DE2434790A1 - Lichtempfindliche polymere verbindungen - Google Patents

Lichtempfindliche polymere verbindungen

Info

Publication number
DE2434790A1
DE2434790A1 DE2434790A DE2434790A DE2434790A1 DE 2434790 A1 DE2434790 A1 DE 2434790A1 DE 2434790 A DE2434790 A DE 2434790A DE 2434790 A DE2434790 A DE 2434790A DE 2434790 A1 DE2434790 A1 DE 2434790A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
group
photosensitive
carbon atoms
light
hydrogen atom
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE2434790A
Other languages
English (en)
Inventor
Donald Noel Hunter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE2434790A1 publication Critical patent/DE2434790A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/0622—Polycondensates containing six-membered rings, not condensed with other rings, with nitrogen atoms as the only ring hetero atoms
    • C08G73/0638—Polycondensates containing six-membered rings, not condensed with other rings, with nitrogen atoms as the only ring hetero atoms with at least three nitrogen atoms in the ring
    • C08G73/0644—Poly(1,3,5)triazines
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
    • C08G65/34—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives
    • C08G65/38—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives derived from phenols
    • C08G65/40—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives derived from phenols from phenols (I) and other compounds (II), e.g. OH-Ar-OH + X-Ar-X, where X is halogen atom, i.e. leaving group
    • C08G65/4006—(I) or (II) containing elements other than carbon, oxygen, hydrogen or halogen as leaving group (X)
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
    • C08G65/34—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives
    • C08G65/38—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives derived from phenols
    • C08G65/40—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule from hydroxy compounds or their metallic derivatives derived from phenols from phenols (I) and other compounds (II), e.g. OH-Ar-OH + X-Ar-X, where X is halogen atom, i.e. leaving group
    • C08G65/4012—Other compound (II) containing a ketone group, e.g. X-Ar-C(=O)-Ar-X for polyetherketones
    • C08G65/4031—(I) or (II) containing nitrogen
    • C08G65/4037—(I) or (II) containing nitrogen in ring structure, e.g. pyridine group
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/008—Azides
    • G03F7/012—Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Polyethers (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

Lichtempfindliche polymere Verbindungen
Die Erfindung bezieht sich aiif lichtempfindliche polymere Verbindungen, auf die Herstellung dieser Verbindungen sowie auf diese Verbindungen enthaltende lichtempfindliche Zusammensetzungen»
Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf lichteirrpf indliche cyansäure Azidpolykondensat e ,
Die beiliegenden Zeichnungen zeigen gewisse chemische Strukturfornein, die reihenmässig für Identifikationszwecke nummeriert und nachstehend näher beschrieben werden.
Es ist bekannt, dass polymere Verbindungen bei photoraechanischeu Druckprozessen ε.1ε lichtempfindliche Mittel angewendet worden sind-. So wurden lichtempfindliche polyrasre Verbindungen dazu verwendet, positive oder negative photo—
S09807/1028
PHB.32356.
243247904'
graphische Reliefbilder auf der Oberfläche von Substraten zu·erzeugen, dadurch, dass die Oberfläche eines Substrats mit einer lichtempfindlichen, die betreffende Verbindung enthaltenen Zusammensetzung tiberzogen wurde, wobei wenigstens ein Teil des Ueberzugs mit emittiertem Licht belichtet, der belichtete oder unbelichtete Teil des Schutzüberzugs entfernt und die. Oberfläche des Substrats (z.B. durch Aetzen oder auf galvanischem Wege) behandelt wurde, um ein geeignetes positives odei- negatives Abbild des belichteten Gebietes auf der Oberfläche des Substrats zu erhalten.
Bisher wies die Erzeugung photomechanischer Schutz— zusammensetzungen auf der Oberfläche von Substraten gewisse Nachteile, wie ein niedriges Auflösungsvermögen, eine schlechte Randschärf© des projizierten Bildesj "Peinlunker" und andere Defekte in dem entwickelten Bild, wie eine schlechte Haftung des Schutzüberzugs am Substrat und unerwünschte Oxidation oder Unstabilität des Schutzüberzugs, auf.
Aus den britischen Patentschriften Sk3 5hl und 843 5^2 ist bekannt, dass filmbildende, lichtempfindliche, synthetische Polymere hergestellt werden können, die bei Belichtung unlöslich gemacht werden können, wobei die Polymere eine grosse Anzahl Seitenketten enthalten, die an darin vorhandene Kohlenstoffatome gebundene -N^-Gruppen aufweisen, von denen nicht mehr als zwei an irgendeine Seitenkette gebunden sind. Solche lichtempfindliche Polymere sind als
509807/1028
"3
PHB.32350.
beschrieben trad dargestellt, in vrelch'er Formel U wiederholt vorkommende Atome der eigentlichen Polymerkette und Z eine die Azidgruppe zusammenfügende Bindung darstellt, Charakteristische beschriebene Bindungen werden als zweiwertige RadikaJLe aromatischer Stoffe gegeben.
Die Azidgruppe ist jedoch sehr x^eaktiv und es ist sehr schwierig, aromatische Azidogruppen zxx pol\nnerisieren, um lichtempfindliche stabile polymere Verbindung zu erhalten,
Aninclderin hat gefunden, dass es möglich ist, stabile, neue lichtempfindliche polymere Verbindungen herzustellen, die sich zur Anwendung entweder als solche oder in Form ihrer Zusanmeiisetzungen in phot-omechanischen Prozessen eignen, indem sie di*rch Belichtung in selektierten Lösungsmitteln unlöslich genacht werden.
Die lichtenpfindlichen polymeren Verbindungen nach der Erfindung sind dadurch gekennzeichnet, dass sie der allgemeinen Formel I
-0— R
.0 C C
N N
V/
I)
ent sprechen, in der
509807/1028
PUB.3235 -U- 20,5.7;-f.
η eine ganze Zahl zwischen 2 und 120 ist xxnd R steht für eine
Phenylen-1,3-
Phenylen-1,4-
1 -Phenylcarbonylph.enylen-2, k-
1-Phenylcarbonylphenylen-2,6-
2,2'-Diphenylcarbonyl-
2,3'-Diphenylcarbonyl-
oder eine
1 -Alkylcarboiiylph.enylen-2 ,5-
1 -Alkylcarbonylphenylen-2, h-
1-Alkylcarbonylphen3'"len-2, 6-Grxippe , wobei die
1 bis h Kohlenstoffatome enthält, oder eine
Naphtylen-2,7-
Naphtylen-2f6- oder
Naphtylen-2,4-Gruppe,
wobei die Phenylgruppen erwUnschtenfalls mit einer oder zvei Alkylgruppon mit 1 bis h Kohlenstoffatomen oder einer Phenyl gi-uppe sxibstituiex-t sind.
Die Azidogruppe, die als -N,, dargestellt ist (siehe die obenstehende Formel l), kann auch als die Resonanzstruktur
dargestellt werden, wobei die Photoempfindlichkeit des Polykozidensats annalauievieise durch die Zersetzung der Azido gruppe
509807/1028
- 5 - " 20.5.7^.
durch von aufgestrahltem aktinischem Licht- empfangene Energie herbeigeführt wird, vas freie LTertigkeiten zur Folge hat, die Bindungen durch weitere Vernetzung mit benachbarten PoIykondensatmolekUlen bilden und dadurch die Unlöslichkeit von Polykondensat in der belichteten Zone vergrössern.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind lichtempfindliche Verbindungen nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass R eine Naphtaliiie-2,7-Gruppe, eine 1-Bsnzoylphenylen~2,4-Gruppe, eine 1-Benzoylphenylen-2,6-Gruppe, eine 1-Acetylphen3rlen~2,h- oder eine Phenylen-1,3-Gruppe darstellt.
Andere lichtempfindliche Verbind\ingen sind nach einer weiteren bevorzugten Ausführungsform dadurch gekennzeichnet, dass R eine Alkylcarbonylphenylen-2,6-Gruppe, wobei z.B. die Alkylgruppe eins Methylgruppe ist, eine 1-Alkylcarbonylphenylen-2, 5-, eine 2,3f-Diphenylcarbonyl-, eine 2,2?-Diphenyl· carbonyl-, eine Phenyl'en-1,h- oder eine Naphtylen-2,6-Gruppe darstellt.
Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung sind lichtempfindliche Zusamnensetzungen mit einer polymeren erfindungsgemässen Verbindung dadurch gekennzeichnet, dass diese Verbindung mit einem inerten Trägermaterial gemischt, oder in einem solchen Material gelöst oder dispergiert wird.
Die polymeren Verbindungen oder die lichtempfindlichen Zusammensetzungen, die daraus hergestellt werden, können auch r.rit Zusatzstoffen und/oder Licht sensibilisatoren gemischt werden, oder diese Stoffe und/oder Sensibilisatoren enthalten.
509807/1028
PH3.32356. - 6 - " · - 20.5.74.
Vorzugsweise werden die polymeren Verbindungen in einen geeigneten organischen Lösungsmittel mit erwünschtenfalls einem inerten Verdünnungsmittel gelöst. Besonders geeignete lichtempfindliche polymere Zusammensetzungen sind Lösungen mit 1,^-Dioxan, Toluol oder Cyclohexanon,
Vorzugsweise werden die Polykondensate mit aktinischem Licht aus jeder beliebigen Quelle und von jeder beliebigen Art belichtet. Geeignete tluellen -liefern Strahlung von Quecksilberdampflampenr Argonkugellarapen, Volframlampen, Kohlelichtbögen und photographischen Flutlampen, obgleich eine starke Lichtquelle zur Einleitung der Zersetzung der Azidogruppe und der daraus folgenden Vernetzung mit benachbarten Polykondensatmolekülen nicht unbedingt notwendig ist. Dies gilt insbesondere für Zusammensetzungen, in die u.a. optische Sensibilisatoren eingebaut sind. Auf diese Weise können die lichtempfindlichen und Photokondensationseigenschaften der Verbindungen nach der Formel I verbessert werden; z.B. wird dabei ein optischer oder Lichtsensibilisator in eine Zusammensetzung eingebaut, die Polykondensate nach der Erfindung, wie Michler's Keton (4,4'-Tetramethyldiaminobenzophenon), enthält. Andere geeignete optische oder Lichtsensibili· satoren, die in erfindungsgemässe Zusammensetzungen eingebaut werden können, sind: ρ, p'-Tetraäthyldiaminodipheiiyllceton, p,pf -Tetramethyldiaminodiphenylketon, ρ, ρ ' -Diniethylaninobenzophenon,1,2-Benzanthrachinon, ß-Chloranthrachinon, 9,10-Anthraohinon, 4-Nitro-2-chlorarLilin, 2,6-Dichlor~4~nitro-
anilin, 2,4,6-Trinitroanilin, 5-^itro-2-aminotoluol und p-ifitrodiphenyl,
509807/1028
PHB.3235ο. ■ . . - 7 - 20.5.7'n
Die Licht sensibilisatoren können erwünschtenfalIs zusammen mit anderen festen oder flüssigen Trägermaterialien während der Herstellung der erfindungsgemässen polymeren Verbindungen oder nach deren Herstellung, z.B. beim Anbringen der Verbindung oder die Verbindung enthaltenden Zusammensetzung auf einen Substrat, eingebaut werden.
Die Erfindung besieht sich auch auf lichtempfindliche Ueberzüge mit einer erfindungsgemUssen Verbindung oder Zusammensetzung, die auf einem Substrat angebracht werden.
Nach einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung lichtempfindlicher polymerer Verbindungen, das dadurch gekennzeichnet ist, dass in Gegenwart eines üblichen Lösungsmittels ein cyansaures Aziddihalogenid nach der Formel II
x-crc-x ii
Il I
K N
kondensiert wird, in welcher Formel X ein Halogenatom iiit einem Allcalimetallsalz einer dihydrοxyaromatischen Verbindung nach der Formel III
HO \li R_ III
darstellt, in der
R1
SQ9807/1028
PHB.32356,
R- ein ¥asserstoffatom oder eine Kj'riroxygruppe, R„ ein Wasserstoffatom, eine Hydroxy gam ppe, eine Alkylgruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen oder eine Pheny!gruppe, (
Ro ein T/asserstoffatom,' eine Hydroxy gruppe, eine Alkyl-. gruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen oder eine
Phenylgruppe, und
Rj, ein Wasserstoffaton, eine Alkylgruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen, eine Phenylgruppe , eine R^CO-Gruppe, wobei R- eine Allcylgruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen ist, eine Phenylgruppe oder eine Hydroxy— phenylgruppe darstellt,
mit der Massgabe, dass nur eines der Symbole R1, R« und R^ eine Hydroxygruppe darstellt und R„ und R«, zusamraen eine Tetramethylengruppe oder zusammen mit den Kohlenstoffatomen, an die sie gebunden sind, eine Benzogruppe bilden können, die mit einer Hydroxygruppe substituiert ist.
Geeignete dihydroxyaromatische Ausgangsmaterialien zur Herstellung der erfindungsgemässen Verbindungen sind: 1,3-Diliydroxybenzol, 1,4-Dihydroxybenzol, 2,4-Dihydroxyacetophenon, 2,5-Dihydroxyacetophenon, 2,6-Dihydroxyacetophenon, 2,4-Dihydroxypropiophenon, 2,5-Dihydroxypropiophenon, 2,6-Dihydroxypropiophenon, 2,4-Dihydroxybutyrophenon, 2,5-Dihydroxybut3rrophenon, 2,6-Dihydroxybutyrophenon, 2,4-Dihydroxyvalerot>henon, 2,5-Dihydroxy%ralerophenon, 2 , 6-Diliydroxyvalerophenon, 2 ,4-Dihydrox3'benzophenon., 2,5-DiI xybenzophenon, 2,6-Dihydroxybenzophenon, 2,2'-
809807/1028
PHB. - -9 - ' 20.5.72U
2 , 3' -Dihydroxybenzophenon void. 2, h -Dihydr oxyb en ζ ο ph en on.
Vorzugsweise wird cyansaures Aziddichlorid mit dem Natriumsalz von 2,7-Dihydroxynaphtalen, 2,4-Dihydroxybenzophenon, 2,6~Dihydroxybenzophenon, 2,4—Dihydroxyacetophenon oder 1,3-Dihydroxybenzol kondensiert.
Bei dem erfinduagsgemässen Verfahren kann 1 Mol cyansaures Aziddichlorid mit 1 Mol des iiatr'iumsalzes kondensiert v/erden, ■. .
Die Kondensationsreaktion zwischen dem Alkalimetallsalz einer dihydroxyarornati sehen Verbindung und cyansauren Aziddihalogeniden kann in jedem geeigneten Lösungsmittel durchgeführt werden, vorausgesetzt, dass mindestens eines der Ausgangsmaterialien und das so gebildete Polykoiidensat in dem gewählten Lösungsmittel löslich sind. Bei einer AusfUhrungsform wird das Dialkalimetallsalz von 2,7-Dihydroxynaphtalen mit cyansaurem Aziddihalogenid kondensiert, das in einem mit Wasser mischbarem organischen Lösungsmittel gelöst ist. Ein geeignetes mit Wasser mischbares Lösungsmittel kann aus der durch Aldehyde, Ketone und Alkohole gebildeten Gruppe gewählt werden, insbesondere wenn die darin vorhandene Alkyl— gruppe 1 bis 3 Kohlenstoffatome enthalt.
Vorzugsweise wird 1 Mol.äq. eines Dialkalimetallsalzes der dihydroxyaromatischen Verbindung mit 1 Mol.äq, des dihalocyansauren Azids kondensiert. Polykondensate nach der Erfindung weisen einen grossen Lichtempfindlichkeitsbereich, günstige fumbildende Eigenschaften, eine gute Lichtdurchlässigkeit und Biegsamkeit und günstige Haftungseigenschaften auf.
509807/1028
PKB.32356.
> W - 20.5.72J.
Vor der Belichtung mit- aktinischem Licht sind die Polykondensate insbesondere in Lösungsmitteln, vie Toluol, Xylol und C3-CI0-hexanon, löslich,-während sie nach Belichtung mit aktinischem Licht in diesen Lösungsmitteln unlöslich sind. Ausserdem ist das unlöslich gemachte Polymer gegen Säuren und Alkalis beständig, die bei Aetzvorgängen und galvanischen Ueberziehungsverfahren verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung schafft weiter ein Verfahren zur Anwendung bei photomechanischen Reproduktionsdruckvorgängen, das dadurch gekennzeichnet ist, dass ein lichtempfindliches Polykondensat nach der obenbeschriebenen Formel I über eine photographische Maske mit aktinischem Licht belichtet wird, welches Polykondensat die Form eines selbsttragenden Filmes der Verbindung nach der Formel I oder eines Ueberzuges auf einem Substrat aufweist, wobei diese Belichtung fortgesetzt wird r bis die Azidogruppe des Polykondensats in den belichteten Zonaa zersetzt ist, wonach das Polykondensat selektiv von den unbelichteten Zonen durch Behandlung mit einem Lösungsmittel entfernt wird. Das Polykondensat wird vorzugsweise auf der Oberfläche des Substrats in der Form einer Lösung dadurch angebracht, dass es in einem organischen Lösungsmittel, wie Toluol, Xylol oder Cyclohexanon, gelöst wird, wobei nach der Belichtung das Polykondensat vorzugsweise mittels desselben Lösungsmittels aus den unbelichteten Zonen entfernt wird.
Die Polykondensate nach der Erfindung können eine heterogene Zusammensetzung aufweisen, indem sie aus baulichen
5Q98Q7/1028
PHB.32356. - *-r - 2O.5.72».
Einheit err von Verbindungen mit verschiedenen Mo lekular gewicht en gebildet werden, wobei der besondere Typ und Molekulargewicht-bereich der wiederholt vorkommenden baulichen Einheit durch die Wahl der Ausgangsiiiaterialien und den Vernetzungsgrad nach der Belichtung bestimmt werden« ·
Das gewählte cyansäure Azidd!halogenid ist vorzugsweise cyansaures Aziddichlorid nach der Formel II, das nach dem von C.V.Hart, J. Am. Chem. Soc, 50, 1922 (1928) beschriebenen Verfahren hergestellt sein kann,
Substrate, die sich zum Ueberziehen mit erfindungsgemässen Polykondensaten eignen, können aus natürlichen oder künstlichen Feststoffen und/oder Verbundkörpern derselben bestehen, vorausgesetzt, dass die Oberfläche dazu geeignet ist, das Polykondensat zu tragen. Besonders geeignete Substrate bestehen aus laminaren Materialien, wie Metallblechen, z.B, Kupfer-, Aluminium-, Magnesium- und Zinkblechen oder -platten, zusammengesetzten lamellierten Plattenmaterialien, z.B. mit Kupfer überzogenen Phenolformaldehydlaminaten, und Kunststofffolienmaterialien, wie Polyvinylacetal, Celluloseestern, Polyäthylenterephtalat und Polyst}'rolfolie·. Andere geeignete Substrate bestehen aus Halbleitermaterialien, wie Silicium, Germanium oder Germanium-Silicium-Legierungen, und Metalloxidhalbleitern, wie Kupferoxid, Lösungen der erfindungsgemässen Polykondensate können auf die Oberfläche eines Substrats aufgebracht und dann getrocknet werden.
Die gevrünschte Dicke eines Ueberzugs auf dem Substrat
509807/1028
PIIB ,32356.
- 12 - 20. 5.7*4.»
wird je nach, dem Typ und dem Molekulargewicht der· wiederholt vorkommenden baulichen Einheit (en) im Pοlykondensat und aticlr je nach der Intensität des ausgestrahlten Lichtes, der Belichtungszeit und dem Grad der Vernetzung für die ttnlSslich gemachten Zonen des polymeren Ueberzugs gewählt.
Die Erfindung τ/ird nachstehend an Hand einiger Ausführungε beispiele naher erläutert.
Beispiel 1
Cyansaures Chlorid, 36,8 g (i/5 Mol), wurde in 200 ml Aceton gelöst, das in einem ^00 ml-Beeherglas gerührt wurde; ITatriumazid, 13 g 0/5 Mol), das in 100 ml Tiasser gelöst war, wurde der cyansauren Chloridlösung tropfenv;eise in etwa 10 Minuten zugesetzt und die Lösung.wurde noch 15 Minuten lang gerührt, dann in einer Verdampfungsschale ausgegossen und über Nacht stehen gelassen. Am nächsten Tage wurden die Cyansäurea ziddicliloridkrist alle durch Filtrierung abgetrennt, mit 100 ml' Wasser gewaschen und dann in einem mit Silicagel gefüllten Exsiccator getrocknet.
Ausbeute 32 th g: Schmelzpunkt 850C.
1,6g 2,7-Dihydroxynaphtalen (i/i00 Mol) und 0,8 g Natriumhydroxid wurden in 100 ml wasser in einem 250 ml-Bcchergla.= zur Bildung des Matriumsalzes gelöst. Cyansaures Aziddichlcrid, 1,Q1 g, "(I/TOO Hol) wurde dann in 50 ml Aceton gelöst. Die Natriumsalzlösuiv wurde gerühx-t und die Cyansäureaziddichloridlöfiuig wurde der perührten Lösung zugepetzt. Es bildete sich c-in *.,cii.fcr poljr.t rer !Niederschlag und die Suspension wurdeauf 6O0C erhitzt und 30 Minuten lang unter Rühren auf dioce-r
1509807/1028
PHB.32356.
- 13 - . 20.5.7^.
Temperatur gehalten. Nach Abkühlung auf Zimmertemperatur wurde der Niederschlag filtriert und mit Wasser gewaschen. Dann wurde er in einem Luftumlaufofen bei 700C getrocknet. Atxsbeute an -weissera Polymer 2,67 S* Beispiel 2
Es wurde auf gleiche lvreise wie beim Beispiel 1 verfahren, mit dem Unterschied, dass 2-,ih g 2,4-Dihydroxybenzophenon stcttt des 2,7-Dihydroxynaphtalens verwendet wurden. Beispiel 3
Es wurde auf gleiche Weise wie beim Beispiel I verfahren, mit dem Unterschied, dass 2fi4 g 2,2'-Dihydroxybenzophenon verwendet wurden. Beispiel h
Es -wurde auf gleiche Weise wie beim Beispiel 1 verfahren, mit dem Unterschied, dass 1,52 g 2,^-Dihydroxyacetophenon vexnirendet wurden. Beispiel 5
Es wurde auf gleiche ¥eise wie beim Beispiel 1 verfahren, mit dem Unterschied, dass 1,1 g 1,3-Dib.ydroxybenzol verwendet wurden. Beispiel 6
Die durch das in den Beispielen 1 bis 5 beschriebene Verfahren erhaltene Polymere wurden je in Cyclohexanon gelbst und die Lösungen wurden dazu verwendet, eine Reihe mit Kupfer überzogener Laminate dLirch Eintauchen mit Schutzüberzügen zu versehen, welche Ueberzügo in der Luft durch Verdampfung des Lösungsmittels bei 650C getrocknet wurden. Durch Belichtung
509807 7,1028
PHB.32356. - 14 - 20.5.71U
der Schutzuberzüge Über eine Maske mit Ultraviolettlicht während 5 Minuten und durch Entwicklung· in Toluol zur Entfernung der unbelichteten Zonen wurde für jeden Schutzüberzug auf dem Laminat ein Bild erhalten, wodurch das Kupfer der nicht überzogenen Zonen in einer Eisenchloridlösung geatzt werden konnte»
Beispiel 7
Die nach den Beispiel 6 erhaltene Polyrierlösungen wurden als Atisgangs stoffe verwendet und 10 Gew.^ Michler's Keton wurde darin gelöst. Die Lösungen wurden auf eine Siliciumoxidoberflctche von Siliciumscheiben durch Schleudern bei 6000 Umdrehungen/min aufgebracht, Die überzogenen Scheiben wurden 5 Minuten lang in einem Ofen bei 70°C erhitzt und dann in einer Vakuumkammer über eine Photomaslce mit kurzwelligem Ultraviolettlicht (intensität 4,7 mW/cm2) während. 2,5 bis Sekunden belichtet» Die Photoresistüberzüge wurden danach durch 1—niinutiges Eintauchen in Toluol entwickelt. Die Siliciumoxidfilme wurden anschliessend \ in Fluorwasserstoffsäure geätzt. Eine Auflösung von Fenstern von 0,5 /um wurde' erhalten.
509807/1028

Claims (1)

  1. FHB.32356. 20.5.7**. -
    PATBNTAX S P RU £C JIE;
    .1 , Lichtempfindliche polymere Verbindungen nach der allgemeinen Formel-T.
    0 - R - 0 - C
    n —
    in der
    η eine ganze Zahl zv.lschen 2 und 120 ist und R steht für eine Phenylen-1, 3-Ph.enylen-1 , 4-1 -Phenylcarbonylphenylen-2 , k-1 -Fhenylcarbonylplieivyl en-2 ,"6-2,2' -1) iplieny 1 carbony 1 -
    2,3f-Diphenylcarbonyl- oder eine
    1-Al!c3rlcRrlio:iylphenylen-2 , 5-1-Alkylcarbonylphenylcn-2,h- 1 -All;ylca3-nonylphenylen-2 , 6- , A^
    1 bis h Kohlenstoffatome onihält, oder einr>.
    IsP ph ty I en- 2,7-• >Tr plr( ylen-2 j 6- !;■■.. piriylen-2 , '4·-G·r^ΐρpe ,
    die Allcylf-mppe
    809807/1028
    PIiB, 3235ο. - 16 - 20.5.7'ί.
    wobei die Pbenylgruppen erv.-Unschtenf3.11s mit einer oder zvrei Alkylgruppen nit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen oder nit einei1 Phenylgruppe substituiert sind,
    2, Lich-tempfindliehe Verbindungen nach. Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass R eine 2,2»-Biphenylcarbonylgruppe dai-stellt»
    3. Lichtempfindliche Verbindungen nach Anspruch T, dadurch gekennzeichnet, dass R eine" "aphtylen-2, 7-GTVtppe darstellt«,
    k. Lichtempfindliche Verbindiingen nach Anspruch I1 dadurch, gekennzeichnet j. dass R eine 1-Benzo3''lphen3'-len-2, 4~Gruppe darstellt.
    5. Lichtempfindliche Verbindungen nach Anspruch.1, dadurch gekennzeichnet, dass R eine 1-Acetylphenylen-2,4-Gruppe darstellt,
    6t Lichtempfindliche Verbindungen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass R eine Phenylen-1,3-G-ruppe darstellt. 7« Lichtempfindliche Zusammensetzung mit einer polymeren Verbindung nach ejnem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass diese Verbiiidtmg in±t einem flüssigen Trägermaterial gemischt oder in einem solchen Material gelöst oder dispergiert T.'ird,
    8, Lichtempfintiliche Zusammensetzungen nach Anspruch 7» dadurch gekenn?:ei clinet, dass sie Zusatzstoffe und/oder Licht sensibilisatο ren enthalt en,
    9. Lichtempfindliche polymere Zusammensetzungen nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dps-, sis Michlers's Keton als Lichtscnsibilitator enthalten.
    60 9 8 0 77 fO 2 8r J
    ; . PHB.32356.
    - - 17 - ' 20.5.71W
    10, Lichtempfindliche Ueberzüge; die auf einem Substrat angebracht werden, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Verbindung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6 oder eine Zusammensetzung nach einem' oder mehreren der Ansprüche 7 bis 9 enthalten,
    11» Verfahren zur Herstellung lichtempfindlicher polymerer Verbindungen, dadurch gekennzeichnet, dass in Gegenwart eines üblichen Lösungsmittels ein cyansaures Aziddihalogenid'nach der Formel II .
    X-C C-X
    I! I
    kondensiert wird, in welcher Formel X ein Ilalogenatom mit einem Alkalimotallsalz einer dihydroxyaromatischen Verbindung nach der Formel III
    HO
    darstellt, in der - I -Z
    1
    Rv ein Wasserstoffatom oder eine Hydroxygruppe,
    R2 ein Wasserstoffatom, eine Hydroxygruppe, eine Alkylgruppe mit 1 bis k Kohlenstoffatomen oder eine Phenylgruppe,
    Ro ein' Wasserstoffatom, eine Hydroxygruppe, eine Alkylgruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen oder eine Phenylgruppe, und
    Rji ein Wasserstoff atom, eine Alkylgruppe mit 1 bis h Kohlenstoffatomen, eine Phenylgruppe, eine R_CO-Gruppa, wobei R- eine Alkylgruppe mit 1 bis k Kohlenstoffatomen ist, eine Phenylgruppe oder eine Hydroxyphen3i'lgruppe darstellt,
    605807/102 8
    PHB.32356. - i8 - 20.5.74,
    mit der Massgabe, dass nur eines der Symbole Ii1 , R^ und R„ eine Hydroxygruppe darstellt und R„ und R„ zusammen eine Tetramethylengruppe oder zusammen mit den Kohlenstoffatomen, an die sie gebunden sind, eine Benzogruppe bilden können, die mit einer Hydroxygruppe substituiert ist. 12. Verfahren nach Anspruch 11 dadurch gekennzeichnet, dass cyansaures Aziddichlorid mit dem Natriumsalz von 2,7-Dihydroxynaphtalen, 2,2f-Dihydroxybenzophcnon, 2,4-Dihydroxybenzophenon, 2,6-Dihydroxybenzophenon, 2,4-Dihydroxyacetophenon oder 1,3-Dihydroxybenzol kondensiert wird, 13· Verfahren zur Herstellung einer lichtempfindlichen Zusammensetzung, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verbindung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6 mit einem flüssigen Trägermaterial erwünschtenfalls zusammen mit einem Sensibilisator gemischt i/ird.
    S09307/1028
DE2434790A 1973-07-31 1974-07-19 Lichtempfindliche polymere verbindungen Ceased DE2434790A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB3628973A GB1386906A (en) 1973-07-31 1973-07-31 Light-sensitive polymeric compounds

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2434790A1 true DE2434790A1 (de) 1975-02-13

Family

ID=10386748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2434790A Ceased DE2434790A1 (de) 1973-07-31 1974-07-19 Lichtempfindliche polymere verbindungen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3962241A (de)
JP (1) JPS5044298A (de)
DE (1) DE2434790A1 (de)
FR (1) FR2245696B1 (de)
GB (1) GB1386906A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0161453A1 (de) * 1984-04-14 1985-11-21 BASF Aktiengesellschaft Temperaturbeständige aromatische Polyether

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1504720A (en) * 1975-09-24 1978-03-22 Ici Ltd Triazine derivatives
US4081572A (en) * 1977-02-16 1978-03-28 Xerox Corporation Preparation of hydrophilic lithographic printing masters
DE3039059A1 (de) * 1980-10-16 1982-05-27 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen Halogen enthaltende s-triazinverbindungen, verfahren zu herstellung derselben und deren verwendung fuer die flammfestausruestung von thermoplastischen kunststoffen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3255191A (en) * 1964-04-21 1966-06-07 Geigy Chem Corp Substituted 1, 3, 5-triazines
US3847915A (en) * 1972-03-09 1974-11-12 Octrooimaatschappij Octropa In Bis-triazine textile softeners

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0161453A1 (de) * 1984-04-14 1985-11-21 BASF Aktiengesellschaft Temperaturbeständige aromatische Polyether

Also Published As

Publication number Publication date
US3962241A (en) 1976-06-08
FR2245696A1 (de) 1975-04-25
JPS5044298A (de) 1975-04-21
GB1386906A (en) 1975-03-12
FR2245696B1 (de) 1979-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3650633T2 (de) Polysilan-Resist-Materialien und Methode zu deren Herstellung
EP0342498B1 (de) Positiv und negativ arbeitende strahlungsempfindliche Gemische sowie Verfahren zur Herstellung von Reliefmustern
DE69024452T2 (de) UV-Lichtempfindliche Fotoinitiatorzusammensetzungen, ihre Verwendung und strahlungsempfindliche Zusammensetzungen
DE2044869A1 (de) Polymere o Chinondiazide
DE3515210C2 (de)
EP0202458B1 (de) Photoschutzlackzusammensetzungen auf Basis von vernetzten Polyalkenylphenolen
DE3817306C2 (de) Polysilanverbindung und deren Verwendung als Bestandteil einer lichtempfindlichen Masse
EP0101587A2 (de) Positiv arbeitendes Verfahren zur Herstellung von Reliefbildern oder Resistmustern
DE2948324C2 (de) Lichtempfindliches Gemisch, enthaltend eine Bisazidverbindung, und Verfahren zur Bildung von Mustern
DE1622675B1 (de) Lichtvernetzbare Schichten aus Polymeren
DE4035425C2 (de) Positiv arbeitende lichtempfindliche Zusammensetzung
DE3134158A1 (de) "zusammensetzung und verfahren zur ultrafeinen musterbildung"
DE1296975B (de) Lichtempfindliches Gemisch
EP0337188B1 (de) In wässrigem Alkali lösliche, Silanylgruppen in der Seitenkette enthaltende Bindemittel, Verfahren zu deren Herstellung sowie lichtempfindliches Gemisch, enthaltend diese Verbindungen
DE4207264B4 (de) Negativ arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch und damit hergestelltes Aufzeichnungsmaterial
DE1520018C3 (de) Verfahren zur Herstellung von arylazidogruppenhaltigen Polykondensaten, die so hergestellten Verbindungen und ihre Verwendung für photographische Reproduktionsverfahren
DE2730725C2 (de)
DE2434790A1 (de) Lichtempfindliche polymere verbindungen
DE2058345A1 (de) Lichtempfindliches polymeres azidgruppenhaltiges Material
DE2733912C2 (de)
DE1670652A1 (de) Azoniadiazoketone sowie Verwendung derselben zur Herstellung lichtempfindlicher,photographischer Materialien
EP0545859A1 (de) Strahlungsempfindliche Zusammensetzungen
EP0432599B1 (de) Strahlungsempfindliches Gemisch und Verfahren zur Herstellung von Reliefstrukturen
EP0039662B1 (de) Photohärtbare Polymere aus Succinylobernsteinsäurederivaten und Maleinsäurederivaten, Verfahren zur Herstellung der Polymeren und ihre Verwendung
DE1622287A1 (de) Lichtempfindliches,polymeres Material

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8131 Rejection