Da jedoch die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen grundsätzlich die gleiche ist wie jene der zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen, wird nur die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen erläutert.
Fig. 3 zeigt die Anordnung erster elektromagnetischer Erregereinrichtungen (X'A, X'a), (X'B, X'b) ... (X'E, X'r) der bereits vorgeschlagenen Positioniereinrichtung, für den Fall, daß diese mit einer fünfphasigen Wechselerregung betrieben wird. Fig. 3 stellt eine Draufsicht auf den Boden des zweiten Teiles 2' des bereits vorgeschlagenen Linearmotors dar. Gemäß Fig. 3 bestehen die ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen aus fünf Paaren erster elektromagnetischer Erregereiemente. die rriii (X A, X'j, (Xg, X'b), (X'c, X% (X',,, X'd) bzw. (X'h X'() bezeichnet sind. Jedes der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X'A, X'B, X'c, X'D und X'E wirkt als Nordpol, wenn die entsprechenden Erregerspulen 23' erregt werden. Jedes der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X'„, X'i, X'^ A^ und X't wirkt als Südpol, wenn die entsprechenden Erregerspulen 23' erregt werden. Beide ersten elektromagnetischen Erregerelemente X'4 und X'„ zusammen bilden einen Elektromagneten. Diese Anordnung ist die gleiche in bezug auf die anderen ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen (X'g, X'„), (X'c, X'c), (X^ X'd) und (X'E, X'e).
Der vorher erwähnte Nachteil des bereits vorgeschlagenen impulsgesteuerten Linearmotors ergibt sich aus der Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen, wie sie in Fig. 3 gezeigt ist. Wenn die ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen in der folgenden Zweiphasen-Dreiphasen-Wechselerregungsfolge erregt werden
W4, X'J, (X-B, X'b)}- {(X'A, X'a), (X'B,X'b), (X'c, X'c)}~ W8, Xl), (X'c X'c)} - W8,X'b), (X'c,X'c), (X'd, Xd)}~ Wo X1X (X0, X'd)} - {(X'c, JQ, (X'd, X'd), (X'E, X'J] - Wd. Kl (X'e, Ol -* Wd, X't), (X'e, X'<), (X'a, X'a)} - We, X't), (X'a, X'a)} - We, X't), (X'a, X'a), (X'b, X'b)}^ dann bewegt sich die Anziehungskraft zwischen den ersten elektromagnetischen Erregereinrichlungen und den ersten Zähnen entsprechend der obigen Folge entlang der X-Achse hin und her. Diese Bewegung der starken Anziehungskraft erzeugt zum einen eine unerwünschte Vibration und bewirkt zum anderen, daß die Positioniereinrichtung ein Werkstück mit geringer Genauigkeit transportiert, wie dies bereits vorher erwähnt wurde. Die Fig. 10-A, 10-B und 10-C mögen dazu dienen, um die Erzeugung unerwünschter Vibration und die Schwierigkeit der Herstellung eines Werkstücks mit großer Genauigkeit klarer zu verdeutlichen. Fig. 10-A ist eine schematische Ansicht des ersten Teiles Γ und des zweiten Teiles 2'der bereits vorgeschlagenen Positioniereinrichtung, wie sie verwendet wurden, um die in den Fig. 10-B und 10-C gezeigten Ergebnisse zu erhalten. Die Kurve in Fig. 10-B zeigt die vertikale Abweichung Ad, die in dem von X4 und X'A defmierten Bereich während des Betriebes in bezug auf den normalen Spaltabstand D gemessen wurde (X4 ist in der Fig. nicht gezeigt, aber neben X'A hinter der Zeichenebene angeordnet). Diese Abweichung beweist die Erzeugung der unerwünschten Vibration. Die Teile Γ und 2' wurden entsprechend der oben erwähnten Erregungsreihenfolge betrieben. In Fig. 10-B stellt die Abszisse die Reihenfolge der Erregung dar, wobei (T)' bis (H)' entsprechen:
,. Wa, X'a), (X'b, Xl), (X'c X'c)l Wb, Xi), (X'c Χ'Λ
Wb, Xl), (X'c X'd (X'd. Χ'Λ Wo X'c), (X'd. Χ'Λ Wc X'c), (X'd, Xj), (X'e, X'r)). W0, X'Ji. (X'E. Χ'Λ Wd, X'ä), (X'e, Χ'*), (X'a, X'a)), We, -O- (X'a, Χ'Λ We, X'<). (X'a, X'a), (X'b, Χ'Λ W*. X'a). (X* ΧΛ
bzw.
Wa, X'a), (X'b, Xl), (X'c X'c));
die Ordinate stellt die vertikale Abweichung in um dar. Die Kurve in Fig. 10-C zeigt die horizontale Abweichung Δ h entlang der Bewegungsrichtung R (in Fig. iö-A gezeigt) in bezug auf die normalerweise erwünschte Positionierung 5 während des Betriebes; diese Abweichung ist Beweis für die Schwierigkeit der Herstellung eines Werkstückes mit großer Genauigkeit. Die normalerweise erwünschte Position wird erreicht, wenn keine Vertikalabweichung des Teiles 2' in bezug auf das Teil l'auftritt. In Fig. 10-C ist die Abszisse dieselbe wie in Fig. 10-B, während die Ordinate die Horizontalabweichung in um darstellt.
Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform der Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der sich keinerlei Vibration während des Betriebes ergibt Fig. 4 ist eine Draufsicht auf den Boden des zweiten T.iles2 gemäß der vorliegenden Erfindung. Gemäß Fig. 4 setzen sich die ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen aus fünf Paaren erster elektromagnetischer Erregerelemente zusammen, die als (XA, Xa), (X8, Xb). (Xc, Xc), (Xd, Xd) bzw. (XE, Xr) bezeichnet sind. Jedes der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X4, XB, Xc, XD und XE wirkt als Nordpol, wenn die entsprechenden Erregerspulen 23 erregt werden. Jedes der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X1n X0, X^ Xd und Xe wirkt als Südpol, wenn die entsprechenden Erregerspulen 23 erregt werden. Die ersten elektromagnetischen Erregerelemente XA und Xa bilden einen Elektromagneten. Das gleiche gilt für die anderen ersten elek- tromagnetischen Erregereinrichtungen (XB, Xb), (Xc, Xc), (Xd, Xd) ußd (Xe, Ze)· Der Unterschied zwischen der Anordnung gemäß der oben beschriebenen bereits vorgeschlagenen Positioniereinrichtung und der Anord-
niing gemäß der vorliegenden Erfindung ergibt sich klar aus dem folgenden Vergleich der Fig. 3 und 4.
Gemäß Fig. 3 besteht die erste elektromagnetische Erregereinheit A', d. h. ein Elektromagnet, aus den ersten elektromagnetischen Erregerelementen X'A und X'a, die miteinander verbunden sind, In gleicher Weise sind die ersten elektromagnetischen Erregerelemente X'g mit X'b, X'c mit Xn X'D mit X'd und X'E mit X'„ welche die ersten elektromagnetischen Erregereinheiten S", C, D' bzw. E' bilden, miteinander verbunden. Es sei darauf hingewiesen, daß bei Fig. 3 jeder der ersten Antriebszähne 2V der ersten elek'romagnetischen Erregereinheiten A', B", C, D' und E' in bezug auf die ersten Zähne entlang der J-Achse in derselben Phase angeordnet und um Vs P verschoben ist. P ist die Teilung, mit der, wie vorher erwähnt, die ersten Zähne IV und ebenfalls die ersten Antriebszähne IV in der ersten Richtung X angeordnet sind. Die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregerelemente (X4, Xa), (XB, X.)._..„ (JTr. XΛ gemäß der vorliegenden Erfindung, win m sie in Fig. 4 dargestellt ist, unterscheidet sich in folgender Weise von der oben erwähnten Anordnung gemäß Fig. 3. Beider Anordnung gemäß Fig. 4 sind die ersten elektromagnetischen Erregerelemente XA und Xa, die die erste elektromagnetische Erregereinheit A bilden, nicht miteinander verbunden, sondern in bezug auf eine Achse durch den Mittelpunkt O der zweiten Oberfläche 20 symmetrisch getrennt. In gleicher Weise sind die ersten elektromagnetischen Erregereiemente XB und Xh Xc und Xn X0 und X11, bzw. XE und Xn weiche die ersten elektromagnetischen Erregereinheiten, d. h. die E'cktromagnete B, C, D bzw. E bilden, voneinander getrennt und in bezug auf die Achse durch den Mittelpunkt O symmetrisch angeordnet. Bei der Anordnung gemäß Fig. 4 ist jeder erste Antriebszahn 21 der ersten y, elektromagnetischen Erregerelemente X4, X8, Xc, X0 und XE in bezug auf die Antriebszähne 21 benachbarter Elemente um Vs P verschoben; außerdem ist jeder der ersten Antriebszähne 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente Xa, Xb, Xn Xd und X, in bezug auf die Antriebszähne 21 benachbarter Elemente um '/5 P verschoben. Darüber hinaus sind die ersten Antriebszähne 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X4 und Xa in bezug auf die ersten Zähne in derselben Phase und mit konstanter Teilung P in der ersten Richtung X angeordnet. In gleicher Weise sind die ersten Antriebszähne 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente XB und X^ Xc und Xn XD und Χφ bzw. XE und ^Jeweils in bezug auf die ersten Zähne in derselben Phase und mit konstanter Teilung /Mn der ersten Richtung X angeordnet.
Der Grund dafür, daß mit der Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregerelemente gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Fig. 4 gezeigt ist, der erwähnte Nachteil überwunden werden kann, wird 5b unter Bezug auf Fig. 5 erläutert. Fig. 5 stellt eine Schnittansicht einer Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung entlang der Linie 5-5 der Fig. 1 dar. Wenn bei der Anordnung von Fi g. 5 beispielsweise die Erregerspulen 23 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente XD und Xd, weiche die erste elektromagnetische Erregereinheit D von Fig. 4 bilden, erregt werden, ergibt sich die Bahn eines Magnetflusses, die durch die Strichpunktlinie F0 in Fig. 5 angedeutet ist. Anziehungskräfte treten dann zwischen den ersten Antriebszähnen 21 des ersten elektromagnetischen Erregerelementes XD und den entsprechenden ersten Zähnen 11 sowie zwischen den ersten Antriebszähnen 21 des ersten elektromagnetischen Erregerelementes Xd und den entsprechenden ersten Zähnen 11 auf. Die äquivalente Transformation der Addition dieser Anziehungskräfte tritt folglich zwischen dem Mittelpunkt O und dem ersten Teil 1 auf. Wenn die Erregerspulen 23 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente XA und Xa, XB und X1n Xc und Xn und XF und X, der ersten elektromagnetischen Erregereinheiten A, B, C bzw. £ erregt werden, ergeben sich in gleicher Weise Magnetflußbahnen, wie sie in Fig. 5 durch die Strichpunktlinie F0 angedeutet ist. Anziehungskräfte treten dann zwischen den ersten Antriebszähnen 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente Xa, A"A, Xn bzw. Xt und den jeweils entsprechenden ersten Zähnen auf. Folglich wird jede Addition dieser Anzugskräfte in eine äquivalente Anzugskraft transformiert, die zwischen dem Mittelpunkt O und dem ersten Teil 1 auftritt.
Wie sich aus der obigen Beschreibung ergibt, ist keine Bewegung des Ortes auf der zweiten Oberfläche 20 vorhanden., an dem die starke Anziehungskraft angreift, da die äquivalente starke Anziehungskraft jederzeit nur auf den Mittelpunkt O wirkt. Die Ergebnisse bzw. die Funktionsfähigkeit des bereits vorgeschlagenen Linearmotors gemäß den Fig. 10-B und 10-C werden daher durch die vorliegende Erfindung verbessert. Diese Verbesserung soll durch einen Vergleich der Fig. H-B und H-C mit den Fig. 10-B bzw. 10-C verdeutlicht werden. Fig. H-A ist eine schematische Ansicht des ersten Teiles 1 und des zweiten Teiles 2 der vorliegenden Erfindung, deren Leistungsfähigkeit bzw. Funktion in den Fig. H-B und 11 -C gezeigt ist. In den Fig. 11-B und 11-C ist auf der Abszisse jeweils die gleiche Erregungsreihenfolge aufgetragen, wobei(T)bis (Π)entsprechen:
i(XA, Xa), (X8, Xb), (Xc, Xc)l {(XB, X„), (Xc, Xc)), [(X8, X0), (Xc, Xc), (Xd, ΧΛ Uc Xc), (X* XJ), {(Xc, Xc), (Xd, Xt), (Xe, X.)), Wd, XJi, (Xe, X,)), [(X0, Xd), (XE, Xr), (XA, Xa)), [(XE, X,), (XA, Xa)), {(XE, XX (XA, Xa), (X8, Xb)), [(X4, Xa), (X8, X1)), bzw.
[(XA, XJ, (Xg, Xb), (Xc, XJ).
Die Ordinaten der Fig. H-B und 11-C sind die gleichen wie in Fig. 10-B bzw. 10-C.
Die Wirkung der Bewegung der Schrittmotoren gemäß der vorliegenden Erfindung wird im folgenden unter Bezug auf die Fig. 6 erläutert. Fig. 6 stellt eine schematische perspektivische Ansicht der ersten Zähne 11, der ersten Antriebszähne 21 und der ersten elektromagnetischen ErregerelementeXA, X8 ... XE \mAXa,Xb...XeasH.
Zusätzlich zeigt Fig. 6 zwei Erregungszustände A und B, wobei der Schrittmotor in Zweiphasen-Dreiphasen-Wechselerregung betrieben wird. Bei der Zweiphasen-Dreiphasen-Wechselerregung werden die ersten elektromagnetischen Erregerelemente (XA, XJ, (XB, Xb)... (XE, X1.) in der folgenden zyklischen Reihenfolge erregt:
[(XA, Xa), (XB, Xb)) - [(XA, Xa), (X8, XJ, (Xc, XJ) -[(X8, Xb), (X0 XJ) - {(XB, X„), (Xc, XJ, (X0, Xd)) -[(Xc, Xc), (Xo, Xd)) - {(Xc, XJ, (X0, Xd), (XE, XJ) -[(X0, X11), (Xe, XJ] - [(X0, Xd), (XB XJ, (XA, Xa)) -{(XE, XJ, (XA, XJ) - {(XB XJ, (XA, XJ, (XB, Xh)) -
wobei das zweite Teil 2 mit der Teilung '/io -P in bezug auf das erste Teil 1 in der ersten Richtung schrittweise fortbewegt wird.
Fig. 6-A zeigt einen Erregungszustand, bei dem [(XA, XJ, (XB, XJ, (Xc, Xc)) erregt sind, während Fig. 6-B einen anderen Erregungszustand darstellt, der auf denjenigen von Fig. 6-A folgt und bei dem [(X8, XJ, (X0 XJ) erregt s"id. Wenn die Erregerspulen 23 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente (Χλ, XJ, (XB, XJ und (Xc, Xc) erregt sind, werden die ersten elektromagnetischen Elemente und entsprechend das zweite Teil 2 in die Stellung gezogen, in der die Mittelteile der ersten Antriebszähne 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente X8 und Xb mit den Mittelteilen der angrenzenden ersten Zähne Il fluchten. Die Anziehungskraft ist durch parallele Linien A.F. in den Fig. 6-A und 6-B dargestellt. Nach der oben erwähnten Erregungsreihenfolge der Erregerspulen 23 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente werden als nächstes (X8, X0) und (Xc, Xc) erregt, worauf das zweite Teil 2 um einen Schritt Vio Pin die Stellung bewegt wird, in der der Mittelpunkt zwischen den Mittelteilen der ersten elektromagnetischen Erregerelemente (XB, Xb) und (Xc, Xc) mit dem Mittelteil der angrenzenden ersten Zähne 11 fluchtet. Das liegt daran, daß die ersten Antriebszähne 21 der ersten elektromagnetischen Erregerelemente XA und Xa in bezug auf die ersten Antriebszähne 21 der Elemente X8 und Xb in der ersten Richtung um 1A P verschoben sind, und daß ferner die ersten Antriebszähne 21 der Elemente XB und Xb in bezug auf die ersten Antriebszähne 21 der Elemente Xc und Xc um Vs P verschoben sind und so weiter. Die oben erwähnte Erregungsreihenfolge ist nicht auf die Zweiphasen-Dreiphasen-Wechselerregungsfolge beschränkt. Vielmehr könnten auch Reihenfolgen wie die folgende verwendet werden:
{(Χ.., XJ) - l(XA, XJ, (X3, XJ) - [(X8, XJ)
- {(XB, XJ, (Xc, XJ) -* [(Xc, XJ)
- [(Xc, XJ, (X0, XJ) - [(X0, XJ)
- Ud, XJ, (Xe, XJ)- [(Xe,
- [(Χε, XJ, (XA, XJ).
IO
15
20
30
J5
40
45
Die obige Erläuterung bezieht sich nur auf die Anordnung der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen; die Anordnung der zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung ist jedoch genau die gleiche wie die der ersten elektromagnetischen Erregereinrichtungen. Die Anordnung der zweiten elektromagnetischen Erregereinrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in Fig. 7 gezeigt ist, kann in gleicher Weise den Nachteil der Bewegung der Anziehungskraft beseitigen, der, wie erwähnt, bei dem bereits vorgeschlagenen impulsgesteuerten zweiachsigen Linearmotor zwischen dem zweiten Teil 2' und dem dritten Teil 3' auftritt. Fig. 7 ist eine Draufsicht auf das Oberteil des zweiten Teiles 2, wobei jedes der zweiten elektromagnetischen Erregerelemente Y4 und Y„ Y8 und Y1n Yc und Yn YD und J^ und i^und Yt getrennt und in bezug auf den Mittelpunkt O' der dritten Oberfläche 30 symmetrisch angeordnet ist.
F i g. 8 ist eine Draufsicht auf eine andere Anordnung *5 der ersten und/oder zweiten elektromagnetischen Erregerelemente gemäß der vorliegenden Erfindung; dabei ist die geänderte Anordnung dieser Figur jedoch nur im Hinblick auf die ersten elektromagnetischen Erregerelemente darstellt. Beider Anordnung von Fig. 8 bilden die ersten elektromagnetischen Erregerelemente XA ι und XaX einen Elektromagneten A 1. In gleicher Weise bilden die ersten elektromagnetischen Erregerelemente X81 und Xb\,XC\ und Xc],XDi und XdX und XE] und Xe[ Elektromagnete Bl, Cl, Dl bzw. £1. Darüber hinaus bilden die elektromagnetischen Erregerelemente XA2 und X„2, XB2 und Xb2, XC2 und Xn, X01 und Xd2 und XE2 und Xt2 Elektromagnete A 2, Bl, Cl, Dl bzw. El. Beim Betrieb des Motors wird jedes Paar von Elektromagneten (A 1, Al), (51, Bl), (Cl, C2), (Dl, Dl) und (£1, El) gleichzeitig erregt. Wenn beispielsweise das Elektromagnetenpaar (Dl, Dl) erregt wird, dann ergibt sich die äquivalente Anziehungskraft am Mittelpunkt O. Die in Fig. 8 dargestellte Anordnung vermeidet ebenfalls die zuvor erwähnten Nachteile. Jeder der ersten Antriebszähne 21 der Elektromagneten (A 1. A 2). (B 1. Rl), (CV Γ2), (Dl1Dl) und {El, El) ist in bezug auf die ersten Zähne entlang der X-Achse in derselben Phase angeordnet.
Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht des impulsgesteuerten zweiachsigen Linearmotors gemäß der vorliegenden Erfindung, der in einer Ausführung gezeigt ist, die bei einem numerisch gesteuerten Herstellungssystem verwendet werden könnte. Alle in Fig. 9 bezeichneten Elemente entsprechen den Elementen, die in Fig. 1 mit denselben Zahlen oder Symbolen gekennzeichnet sind. Normalerweise ist ein Werkstück, das bearbeitet werden soll und auf die obere Oberfläche 41 des dritten Teiles 3 aufgesetzt wird, schwer. Beim Betrieb des Motors bewirken das Gewicht des schweren Werkstücks, das auf dem dritten Teil 3 angeordnet ist, das Gewicht des zweiten und des dritten Teiles und die Anziehungskraft zwischen der ersten Oberfläche 10 und der zweiten Oberfläche 20 eine große nach unten gerichtete Kraft auf die Rollen 50, die in Fig. 1 gezeigt sind. Darüber hinaus bewirken das Gewicht des schweren Werkstücks, das Gewicht des dritten Teiles und die Anziehungskraft zwischen der dritten Oberfläche 30 und der vierten Oberfläche 40 eine groQe nach unten gerichtete Kraft auf die Rollen 60, die ebenfalls in F i g. 1 gezeigt sind. Deshalb sollte die große abwärts gerichtete Kraft nicht konzentriert, sondern auf eine Gruppe flacher Rollen bzw. Rollenführungen aufgeteilt werden. Diese Gruppen flacher Rollenführungen sind in Fig. 9 mit 81,82,83 und 84 bezeichnet, wobei die letztere Zahl zwar in der Zeichnung vorhanden, der Gegenstand aber nicht gezeichnet ist; die Gruppe der flachen Rollenführungen 81 und 83 bilden V-förmige Führungsschienen, während die Gruppe der flachen Rollenführungen 82 und 84 U-förmige Führungskanäle oder Riemen bilden. Jede der V-förmigen Führungsschienen und der U-förmigen Führungskanäle besteht aus einer Vielzahl von Nadellagern 85. V-förmige Führungskanäle bzw. Rinnen 86 und 87 sind gleitbar mit den V-förmigen Führungsschienen 81 bzw. 83 verbunden. U-förmige Vorsprünge 88 und 89, von denen der letztere zwar gekennzeichnet, aber nicht dargestellt ist, sind ebenso gleitbar mit den U-förmigen Führungskanälen 82 bzw. 84 verbunden.
Beim Betrieb des Motors sammelt sich eine große Menge von Metallstaub und Metallteilen von der Arbeit des Maschinenwerkzeugs auf dem dritten Teil 3 und dem ersten Teil 1. Besonders sammelt sich meistens auf der ersten Oberfläche 10 eine große Menge Metallstaub und Metallteile, die Schwierigkeiten beim normalen Betrieb der Positioniereinrichtung hervorru-
Ten. In Fig. 9 bezeichnet 90 eine Abdeckung, die das Ansammeln von MetallstauÖ und Metallpartikeln auf der ersten Oberfläche 10 verhindert. Die Abdeckung 90 bestehi ,u's Balgen und hindert dementsprechend nicht die Bewegung des zweiten Teiles 2 in der ersten Richtung. Mit 91 ist ebenfalls eine Abdeckung oezeichnel. Die Abdeckung 91 verhindert die besagte Ansammlung auf der dritten Oberfläche 30 des zweiten Teiles 2.
Wie zuvor erwähnt, können die Nachteile der Erzeugung einer unerwünschten Vibration und die Schwierigkeit bei der sehr genauen Herstellung eines Werkstücks mit Hilfe der vorliegenden Erfindung vermieden werden. Die vorliegende Erfindung hat darüber hinaus die folgenden Vorteile:
1. Der Wirkungsgrad der Umwandlung von elektrischer Eingangsenergie in eine Energie für den Transport des zweiten Teiles 2 in der ersten Richtung und der Wirkungsgrad für die Umwandlung einer elektrischen Eingangsenergie in eine Energie für den Transport des dritten Teiles 3 in. der zweiten Richtung werden irn Vergleich zum Stand der Technik beispielsweise gemäß der US-PSRe 27 436 (Reissue Patent) erhöht. Dies liegt daran, daß eine Vielzahl erster Zähne 11 und eine mit ihnen zusammenwirkende Vielzahl erster elektromagnetischer Erregereinrichtungen in einer horizontalen Ebene angeordnet sind, und ein auf das dritte Teil gesetztes Objekt in der ersten Richtung bewegen. Eine Vielzahl zweiter Zähne 42 und eine mit ihnen zusammenwirkende Vielzahl zweiter elektromagnetischer Erregereinrichtungen sind in einer anderen horizontalen Ebene angeordnet und bewegen das Objekt in der zweiten Richtung.
2. Der Aufbau der Schrittmotoren gemäß der vorliegenden Erfindung ist einfach und kann leicht hergestellt werden. Dies liegt daran, daß mechanische Antriebseinheiten, die beispielsweise die Rollen 50 und 60 verwenden, sowie elektromagnetische Erregensinricbtungen, die beispielsweise Erregerspulen 23 und 33 und die
ίο ersten und zweiten Antriebszähne 21 und 32 aufweisen und die bei der Herstellung eine große Erfahrung und eine genaue Bearbeitung verlangen, allein auf das zweite Teil 2 konzentriert sind. Auf der anderen Seite können andere Teile, d. h. das erste Teil 1 und das dritte
'.5 Teil 3 leicht hergestellt werden, da diese Teile nur mit einfachen ersten Zähnen 11 und einfachen zweiten Zähnen 42 ausgerüstet sind.
3. Schließlich sind der Hub der Bewegung des zweiten Teiles 2 in die erste Richtung in bezug auf das erste
2C Te;! 1 und der Hub der Bewegung des dfiUefi Teiles 3 in bezug auf das zweite Teil 2 in die zweite Richtung relativ groß. Dies liegt daran, daß die erste elektromagnetische Erregereinrichtung rechteckförmig und so angeordnet ist, daß die längere Seite parallel zur zweiten Richtung Y verläuft (siehe Fig. 4), und daß die zweite elektromagnetische Erregereinrichtung rechteckförmig und so angeordnet ist, daß die längere Seite parallel zur ersten Richtung X verläuft (siehe Fig. 7).
Hierzu 10 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche: 20
1. Magnetische Positioniereinrichtung zur Positionierung eines Gegenstands innerhalb einer durch zwei Koordinatenachsen festgelegten Ebene mit einem ersten linearen Schrittmotor zur Erzeugung einer Bewegung längs einer ersten der Koordinatenachsen und einem zweiten linearen Schrittmotor zur Erzeugung einer Bewegung längs der zweiten Koordinatenachse, wobei jeder der beiden Schrittmotor ren die Gesamtheit der folgenden Merkmale umfaßt:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426687A1 (de) * 1983-07-19 1985-01-31 Tokyo Juki Industrial Co., Ltd., Chofu, Tokio/Tokyo Automatische naehmaschine

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2458494A1 (fr) * 1979-06-07 1981-01-02 Anfor Dispositif de deplacement d'objets legers, tels que des microfiches
US4536690A (en) * 1982-10-19 1985-08-20 Calspan Corporation Tool-supporting self-propelled robot platform
US4554490A (en) * 1983-10-11 1985-11-19 Fmc Corporation Variable-frequency dual-motion feeder control using a single phase power source
JPS6176239A (ja) * 1984-09-25 1986-04-18 Hiroshi Teramachi リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル
JPS61109637A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Hitachi Ltd テ−ブル装置
US4653360A (en) * 1985-05-07 1987-03-31 The Cross Company CNC turning machine
USRE33910E (en) * 1985-05-07 1992-05-05 The Cross Company CNC turning machine
JPS6228146A (ja) * 1985-07-26 1987-02-06 Hiroshi Teramachi リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル
JPH0551416B1 (de) * 1988-12-26 1993-08-02 Hiroshi Teramachi
US5016238A (en) * 1989-02-03 1991-05-14 Eastman Kodak Company Linear actuator for radial access in disk recorder/player
DE19601018A1 (de) * 1995-01-27 1996-08-01 Zeiss Carl Fa Linear verstellbarer Präzisionstisch
ATE340050T1 (de) * 2001-08-18 2006-10-15 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Werkzeugmaschine mit einer mittels linearmotoren angetriebenen funktionseinheit
JP2009136065A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Canon Inc 平面モータおよびそれを用いたステージ
CA2732565C (en) * 2011-02-24 2014-08-19 Dreco Energy Services Ltd. Auto-centering structural bearing

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3268747A (en) * 1964-02-28 1966-08-23 Superior Electric Co Linear electric motor
US3376578A (en) * 1966-05-31 1968-04-02 Bruce A. Sawyer Magnetic positioning device
US3857078A (en) * 1971-06-28 1974-12-24 B Sawyer Actuating system
CA959105A (en) * 1971-07-19 1974-12-10 Bruce A. Sawyer Positioning device
US3857075A (en) * 1971-07-19 1974-12-24 B Sawyer Positioning device
US3851196A (en) * 1971-09-08 1974-11-26 Xynetics Inc Plural axis linear motor structure
US3832610A (en) * 1972-09-08 1974-08-27 Fujitsu Ltd Pulse operated surface motor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426687A1 (de) * 1983-07-19 1985-01-31 Tokyo Juki Industrial Co., Ltd., Chofu, Tokio/Tokyo Automatische naehmaschine

Also Published As

Publication number Publication date
FR2242803B1 (de) 1980-12-12
US3904900A (en) 1975-09-09
JPS5047116A (de) 1975-04-26
GB1477741A (en) 1977-06-22
DE2441588A1 (de) 1975-04-03
FR2242803A1 (de) 1975-03-28

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