DE2423971A1 - Piezoelektrische keramikmaterialien - Google Patents

Piezoelektrische keramikmaterialien

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DE2423971A1
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piezoelectric
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piezoelectric ceramic
ceramic
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DE2423971A
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Masamitsu Nishida
Kazunori Numata
Hiromu Ouchi
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

PATENTANWÄLTE
Dr.-Ing. HANS RUSCHKE Dipl.-Ing. OLAF RU3CHKE Dip!.-' ^. HANS E. RUSCHKE
1 EERLlN 33 Auguste-Viktoria-Straße 65
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 1oo6 Hadoma, Osaka, Japan
Piezoelektrische Keramikmaterialien
Zusammenfassung der Beschreibung:
Es handelt sich um Keramikmaterialien mit einer Zusammensetzung innerhalb spezieller Bereiche des ternären Systems Pb(Sn. /_Sb„/,)O,-PbTiD^-PbZrG^ in fester Lösungsform mit hohem planarem Kopplungsko.effizienten zusammen mit hoher Dielektrizitätskonstanten. Diese Keramikmaterialien sind in elektromechanischen Wandlern ueruiendbar. Die Keramikmaterialien sind solche, die innerhalb des Bereichs A1B, C, D, E und F der Figur 2 liegen.
Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Keramikmaterialien und daraus hergestellte Gegenstände. Im spezielleren betrifft die Erfindung neue ferrD-elektrische Keramikmaterialien, die polykristalline Aggregate υοπ bestimmten Bestandteilen sind. Diese piezoelektrischen Materialien uierden durch Sintern der Ausgangsstoffe nach auf dem Gebiet der Keramik üblichen Techniken und anschließendes Polarisieren der Keramikmaterialien durch Anlegen einer Gleichspannuna zwischen Elektroden, um elektromechanisch^ ÜJandlereigenschaften entsprechend dem bekannten piezoelektrischen Effekt zu verleihen, hergestellt. Die Erfindung erfaßt auch das kalzinierte Produkt aus den Ausgangsmaterialden und die Gegenstände, wie elektromechanische Wandler, die aus der gesinterten Keramik hergestellt morden sind,
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Die Keramikkörper nach der Erfindunn lieoen grundsätzlich in Form des ternären Systems
PbC Sn1/3Sb2/3)O3-PbTiD3-PbZrD3
in fester Lösungsform vor.
Die Verwendung van piezoelektrischen Materialien auf verschiedenen Ulanrileranuiendunnsqebieten zur Erzeuqunn, Messuna und Richtunossinnbestimmunc von Tan, Stoß, Vibration, Druck usw. hat in den letzten Jahren in starkem MaHe zugenommen. Wandler sowohl worn Kristall- als auch vom Keramiktyo haben eine breite Anwendung gefunden. Denen der mönlichen nerinneren Kosten und der leichten Herstellung von Keramikmaterialien mit verschiedenen Formen und Größen und wegen der größeren Beständiokeit gegenüber hoher Temperatur und/ oder Feuchtigkeit im l/ergleich zu kristallinen Substanzen, wie dem Rochelle-Salz, haben piezoelektrische Keramikmaterialien in jüngster Zeit Bedeutunn auf verschiedenen Idandleranwendungsaebieten erlangt.
Die erforderlichen piezoelektrischen Eigenschaften von Keramikmaterialien ändern sich bekanntlich mit der Art der Anwendung. Z.B. erfordern elektromee chanische Wandler, wie beispielsweise Tonabnehmer, Mikrophone und Spannungsgeneratoren in Zündsystemen piezoelektrische Keramikmaterialien, die durch einen im wesentlichen hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und eins im wesentlichen hohe Dielektrizitätskonstante ausnezeichnet sind. Andererseits ist es bei Anwendung von piezoelektrischen Keramikmaterialien auf dem Filtergebiet erwünscht, daß die Materialien eine hohe Konstanz der Resonanzfrequenz und anderer elektrischer Eigenschaften mit der Temperatur und der Zeit aufweisen.
AI9 vielversprechendere Keramikmaterialien, die diesen Anforderungen nenügen sollten, wird Bleititanat-Bleizirkanat in großem Umfange benutzt. Es ist jedoch schwierig, bei den Bleititanat-Bleizirkonat-Keramikmaterialien einen hohen planaren Kopplungskoeffizienten gemeinsam mit einer hohen Dielektrizitätskonstanten zu erhalten. Außerdem ändern sich die piezoelektrischen und dielektrischen Eigenschaften der Bleititanat-Bleizirkonat-Keramikmaterialien stark mit einer Änderung der Brenntechnik, was auf ein Verdampfen von PbD zurückzuführen ist.
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Hauptziel der Erfindung ist daher, neue und verbesserte piezoelektrische Keramikmaterialien vorzuschlagen, die die oben aufgezeigten Probleme lösen.
Nach einem spezielleren Ziel der Erfindung sollen verbesserte polykristalline Keramikmaterialien vorgeschlagen werden, die durch einen hohen piezoelektrischen Kopplungskoeffizienten gemeinsam mit hoher Dielektrizitätskonstanten ausnezeichnet sind.
Nach einem anderen Ziel der Erfindunq sollen neue piezoelektrische Keramikmaterialien vorqeschlagen werden, bei denen bestimmte Eigenschaften eingestellt werden können, um sie verschiedenen Anwendungen anzupassen.
Nach einem weiteren Ziel der Erfindung soll ein verbesserter elektromechanischer Wandler vorqeschlagen werden, bei dem als aktives Element ein elektrostatisch polarisierter Körper aus dem neuen Keramikmaterial verwendet uiird.
Nach nach einem weiteren Ziel der Erfindung sollen neue piezoelektrische Keramikmaterialien vorgeschlagen werden, die durch eine hche Konstanz der elektrischen Eigenschaften, wie z.B. der Dielektrizitätskonstanten und der Resonanzfrequenz, mit der Zeit ausgezeichnet sind.
Diese Ziele der Erfindunq und die Art und Weise wie sie erreicht werden, sind der nachfolqenden Beschreibung und den dazugehörogen Zeichnungen leicht zu entnehmen. In der Zeichnung ist die
Fig. 1 eine Querschnittsdarstellung eines elektromechanischen ülandlere nach der Erfindung und ist die
Fig. 2 ein trianguläres Zusammensetzungsdiagramm von Materialien nach der Erfindunq.
Bevor die durch die Erfindung vorgeschlagenen piezoelektrischen Materialien im einzelnen beschrieben werden, soll deren Anwendung in elektromechanischen Wandlern unter Hinweis auf die Figur 1 erläutert werden, in der die Bezugsziffer 7 einen elektromechanischen Wandler als ganzen bezeichnet, der alB aktives Element einen Körper 1, vorzugsweise in Scheibenform, aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial nach der Erfinduno enthält. Der Körper 1 ist auf
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είπε nachfolnend beschriebene Art und Weise Elektrostatisch Dolarisiert und mit einem Paar Elektroden 2 und 3 ausnestattet, die an den beiden nanenüherlieqenden Oberflächen des Körpers in neeinneter und an sich üblicher Weise angebracht sind. Leitunnsdrähte 5 und G sind mit den Elektroden 2 und 3 leitend verbunden, und zwar durch ein Lötmittel 4. Wenn das Keramikmaterial einem Stoß, einer vibration und/oder einer anderen mechanischen Beansnrunhunn ausnesetzt wird, kann eine erzeunte elektrische Leistuna den Leitunnsrirahten 5 und 6 entnommen werden. Umnekehrt führt wie bei anderen niezoeJektrischen Wandlern das Anlenen einer elektrischen Spannunn an die Elektroden 5 und G zu einer mechanischen Uerformuno des Keramikköroers. Der hier benutzte Ausdruck "elektromechanischer Wandler" ist in seinem breitesten Sinne ru verstehend und soll piezoelektrische Filter, Freauenzsteueroeräte und derr]. pvfassen. Die Erfinriunn kann außerdem auf verschiedenen anderen Gehioten nnnewendEt bzw. diesen Gebieten annepaßt werden, die Materialien mit niezoelektrischen, dielektrischen und/oder elektrostriktiven Einenschaften erfordern.
Nach der Erfindunn besteht der Keramikkörper 1 in der Fin. 1 aus Einem neuen piezoelektrischen Material, das ein polykristallines Keramikmaterial der Zusammensetzunn
)D3-PbTiO3-PbZrD3
Die Erfindunn basiert auf der Feststellung, daß innerhalb snezieller Bereiche dieses Systems die Prahen einen hohen planaren Hopplunnskoeffizienten nemeinsam mit einer hohen Dielektrizitätskonstanten zeiaen.
Die Erfindunn ueist verschiedene Uorteile bei dem Herstellunnsverfahren und bei der Anuendunne als keramische Wandler auf. Es ist bekannt, daß das Verdampfen von PhO während des Brennens ein Problem beim Sintern von Bleiverhindunnen, wie z.B. Bleititanatzirkonat, ist.
Das erfindungsnemäße Material jedoch ergibt eine kleinere Menne von verdamoftem PbO als das herkömmliche Bleititanatzirkonat. Die erfindunnsqemäßen Katerialien können ohne besondere Regeluno der PbO-Atmosphäre nebrannt werden.
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Ein nut PEsintErter Körper mit der nemäß der Erfindung vnrneschlagenen ZusammEnsetzunn wird durGh Brennen des Körpers in einem Keramiktienel mit einem hnramikdeckel, hergestellt aus einem Al?ü_-Keramikmaterial, erhalten.
Eine Ιίππε Sinterdichte ist für eine Feuchtiqkeitsbeständiqkeit und eine hohe päEzoelEktrischE Empfindlichkeit Erwünscht, wenn der nesinterte Körper in einem Resonator usu. angewendet uiird.
Alle mönlichen Materialzusammensetzunnen innerhalb des ternären Systems Pb(Sn1/3Sb2/3)O3-PbTiD3-PbRrG3
werden durch das trianguläre Dianramm der Finur ?. dargestellt. Einiqe durch das Dianramm darnestellte Materialzusammensetzunnen zeinsn iedoch nicht eins hohe Piezoelektrizität und eine hohe Dielektrizitätskonstante. Viele sind elektromechanisch nur in einem gerinnen Grads aktiv und zeioen eine niedriqe DielektrizitätskonstantE. Die Erfindung betrifft nur solchE Materialien, die Eine piezoelektrische EmpfindlichkEit Erhsblicher Größe ζεϊοεπ. Οεγ Einfachheit halber wird der planare KopplunqskoeffiziEnt (kp) dEr TestschEibsn als Maß für diE piEzoeleklrische Aktivität pEnommen. So zeiqen alle Materialien mit ZusatnmEnsetzunnEn innerhalb des durch die Linien beqrEnztEn BerEichs, die die Punkte A, B, C, D, E und F in der Figur 2 verbinden, nach dem PcIarisieren beim Testen Einen planaren Kqpplunqskqeffizienten von annähernd o,1 höher.
Die Materialien mit ZusammensEtzunnen innerhalb des BEreichs des Diaqramms, der durch die LiniEn begrenzt ist, die die Punkte G, H, I, J, K und L in dEr Finur Z vErbindEn, zEinen einen planaren KnpplungskqeffizientEn von annähernd a,k oder höher.
Das Mal verhältnis der drei KornpqnEntEn von A, B, C, D, E, F, G, H, I, J, K und L riEB zusammEnnEsetzten Materials ist wie folgt:
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A o,o1
B o,o1
C o,o9
D o,5o
E o,5o
F o,25
G o,3o
H o,2o
I o,o5
J o,o1
K o,o5
L a,2o
ο,75 o,24
o,d9 o,9o
o,o1 ο'9α
ο,α1 D,4ß
ο,495 ο,οα5
ο,745 ο,αα5
ο,33 α,37
ο,4Β ο,32
ο, 55 α, 4α
ο,47 ο,52
α,43 ο,52
ο,33 α,47
Ferner erqeben Materialien mit einer Zusammensetzung nahe der morohdropen Phasennrenze des ternären Systems, insbesondere mit einer Zusammensetzunn von
Pb(Sn1/3Sb2/3)a,o5Tio,44Zro,51°3 und
PbC3ni/3Sb2/3)o,1oTio,43Zro,47D3
Heramikprodukte mit einem planaren Hopplunqskoeffizienten von α,71 ader höher.
Nach der Erfindung können piezoelektrische und dielektrische Eicenschaften der Keramikmaterialien eingestellt oder verschiedenen Anujendunnen annepaßt werden, indem die geeianete Zusammensetzung gewählt iuird.
Die hier beschriebenen Materialien können nach verschiedenen bekannten Verfahrensweisen auf dem Gebiet der Keramik nebildet werden. Ein vorteilhaftes Verfahren jedoch, das nachfolnend ausführlicher beschrieben wird, besteht in der Veruendunn von PbO oder Pb3O4, SnO2 oder SnO, Sb2O3, TiO2 und ZrO .
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Die Ausnannsmaterialien, nämlich Beiöxid (PbO), Zinnaxid (SnO2), Antimantriaxid (Sb2O3), Titandioxid (TiO2), Zirkondioxid (ZrO2), alle von relativ reinem Grad (z.B. vom Grad "chemisch rein"), werden in einer mit Kautschuk ausgekleideten Kugelmühle mit destilliertem Wasser innio vermischt. Beim Mahlen des Gemischs muß dafür oesorgt werden, daß eine Verunreiniounn durch einen Abrieb der Mahlkuneln oder -steine vermieden wird, oder es müssen die Anteile von den Bestandteilen sd variiert uierden, daß eine solche Uerunreinigunn kompensiert wird.
Wach dem Naßvermahlen uird das Gemisch Getrocknet und vermischt, um ein Gemisch, das so homogen uiie irnend möglich ist, sicherzustellen. Dnach wird das Gemisch in geeinneter Weise in eine gewünschte Form unter Anwendunn eines Drucks von z.B. itoo kg/cm nebracht. Das neformte, komnakte Material wird dann einer Vorreaktion unterworfen, indem es bei einer Temperatur von etua 75o bis 9oo C für etwa 2 Stunden kalziniert wird. Nach dem Kalzinieren kann sich das umnesetzte Material abkühlen und wird dann zu einer kleinen Teilchennröße naßvermahlen. Wiederum muß beim Mahlen dafür oesornt werden, daß eine Uerunreininunn durch einen Abrieh der Mahlkugeln oder -steine vermieden wird, oder müssen die Anteile von den Bestandteilen so variiert werden, daß eine solche Verunreininunn kompensiert wird.
Nach dem Naßvermahlen wird das Gemisch netrocknet und vermischt, um ein Gemisch, das so homogen wie irnend möolich ist, sicherzustellen. Danach wird das Gemisch in geeioneter Weise in eine newünschte Form unter Anwendunn eines Drucks von z.B. f+oo kg/cm oebracht. Das neformte, kompakte Material wird dann einer Vorrektion unterworfen, indem es hei einer Temperatur von etwa 75o bis 9do C für 2 Stunden kalziniert wird. Nach dem Kalzinieren kann sich das umnesetzte Material abkühlen und wird dann zu einer kleinen Teilchengrösse naßvermahlen. Wiederum muß beim Mahlen dafür gesorgt werden, daß eine Verunreininunn durch einen Abrieb der Mahlkuneln oder -steine vermieden wird, oder müssen die Anteile von den Bestandteilen sd variiert werden, daß eine solche Uerunreininuno kompensiert wird. Je nach Wahl und den gewünschten Formen wird aus dem Material ein Gemisch oder Schlicker gebildet, das bzw. der zum Verbressen, Gleitnießen oder Extrudieren je nach dem betreffenden Fall neeinnet ist, und zwar nach auf dem Gebiet der Keramik an sich üblichen Verfahrensweisen.
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Jede Probe, für die nachfolnend Werte anneneben werden, wurde rJurch Vermischen von 1oo π des vermahlenen vornesinterten Gemischs mit 5 cm destilliertem Wasser, Pressen des Gemischs zu einer Scheibe mit e?nem Durchmesser von 2o mm und einer Dicke von 2 mm bei einem Druck von 7oo ko/cm und sintern der verpreßten Scheibe bei 121o bis 131oDC for U5 Minuten hernestellt. Nach der Erfindung ist es nicht erforderlich i das Material in einer PhO-Atmosphäre zu brennen, und es ist keine spezielle Sornfalt für ein^ Einste."!- lunn des Temneraturnradienten in dem Ofen im Vernleich mit bekannten Verfahren nötin. Sn können nach der Erfindunn nleJchmäBine und a-nnezeichnpte niezoelektrische KeramikoroduktE leicht durch einfachen Andenken Her Prnfipn mit einEtn Aluminiumoxidtieqel während des Brennens erhalten werden.
Jedes qesinterte Heramikmaterial wurde auf beiden Oberflächen bin 7>_< einer Dicke van 1 mm aeschliffen. Die neschliffenen Oberflächen wurden rion.n mit Silberfarbe überzonen und untEr Bildunq von SilbeaäEktrorien no'TBnnt. Schließlich wurde jede Scheibe polarisiert, während sie in ein Silicannihad von 1oo C einnetaucht wurde« Ein Soannunnsnradient einer Gleichsnannunn vnn 3 kV/mm wurriE für Eine Stunde aufrechterhalten, und iede Scheibe wurde dann bis auf RaumtEmperatur in 3d Minuten feldnekühlt.
Die piezoelektrischen und dielektrischen Einnnschaften der nnlarisierten Proben ujurdEn bei 2a C und einer relativen Feuchte van 5a % und einer Frequenz von 1 kHz nsmessen. Beispiele für spezielle so hernestEllte HEramikmatEriT1ien nach der Erfip^nr und verschiedene ueoentHche elektromechanische und dielektrische Einenschaften werden in der nachfn]senden Tabelle anneqeben.
Aus der Tabelle ist ersichtlich, daß die als Beispiele ausoewählten Materialien mit Zusammensetzunnen innerhalb des durch die Linien henrenzten Bereichs, die die Punkte A, B, C, D, E und F des triannulären Dianramms der Fihit " verbinden, durch einen hohen planaren Kaonlunnskoeffizienten oEmeinssm min einer sehr hohen Dielektrizitätskonstanten ausnezeichnet sind.
Insbesondere zeinen rije Materialien mit Zusnrrnensetzunnen innerhalb rles n^rch die Linien benrenzten Bereichs, <re H^ ε Fun' '. _ ", ίί, I, J, H und L dc?T fr---rr 2 verbinden, einen nlanaren HaDplunoskoeffizienten von annähernd a,1· rde^ höher nemeinsan nit einer hohen Dielektrizi tätr':nnstanten* Der nachfn1 πρπγ:γ
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Tabelle ist außerdem zu entnehmen, daß der Wert für den planaren Koaplunnskaerfizienten und die Dielektrizitätskonstante einnestellt werden kann, um die Materialien verschiedenen Anuendunnen anzupassen, und zwar durch qeeiqnete idahl der Zusammensetzung
Tabelle
Hei- Haiverhältnis der Haterial-
sn i el komponenten
α, χ ν PhZrD3
ζ
Dielek-
trizi-
Verlust
D, in %
Plana-
rer
Mechanischer
Qualitätsfak
Wr. p G, ο1 η,75 ο,24 tätskon-
stante
bei 1!<Hz
hei
1 kHz
Kapp-
lunns-
kaeffi-
zient
kp, %
tor QM
1 °5 ο5 α,75 σ, 2α 28ο 2,6 11 15o
2 °, ο,7·5 ο,15 32ο 2,5 12 21d
3 α, 25 α,745 ο,αα5 35ο 2,2 11 2oo
4 α, α5 ο,7ο 0,25 38α 2,9 1o 19o
5 ο, 1ο ο,7ο ο,2ο 35α 1,ß 24 34a
G α, ο5 ο,65 α, 3ο 34ο 2,3 25 36o
7 α, OG α, Go ο,4α 42α 1,9 29 29a
α, ο1 0,Go ο,39 3σο 2,4 - -
r-i α, Q1Go α, 3d 41α 2,ο 32 1aa
1g 0,595 α,οο5 53α 1,8 35 22a
11 α, DO α,55 ο,45 46α 2,5 15 23a
12+ α, ο5 α, 55 ο,4ο 35α 1,3 3o
13 D, ο,495 ο,οο5 65α 1,7 49 15a
14 D* αα ο,48 α, 52 29ο 5,o 11 11a
15+ D, α5 α, 48 ο,47 1α6α 1,6 42 25a
16 α, Id - 0,48 D,42 141α 2,o 61 9a
17 α, 2ο 0,4a α,32 125α 2,1 55 1ao
18 α, 3ο ο,48 α, 22 96ο 1,8 44 • 13a
19 π, ο,48 α,12 58α 1,7 3o 21o
Zd Ο-1 ο ,47 ο, 52 36 α 1,8 18 17d
21 ο5 . α, 44 D,51 ' 152ο 3,g 71 7a
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Fcitsetzunn der Ta fad. le
24 D,o5 a,43 o,52 7aa 3,1 o5 4a
25 D,1a a,43 a, 47 142o 2,3 71 7o
ze o,2a a, 42 a,37 175a 2,a 5fi p.n
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29 D,2n o,38 o, 42 122o 3,2 6d no
a, 2a o,33 a,47 78a 3,5 48 13o
31 a, 3a a,33 n,37 12aa 3,4 4n 1'7R
32+ ο,οο o,3o a, 7a 38o 3,3 23 3Bn
33 o,4o o,3o a,3n 1a5o 3,a 29 IPo
34 a, 3a o,23 o,47 64o 4,1 28 22n
35 o,5a o,23 o,27 71o '*,2 2n ^o
36 a,5o a,2o o,75 39a 3,5 29 ?4n
37 . o,o1 o,19 O,UO 3aa 4,8 24 Ufn
3S+ a, oo a, 1a a, 9a 28a 1o 5-°n
39 o, 1a a,1a ο,θο 44a 3,8 ?? 3Zo
4o n,2a o,1a η, 7α 52a ^2 22 29η
41 o,5a a,1a a, 4a 35a 1,1 1a 23o
42 o,n1 a,o9 a, 9a 27a 4,4 16 36o
43 o,o5 o,o5 a, 9a 3aa 3,5 17 45a
44 d,2o a,o5 o,75 53a 4,8 15 26o
45 ο ,4a o,o5 o,55 38a <*,3 23 28n
46 o,o9 a,a1 d,9d 37a 2,5 11 46a
47 o,3o o,a1 o,69 46a 5,5 12 16o
48 o, 5a o,o1 o,49 27a 5, G 11 15a
Bemerkung: Prohen mit einem Stern (+) lienen außerhalb des Erfindunnpnereichs. Bei Proben mit zuei Sternen C+"1") ist Pb,O, anstelle υ
3 4
PbG als eines der Ausqanasmaterialien verwendet üiorden.
Die piezoelektrischen Keramikmaterialien der ErPindunr1 zeiaen eine hohe Konstanz der Dielektrizitätskonstanten mit der Temperatur. Z.H. hetränt bei einem Material mit der Zusnmmensetzunn
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Die Anderunn der Dielektrizitätskonstanten in dem Bereich van -ka bis 8d C 3fj /j. Diese Einenschaft ist Für eine Veruenduna van piezoelektrischem Keramikmaterial für Filterzuecke von Bedeutuncu Ein Material mit der Zusammensetzunn ·
zeint eine nroOe Konstanz der Resonanzfrequenz mit der Temperatur. Die Anrierunn der Resonanzfrequenz innerhalb des Bereichs von -^a bis Bo C betränt o,2 %. Diese Einescnhaft ist für eine V/eruenduno des piezoelektrischen Materials für Filterzuecke von Bedeutunn.
Gemäß der Erfindunn zeinen die piezoelektrischen Keramikmaterialien hohe elektromechaniRclie Kopplunnskoeffizienten, hohe Dielektrizitätskonstanten und eine hohe Konstanz der elektrischen Einenschaften, iuie z.B. der Dielektrizitätskonstanten und der Resonanzfrequenz, mit der Temperatur. Die Kera-Tiikmaterialien der Erfinduno sind daher beispielsueise für eine Verwendung In elektromechanischen Ulandlerelementen,' uie z.B. Tonabnehmern, Mikrophonen, Hütern und Soannunnsneneratoren in Zün'dsystemen, neeinnet.
Außer den otien annenehenen üherleqeneh Einenschaften stellen die Materialien nach der Erfinriunn Keramikmaterialien mit nuter physikalischer Qualität dar, die sich nut polarisieren lassen.
Den vorstehenden Annaben ist zu entnehmen, daB das ternäre Keramikmaterial
einen ausre^eichneten piezoelektrischen Keramikkörper abnibt. Dp.Ue/ho-, - ... . .
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    1.) Piezoelektrisches Keramikmaterial, dadurch Gekennzeichnet, daß es eine feste Lösunp eines Materials enthält, das aus dem durch die Linien benrenzten Bereich neuählt ist, die die Punkte A, B, D, C, E und F des triannulären Diaoramms der Finur 2 verbinden, worin A, B, C, D, E und F den Formeln
    A = B =
    D = Pb(Sn-/,Sb0/,) c Ti .Zr , D0_ 1/3 2/3 o,5o o,o1 o,48
    E = Pb(Sn./,Sb0/,) c Ti ,acZr CO 1/3 2/3 o,5a a,495 o,ao5
    F = Pb(Sn./,Sb07,) ocTi „.cZr -Ο, 1/3 2/3 ο,25 o,745 o,od5
    entsDrechen.
    2. Piezoelektrisches Keramikmaterial, dadurch nekennzeichnet, daß es eine feste Lösunn eines Materials enthält, das aus dem durch die Linien benrenzten Bereich neuählt ist, die die Punkte G, H, I, J, K und L des triannulären Diaaramms der Finur 2 verbinden, uiorin G, H, I, J, K und L den Formeln
    G =
    H =
    I =
    J =
    K = Pb(Sn./,Sh0/,) cTi ,,Zr γ-γ,Ο-, 1/3 2/3 o,d5 o,43 o,52
    L = Pb(Sn. ,,Sbn ,,) Ti Zr .„D_ \/j el3 a,co D,33 0,47
    entsnrechen. '
    3. Elektromechanisches Uandlerelement, dadurch nekennzeichnet, daB es ein piezoelektrisches Keramikmaterial nach dem Ansnruch 1 enthält.
    509813/0961
    ^. Elektromechanisches UandlErelement, dadurch qekennzeichnEt, daß es Ein piEZDElEktrischES HEramikmatErial nach dsm Anspruch 2 Enthält.
    5. PiezDElEktrisches KEramikmatErial, dadurch rjEkennzEichnst, daß es aus einer festsn Läsunn der Formeln
    bestEht
    5098 13/096 1
    Leerseite
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