JP3492288B2 - 電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器 - Google Patents
電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁アクチュエー
タ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュ
エータを用いた光偏向器に関し、特に、従来の電磁アク
チュエータに比べてエネルギー効率が高く、発生力を大
きくすることができるマイクロマシニング技術で作製可
能なマイクロ電磁アクチュエータ及びその作製方法の実
現を目指すものである。
タ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュ
エータを用いた光偏向器に関し、特に、従来の電磁アク
チュエータに比べてエネルギー効率が高く、発生力を大
きくすることができるマイクロマシニング技術で作製可
能なマイクロ電磁アクチュエータ及びその作製方法の実
現を目指すものである。
【0002】
【従来の技術】従来、マイクロマシニング技術を利用し
て作製されたアクチュエータは、静電力を利用したもの
や、圧電現象を利用したものが主流であった。しかし、
近年、磁性体材料をマイクロマシニング技術で利用する
ことが容易になるにつれ、電磁力を用いたアクチュエー
タも開発されるようになってきている。
て作製されたアクチュエータは、静電力を利用したもの
や、圧電現象を利用したものが主流であった。しかし、
近年、磁性体材料をマイクロマシニング技術で利用する
ことが容易になるにつれ、電磁力を用いたアクチュエー
タも開発されるようになってきている。
【0003】図9は、ハードディスクのヘッドの位置決
め用の電磁リニアアクチュエータの例である(米国特許
第5,724,015号明細書)。図9のアクチュエー
タは、基板(不図示)上に、コア1004a、1004
bと、コアを周回するコイル1005a、1005bが
固定されており、可動子1003が、バネ1007で、
コア1004a、1004bに対して相対的に可動でき
るように支持されている。これらの構造は、マイクロマ
シニング技術で基板上に作製される。
め用の電磁リニアアクチュエータの例である(米国特許
第5,724,015号明細書)。図9のアクチュエー
タは、基板(不図示)上に、コア1004a、1004
bと、コアを周回するコイル1005a、1005bが
固定されており、可動子1003が、バネ1007で、
コア1004a、1004bに対して相対的に可動でき
るように支持されている。これらの構造は、マイクロマ
シニング技術で基板上に作製される。
【0004】このアクチュエータは、コイル1005a
に通電すると、可動子1003がコア1004aに引き
寄せられることで、可動子1003が図中で左側に変位
する。また逆に、コイル1005bに通電すると、可動
子1003が図中で右側に変位する。このアクチュエー
タの発生力F1は、下式で与えられる。
に通電すると、可動子1003がコア1004aに引き
寄せられることで、可動子1003が図中で左側に変位
する。また逆に、コイル1005bに通電すると、可動
子1003が図中で右側に変位する。このアクチュエー
タの発生力F1は、下式で与えられる。
【0005】ただし、μ0は真空の透磁率、N1はコイル
の巻数、i1はコイル1005a、bに流す電流、w1は
磁極の幅、t1は磁極の厚さ、x1はギヤップの長さであ
る。また、このアクチュエータの変位は、バネ1007
のバネ定数をk1とすると、 の関係から求められる。
の巻数、i1はコイル1005a、bに流す電流、w1は
磁極の幅、t1は磁極の厚さ、x1はギヤップの長さであ
る。また、このアクチュエータの変位は、バネ1007
のバネ定数をk1とすると、 の関係から求められる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記したよ
うなアクチュエータは、磁束の漏れが大きいため、エネ
ルギー効率が悪いという点に問題があり、また固定子の
みにコイルを設ける構造のため、コイルの巻数に制限が
有り、発生力が弱いという点等に問題があった。そこ
で、本発明は、上記従来のものにおける課題を解決し、
磁束の漏れを少なくして消費電力を少なくすることがで
き、エネルギー効率を向上させることが可能となり、ま
た発生力を大きくすることが可能となる電磁アクチュエ
ータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチ
ュエータを用いた光偏向器を提供することを目的とする
ものである。
うなアクチュエータは、磁束の漏れが大きいため、エネ
ルギー効率が悪いという点に問題があり、また固定子の
みにコイルを設ける構造のため、コイルの巻数に制限が
有り、発生力が弱いという点等に問題があった。そこ
で、本発明は、上記従来のものにおける課題を解決し、
磁束の漏れを少なくして消費電力を少なくすることがで
き、エネルギー効率を向上させることが可能となり、ま
た発生力を大きくすることが可能となる電磁アクチュエ
ータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチ
ュエータを用いた光偏向器を提供することを目的とする
ものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するため、つぎの(1)〜(15)のように構成した
電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方
法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器を提供する
ものである。 (1)固定子に対して可動子を支持手段によって平行移
動可能に支持するように構成した電磁アクチュエータで
あって、前記固定子がコア部にコイルを周回させた固定
コアによって形成され、かつ前記可動子がコア部にコイ
ルを周回させた可動コアによって形成されると共に、こ
れら固定コアと可動コアとを空隙を介して磁気的に結合
して、これら固定コアと可動コアとが前記磁気的に結合
される位置において、前記固定子に対する前記可動子の
平行移動方向に該固定子及び可動子がそれぞれ凹凸部を
有し、これらの凹凸部が互いに空隙を介して噛み合うよ
うに構成し、前記固定コアまたは前記可動コアのコア部
に周回させた少なくともいずれか一方のコイルに、電流
印加手段を介して通電して前記固定子に対して前記可動
子が平行移動するように構成したことを特徴とする電磁
アクチュエータ。 (2)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、電気的に結合されていることを特
徴とする上記(1)に記載の電磁アクチュエータ。 (3)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、相互に異なる磁極となるようにこ
れら各コアに周回されていることを特徴とする上記
(1)または上記(2)に記載の電磁アクチュエータ。 (4)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、同一の磁極となるようにこれら各
コアに周回されていることを特徴とする上記(1)また
は上記(2)に記載の電磁アクチュエータ。 (5)前記固定子が、基板上に配置されることを特徴と
する上記(1)〜(4)のいずれかに記載の電磁アクチ
ュエータ。 (6)前記固定コアにおいて、前記コイルを周回させた
コア部と前記可動コアと磁気的に結合する凹凸部を有す
るコア部とが、一体形成されていることを特徴とする上
記(1)〜(5)のいずれかに記載の電磁アクチュエー
タ。 (7)前記可動コアにおいて、前記コイルを周回させた
コア部、前記固定コアと磁気的に結合する凹凸部を有す
るコア部、及び前記支持手段が、一体形成されているこ
とを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の
電磁アクチュエータ。 (8)前記支持手段が、前記固定子に対して可動子を平
行移動可能に支持する少なくとも一つの平板バネを平行
に組み合わせた平行ヒンジバネであることを特徴とする
上記(1)〜(7)のいずれかに記載の電磁アクチュエ
ータ。 (9)前記支持手段が、前記固定子に対して可動子を平
行移動可能に支持する所定バネ定数を有するバネである
ことを特徴とする上記(1)〜(7)のいずれかに記載
の電磁アクチュエータ。 (10)前記固定子の凹凸部と前記可動子の凹凸部が、
前記バネの移動方向に平行なくし歯状であることを特徴
とする上記(8)または上記(9)に記載の電磁アクチ
ュエータ。 (11)ミラー部を可動子によって可動するようにした
光偏向器において、前記可動子が上記(1)〜(10)
のいずれかに記載の電磁アクチュエータにおける可動子
によって構成されていることを特徴とする光偏向器。 (12)レンズ部を可動子によって可動するようにした
光偏向器において、前記可動子が上記(1)〜(10)
のいずれかに記載の電磁アクチュエータにおける可動子
によって構成されていることを特徴とする光偏向器。 (13)固定子に対して可動子を支持手段によって平行
移動可能に支持する構成を備え、前記固定子をコア部に
コイルを周回させた固定コアによって形成し、かつ前記
可動子がコア部にコイルを周回させた可動コアによって
形成すると共に、これら固定コアと可動コアとを空隙を
介して磁気的に結合して、これら固定コアと可動コアと
が前記磁気的に結合される位置において、前記固定子に
対する前記可動子の平行移動方向に該固定子及び可動子
がそれぞれ凹凸部を有し、これらの凹凸部が互いに空隙
を介して噛み合うように構成し、前記固定コアまたは前
記可動コアのコア部に周回させた少なくともいずれか一
方のコイルに、電流印加手段を介して通電して前記固定
子に対して前記可動子を平行移動するようにした電磁ア
クチュエータの作製方法であって、基板上にフォトリソ
グラフィーとメッキとにより可動子と固定子と支持手段
を形成する工程と、前記基板を裏面よりエッチングし、
可動子の下部の基板を除去して該可動子を前記支持手段
によって支持するようにする形状部を形成する工程と、
を少なくとも有することを特徴とする電磁アクチュエー
タの作製方法。 (14)前記基板が、シリコン基板であることを特徴と
する上記(13)に記載の電磁アクチュエータの作製方
法。 (15)前記基板を裏面よりエッチングする工程が、前
記シリコン基板を異方性エッチングする工程であること
を特徴とする上記(14)に記載の電磁アクチュエータ
の作製方法。
成するため、つぎの(1)〜(15)のように構成した
電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方
法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器を提供する
ものである。 (1)固定子に対して可動子を支持手段によって平行移
動可能に支持するように構成した電磁アクチュエータで
あって、前記固定子がコア部にコイルを周回させた固定
コアによって形成され、かつ前記可動子がコア部にコイ
ルを周回させた可動コアによって形成されると共に、こ
れら固定コアと可動コアとを空隙を介して磁気的に結合
して、これら固定コアと可動コアとが前記磁気的に結合
される位置において、前記固定子に対する前記可動子の
平行移動方向に該固定子及び可動子がそれぞれ凹凸部を
有し、これらの凹凸部が互いに空隙を介して噛み合うよ
うに構成し、前記固定コアまたは前記可動コアのコア部
に周回させた少なくともいずれか一方のコイルに、電流
印加手段を介して通電して前記固定子に対して前記可動
子が平行移動するように構成したことを特徴とする電磁
アクチュエータ。 (2)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、電気的に結合されていることを特
徴とする上記(1)に記載の電磁アクチュエータ。 (3)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、相互に異なる磁極となるようにこ
れら各コアに周回されていることを特徴とする上記
(1)または上記(2)に記載の電磁アクチュエータ。 (4)前記固定コアに周回するコイルと前記可動コアに
周回するコイルとが、同一の磁極となるようにこれら各
コアに周回されていることを特徴とする上記(1)また
は上記(2)に記載の電磁アクチュエータ。 (5)前記固定子が、基板上に配置されることを特徴と
する上記(1)〜(4)のいずれかに記載の電磁アクチ
ュエータ。 (6)前記固定コアにおいて、前記コイルを周回させた
コア部と前記可動コアと磁気的に結合する凹凸部を有す
るコア部とが、一体形成されていることを特徴とする上
記(1)〜(5)のいずれかに記載の電磁アクチュエー
タ。 (7)前記可動コアにおいて、前記コイルを周回させた
コア部、前記固定コアと磁気的に結合する凹凸部を有す
るコア部、及び前記支持手段が、一体形成されているこ
とを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の
電磁アクチュエータ。 (8)前記支持手段が、前記固定子に対して可動子を平
行移動可能に支持する少なくとも一つの平板バネを平行
に組み合わせた平行ヒンジバネであることを特徴とする
上記(1)〜(7)のいずれかに記載の電磁アクチュエ
ータ。 (9)前記支持手段が、前記固定子に対して可動子を平
行移動可能に支持する所定バネ定数を有するバネである
ことを特徴とする上記(1)〜(7)のいずれかに記載
の電磁アクチュエータ。 (10)前記固定子の凹凸部と前記可動子の凹凸部が、
前記バネの移動方向に平行なくし歯状であることを特徴
とする上記(8)または上記(9)に記載の電磁アクチ
ュエータ。 (11)ミラー部を可動子によって可動するようにした
光偏向器において、前記可動子が上記(1)〜(10)
のいずれかに記載の電磁アクチュエータにおける可動子
によって構成されていることを特徴とする光偏向器。 (12)レンズ部を可動子によって可動するようにした
光偏向器において、前記可動子が上記(1)〜(10)
のいずれかに記載の電磁アクチュエータにおける可動子
によって構成されていることを特徴とする光偏向器。 (13)固定子に対して可動子を支持手段によって平行
移動可能に支持する構成を備え、前記固定子をコア部に
コイルを周回させた固定コアによって形成し、かつ前記
可動子がコア部にコイルを周回させた可動コアによって
形成すると共に、これら固定コアと可動コアとを空隙を
介して磁気的に結合して、これら固定コアと可動コアと
が前記磁気的に結合される位置において、前記固定子に
対する前記可動子の平行移動方向に該固定子及び可動子
がそれぞれ凹凸部を有し、これらの凹凸部が互いに空隙
を介して噛み合うように構成し、前記固定コアまたは前
記可動コアのコア部に周回させた少なくともいずれか一
方のコイルに、電流印加手段を介して通電して前記固定
子に対して前記可動子を平行移動するようにした電磁ア
クチュエータの作製方法であって、基板上にフォトリソ
グラフィーとメッキとにより可動子と固定子と支持手段
を形成する工程と、前記基板を裏面よりエッチングし、
可動子の下部の基板を除去して該可動子を前記支持手段
によって支持するようにする形状部を形成する工程と、
を少なくとも有することを特徴とする電磁アクチュエー
タの作製方法。 (14)前記基板が、シリコン基板であることを特徴と
する上記(13)に記載の電磁アクチュエータの作製方
法。 (15)前記基板を裏面よりエッチングする工程が、前
記シリコン基板を異方性エッチングする工程であること
を特徴とする上記(14)に記載の電磁アクチュエータ
の作製方法。
【0008】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて説明する。本発明の実施の形態においては、上記構
成を適用して、可動子と固定子の両方がコイル及びコア
を有し、可動子と固定子を磁気的に結合するように配置
することで、可動子と固定子の両方で一つのトロイダル
型のコイルを形成することができ、磁束の漏れを少なく
することが可能となる。そのため、消費電流を小さくす
ることができ、エネルギー効率が向上する。また、可動
子と固定子の両方にコイルを設けているため、コイルの
巻数を多くすることができ、発生力を大きくすることが
できる。
いて説明する。本発明の実施の形態においては、上記構
成を適用して、可動子と固定子の両方がコイル及びコア
を有し、可動子と固定子を磁気的に結合するように配置
することで、可動子と固定子の両方で一つのトロイダル
型のコイルを形成することができ、磁束の漏れを少なく
することが可能となる。そのため、消費電流を小さくす
ることができ、エネルギー効率が向上する。また、可動
子と固定子の両方にコイルを設けているため、コイルの
巻数を多くすることができ、発生力を大きくすることが
できる。
【0009】また、上記構成を適用して、固定コイルと
可動コイルとを電気的に結合することで、電気回路を簡
単にすることができ、作製が容易となる。また、固定子
の凹凸部と前記可動子の凹凸部とが互いに空隙を介して
噛み合うように配置して構成することで、アクチュエー
タに発生する力が、ギャップの2乗に逆比例して減少す
ることがなく、コイルに通電した電流による一定の条件
によって決定することが可能となり、従来の電磁アクチ
ュエータに比べて制御が極めて容易となる。
可動コイルとを電気的に結合することで、電気回路を簡
単にすることができ、作製が容易となる。また、固定子
の凹凸部と前記可動子の凹凸部とが互いに空隙を介して
噛み合うように配置して構成することで、アクチュエー
タに発生する力が、ギャップの2乗に逆比例して減少す
ることがなく、コイルに通電した電流による一定の条件
によって決定することが可能となり、従来の電磁アクチ
ュエータに比べて制御が極めて容易となる。
【0010】また、上記構成を適用して、電磁アクチュ
エータを基板上に作製することで、固定子と可動子との
空隙を精密に位置決めすることが容易となる。また、コ
ア、固定子、可動子、支持手段等を、一体形成する構成
を採ることで、これらを作製時に一括して作ることが可
能となる。また、支持手段を平行ヒンジバネで構成する
ことで、摩擦やガタの無い直動支持を行うことができ
る。さらに、コイルヘの通電方法を制御することで、引
き合い型及び反発形の両方の電磁アクチュエータを提供
することができる。また、上記した構成の電磁アクチュ
エータを用いて光偏向器を構成することで、マイクロマ
シニングで作製することができ、エネルギー効率が良
く、偏向角を大きくとることができる。
エータを基板上に作製することで、固定子と可動子との
空隙を精密に位置決めすることが容易となる。また、コ
ア、固定子、可動子、支持手段等を、一体形成する構成
を採ることで、これらを作製時に一括して作ることが可
能となる。また、支持手段を平行ヒンジバネで構成する
ことで、摩擦やガタの無い直動支持を行うことができ
る。さらに、コイルヘの通電方法を制御することで、引
き合い型及び反発形の両方の電磁アクチュエータを提供
することができる。また、上記した構成の電磁アクチュ
エータを用いて光偏向器を構成することで、マイクロマ
シニングで作製することができ、エネルギー効率が良
く、偏向角を大きくとることができる。
【0011】また、上記した電磁アクチュエータの作製
方法を適用して、可動子と固定子と支持手段とを基板上
にフォトリソグラフィーとメッキとにより形成すること
で、組み立てを不要とすることができる。また、高精度
な位置決めが可能となり、可動子と固定子との空隙を極
めて狭くすることが可能である。また、一度に大量に作
製することが可能であり、低コストである。また、基板
にシリコン基板を用いることで、シリコン基板の異方性
エッチングを行うことができ、高精度に基板に開口部を
形成することができる。
方法を適用して、可動子と固定子と支持手段とを基板上
にフォトリソグラフィーとメッキとにより形成すること
で、組み立てを不要とすることができる。また、高精度
な位置決めが可能となり、可動子と固定子との空隙を極
めて狭くすることが可能である。また、一度に大量に作
製することが可能であり、低コストである。また、基板
にシリコン基板を用いることで、シリコン基板の異方性
エッチングを行うことができ、高精度に基板に開口部を
形成することができる。
【0012】以下に、本発明の実施の形態における電磁
アクチュエータの構成について説明する。図1は本実施
の形態の電磁アクチュエータの典型的な構成例である。
図1において、固定子102は固定コア104bと固定
コイル105bとから構成されている。基板101の上
には、固定子102と支持部106が固定されている。
可動子103は両端を平行ヒンジバネ107で保持され
ており、また、平行ヒンジバネ107は、支持部106
で保持されている。このように構成することにより、可
動子103は、基板101に対して平行移動自由に弾性
的に支持される。
アクチュエータの構成について説明する。図1は本実施
の形態の電磁アクチュエータの典型的な構成例である。
図1において、固定子102は固定コア104bと固定
コイル105bとから構成されている。基板101の上
には、固定子102と支持部106が固定されている。
可動子103は両端を平行ヒンジバネ107で保持され
ており、また、平行ヒンジバネ107は、支持部106
で保持されている。このように構成することにより、可
動子103は、基板101に対して平行移動自由に弾性
的に支持される。
【0013】また、固定子102は両端がくし歯状にな
っており、可動子103と磁気的に接続されるように配
置されている。さらに、固定コア104bには固定コイ
ル105bが、可動コア104aには可動コイル105
aが周回している。固定コイル105b、可動コイル1
05a、電流源108は直列に接続されており、電流源
108により、アクチュエータの動作を制御する。
っており、可動子103と磁気的に接続されるように配
置されている。さらに、固定コア104bには固定コイ
ル105bが、可動コア104aには可動コイル105
aが周回している。固定コイル105b、可動コイル1
05a、電流源108は直列に接続されており、電流源
108により、アクチュエータの動作を制御する。
【0014】次に、他の実施形態として、くし形引き合
い型電磁アクチュエータについて説明する。図2はこの
実施形態の動作原理を説明する図である。固定子502
と可動子503の両端がくし形になっている。また、固
定子502は固定コイル505bと固定コア504bと
から、可動子503は可動コイル505aと可動コア5
04aとから構成されている。固定子502と可動子5
03の両方にコイル及びコアが設けられていることを特
徴としている。
い型電磁アクチュエータについて説明する。図2はこの
実施形態の動作原理を説明する図である。固定子502
と可動子503の両端がくし形になっている。また、固
定子502は固定コイル505bと固定コア504bと
から、可動子503は可動コイル505aと可動コア5
04aとから構成されている。固定子502と可動子5
03の両方にコイル及びコアが設けられていることを特
徴としている。
【0015】電流源508と可動コイル505a、固定
コイル505bは電気的に直列に接続されている。可動
コア504aはバネ定数kのバネ507に弾性的に支持
されている。可動コイル505a及び固定コイル505
bは銅やアルミニウム等の低抵抗な金属で構成され、可
動コア504a及び固定コア504bとは電気的に絶縁
されている。また、可動コア504a及び固定コア50
4bはニッケル、鉄、パーマロイ等の強磁性体から構成
されている。電流源508から可動コイル505a、固
定コイル505bに電流を流すと、可動コイル505
a、固定コイル505b中に矢印の方向に磁束が発生す
る。この磁束は、矢印で示した方向に可動コア504
a、くし歯間のエアギャップ510a、固定コア504
b、くし歯間のエアギャップ510bの順に磁気回路を
周回し、可動子503が固定子502に相対的に引き寄
せられる。
コイル505bは電気的に直列に接続されている。可動
コア504aはバネ定数kのバネ507に弾性的に支持
されている。可動コイル505a及び固定コイル505
bは銅やアルミニウム等の低抵抗な金属で構成され、可
動コア504a及び固定コア504bとは電気的に絶縁
されている。また、可動コア504a及び固定コア50
4bはニッケル、鉄、パーマロイ等の強磁性体から構成
されている。電流源508から可動コイル505a、固
定コイル505bに電流を流すと、可動コイル505
a、固定コイル505b中に矢印の方向に磁束が発生す
る。この磁束は、矢印で示した方向に可動コア504
a、くし歯間のエアギャップ510a、固定コア504
b、くし歯間のエアギャップ510bの順に磁気回路を
周回し、可動子503が固定子502に相対的に引き寄
せられる。
【0016】ここで、くし歯間のエアギャップの磁気抵
抗Rg(x)は、 で与えられる。ここで、μ0は真空の透磁率、dはエア
ギャップの距離、tはくし歯の厚さ、nはギャップの
数、xは可動子の変位、x0は初期状態のオーバーラッ
プ長さである。また、エアギャップ部以外の部分の磁気
抵抗をRとすると、磁気回路全体のポテンシャルエネル
ギWと、エアギャップ部に生じる発生力Fは、 となる。ここで、Nはコイル505a、505bの巻数
の和、iはコイル505a、505bに流れる電流であ
る。
抗Rg(x)は、 で与えられる。ここで、μ0は真空の透磁率、dはエア
ギャップの距離、tはくし歯の厚さ、nはギャップの
数、xは可動子の変位、x0は初期状態のオーバーラッ
プ長さである。また、エアギャップ部以外の部分の磁気
抵抗をRとすると、磁気回路全体のポテンシャルエネル
ギWと、エアギャップ部に生じる発生力Fは、 となる。ここで、Nはコイル505a、505bの巻数
の和、iはコイル505a、505bに流れる電流であ
る。
【0017】ここで、可動コア504aと固定コア50
4bを、透磁率が真空の透磁率に比べて十分大きい材質
で作製するとすると、R→0となり、発生力Fは、 で与えられる。これより、本発明のアクチュエータで
は、発生力Fが、コイルの巻数Nの2乗に比例すること
がわかる。実際には、透磁率は無限大にはなり得ないの
で、発生力Fは、変位xにより変動が生じることになる
が、図9で示したアクチュエータに比べると、その割合
はごくわずかである。
4bを、透磁率が真空の透磁率に比べて十分大きい材質
で作製するとすると、R→0となり、発生力Fは、 で与えられる。これより、本発明のアクチュエータで
は、発生力Fが、コイルの巻数Nの2乗に比例すること
がわかる。実際には、透磁率は無限大にはなり得ないの
で、発生力Fは、変位xにより変動が生じることになる
が、図9で示したアクチュエータに比べると、その割合
はごくわずかである。
【0018】このとき、アクチュエータの静的な変位
は、バネ力と発生力の釣り合いから、平行ヒンジバネの
バネ定数をkとすると、 の関係から求められる。また、このくし形引き合い型の
電磁アクチュエータは可動コイル505aまたは固定コ
イル505bの巻く方向を変更することで、平板反発形
の電磁アクチュエータとして利用することができる。
は、バネ力と発生力の釣り合いから、平行ヒンジバネの
バネ定数をkとすると、 の関係から求められる。また、このくし形引き合い型の
電磁アクチュエータは可動コイル505aまたは固定コ
イル505bの巻く方向を変更することで、平板反発形
の電磁アクチュエータとして利用することができる。
【0019】
【実施例】以下に本発明の実施例について説明する。
[実施例1]
図3は本発明の実施例1のリニアアクチュエータを説明
する図である。図3において、固定子102は固定コア
104bと固定コイル105bとから構成されている。
基板101の上には、固定子102と支持部106が固
定されている。可動子103は両端を平行ヒンジバネ1
07で保持されており、また、平行ヒンジバネ107
は、支持部106で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子103は、基板101に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。
する図である。図3において、固定子102は固定コア
104bと固定コイル105bとから構成されている。
基板101の上には、固定子102と支持部106が固
定されている。可動子103は両端を平行ヒンジバネ1
07で保持されており、また、平行ヒンジバネ107
は、支持部106で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子103は、基板101に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。
【0020】また、固定子102は両端がくし歯状にな
っており、可動子103と磁気的に接続されるように配
置されている。さらに、固定コア104bには固定コイ
ル105bが、可動コア104aには可動コイル105
aが周回している。固定コイル105b、可動コイル1
05a、電流源108は直列に接続されており、電流源
108により、アクチュエータの動作を制御する。
っており、可動子103と磁気的に接続されるように配
置されている。さらに、固定コア104bには固定コイ
ル105bが、可動コア104aには可動コイル105
aが周回している。固定コイル105b、可動コイル1
05a、電流源108は直列に接続されており、電流源
108により、アクチュエータの動作を制御する。
【0021】次に、本実施例のアクチュエータの作製方
法について述べる。本実施例では、固定子102、可動
子103、可動コア104a、固定コア104b、可動
コイル105a、固定コイル105b、支持部106、
平行ヒンジバネ107をマイクロマシニング技術で作製
した。また、可動コイル105aと固定コイル105b
は、コイル下面配線114、コイル側面配線115、コ
イル上面配線116の順番で作製した。
法について述べる。本実施例では、固定子102、可動
子103、可動コア104a、固定コア104b、可動
コイル105a、固定コイル105b、支持部106、
平行ヒンジバネ107をマイクロマシニング技術で作製
した。また、可動コイル105aと固定コイル105b
は、コイル下面配線114、コイル側面配線115、コ
イル上面配線116の順番で作製した。
【0022】以下、図4を用いて、さらに詳しく説明す
る。図4の(a)〜(l)において、図の左側と右側の
各部分は、それぞれ、図4におけるA−A’とB−B’
の各断面図である。まず、基板101上に、コイル下面
配線114として、銅を蒸着により成膜し、パターニン
グする(図4(a))。次に、下面配線−コア絶縁層1
17としてポリイミドを塗布し、パターンニングする
(図4(b))。次に、電気メッキを行うための種電極
層111としてクロムを蒸着した上に、金を蒸着する
(図4(c))。次に、フォトレジスト層112を塗布
する(図4(d))。本実施例では、厚塗りに適したS
U‐8(Micro Chem製)を使用し、膜厚を3
00μmとする。次に、フォトレジスト層112を、露
光および現像し、パターンニングを行う(図4
(e))。この行程で除去された部分が、固定子10
2、可動子103、可動コア104a、固定コア104
b、支持部106、平行ヒンジバネ107、コイル側面
配線115の雌型となる。次に、種電極層111に電圧
を印加しながら、パーマロイ層113の電気メッキを行
う(図4(f))。
る。図4の(a)〜(l)において、図の左側と右側の
各部分は、それぞれ、図4におけるA−A’とB−B’
の各断面図である。まず、基板101上に、コイル下面
配線114として、銅を蒸着により成膜し、パターニン
グする(図4(a))。次に、下面配線−コア絶縁層1
17としてポリイミドを塗布し、パターンニングする
(図4(b))。次に、電気メッキを行うための種電極
層111としてクロムを蒸着した上に、金を蒸着する
(図4(c))。次に、フォトレジスト層112を塗布
する(図4(d))。本実施例では、厚塗りに適したS
U‐8(Micro Chem製)を使用し、膜厚を3
00μmとする。次に、フォトレジスト層112を、露
光および現像し、パターンニングを行う(図4
(e))。この行程で除去された部分が、固定子10
2、可動子103、可動コア104a、固定コア104
b、支持部106、平行ヒンジバネ107、コイル側面
配線115の雌型となる。次に、種電極層111に電圧
を印加しながら、パーマロイ層113の電気メッキを行
う(図4(f))。
【0023】次に、フォトレジスト層112と種電極層
111をドライエッチングで除去する(図4(g))。
次に、エポキシ樹脂119を塗布し、上面を機械的に研
磨して平坦化する(図4(h))。次に、可動コア10
4a、固定コア104bの上面に上面配線−コア絶縁層
118としてポリイミドを塗布し、パターニングする
(図4(i))。次に、上面配線−コア絶縁層118の
上面にコイル上面配線116として銅を蒸着し、パター
ンニングする(図4(j))。次に、エボキシ樹脂11
9を除去する(図4(k))。最後に、基板101を裏
面から異方性エッチングを行い、可動子103を支持部
106のみで支えるようにする(図4(l))。
111をドライエッチングで除去する(図4(g))。
次に、エポキシ樹脂119を塗布し、上面を機械的に研
磨して平坦化する(図4(h))。次に、可動コア10
4a、固定コア104bの上面に上面配線−コア絶縁層
118としてポリイミドを塗布し、パターニングする
(図4(i))。次に、上面配線−コア絶縁層118の
上面にコイル上面配線116として銅を蒸着し、パター
ンニングする(図4(j))。次に、エボキシ樹脂11
9を除去する(図4(k))。最後に、基板101を裏
面から異方性エッチングを行い、可動子103を支持部
106のみで支えるようにする(図4(l))。
【0024】以上のように構成された本実施例の電磁ア
クチュエータは、可動子と固定子の両方で一つのトロイ
ダル型のコイルを形成し、磁束の漏れが少ないので、エ
ネルギー効率が良い。また、可動子及び固定子にコイル
及びコアを設けているので、コイルの巻数を多くできる
ので、発生力を大きくすることができる。
クチュエータは、可動子と固定子の両方で一つのトロイ
ダル型のコイルを形成し、磁束の漏れが少ないので、エ
ネルギー効率が良い。また、可動子及び固定子にコイル
及びコアを設けているので、コイルの巻数を多くできる
ので、発生力を大きくすることができる。
【0025】[実施例2]
図5は、本発明の実施例2の反射型光偏向器を説明する
概略図である。図5において、固定子302は固定コア
304bと固定コイル305bとから構成されている。
基板301の上には、固定子302と支持部306が固
定されている。可動子303は、両端を平行ヒンジバネ
307で保持されており、また平行ヒンジバネ307
は、支持部306で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子303は、基板301に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。ミラー311は、可
動子303上に設置されている。また、固定子302は
両端がくし歯状になっており、可動子303と磁気的に
接続されるように配置されている。さらに、固定コア3
04bには固定コイル305bが、可動コア304aに
は可動コイル305aが周回している。可動コイル30
5a、固定コイル305b、電流源308は直列に接続
されており、電流源308により、アクチュエータの動
作を制御する。固定子302と可動子303には、くし
歯状の突起が出ており、それらは互い違いに噛み合うよ
うに配置されている。これらの構造は、実施例1と同様
のプロセスで作製することができる。
概略図である。図5において、固定子302は固定コア
304bと固定コイル305bとから構成されている。
基板301の上には、固定子302と支持部306が固
定されている。可動子303は、両端を平行ヒンジバネ
307で保持されており、また平行ヒンジバネ307
は、支持部306で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子303は、基板301に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。ミラー311は、可
動子303上に設置されている。また、固定子302は
両端がくし歯状になっており、可動子303と磁気的に
接続されるように配置されている。さらに、固定コア3
04bには固定コイル305bが、可動コア304aに
は可動コイル305aが周回している。可動コイル30
5a、固定コイル305b、電流源308は直列に接続
されており、電流源308により、アクチュエータの動
作を制御する。固定子302と可動子303には、くし
歯状の突起が出ており、それらは互い違いに噛み合うよ
うに配置されている。これらの構造は、実施例1と同様
のプロセスで作製することができる。
【0026】図6は、本実施例の動作を説明する図であ
る。図6において、312は、半導体レーザ、313
は、レーザ光を示している。半導体レーザ312は、レ
ーザ光313がミラー311に当たるように配置されて
いる。半導体レーザ312は、基板301上にあっても
よいし、他の場所にあっても構わない。可動コイル30
5a、固定コイル305bに通電すると可動子303が
固定子302に引き寄せられる。図6(a)は、可動コ
イル305a、固定コイル305bに通電していない時
の様子を示し、図6(b)は、可動コイル305a、固
定コイル305bに通電している時の様子を示してい
る。これらより、可動コイル305a、固定コイル30
5bに通電することにより、レーザ光313の向きが変
わる様子がわかる。本実施例の電磁アクチュエータは、
磁束の漏れが少ないので、従来の電磁アクチュエータに
比べて、エネルギー効率が良いという特徴がある。ま
た、可動子及び固定子にコイル及びコアを設けているた
め、コイルの巻数を多くでき、発生力を大きくすること
ができるという特徴がある。それゆえ、本実施例の電磁
アクチュエータを用いることで、エネルギー効率が良
く、偏向角の大きな、マイクロマシニング技術で作製す
ることができる反射型光偏向器を提供することができ
る。
る。図6において、312は、半導体レーザ、313
は、レーザ光を示している。半導体レーザ312は、レ
ーザ光313がミラー311に当たるように配置されて
いる。半導体レーザ312は、基板301上にあっても
よいし、他の場所にあっても構わない。可動コイル30
5a、固定コイル305bに通電すると可動子303が
固定子302に引き寄せられる。図6(a)は、可動コ
イル305a、固定コイル305bに通電していない時
の様子を示し、図6(b)は、可動コイル305a、固
定コイル305bに通電している時の様子を示してい
る。これらより、可動コイル305a、固定コイル30
5bに通電することにより、レーザ光313の向きが変
わる様子がわかる。本実施例の電磁アクチュエータは、
磁束の漏れが少ないので、従来の電磁アクチュエータに
比べて、エネルギー効率が良いという特徴がある。ま
た、可動子及び固定子にコイル及びコアを設けているた
め、コイルの巻数を多くでき、発生力を大きくすること
ができるという特徴がある。それゆえ、本実施例の電磁
アクチュエータを用いることで、エネルギー効率が良
く、偏向角の大きな、マイクロマシニング技術で作製す
ることができる反射型光偏向器を提供することができ
る。
【0027】[実施例3]
図7は、本発明の実施例2の透過型光偏向器を説明する
概略図である。図7において、固定子402は固定コア
404bと固定コイル405bとから構成されている。
基板401の上には、固定子402と支持部406が固
定されている。可動子403は、両端を平行ヒンジバネ
407で保持されており、また平行ヒンジバネ407
は、支持部406で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子403は、基板401に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。
概略図である。図7において、固定子402は固定コア
404bと固定コイル405bとから構成されている。
基板401の上には、固定子402と支持部406が固
定されている。可動子403は、両端を平行ヒンジバネ
407で保持されており、また平行ヒンジバネ407
は、支持部406で保持されている。このように構成す
ることにより、可動子403は、基板401に対して平
行移動自由に弾性的に支持される。
【0028】レンズ411は、可動子403上に設置さ
れ、レーザ光が透過するようになっている。また、固定
子402は両端がくし歯状になっており、可動子403
と磁気的に接続されるように配置されている。さらに、
固定コア404bには固定コイル405bが、可動コア
404aには可動コイル405aが周回している。可動
コイル405a、固定コイル405b、電流源408は
直列に接続されており、電流源408により、アクチュ
エータの動作を制御する。固定子402と可動子403
には、くし歯状の突起が出ており、それらは互い違いに
噛み合うように配置されている。これらの構造は、実施
例2と同様のプロセスで作製することができる。
れ、レーザ光が透過するようになっている。また、固定
子402は両端がくし歯状になっており、可動子403
と磁気的に接続されるように配置されている。さらに、
固定コア404bには固定コイル405bが、可動コア
404aには可動コイル405aが周回している。可動
コイル405a、固定コイル405b、電流源408は
直列に接続されており、電流源408により、アクチュ
エータの動作を制御する。固定子402と可動子403
には、くし歯状の突起が出ており、それらは互い違いに
噛み合うように配置されている。これらの構造は、実施
例2と同様のプロセスで作製することができる。
【0029】図8は、本実施例の動作を説明する図であ
る。図8において、412は、半導体レーザ、413
は、レーザ光を示している。半導体レーザ412は、レ
ーザ光413がミラー411に当たるように配置されて
いる。半導体レーザ412は、基板401上にあっても
よいし、他の場所にあっても構わない。可動コイル40
5a、固定コイル405bに通電すると可動子403が
固定子402にから遠ざけられる。図8(a)は、可動
コイル405a、固定コイル405bに通電していない
時の様子を示し、図8(b)は、可動コイル405a、
固定コイル405bに通電している時の様子を示してい
る。これらより、可動コイル405a、固定コイル40
5bに通電することにより、レーザ光413の向きが変
わる様子がわかる。本実施例の電磁アクチュエータを用
いることで、エネルギー効率が良く、偏向角の大きな、
マイクロマシニング技術で作製することができる透過型
光偏向器を提供することができる。
る。図8において、412は、半導体レーザ、413
は、レーザ光を示している。半導体レーザ412は、レ
ーザ光413がミラー411に当たるように配置されて
いる。半導体レーザ412は、基板401上にあっても
よいし、他の場所にあっても構わない。可動コイル40
5a、固定コイル405bに通電すると可動子403が
固定子402にから遠ざけられる。図8(a)は、可動
コイル405a、固定コイル405bに通電していない
時の様子を示し、図8(b)は、可動コイル405a、
固定コイル405bに通電している時の様子を示してい
る。これらより、可動コイル405a、固定コイル40
5bに通電することにより、レーザ光413の向きが変
わる様子がわかる。本実施例の電磁アクチュエータを用
いることで、エネルギー効率が良く、偏向角の大きな、
マイクロマシニング技術で作製することができる透過型
光偏向器を提供することができる。
【0030】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明の電磁ア
クチュエータによると、従来の電磁アクチュエータに比
べて、磁束の漏れが少ないため、消費電力が少なく、エ
ネルギー効率を向上させることが可能となる。また、本
発明の電磁アクチュエータによると、可動子と固定子の
両方に、コイル及びコアを設けているため、コイルの巻
数が多く、発生力を大きくすることができる。また、本
発明によると、ミラーとミラーに機械的に接続された電
磁アクチュエータからなる反射型光偏向器を、マイクロ
マシニングで作製することができ、偏向角が大きく、エ
ネルギー効率が良い反射型光偏向器を実現することがで
きる。また、本発明によると、レンズとレンズに機械的
に接続された電磁アクチュエータからなる透過型光偏向
器を、マイクロマシニングで作製することができ、偏向
角が大きく、エネルギー効率が良い透過型光偏向器を実
現することができる。
クチュエータによると、従来の電磁アクチュエータに比
べて、磁束の漏れが少ないため、消費電力が少なく、エ
ネルギー効率を向上させることが可能となる。また、本
発明の電磁アクチュエータによると、可動子と固定子の
両方に、コイル及びコアを設けているため、コイルの巻
数が多く、発生力を大きくすることができる。また、本
発明によると、ミラーとミラーに機械的に接続された電
磁アクチュエータからなる反射型光偏向器を、マイクロ
マシニングで作製することができ、偏向角が大きく、エ
ネルギー効率が良い反射型光偏向器を実現することがで
きる。また、本発明によると、レンズとレンズに機械的
に接続された電磁アクチュエータからなる透過型光偏向
器を、マイクロマシニングで作製することができ、偏向
角が大きく、エネルギー効率が良い透過型光偏向器を実
現することができる。
【図1】本発明の実施の形態の一例を説明する図であ
る。
る。
【図2】本発明の実施の形態の他の例を説明する図であ
る。
る。
【図3】本発明の実施例1のくし形引き合い型電磁アク
チュエータを説明する図である。
チュエータを説明する図である。
【図4】本発明の実施例1の作製方法を説明する図であ
る。
る。
【図5】本発明の実施例2の反射型光偏向器を説明する
図である。
図である。
【図6】本発明の実施例2の反射型光偏向器の動作を説
明する図である。
明する図である。
【図7】本発明の実施例3の透過型光偏向器を説明する
図である。
図である。
【図8】本発明の実施例3の透過型光偏向器の動作を説
明する図である。
明する図である。
【図9】従来技術のマイクロ電磁アクチュエータを説明
する図である。
する図である。
101、301、401:基板
102、502、302、402:固定子
1003、103、303、403、503:可動子
104a、304a、404a、504a:可動コア
104b、304b、404b、504b:固定コア
105a、305a、405a、505a:可動コイル
105b、305b、405b、505b、:固定コイ
ル 1004a、1004b:コア 1005a、1005b:コイル 510a、510b:エアギャップ 106、306、406:支持部 107、307、407:平行ヒンジバネ 507、1007:バネ 108、308、408、508:電流源 111:種電極層 112:フォトレジスト層 113:パーマロイ層 114:コイル下面配線 115:コイル側面配線 116:コイル上面配線 117:下面配線−コア絶縁層 118:上面配線−コア絶縁層 119:エポキシ樹脂 311:ミラー 312:半導体レーザ 313:レーザ光 411:レンズ
ル 1004a、1004b:コア 1005a、1005b:コイル 510a、510b:エアギャップ 106、306、406:支持部 107、307、407:平行ヒンジバネ 507、1007:バネ 108、308、408、508:電流源 111:種電極層 112:フォトレジスト層 113:パーマロイ層 114:コイル下面配線 115:コイル側面配線 116:コイル上面配線 117:下面配線−コア絶縁層 118:上面配線−コア絶縁層 119:エポキシ樹脂 311:ミラー 312:半導体レーザ 313:レーザ光 411:レンズ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI
G02B 26/10 105 G02B 26/10 105Z
H01F 7/16 H01F 7/16 Z
(72)発明者 加藤 貴久
東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ
ヤノン株式会社内
(56)参考文献 特開 平11−288444(JP,A)
実開 昭55−158679(JP,U)
特公 昭37−12561(JP,B1)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H02K 33/12
B81C 1/00
G02B 26/08
G02B 26/10
H01F 7/16
Claims (15)
- 【請求項1】固定子に対して可動子を支持手段によって
平行移動可能に支持するように構成した電磁アクチュエ
ータであって、 前記固定子がコア部にコイルを周回させた固定コアによ
って形成され、かつ前記可動子がコア部にコイルを周回
させた可動コアによって形成されると共に、これら固定
コアと可動コアとを空隙を介して磁気的に結合して、こ
れら固定コアと可動コアとが前記磁気的に結合される位
置において、前記固定子に対する前記可動子の平行移動
方向に該固定子及び可動子がそれぞれ凹凸部を有し、こ
れらの凹凸部が互いに空隙を介して噛み合うように構成
し、 前記固定コアまたは前記可動コアのコア部に周回させた
少なくともいずれか一方のコイルに、電流印加手段を介
して通電して前記固定子に対して前記可動子が平行移動
するように構成したことを特徴とする電磁アクチュエー
タ。 - 【請求項2】前記固定コアに周回するコイルと前記可動
コアに周回するコイルとが、電気的に結合されているこ
とを特徴とする請求項1に記載の電磁アクチュエータ。 - 【請求項3】前記固定コアに周回するコイルと前記可動
コアに周回するコイルとが、相互に異なる磁極となるよ
うにこれら各コアに周回されていることを特徴とする請
求項1または請求項2に記載の電磁アクチュエータ。 - 【請求項4】前記固定コアに周回するコイルと前記可動
コアに周回するコイルとが、同一の磁極となるようにこ
れら各コアに周回されていることを特徴とする請求項1
または請求項2に記載の電磁アクチュエータ。 - 【請求項5】前記固定子が、基板上に配置されることを
特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電磁ア
クチュエータ。 - 【請求項6】前記固定コアにおいて、前記コイルを周回
させたコア部と前記可動コアと磁気的に結合する凹凸部
を有するコア部とが、一体形成されていることを特徴と
する請求項1〜5のいずれか1項に記載の電磁アクチュ
エータ。 - 【請求項7】前記可動コアにおいて、前記コイルを周回
させたコア部、前記固定コアと磁気的に結合する凹凸部
を有するコア部、及び前記支持手段が、一体形成されて
いることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記
載の電磁アクチュエータ。 - 【請求項8】前記支持手段が、前記固定子に対して可動
子を平行移動可能に支持する少なくとも一つの平板バネ
を平行に組み合わせた平行ヒンジバネであることを特徴
とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の電磁アクチ
ュエータ。 - 【請求項9】前記支持手段が、前記固定子に対して可動
子を平行移動可能に支持する所定バネ定数を有するバネ
であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に
記載の電磁アクチュエータ。 - 【請求項10】前記固定子の凹凸部と前記可動子の凹凸
部が、前記バネの移動方向に平行なくし歯状であること
を特徴とする請求項8または請求項9に記載の電磁アク
チュエータ。 - 【請求項11】ミラー部を可動子によって可動するよう
にした光偏向器において、前記可動子が請求項1〜10
のいずれか1項に記載の電磁アクチュエータにおける可
動子によって構成されていることを特徴とする光偏向
器。 - 【請求項12】レンズ部を可動子によって可動するよう
にした光偏向器において、前記可動子が請求項1〜10
のいずれか1項に記載の電磁アクチュエータにおける可
動子によって構成されていることを特徴とする光偏向
器。 - 【請求項13】固定子に対して可動子を支持手段によっ
て平行移動可能に支持する構成を備え、前記固定子をコ
ア部にコイルを周回させた固定コアによって形成し、か
つ前記可動子がコア部にコイルを周回させた可動コアに
よって形成すると共に、これら固定コアと可動コアとを
空隙を介して磁気的に結合して、これら固定コアと可動
コアとが前記磁気 的に結合される位置において、前記固
定子に対する前記可動子の平行移動方向に該固定子及び
可動子がそれぞれ凹凸部を有し、これらの凹凸部が互い
に空隙を介して噛み合うように構成し、 前記固定コアまたは前記可動コアのコア部に周回させた
少なくともいずれか一方のコイルに、電流印加手段を介
して通電して前記固定子に対して前記可動子を平行移動
するようにした電磁アクチュエータの作製方法であっ
て、 基板上にフォトリソグラフィーとメッキとにより可動子
と固定子と支持手段を形成する工程と、 前記基板を裏面よりエッチングし、可動子の下部の基板
を除去して該可動子を前記支持手段によって支持するよ
うにする形状部を形成する工程と、 を少なくとも有することを特徴とする電磁アクチュエー
タの作製方法。 - 【請求項14】前記基板が、シリコン基板であることを
特徴とする請求項13に記載の電磁アクチュエータの作
製方法。 - 【請求項15】前記基板を裏面よりエッチングする工程
が、前記シリコン基板を異方性エッチングする工程であ
ることを特徴とする請求項14に記載の電磁アクチュエ
ータの作製方法。
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