DE2437938C3 - Oberflächenschallwellenvorrichtung - Google Patents
OberflächenschallwellenvorrichtungInfo
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Description
2. YoTMchtaaig mada Anspruch !L, daäwtch gekecnzeädhuet,
daß tue PeiäiiÄräfiJtem ijjsti, j?$ der Raster
(31,32) verschieden gewählt sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Breiten (as, ai) tier die Raster (31,
32) bildenden leitenden Streifen verschieden gewählt sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, mit einem Sendewandler (11) auf einem Wieg (21) und einem
Empfangswandler (12,13) auf mindestens einem der beiden Wege (22, 21), dadurch gekennzeichnet, daß
der Energiebruchteil, der von einem Weg (21) auf den anderen Weg (22) übertragen whd, durch die
Wahl des Verhältnisses—zwischen den Periodizitä-
Pi
ten der beiden Raster (31, 32) durch die Breiten (au
fi2) der leitenden Streifen dieser Raster, durch die
Anzahl N von leitenden Streifen dieser Raster und
durch das Verhältnis^der Breiten der Wege (21,22)
festgelegt ist
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, welche eine Energiekonzentriervorrichtung bildet, in welcher die
Breite (L2) eines Weges (22) kleiner ist als die Breite (L\) des anderen Weges (21) der Sendewandler (11)
an dem Eingang des breitesten V/eges (21) und ein Empfangswandler (12) an dem Ausgang des
schmalsien Weges (22) angeordnet ist, und in welcher die Anzahl N von leitenden Streifen gleich
einem Wert Nt gewählt ist, der einer Phasenverschiebung von π zwischen den verallgemeinerten
symmetrischen und antisymmetrischen Ausbreitungsarten der Schallwellen auf den Wegen
entspricht, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der Periodizitäten der Raster (31, 32)
folgendermaßen gewählt ist:
P2
1 + K] ·2
Κ\ 1}
2' L·
Κ\ 1}
2' L·
wobei K j und /C|die scheinbaren Kopplungsfaktoren
für diese Wege (21,22) sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, mit breitem Nutzfrequenzband, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anzahl A/von leitenden Streifen gleich Ntgewählt
ist.
7, Vorridhtung mach A-nspruch ;6, die 'einen
Koppler mit m<ßB ibildet, mit oeinem ersten 'Sende-'wamäler
(Hi), oder ;an dem 'Eingang eines «ersten
Weges (21) angeordnet ist, und mit einem an dem Ausgang jedes >der beiden Wege(22,21) angeordneten
(Empfangswandler (12,13),cdaduTch gekennzeicli-
-net, daß das Verhältnis pilijh iso gewählt ist, daß
folgende Beziehungerfülltist
IO log
Pa V2
_ JLT
XiJ
= π-dB
J.
an wfücher (dfie Wsnfce i\\ axstä t
tsn (der SchaHbvEüsn müter f^m Κ^πετη umfl iäie
art auf dm mrötirimarmiW
ΑτΤΤΒΤΒΠΤΊΓΤΐΊ /I11 TTnT
WaEäer (14) zum AmsscnäEn Trastn WeUEa anT ufem
zweälen Weg (22) zu dnna Kojjjüra; oäaihmnh
gekennzeichnet, daß die auf dem foädan Waagen |21,
22) durch den ersten Wandler (U) ead den -wienen
Wandlet (14) aiisgesandten Wellen den Koppler in
Phase erreichen, und daß der Wert α gfeädh —3
gewählt ist, so daß von den Empfangswandkrn der
eine die Summe der Amplituden der ausgesandlen
Signale und der andere die Differenz dieser Amplituden empfängt
9. Vorrichtung nach Anspruch 6, die einen Richtkoppler bildet, in welchem die beiden Ausbreitungswege
kolinear sind, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sendewandler (40) symmetrischer Bauart
zwischen den beiden Wegen (21, 22) in gleichem •Abstand von den Rastern (31, 32) angeordnet ist,
damit die durch diesen Wandler (40) in entgegengesetzten Richtungen ausgesandten Signale die Raster
(31,32) des Kopplers in Phase erreichen, und daß das
Verhältnis pilpi derart gewählt ist, daß folgende
Beziehung erfüllt ist: '
10 log
"2
/ i
Pi
■-£
- = -3dB
in welcher die Werte i\ und 12 die Geschwindigkeiten
der Schallwellen unter den Rastern und die Werte Vaj, und Vas2 die Geschwindigkeiten der
verallgemeinerten antisymmetrischen Ausbreitungsart auf den miteinander gekoppelten Wegen (21,22)
darstellen.
Die Erfindung bezieht sich auf Oberflächenschallwellenvorrichtungen,
die auf den Ausbreitungswegen dieser Wellen und senkrecht zu der Ausbreitungsrichtung
Raster aus zueinander parallelen leitenden Streifen aufweisen.
Es ist bekannt, Insbesondere aus der FR-PS 21 35 303, daß die Raster ans leitenden Streifen die Aufgabe haben,
mehrere Ausbreitnngswege von Oberflächenschallwel-Uen
miteinander zu koppeln, um die Energie sines Weges vollständig oder nicht vollständig auf einen anderen
Weg zu übertragen. Verschiedene Anwendungen sind möglich, wie etwa insbesondere die Strahlkonzentraition,
indem die Anzahl der leitenden Streifen und die -Phasenverschiebung zwischen Rastern passend gewäiilt
'werden. Ein großer Nachteil der bislang bekannten Vorrichtungen besteht jedoch darin, daß das Nutzfre-(quenzbanfl
(dieser 'Vorrichtungen verhältnismäßig beschränkt ist. Das gilt insbesondere Tür die StrahlkonzenttrieroOrrichtungen,
bei welchen (die für jeden der Wege werwendeten !Raster gegeneinander um eine Viertelschall
wellenlänge "verschöben sind.
Em Ziel üer Erfindung ist es, diesen Nachteil zu
!beseitigen, ändern %rmichiungen geschaffen werden, die
Tm (BiTiEm JfrrrrirtBn !RnmjnFmTihtmri mfaratesn ik-OTWen.
Ein scilches Ergebnis wird jgeinäB der Erfindung
eäajännrih (erzielt daß nicht däenüsche Raster verwendet
wBnäBn, feel welchen tem coder mehren: Parameter, wie
etwa &ne PeriodizrSi, ährse Breite oder auch die Breite
der leitenden Streifen, in irimrnn !bestimmten, von Eins
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von
Ausiährut^säaeispiden der Erfindung. In den Zeichnungen
zeigt
Fig. 1 eise schematische Darstellung einer Vorrichtung
nach der Erfindung, die als Energiekonzentriervorrichtung
verwendet wird,
F i g. 2 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung
nach der Erfindung, die als Koppler verwendet
wird,
Fig.3 eine abgewandelte Ausführungsform und
Verwendungsart des Kopplers von F i g. 2, und
Fig.4 eine abgewandelte Ausführungsform und
Verwendungsart der Vorrichtung von F i g. 3.
F i g. 1 zeigt in Draufsicht und in beliebigem Maßstab das Prinzipschaltbild einer Vorrichtung nach der
Erfindung. In dieser Vorrichtung legt ein Oberflächenschallwellenwandler
11 der Breite L\, der beispielsweise von der Bauart mit ineinandergefügten Kämmen ist,
einen Ausbreitungsweg 21 von Oberflächenschallwellen eines ersten Substrats 1 fest, bei welchem es sich
beispielsweise um ein piezoelektrisches Material handelt. Auf dem Weg 21 ist senkrecht zu der
Ausbreitungsrichtung der Wellen ein Raster 31 aus N parallelen, leitenden metallischen Streifen angeordnet,
der eine konstante Teilung p\ hat. Ebenso wie bei dem Substrat 1 legt ein Wandler 12 der Breite Li an der
Oberfläche eines zweiten Substrats 2 einen Ausbreitungsweg 22 fest, auf welchem ein Raster 32 aus N
parallelen, leitenden metallischen Streifen angeordnet ist, der eine konstante Teilung pi hat. Die beiden
Substrate 1 und 2, die vorzugsweise so nahe wie möglich beieinanderliegen, ja sogar vorteilhafterweis;: vereinigt
sind, haben leitende Streifen 33, die die Streifen der Raster 31 bzw. 32 miteinander verenden.
Bezüglich der Ausbreitunfe von Oberflächenschallwellen
unter Rastern von parallelen leitenden Streifen sind bereits verschiedene Untersuchungen durchgeführt
worden, von denen beispielsweise eine in dem Aufsatz von MAERFELD und TOURNOIS »Perturbation
theory for the surfacewave multistrip coupler« veröffentlicht
wurde, der in »Electronics Letters«, Band 9, Nr. 5.8. März 1973. S. 115 und 116. erschienen ist.
Verschiedene Parameter beeinflussen die Ausbreitung einer Oberflächenschallwelle unter einem Raster
von paraHelen, metallischen leitenden Streifen, wie beispielsweise die Periodizität ρ dieser Streifen, ihre
Breite a und ihre Anzahl Λί Zum Verändern der
Ausbreitungsgeschwindigkeit r einer Welle unter diesem Raster kann man insbesondere zwischen den
Streifen und Masse zusätzliche Kapazitäten anordnen. Die maximale Änderung, die auf diese Weise erzielt
werden kann, ist durch einen Wert K? festgelegt, der als
scheinbarer Kopplungsfaktor bezeichnet wird und folgenden Ausdruck hat
K1 = 2
wobei γ* die Geschwindigkeit der Welle unter den
Streifen bei offenem Kreis, vc dieselbe Geschwindigkeit
!bei Kurzschluß und i'jjdie Rayleigh-Geschwindigkeit ist.
Wenn zwischen den benachbarten leitenden Streifen !zusätzliche Kapazitäten desselben Wertes q angeordnet
sind, so ist die Geschwindigkeit ν der OberflächenschaJI-welle
unter den Streifen durch folgende Beziehung jgegeben
— — 1 =
1+ q/c
wobei c die ursprüngliche Kapazität zwischen zwei benachbarten Streifen ist.
Bei der in F i g. 1 schematisch dargestellten Vorrichtung werden diese Kapazitäten für den Raster 31 durch
den Raster 32 gebildet, und umgekehrt Die Geschwindigkeit ν ι der Oberflächenschallwelle, die sich unter dem
Raster 31 ausbreiten würde, wenn der Weg 22 nicht piezoelektrisch wäre, ist durch folgende Beziehung
gegeben:
ü _ 1 - *i
in welcher K \ der scheinbare Kopplungsfaktor des Weges 22, Ci die Eigenkapazität zwischen Streifen des
Rasters 32 und q2 die durch den Raster 31 gebildete
zusätzliche Kapazität ist; die Kapazität Cz des Rasters
33 wird vernachlässigt.
Wenn p\ und pi die Periodizitäten der Raster 31 bzw.
32 sind, so gilt für die scheinbare Geschwindigkeit 1-22
der Wellen auf dem Weg 22, gesehen von dem Weg 21 her,
'22 = l'2 "Γ" ·
Es ist zu erkennen, daß für eine festgelegte Anzahl Nt
von leitenden Streifen eine totale Energieübertragung zwischen den Wegen 21 und 22 stattfindet, und
umgekehrt, wenn die Bedingung 2? = i'i erfüllt ist.
Wenn man nun davon ausgeht, daß die beiden Wege 21 und 22 gleichzeitig piezoelektrisch sind, so führt das
zur Berücksichtigung der Tatsache, daß nun zwei Ausbreitungsarten für diese Struktur vorhanden sind.
Die eine dieser Ausbreitungsarten, die verallgemeinert als symmetrische Art bezeichnet wird und eine
Geschwindigkeit V1 hat, besitzt Amplituden desselben Vorzeichens auf den Wegen 21 und 22, während die
andere Ausbreitunesart mit einer Geschwindigkeit V..
die verallgemeinert als antisymmetrische Ausbreitungsart bezeichnet wird, auf diesen Wegen Amplituden mit
entgegengesetzten Vorzeichen besitzt.
Durch eine mathematische Überlegung wird nun gezeigt, daß für den Bruchteil W der Energie, der von
dem Weg 21 auf dem Weg 22 übertragen wird, gilt:
W =
1 + X2
X2 =
Pi
p, r± _ JLVi - ja
NT =
(C1 + C2 + C3) 2
C1C2 κ2 κι
Wenn man identische Substrate 1 und 2 und vorzugsweise Substrate aus eini und demselben Block
wählt und die Tatsache berücksichtigt, daß die Breite Li
viel größer ist als die Breite. £& beispielsweise -j~~ ^; 10,
so vereinfacht sie die obige Beziehung und es ergibt sich:
wobei Vas\ die Geschwindigkeit der verallgemeinerten
antisymmetrischen Ausbreitungsart auf dem Weg 21 und V1152 die Geschwindigkeit der verallgemeinerten
antisymmetrischen Ausbreitungsart auf dem Weg 22 ist, von dem Weg 21 her gesehen, und außerdem mit
25
wobei Ai die Schallwellenlänge auf dem Weg 21
darstellt. Die Bedingung der totalen Energieübertragung ist nun doppelt und wird einerseits durch X2^O
und andererseits durch N=Nt ausgedrückt. Damit A^=O verwirklicht wird, genügt es, daß gilt V\ = (p\/
P2) r2, wobei es sich um die zuvor angegebene Bedingung
handelt. Die Bedingung N=/Vybedeutet, daß die Anzahl
N von leitenden Streifen so gewählt wird, daß die Phasenverschiebung zwischen den verallgemeinerten
symmetrischen und antisymmetrischen Ausbreitungsarten für die Wechselwirkungslänge gleich π ist.
Für die oben beschriebene Vorrichtung können verschiedene Anwendungen in Betracht gezogen
werden, je nachdem, wie man bestimmte ihrer
Parameter abändert, wie etwa das Verhältnis —, die
Vi
Breite a der leitenden Streifen oder aber die Breiten L\ und L2 der Ausbreitungswege 21 bzw. 22.
Die in F i g. 1 dargestellte Vorrichtung kann deshalb beispielsweise dazu verwendet werden, eine Energiekonzentriervorrichtung
herzustellen, das heißt eine Verringerung der Breite des ausgesandten Schallstrahls
ohne Energieverlust zu verwirklichen. Zu diesem Zweck wird die Anzahl N von leitenden Streifen der Raster 3i
und 32 gleich Abgewählt (dieser Wert ist oben definiert). Die Breite L2 des Rasters 32 wird kleiner als die Breite
L\ des Rasters 31 und gleich der gewünschten Breite für den Strahl gewählt Unter diesen Bedingungen können
die Geschwindigkeiten V2 und i'i nicht gleich sein, da die
zusätzlichen Kapazitäten qt und q2 sehr verschieden
sind.
Damit die Bedingung für die totale Energieübertragung Vi = (PiZp2)Vx erfüllt ist, müssen folglich die
Perioden p\ und pi verschieden gewählt werden. Diese
Beziehung kann auch folgendermaßen ausgedrückt werden:
30
35
Pi
weil zv/ischen den Verhältnissen^ und-r1 Proportionali-
tat besteht.
Diese vereinfachte Beziehung gibt somit das Verhältnis — der Periodizitäten der Raster 31 und 32 an, das
gewählt werden muß, damit eine Konzentration des Strahls der Breite L\ zu einem Strahl der Breite L2
erfolgt Ebenso kann man ein ähnliches Resultat erhalten, indem pi/p2=l gewählt wird, indem aber die
Breiten a\ und a2 der leitenden Streifen jedes Rasters 31
bzw. 32 zweckmäßig gewählt werden, weil die scheinbaren Kopplungsfaktoren K \ und K \ bekannte
Funktionen dieser Breiten a\ und a2 sind.
Gemäß der schematischen Darstellung in F i g. 1 ist es bei einer Energiekonzentriervorrichtung nach der
Erfindung nicht erforderlich, daß die beiden Ausbreitungswege 21 und 22 parallel zueinander sind. Eine
Konzentriervorrichtung, in welcher sie parallel sind, arbeitet selbstverständlich ebensogut Diese Konzentriervorrichtung
kann in einem breiten Frequenzband verwendet werden, im Gegensatz zu den bislang
bekannten Konzentriervorrichtungen, in welchen eine
konstante Verschiebung um χ zwischen den entsprechenden
Streifen der beiden verwendeten Raster erforderlich ist, damit die totale Energieübertragung
erzielt wird, was eine Beschränkung des Nutzfrequenzbandes erzwingt.
Beispielsweise wird ein Strahl oder Bündel mit einer Breite von 4 mm in einem Verhältnis 10 verringert,
indem eine Energiekonzentriervorrichtung nach der Erfindung verwendet wird, die zwei Raster 3t und 32
mit jeweils 190 leitenden Streifen hat, wobei diese Streifen eine Breite von a\ = a2=5 μπι haben und wobei
die Teilungen dieser Raster gleich ρι = 10,1 μΐη bzw.
ρ^ΙΟμηι bei einer Schallwellenlänge λι=27μΐη
betragen.
Eine Vorrichtung nach der Erfindung, insbesondere eine Vorrichtung ähnlich der in Fig.2 schematisch
dargestellten, kann in gleicher Weise zum Koppeln Von
Ausbreitungswegen, wie etwa der Ausbreitungswege 21 und 22, durch Aufteilen der Energie des einfallenden
Bündels auf dieselben verwendet werden. Ein Koppler mit einem Wert η dB, wobei π eine beliebige Zahl ist
kann deshalb unter der Bedingung hergestellt werden, daß 10 log W= π gilt, wobei W, wie zuvor definiert der
von dem Weg 21 auf den Weg 22 übertragene Energieanteil ist
Bei den bereits bekannten Streifenkopplern gut pi = P2 und ν ι =v2. Es verbleibt somit
W = sin2
:N
2 NT
Damit man beispielsweise einen Koppler mit 3 dB erhält, muß man notwendigerweise N= -γ- wählen.
Nun erzeugt aber eine kleine Änderung des Wertes Nt mit der Frequenz eine nicht vernachlässigbare Änderung
des Wertes W, was eine beträchtliche Begrenzung des Nutzfrequenzbandes dieses Kopplers darstellt. Bei
einem Koppler nach der Erfindung wählt man vorteilhafterweise N=Nt, damit man über das Maximum
des Nutzfrequenzbandes verfügt, denn es besteht nun eine geringere Empfindlichkeit gegenüber der
Änderung des Wertes Nt, weil sin2 γρ- maximal ist.
Es gilt nun
"dB
= IO log
10
was ermöglicht, entweder das Verhältnis—oder die
Pi
Werte von at und ai zu wählen, die diese Beziehung
erfüllen.
Der Koppler von Fi g. 2 hat zwei Raster31 und 32 mit verschiedenen Teilungen p\ bzw. pz, die vorzugsweise
auf ein und demselben piezoelektrischen Substrat 1 angeordnet sind und dieselbe Breite L haben. Die
Bezugszahlen 11 bis 13 bezeichnen Oberflächenschallwellen-Sende-Empfangswandler,
beispielsweise der Bauart mit ineinandergefügten Kämmen. Beispielsweise wählt man zur Herstellung eines Kopplers mit 3 dB
folgende Werte:
ai = »2 = 5 μπι, pi = 10,2 μπι, jo
Pi= 10 μιη,Λι=30 μπι
und N= 78 leitende Streifen.
In dem Beispiel von Fig. 2 sind die Wege 21 und 22
parallel. Sie können ebensogut nicht parallel sein; die j;
leitenden Streifen sind dann beispielsweise wie in Fi g. 1 angeordnet.
F i g. 3 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform und Verwendungsari eines Kopplers mit 3 dB, welcher zwar
ähnliche Kenndaten wie die für die Vorrichtung von Fig. 2 angegebenen aufweist, jedoch darüber hinaus
ermöglicht, Summenwege und Differenzwege herzustellen.
Wenn A und B die Amplituden der Signale sind, die von den Wandlern 11 bzw. 14 ausgesandt werden,
zeipt es sich, daß die Amplituden der an den Wandlern 4-,
12 und 13 wiedergewonnenen Signale proportional zu A + B und A -B sind.
Bei der Vorrichtung von F i g. 4 handelt es sich um eine abgewandelte Ausführungsform der Vorrichtung
von F i g. 3, in welcher die Wege 21 und 22 kolinear sind. Der Eingangswandler 40 ist als symmetrischer Typ
gewählt und in gleichem Abstand Io von den Rastern 31 und 32 zwischen den beiden Rastern angeordnet. Der
Verbindungsraster 33 besteht hier aus gekrümmten Linien. Die Betriebsweise dieser Vorrichtung ist der von
Fig.3 analog, da sie einen Summenweg und einen Differenzweg aufweist. Wegen des symmetrischen
Aufbaus des Sendewandlers 40 wird ein und dasselbe Signal über die beiden Wege 21 und 22 geschickt, so daß
am Ausgang eines Weges kein Signal wiedergewonnen wird, während am Ausgang des anderen Weges der
Wandler 12 das gesamte ausgesandte Signal wiedergewinnt. Mit einer solchen Vorrichtung läßt sich ein
Richtkoppler besonders vorteilhaft herstellen.
Bei einer Abänderung der Struktur von Fig.4, bei
welcher man den Wandler 40 beseitigt und bei welcher eine Welle durch den Wandler 12 ausgesandt wird,
verhält sich die durch die Raster 31,32 und 33 gebildete Anordnung wie ein Reflektor und schickt die gesamte
Energie in Richtung des Wandlers 12 zurück, und zwar aufgrund der Verknüpfungen von Signalen auf den
Summen- und Differenzwegen dieser Vorrichtung. Oben sind einige Anwendungsfälle der Vorrichtung
nach der Erfindung beschrieben worden und es ist selbstverständlich, daß die Erfindung jede andere
Anwendung umfaßt, bei welcher eine Struktur verwendet wird, die von zwei Rastern aus parallelen leitenden
Streifen Gebrauch macht, welche m teinander verbunden sind und unterschiedliche Kennwerte der Periodizität
oder der Breite der Streifen haben.
Hinsichtlich der Herstellung dieser Vorrichtungen macht die Erfindung Von bekannten Verfahren zum
Aufbringen von Metallisierungen durch Masken hindurch Gebrauch. Die Haupterscheinung, die untersucht
worden ist, weil sie am vorteilhaftesten zu sein scheint, ist die wechselweise Umformung von elektrischer
Energie in mechanische Energie durch den Piezoeffekt. Bei der Erfindung kann aber ebenso jeder andere Effekt
verwendet werden, wie beispielsweise der elektromotorische Effekt oder auch die Elektrostriktion.
Hierzu 2 BUm Zeichnungen
Claims (1)
1. Oberflächensehallwellenvorrichtung mit mindestens zwei Auslineitungswegen (21, 22) ifür
!©berflächenschail.wellen und mit einem ©rjerfläiGhenschallwellerikoppler
zwischen diesen !beiden Wegen, welcher aus einem ersten Raster 'von
zueinander .parallelen und in gleichen Albständen angeordneten !leitenden Streifen.dieauf ,amEm Weg
!angeordnet slnij, amd aus sinem zweiten Easter wm
•,zueinanäer !parallelen und fm jgleidhmaBigen A'bsfän-(den
angeordneten leitenden Streifen bestem, die auf
dem anilenen Wieg angeordnet sind, wobei (dtie
Streuen aufheitern Weg senkrecht zn der Amsfaneiitungsnidhttmg
dar Wdllen sind amcl wrfbEl diE !biMen
BastBrdunch einan VaarhuArngsnaster ((3^) arötrimwn-(fler
wcaihimdansm4, dadmncih gekeüamzeicihmtei»,,
<Mß idie Ibßiiäen föesler ißt, 32) in sriinäESleiis
dmem ührer Parameter,, IRsinaiißiätät, Breite des
!Rasters ©der StnEaforibnehe nmteaschiedBch gewählt
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2437938A1 DE2437938A1 (de) | 1975-02-20 |
DE2437938B2 DE2437938B2 (de) | 1979-07-26 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4038614A (en) * | 1975-06-16 | 1977-07-26 | Hughes Aircraft Company | Fractional efficiency coupler |
US3988703A (en) * | 1975-12-31 | 1976-10-26 | Zenith Radio Corporation | Acoustic surface wave device having split-isolated or split-connected multistrip coupler |
US3987379A (en) * | 1976-01-02 | 1976-10-19 | Zenith Radio Corporation | Acoustic surface wave filter having combined split-isolated and split-connected coupler |
US4079342A (en) * | 1976-09-15 | 1978-03-14 | Sperry Rand Corporation | Fanned multistrip coupler filters |
US4191934A (en) * | 1978-12-11 | 1980-03-04 | Sperry Corporation | High efficiency wide band surface acoustic wave coupler processors |
SU945951A1 (ru) * | 1979-03-21 | 1982-07-23 | Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср | Фильтр на поверхностных акустических волнах |
US4369390A (en) * | 1981-01-30 | 1983-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Symmetric beam width compression multistrip coupler |
US4417221A (en) * | 1982-04-02 | 1983-11-22 | Harris Corporation | Surface acoustic wave device having improved multi-strip coupler |
US4510471A (en) * | 1982-07-05 | 1985-04-09 | U.S. Philips Corporation | Acoustic surface wave device including a reflective multistrip coupler |
GB2123636A (en) * | 1982-07-05 | 1984-02-01 | Philips Electronic Associated | Acoustic surface wave device including a reflective multistrip coupler |
GB2127249A (en) * | 1982-09-20 | 1984-04-04 | Philips Electronic Associated | Acoustic surface wave device |
US4556949A (en) * | 1983-04-04 | 1985-12-03 | Sperry Corporation | Three wave surface acoustic wave (SAW) signal processor |
JPS62209264A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-14 | Daikin Mfg Co Ltd | 3要素多段型トルクコンバ−タ付き動力伝達装置 |
JPS62228753A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-07 | Daikin Mfg Co Ltd | 3要素多段型トルクコンバ−タ付き変速機 |
DE4212517C2 (de) * | 1992-04-14 | 1995-02-23 | Siemens Ag | Oberflächenwellenanordnung mit mindestens zwei in Richtung der Hauptwellenausbreitung benachbarten Oberflächenwellen-Strukturen |
DE4214122C2 (de) * | 1992-04-29 | 2001-02-22 | Siemens Ag | Zweispur-Oberflächenwellenanordnung mit verbesserter Selektionseigenschaft |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3739290A (en) * | 1971-05-05 | 1973-06-12 | Secr Defence | Acoustic surface wave devices |
-
1973
- 1973-08-07 FR FR7328793A patent/FR2269237B1/fr not_active Expired
-
1974
- 1974-08-01 US US05/493,976 patent/US3947783A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-08-07 JP JP49089930A patent/JPS5744252B2/ja not_active Expired
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- 1974-08-07 GB GB3489474A patent/GB1476770A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3947783A (en) | 1976-03-30 |
JPS5744252B2 (de) | 1982-09-20 |
DE2437938A1 (de) | 1975-02-20 |
GB1476770A (en) | 1977-06-16 |
FR2269237B1 (de) | 1977-08-26 |
FR2269237A1 (de) | 1975-11-21 |
JPS5046092A (de) | 1975-04-24 |
DE2437938B2 (de) | 1979-07-26 |
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