CH665049A5 - Verfahren zur reduktion der abhaengigkeit der magnetischen luftspaltenergie, anordnung zur ausfuehrung des verfahrens sowie kraftgenerator. - Google Patents
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Description
BESCHREIBUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reduktion der Abhängigkeit der magnetischen Luftspaltenergie von der Luftspaltbreite bei zwei über den Luftspalt auf Abstand gehaltenen Materialphasen, wobei ein Magnetfeld quer den Luftspalt von einer zur anderen Phase und/oder umgekehrt, durchfliesst sowie eine Anordnung zur Ausführung des Verfahrens und einen Kraftgenerator.
Es ist bekannt, magnetische Anordnungen, wie mit Erregerspule, Kern und Anker, als Krafterzeugungsgeneratoren einzusetzen, so beispielsweise bei Pulsatoren zur Materialprüfung. Dabei werden Kern und Erregerspule oder Anker einerseits mit einem Bezugssystem verbunden, entsprechend Anker oder Kern anderseits zur Kraftübertragung mit einem kraftzubeaufschlagenden System, wie einem Prüfling. Dabei ist es des öftern notwendig, die statisch abgegebene Kraft im Sinne einer Arbeitspunktverschiebung für das wechselkraftbeaufschlagte System zu ändern, was dadurch realisiert wird, dass nebst der Magnetan-ordnung Organe vorgesehen sind, die die statische Last festlegen. Solche Organe umfassen beispielsweise Federn, die zwischen prüflingzugeordnetem und Bezugssystem vorgesehen sind und die zur Abgabe der statischen Arbeitspunktbelastung entsprechend gespannt werden. Da derartige Organe bei der Verstellung ihrer Kraft in den meisten Fällen nicht verschiebungslos arbeiten, so beispielsweise Federn nur unter Durchlaufen eines bestimmten Hubes von der einen Vorspannkraft zur anderen umgespannt werden können, wird dadurch auch der Luftspalt des Magnetkreises verändert, sofern nicht Vorkehrungen getroffen werden, mit Hilfe welcher die Luftspaltbreite wieder auf ihr SOLL-Mass verstellt werden kann, ohne dabei den Federhub zu beeinflussen. Veränderungen der Luftspaltbreite ergeben via Volumenveränderung bei einem vorgegebenen Magnetfeld Veränderungen der magnetischen Energie im Luftspalt und damit auch Änderungen, beispielsweise der Krafterzeugung bei vorgegebenem Feld. Ein typisches Beispiel, wo diese Probleme auftreten, sind die obengenannten Pulsatoren. Üblicherweise weisen sie einen mit einem bezugssystemverbundenen Kern mit Erregerwicklung auf. Axial in Beanspruchungsrichtung für eine Probe vom Kern getrennt, ist ein Anker vorgesehen, welcher mit der Probe verbindbar ist. Zwischen Bezugssystem mit dem einen Magnetkreisteil und mit der Probe verbundenem Teilsystem sind Federn vorgesehen, mit deren Hilfe die statische Vorspannung auf die Probe vorgegeben wird. Durch Änderungen dieser Vorgabe wird die Federkompression geändert und damit vorerst auch der Luftspalt zwischen den luftspaltgetrennten Magnetkreisstellen. Deshalb weisen bekannte Pulsatoren eine Stellvorrichtung auf, welche den einen der Magnetkreisstelle mit Bezug auf die Beaufschlagungsrichtung verschieblich positionierbar machen, ohne dabei Lager und Widerlager der Federn mitzuverschieben. Dadurch kann die federkompressions-bedingte Luftspaltveränderung kompensiert werden. Es versteht sich dabei von selbst, dass eine solche Einjustierung nach Vorspannungsänderungen ausserordentlich mühselig ist und äusserst präzis vorgenommen werden muss. Eine Veränderung der statischen Belastung im Wechselbeanspruchungs-Prüfbetrieb ist nicht ohne weiteres möglich.
Die vorliegende Erfindung setzt sich nun zum Ziel, zu erreichen, dass die durch Luftspaltänderungen bewirkte Änderung der magnetischen Energie im Luftspalt verringert wird, derart, dass beispielsweise in Systemen, wie den obengenannten Pulsatoren, eine Luftspaltbreiten-Änderung, bedingt durch Änderung der statischen Belastung, keine Nachstellung der Luftspaltbreite erforderlich macht, weil durch die Luftspaltbreiten-Änderung praktisch keine Änderung der magnetischen Luftspaltenergie, bei vorgegebenem Feld auftritt und somit eine vorgegebene Kraftbeaufschlagung — z.B. als Prüfkriterium —
auch bei neuen Luftspaltbreitenwerten unverändert übernommen werden kann, ohne Änderung des Feldes.
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Zu diesem Zweck zeichnet sich das eingangs genannte Verfahren dadurch aus, dass man mindestens einen Abschnitt der Luftspaltberandungsfläche mindestens der einen Phase so anlegt, dass das Feld im Luftspalt mit Bezug auf dasjenige in dieser Phase gebrochen wird.
Unter dem Ausdruck «Brechen» wird dabei in Analogie zur Optik die Feldrichtungs-Änderung an der Trennfläche von Materialien mit unterschiedlichen Permeabilitäten verstanden.
Wie anschliessend verständlich gemacht werden wird und sich experimentell erstaunlich gut bestätigt hat, wird offenbar durch Vorsehen einer Feldbrechung zwischen der einen Phase und Luftspalt einerseits, und/oder Luftspalt und der anderen Phase andererseits eine luftspaltbreitenabhängige Energiedichte im Luftspalt realisiert, welche volumenbedingte Energieänderungen bei Luftspaltbreitenänderungen des Luftspaltes weitgehend kompensiert. Es sei bereits hier angetönt, dass die brechungsbedingte Änderung der Feldenergiedichte im Luftspalt bei relativ breitem Luftspalt gemäss Brechungsgesetzen ausgeprägt ist. Die erwähnte Brechung und ihr energiedichtevermin-dernder Effekt bei abnehmender Spaltbreite werden immer weniger signifikant, d.h. mit abnehmender Spaltbreite nimmt die Energiedichte zu und wirkt der Luftspaltenergieabnahme durch das sich verringernde Luftspaltvolumen entgegen.
Eine Anordnung zur Ausführung des genannten Verfahrens mit zwei durch einen Luftspalt getrennten Teilen, wobei ein Magnetfeld von einem zum anderen Teil durch den Luftspalt aufbringbar ist, zeichnet sich dadurch aus, dass der Luftspalt mindestens teilweise durch mindestens einen Flächenabschnitt am einen und/oder anderen Teil begrenzt ist, der mit Bezuug auf den Feldverlauf im einen und/oder anderen Teil im luft-spaltangrenzenden Bereich schiefwinklig steht.
Mit einem derart angeordneten Flächenabschnitt wird die Brechungsbedingung erfüllt, indem das Feld beim Verlassen des einen Teiles nicht senkrecht auf den Abschnitt der Luftspaltberandungsfläche auftritt.
Durch permeabilitätsentsprechende Veränderung von Tangential- und Normalkomponenten des Feldes — Magnet- und Induktionsfeld — mit Bezug auf diesen Flächenabschnitt wird die Richtungsänderung des Feldverlaufes beim Übertritt vom einen Teil in den Luftspalt und allenfalls zurück in den zweiten Teil bedingt, wobei aber erfindungsgemäss die Rückwirkung des einen Teils auf die Brechung an der Berandungsfläche des anderen Teils, bei abnehmender Luftspaltbreite immer ausgeprägter, ausgenützt wird.
Der Wirkungsgrad eines derartigen magnetischen Kreises wird dadurch möglichst hoch gehalten, dass mindestens eine Erregerspule vorgesehen ist, mit koaxialer Kernpartie, wobei eine kernpartieseitige Luftspaltberandungsfläche mindestens nahezu vollständig ausserhalb der spulenumgebenen Kernpartie liegt.
Zum Betrieb mit höheren Frequenzen, wie z.B. bis 500 Hz, wird weiter vorgeschlagen, dass der eine und/oder andere Teil des magnetischen Kreises mindestens grossteils aus geschichtetem Blech gebildet ist.
Ein Kraftgenerator für einen Pulsator zur Erzeugung einer Kraft auf einen Prüfling mit einer Elektromagnetanordnung aus zwei durch einen, generell in Kraftrichtung von einem Magnetfeld durchdrungenen Luftspalt getrennten Magnetkreisteilen, zeichnet sich dadurch aus, dass die Luftspalt-Berandungs-fläche mindestens eines der Teile mindestens einen Abschnitt aufweist, der schiefwinklig zur Feldrichtung im Teil im Luft-spaltangrenzungsbereich steht.
Vorzugsweise weisen dabei die Berandungsflächen beider Teile komplementäre, ineinandergreifende Zahnungen auf, zur Bildung von derartigen Abschnitten.
Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Luftspaltvolumenelement, das ohne Brechung felddurchflossen wird, zur Berechnung der Feldenergie,
Fig. 2 eine Darstellung analog zu Fig. 1 eines Luftspaltvolumenabschnittes, der mit gebrochenem Magnetfeld durchflössen wird, zur Berechnung der hier entstehenden Feldenergieverhältnisse,
Fig. 3a, b je eine Seitenansicht einer erfindungsgemässen Elektromagnetanordnung, mit unterschiedlicher Spaltbreite,
Fig. 4 die schematische Darstellung eines Pulsators, wie zur Materialprüfung, mit erfindungsgemässer Krafteinheit,
Fig. 5 anhand eines Luftspaltbreite/Kraftdiagramms den Unterschied zwischen einer Anordnung gemäss Fig. 3 mit ebener Luftspaltberandung nach Fig. 1 und einer mit Luftspalt, wie in Fig. 3 dargestellt, d.h. nach Fig. 2.
In Fig. 1 ist ein Volumenelement V eines Luftspaltes 1 zwischen zwei Materialphasen 3 und 5 dargestellt. Durch beide Materialphasen resp. deren unmittelbar an den Luftspalt 1 angrenzenden Bereich, und den Luftspalt fliesst das Magnetfeld H. Sind die Materialphasen 3 und 5 gleich, so kann in beiden das Feld mit Hi, das Induktionsfeld mit Bi, bezeichnet werden. In diesem Volumenelement der Länge 1 und der Höhe h, mit einer Ausdehnung senkrecht zur Figurenebene z ergibt sich die magnetische Energie W zu
2WV = Ho • • 1 • h • z (1)
unter Berücksichtigung, dass die magnetische Induktion B stetig die Trennflächen F512, F13 durchquert, hingegen das Magnetfeld H entsprechend dem Verhältnis der Luftspaltpermeabilität \i2 und der Permeabilität der Materialphasen 3 und 5, |ii an den Grenzflächen einen Betragssprung erfährt.
In Fig. 2 ist ebenfalls ein Luftspaltvolumenelement 7 dargestellt, zwischen Materialphasen 9 und 11 aus gleichem Material wie diejenigen von Fig. 1. Die Horizontalausdehnung des Volumenelements ist wiederum gleich 1, während die Luftspaltbreite als kleinster Abstand zwischen den Berandungsflächen, h', gleich der Luftspaltbreite h von Fig. 1 gewählt sei. Mit dem Feldverlauf Hi, H2, Hi ist qualitativ die Brechung des Magnetfeldes an den Berandungsflächen Fin, F79 zwischen den Materialphasen 11,7 einerseits und 7, 9 anderseits, dargestellt. Für diese Verhältnisse ergibt sich die magnetische Energie im Luftspalt zu
2 l^i2
2WV = H !n0-— cos2a + jj-oM-2 sin2a] • 1 • h • z (2)
I
wobei h, im Gegensatz zur Spaltbreite h' die Vertikalausdehnung des Luftspaltes bezeichnet. Aus Vergleich zwischen (1) und (2) ist ersichtlich, dass die magnetische Luftspaltenergie, insbesondere unter Berücksichtigung, dass als Materialphase üblicherweise ein Eisenmaterial gewählt wird, mit hoher Permeabilität (ii, im Feldbrechungsfall bei gleichem Spaltvolumen mit cos2a kleiner als im Fall, in welchem gemäss Fig. 1 das Feld ungebrochen durch den Luftspalt dringt. Zur Beurteilung von Energieänderungen bei Volumen- resp. Feldänderungen interessiert aber der Energiebeitrag nicht. Aus (1) und (2) ist weiter ersichtlich, dass in beiden Fällen die Feldenergiedichte, abgesehen vom Volumen 1 • h • z auf der rechten Gleichungsseite, unabhängig von der Spaltbreite ist. Somit ist von dieser theoretischen Betrachtung her das Phänomen, auf welches sich die Erfindung vermutlich stützt, noch nicht erklärbar. Nun ist zu_be-rücksichtigen, dass der Feldverlauf nicht wie in Fig. 2 mit Hi, H2, Hi bezeichnet, verläuft, sondern vorerst wie mit dem Verlauf H qualitativ dargestellt. Wird die Luftspaltbreite h resp. h' verringert, beispielsweise auf das strichpunktierte Mass, so geht, wie bei H' dargestellt, der Feldverlauf immer mehr in den ungebrochenen Feldverlauf gemäss Fig. 1 über, d.h. die Brechung im verbleibenden Luftspalt wird immer unsignifikanter. Daraus wird ersichtlich, dass die Feldenergiedichte gemäss (2)
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bei abnehmendem Luftspalt eine Funktion der Luftspaltbreite wird und gegen den Energiedichtewert gemäss (1) ansteigt, nämlich für h -» o. Somit ist aus (2) ersichtlich, dass mit abnehmendem Luftspaltvolumen und damit vorerst abnehmender Luftspaltenergie die magnetische Energiedichte im Luftspalt zunimmt, so dass die volumenabnahmebedingte Energieabnahme im Luftspalt durch Zunahme der magnetischen Energiedichte kompensiert wird. Damit lässt sich erklären, dass bei Vorsehen eines Luftspaltes an dessen Berandungsfläche das magnetische Feld gebrochen wird, eine geringere Luftspaltbreitenabhängigkeit der magnetischen Energie im Luftspalt erzielt wird, als in einer Anordnung gemäss Fig. 1, in welcher das Magnetfeld ungebrochen durch den Luftspalt dringt.
Eine allgemeinere Betrachtung möge die Erfindung weiter plausibel machen. Die magnetische Luftspaltenergie kann, bei homogener Feldverteilung im Spalt, angeschrieben werden zu
W = w(x, H) • V(x),
wobei x hier die Luftspaltbreite bezeichnet und w die Energie-
li • H _
dichte , mit B als Induktionsfeld.
2
Für eine allgemeine Kraft ergibt sich
SW SW
dW = — dx + — dH Sx SH
Sw SV
V + • w
Sx Sx dx + H = konst
Sw SV
• V +
SH SH
SV
Es ist: — = o.
SH
Es ist weiter, im Falle von Verhältnissen nach Fig. 1: Sw
= °'
was für den Fall auf
SV Sw dW =— wdx -i VdH
Sx SH
führt.
Wie gezeigt wurde, ist im Falle von Fig. 2
Sw Sw
— =£ o; — < o Sx Sx was nun auf dW =
führt.
dH x = konst
Sw SV
V+ w
Sx Sx
Sw dx + — VdH SH
dx
Sw
Da sign =
Sx ist ersichtlich, dass Fig. 1 SV
— Vdx >
Sx woraus plausibel wird, dass die Änderung der Luftspaltenergie bei Feldbrechung von Luftspaltvolumenänderungen weniger abhängig ist als ohne Feldbrechung.
Bei nur schwacher, im Indealfall nicht bestehender Abhängigkeit zwischen Luftspaltbreite und magnetischer Luftspaltenergie verändern sich die Energieverhältnisse durch Veränderung der Luftspaltbreite wenig oder nicht, und feldbedingte
SV
- sign > o ist,
Sx
Fig. 2
Sw SV
V+ w
Sx Sx
Energieveränderungen sind wenigstens nahezu unabhängig von der eingestellten Luftspaltbreite.
In den Fig. 3a, b ist der beispielsweise Aufbau einer Magnetanordnung nach dem erfindungsgemässen Verfahren darge-5 stellt. Ein Kern 13, insbesondere zur Erzeugung von Wechselbeanspruchungen, wie z.B. bis 500 Hz, aus quergeschichtetem Blech, ist als E-Kern ausgelegt. Sein Mittelschenkel ist von einer Erregerwicklung 19 umschlossen. Seine Magnetpole A, B und A' weisen zahnförmige Einformungen 21 auf, wie dargestellt, io quer zur Blechschichtungsrichtung. Die Zahnung 21 kann aber ohne weiteres, je nach fertigungstechnischen Vor- und Nachteilen auch längs zur Blechschichtrichtung vorgesehen sein. Alle drei E-Schenkel weisen hier diese Zahnung 21 auf. Anzahl der Zähne 21 und die Wahl, wo diese anzuordnen sind, richten sich ls nach dem beabsichtigten Einsatz der Magnetanordnung sowie experimentellen Resultaten. Die Zähne 21 ragen, aus Gründen der Wirkungsgradoptimierung, insbesondere am Mittelschenkel B nicht in die Wicklung 19 ein. Die Magnetanordnung weist im weiteren einen Anker 23 auf, insbesondere im obgenannten 2o Fall, vorzugsweise ebenfalls aus geschichtetem Blech, welcher nun komplementär zu der Zahnung 21 am Kern ebenfalls eine Zahnung 25 aufweist, derart, dass er unter Einhaltung einer Luftspaltbreite in die Kernzahnung 21 eingeschoben werden kann. Auf diese Art und Weise werden die für die Feldbre-25 chung im Luftspalt notwendigen Bedingungen geschafft. Schematisch ist der Feldverlauf mit der Brechung bei H angedeutet. Vorzugsweise werden die Zähne am Kern 13 und am Anker 23 bezüglich der grundsätzlichen Flächenausdehnung des Luftspaltes entsprechend der Ebene E zu zur Ebene E Normalen n sym-30 metrisch ausgebildet, wobei es ohne weiteres möglich ist, in gewissen Fällen von dieser Symmetrie abzuweichen, beispielsweise dann, wenn linke und rechte Zahnungsschenkel von Kern und Anker unterschiedlich breite Luftspaltbreiten aufspannen.
In Fig. 4 ist der prinzipielle Aufbau eines Pulsators mit einem erfindungsgemäss aufgebauten Kraftgenerator dargestellt. Der gezahnte Anker 27, des erfindungsgemässen Kraftgenerators 29 greift mit seinen Zähnen 31 in die entsprechenden Zahneinformungen 33 eines Kerns 35 ein. Zwischen den komplementären Kern- und Ankerzahnungen ist der Luftspalt 37 definiert. Der Kern mit der schematisch eingetragenen Erregerwicklung 39 und Vormagnetisierungswicklung 40 ist arretierbar, jedoch, wie bei 41 schematisch dargestellt, bezüglich einer Sockelmasse 43, federnd abgestützt, axial mit Ax verstellbar. Zwischen Kern 35 und Anker 27 lagern Vorspannfedern 45. Durch Verschiebung des Kerns 35 bei über eine Erregermasse 46 auf einem Prüfling 47 widergelagertem Anker 27 wird die Spannung der Federn 45 verstellt, zur Einstellung der statischen Vorspannung für den Prüfling 47, der andererseits auf der Sockelmasse 43 ruht. Die dadurch bewirkte Änderung der Luftspaltbreite resp. des Luftspaltvolumens bedingt keine Luftspaltbreitenkompensation, indem nachträglich beispielsweise der Anker 27 verschoben werden müsste, sondern mit den erfindungsgemässen Vorkehrungen kann auch nach Veränderung der Luftspaltbreite mit den vorgesehenen Stromwerten an Erregerwicklung 39 und Vormagnetisierungswicklung 40 und damit der vorgesehenen Durchflutung gearbeitet werden.
In Fig. 5 ist die gemessene Abhängigkeit der statischen Magnetkraft F dargestellt, bei I für eine herkömmliche Magnetan-60 Ordnung mit flachen Polen nach Fig. 1, mit Bezug auf die Spaltbreite x. II zeigt diese Abhängigkeit einer Magnetanordnung wie bei I, jedoch erfindungsgemässer Polzahnung bei gleicher Durchflutung 0. Die Konstanz der Kraft Fh über einen sehr weiten Luftspaltbereich von ca. 1,5 mm bis nahezu 40 mm 65 ist augenfällig.
3 Blätter Zeichnungen
Claims (12)
1. Verfahren zur Reduktion der Abhängigkeit der magnetischen Luftspaltenergie (W) von der Luftspaltbreite (h) bei zwei über den Luftspalt auf Abstand gehaltenen Materialphasen (3, 5, 11, 9), wobei ein Magnetfeld (H) quer den Luftspalt (1, 7) von einer zur anderen Phase und/oder umgekehrt, durchfliesst, dadurch gekennzeichnet, dass man mindestens einen Abschnitt der Luftspaltberandungsfläche mindestens der einen Phase so anlegt, dass das Feld im Luftspalt (H2) mit Bezug auf dasjenige in dieser Phase (Hi) gebrochen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass durch krafterzeugende Mittel (45) zwischen den beiden Materialphasen eine weitgehendst statische, verstellbare Kraft zur Arbeitspunktfestlegung erzeugt wird, wobei die Breite des Luftspaltes zwischen den Materialphasen von der Einstellung der statischen Kraft abhängig ist.
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PATENTANSPRÜCHE
3. Anordnung zur Ausführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 oder 2 mit zwei durch einen Luftspalt getrennten Teilen (9, 11, 13, 23, 27, 35), wobei ein Magnetfeld (H) vom einen zum anderen Teil durch den Luftspalt (7, 37) aufbringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Luftspalt mindestens teilweise durch mindestens einen Flächenabschnitt (21, 25, 31, 33) am einen und/oder anderen Teil begrenzt ist, der mit Bezug auf den Feldverlauf im einen und/oder anderen Teil (23, 13, 27, 35) im luftspaltangrenzenden Bereich schiefwinklig steht.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass weiter krafterzeugende Mittel (45) vorgesehen sind, die mit den beiden Teilen gekoppelt sind und die zwischen den beiden Teilen eine einstellbare, weitgehendst statische Kraft erzeugen, wobei die Breite des Luftspaltes zwischen den beiden Teilen von der Einstellung der statischen Kraft abhängig ist.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Feldverlauf im einen und/oder anderen Teil im Luftspaltbereich mindestens nahezu senkrecht zur Flächenausdehnung (E) des Luftspaltes verläuft, und dass die Flächenabschnitte schiefwinklig mit Bezug auf die Flächenausdehnung (E) aus- oder einragen.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Berandungsfläche mindestens des einen Teils zum Luftspalt mit die Flächenabschnitte bildender Zahnung versehen ist.
7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Berandungsflächen beider Teile mit komplementärer, ineinander greifender Zahnung versehen sind.
8. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der eine Teil als Erregerspule-Kernanordnung ausgebildet ist, der andere Teil über den Luftspalt den magnetischen Kreis schliesst.
9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Erregerspule vorgesehen ist, mit koaxialer Kernpartie, wobei eine kernpartieseitige Luftspaltberandungsfläche mindestens nahezu vollständig ausserhalb der spulenumgebenden Kernpartie liegt.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der eine und/oder andere Teil mindestens grossteils aus geschichtetem Blech gebildet ist.
11. Kraftgenerator mit einer Anordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 10, für einen Materialprüfungspulsator zur Erzeugung einer Prüfkraft auf einen Prüfling, dessen Elektromagnetanordnung zwei, durch einen generell in Kraftrichtung von einem Magnetfeld durchdrungenen Luftspalt getrennte magnetische Kreisteile aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Luftspaltberandungsfläche mindestens eines der Teile (27, 35) mindestens einen Abschnitt aufweist, der schiefwinklig zur Feldrichtung im Teil, im Luftspalt-Angrenzungsbereich, steht.
12. Kraftgenerator nach Anspruch 11, mit einer Anordnung nach Anspruch 7.
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JP3492288B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器 |
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