DE242564T1 - Verfahren zur messung der konzentrationen von unreinheiten in einer fluessigkeit und vorrichtung dazu. - Google Patents

Verfahren zur messung der konzentrationen von unreinheiten in einer fluessigkeit und vorrichtung dazu.

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DE242564T1 DE198787103498T DE87103498T DE242564T1 DE 242564 T1 DE242564 T1 DE 242564T1 DE 198787103498 T DE198787103498 T DE 198787103498T DE 87103498 T DE87103498 T DE 87103498T DE 242564 T1 DE242564 T1 DE 242564T1
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Yasuo Sakai City Kohsaka
Tohru Minoo City Niida
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Nomura Micro Science Co Ltd
Nippon Chemical Industrial Co Ltd
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■■-■··· -:. -...··.■ EP 87 103 498.9 0 7394.9 DE Patentansprüche
1. Verfahren zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit, das folgende Schritte umfaßt:
einen Zerstäubungsschritt, bei dem die Flüssigkeit mit sauberer Luft gemischt wird, so daß feine Tröpfchen mit einer vorherbestimmten Größenverteilung erzeugt werden,
einen Verdampfungsschritt, bei dem die feinen Tröpfchen bis zur Trockenheit verdampft werden und nicht flüchtige feine Teilchen entstehen,
einen Größenerhöhungsschritt, bei dem Dampf auf den feinen Teilchen als Keime kondensiert wird, so daß die Größe der feinen Teilchen erhöht wird,
einen Zählschritt zum Zählen der Anzahl der vergrößerten feinen Teilchen auf optischem Wege, und
einen Datenverarbeitungsschritt zur Verarbeitung von Daten, die auf der Empfindlichkeitscharakteristik der optischen Messung in dem Zählschritt, der Verteilung der Tröpfchengröße in dem Zerstäubungsschritt und dem gezählten Wert in dem Zählschritt basieren.
2. Verfahren zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit nach Anspruch 1 , wobei die Detektor flüssigkeit Wasser ist.
3. Verfahren zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit nach Anspruch 1, wobei durch die Zerstäubung feine Tröpfchen erzeugt werden, die eine logarithmische Normalverteilung aufweisen.
4. Verfahren zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit nach Anspruch 1, wobei der Größenerhöhungsschritt einen ersten Schritt zur Entfernung eines Teils der feinen Teilchen mit einer Größe unterhalb der vorherbestimmten Größe sowie einen zweiten Schritt umfaßt, bei
dem Dampf auf dem Rest der feinen Teilchen kondensiert wird.
5. Verfahren zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit nach Anspruch 1 , wobei in dem Zählschritt die Anzahl der Teilchen mit einer Größe bis hin zu einer vorherbestimmten Größe gezählt wird.
6. Verfahren zur Messung.der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit nach Anspruch 1, wobei in dem Zählschritt die vergrößerten Teilchen durchstrahlt werden, das durch die vergrößerten Teilchen gestreute Licht zu einem photoelektrischen Umwandler gebündelt wird, und die Impulszahl eines Impulszuges von dem photoelektrischen Umwandler gezählt wird.
7. Meßvorrichtung zur Messung der Konzentration von Verunreinigungen in einer Flüssigkeit, umfassend:
einen Zerstäuber zur Zerstäubung der Flüssigkeit durch Mischen mit sauberer Luft und Erzeugung feiner Tröpfchen mit einer vorherbestimmten Größenverteilung,
einen Verdampfer zur Verdampfung der feinen Tröpfchen bis zur Trockenheit und Erzeugung nicht flüchtiger feiner Teilchen,
einen Kondensationskeimezähler zum Zählen der Anzahl der feinen Teilchen, und
eine Signalverarbeitungseinrichtung zur Verarbeitung der Konzentration von Verunreinigungen in der Flüssigkeit, die auf der Empfindlichkeitscharakteristik des Kondensationskeimezählers, der Verteilung der Tröpfchengröße in dem Zerstäuber und dem gezählten Wert in dem Kondensationskeimezähler basiert.
8. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Flüssigkeit Wasser ist.
9. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Zerstäuber zur Erzeugung feiner Tröpfchen mit logarithmischer Normal-
10. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Kondensationskeimezähler umfaßt:
eine Mischkammereinrichtung, in der Dampf auf den feinen Teilchen als Keime kondensiert wird, so daß die Größe der feinen Teilchen erhöht wird,
eine optische Einrichtung zur Projektion von Lichtstrahlen auf die vergrößerten feinen Teilchen und zur Umwandlung des durch die Teilchen gestreuten Lichtes in ein elektrisches Signal, und
eine Zähleinrichtung zum Zählen der Anzahl der feinen Teilchen, die durch die optische Einrichtung hindurchtreten.
11. Meßvorrichtung nach Anspruch 10, wobei der Kondensationskeimezähler ferner eine Hochtemperaturkammer mit gesättigtem Dampf für die Zufuhr von Hochtemperaturdampf in die Mischkammereinrichtung umfaßt.
12. Meßvorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, wobei die optische Einrichtung eine Lichtquellenkammer zur Erzeugung von Laserlicht, eine Meßkammer zur Projektion des Laserlichtes auf die vergrößerten feinen Teilchen und eine Detektorkammer zum Bündeln des durch die feinen Teilchen gestreuten Lichtes auf einem photoelektrischen Wandler umfaßt.
13. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Meßvorrichtung ferner eine Filtereinrichtung zur Entfernung eines Teils der feinen Teilchen aus dem Verdampfer mit Größen unterhalb einer bestimmten Größe und zur Zufuhr des Restes der feinen Teilchen zu dem Kondensationskeimezähler umfaßt.
14. Meßvorrichtung nach Anspruch 12, wobei der Filter ein Metallrohr ist, an dessen Innenwand ultrafeine Teilchen unterhalb einer bestimmten Größe hängenbleiben.
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