DE2409894B2 - Vorrichtung zum genauen Positionieren eines Objektträgers in bezug auf eine Korpuskularoptik - Google Patents
Vorrichtung zum genauen Positionieren eines Objektträgers in bezug auf eine KorpuskularoptikInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art
Eine solche Vorrichtung kann zum Aufzeichnen einer Information auf dem Objekt verwendet werden, wobei
das Objekt dann aus einer Platte besteht, die mit einer für die Teilchen empfindlichen Harzschicht überzogen
ist, insbesondere zur Herstellung von Masken, die in der Halbleitertechnik verwendet werden. Eine solche
Vorrichtung kann aber auch zum Lesen einer Information auf einem Träger verwendet werden, auf welchem
sich diskrete Zonen befinden, die unter der Einwirkung des Teilchenbeschusses Sekundärelektronen, rückgestreute
Elektronen, Röntgenstrahlen oder Lichtstrahlen aussenden können.
In allen Fällen besteht das Problem, daß für jeden Aufzeichnungs- oder Lesevorgang zunächst ein festgelegter Bezugspunkt des Objekts mit großer Genauigkeit in eine Sollposition gebracht werden muß, damit ausgehend von diesem Bezugspunkt dann eine Abta-
In allen Fällen besteht das Problem, daß für jeden Aufzeichnungs- oder Lesevorgang zunächst ein festgelegter Bezugspunkt des Objekts mit großer Genauigkeit in eine Sollposition gebracht werden muß, damit ausgehend von diesem Bezugspunkt dann eine Abta-
stung eines Bereichs des Objekts durch Programmierung mit Hilfe eines Elektronenrechners ausgeführt
werden kann, der über Digital-Analog-Umsetzer auf das Ablenksystem des Teilchenstrahls einwirkt
Außerdem besteht das weitere Problem., daß man nach erfolgter Positionierung des Objekts erneut
Stellungsfehler infolge von mechanischen Schwingungen des Objektträgers auftreten können.
Bei einer aus der DE-OS 20 56 620 bekannten Vorrichtung dieser Art erfolgt sowohl eine Grobeinstel- ι ο
lung als auch eine Feineinstellung dadurch, daß jeweils in einem eigenen Registrierzyklus Registriermarken auf
dem Objekt mittels digitaler Stellungsgeber lokalisiert werden, worauf der Rechner die Abweichungen der
Ist-Position des Objekts von der Soll-Position berechnet Aufgrund der Abweichungen der für die Grobeinstellung
verwendeten Registriermarken werden Schrittmotoren vom Rechner so gesteuert, daß diese
Abweichungen verschwinden. Aufgrund der Abwei chungen der für die Feineinstellung verwendeten
Registriermarken berechnet der Rechner Korrektursignale, die in einer Registriermarkenversatzschaltung
gespeichert werden. Die Registriermarkenversatzschaltung erzeugt aufgrund der gespeicherten Korrektursignale
eine Gleichspannung, die zusammen mit einer linearisierenden Korrekturspannung, einer eine stufenweise
Ablenkung bewirkenden Sägezahnspannung und der das Ablenkmuster bestimmenden programmierten
Ablenkspannung an die Ablenkeinrichtungen angelegt wird. Die auf diese Weise bewirkte Stellungskorrektur
bleibt bis zum nächsten Registrierzyklus unverändert; zwischenzeitliche Stellungsänderungen, wie sie beispielsweise
durch mechanische Schwingungen verursacht werden können, werden nicht korrigiert Der
Abtastvorgang des Objekts muß dabei zur Lokalisierung der Registriermarken zyklisch unterbrochen
werden.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der angegebenen Art, die während des
gesamten Abtastvorgangs eines Objekts eine kontinuierliche genaue Stellungskorrektur ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 gelöst.
Bei der Vorrichtung nach der Erfindung erfolgt sowohl die anfängliche Grob- und Feineinstellung als
auch eine dauernde Stellungskorrektur aufgrund eines ständig durchgeführten Soll-Ist-Vergleichs. Eine Regelung
bewirkt zunächst die Grobeinstellung mittels der Motoren in zwei Geschwindigkeitsstufen bis die
Regelabweichung einen vorgegebenen Schwellenwert unterschreitet. Anschließend erfolgt die Feineinstellung
mittels der Ablenkeinrichtungen aufgrund des sich aus dem ständigen Soll-Ist-Vergleich ergebenden Fehlersignals.
Hierdurch ergibt sie eine laufende Stellungskorrektur, wenn aus irgendeinem Grund, beispielsweise
infolge von mechanischen Schwingungen, wieder Abweichungen von der Sollstellung des Objektträgers
auftreten.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Vorrichtung nach der Erfindung sind in den t>o
Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 eine elektronenoptische Einrichtung, der die Vorrichtung nach der Erfindung zugeordnet ist,
F i g. 2 ein Gesamtschema des der einen Koordinatenrichtung zugeordneten Teils der Vorrichtung nach der
Erfindung und
F i g. 3 Diagramme zur Erläuterung der Arbeitsweise der Vorrichtung von F i g. 2.
Die in F i g. 1 sehr schematisch dargestellte elektronenoptische Vorrichtung enthält eine Katode 1 und eine
Beschleunigungsanode 2. Die Beschleunigungsanode ist mit einem Durchgangsloch für das von der Katode
ausgehende Elektronenbündel ausgestattet, und sie erteilt den Elektronen eine durch den Potentialunterschied
zwischen Katode und Beschleunigungsanode festgelegte Geschwindigkeit.
Ein Hauptablenksystem mit zwei Ablenkplattenpaaren 31a, 31 b, 32a, 32b bekannter Bauart ist so
angeordnet, daß es das Elektronenbündel umschließt Die beiden zueinander senkrechten Platten 31a, 32a sind
miteinander und mit Masse verbunden, während die beiden anderen Platten 31 b und 32fc Spannungen
empfangen, die von einem Rechner und von Digital-Analog-Umsetzern kommen, welche in F i g. 1 nicht
dargestellt sind. Dies ermöglicht eine programmierte Ablenkung des Elektronenbündels in zwei zueinander
senkrechten Richtungen X und Y. Das Elektronenbündel beschießt ein nicht dargestelltes Objekt, welches auf
einem Objektträger 4 mit Hilfe einer an sich bekannten Vorrichtung sehr genau positioniert ist
Zwei Schrittmotoren 41 und 42 steuern die Verschiebung des Objektträgers in den beiden Richtungen A'
bzw. Y.
Mit dem Objektträger 4 sind zwei Interferometer 51 und 52 verbunden. Jedem dieser Interferometer ist ein
Zähler 101 bzw. 102 zugeordnet Wenn sich der Objektträger 4 verschiebt, verschieben sich die Interferenzstreifen.
Eine lichtempfindliche Zelle 71 bzw. 72 sendet bei jedem Vorbeigang eines Interferenzstreifens
(beispielsweise des weißen Streifens) einen Impuls aus. Die Impulse werden durch die beiden Zähler 101, 102
gezählt. Die Zahlen, die diese Zähler anzeigen, geben die Koordinaten X bzw. Yder Position des Objektträgers 4
an.
Es besteht das Problem, zu erreichen, daß beim Anlegen bestimmter Spannungen an die Ablenkplatten
genau ein bestimmter Punkt des Objekts beschossen wird, und zwar mit einer absoluten Genauigkeit unter
500 Angström. Dieser genaue Punkt ist beispielsweise der Anfang einer Spur, die durch einen Rechner
programmiert ist. Zum Beschießen dieses Punktes muß dem Objektträger eine Position gegeben werden, die
mit Bezug auf die Achsen A"und Vhinreichend genau ist.
Ein Hilfsablenksystem mit Ablenkplattenpaaren 61a, 616, 62a, 626, die in der Laufrichtung des Elektronenbündels
vor dem Hauptablenksystem angeordnet sind, ermöglicht es, durch eine Verschiebung des Elektronenbündels
den Restfehler in der Positionierung des Objektträgers 4 zu verringern und die Auswirkungen
von mechanischen Schwingungen des Objektträgers 4 zu beseitigen.
Die beiden Ablenkplatten 61a und 62a sind miteinander
und mit Masse verbunden. Jede der beiden anderen Ablenkplatten 61 b, 62b empfängt eine Korrekturspannung
von einer zugeordneten Stellungskorrekturschaltung. Die den beiden Koordinatenrichtungen X und Y
zugeordneten Stellungskorrekturschaltungen sind gleich. In Fig.2 ist die der XRichtung zugeordnete
Stellungskorrekturschaltung dargestellt. Eine gleiche Stellungskorrekturschaltung wirkt auf die Y- Richtung
ein.
Zu der Stellungskorrekturschaltung von F i g. 2 gehört der Zähler 101, welcher den Istwert ΛΊ der
Koordinate X registriert.
21)
Der Ausgang des Zählers 101 und der Ausgang eines Registers 122, welches den von dem Rechner 100
angegebenen Sollwert Xq der Koordinate X speichert, sind mit zwei Eingängen eines Vergleichers 103
verbunden. Dieser ermittelt die Differenz E zwischen dem von dem Rechner 100 vorgegebenen Sollwert AO
und dem vom Zähler 101 angezeigten Istwert X\ 'ind Hefen am Ausgang ein den Positionsfehler £ darstellendes
Signal DP.
Der Ausgang des Vergleichers 103 ist mit dem Eingang einer Decodierschaltung 104 verbunden, die an
drei Ausgängen drei binäre Signale DEo, DE\ und 5 liefert.
Es werden die folgenden Definitionen verwendet:
— Eo ist der kleinste Wert des Positionsfehlers E, der lv>
durch eine mechanische Verschiebung korrigiert werden kann;
— Ei ist der größte Wert des Positionsfehlers E, der
durch Ablenkung des Elektronenbündels korrigiert werden kann;
— esgilt|£i|
> IiSbI.
Die Decodierschaltung 104 ist so ausgebildet, daß sie ihren Ausgangssignalen die folgenden Werte erteilt:
Df11= 1 für |£|>|£„|
ߣ„ = 0 für |£|<|£„|
DE1 = 1 für |£|>|£||
DE1 = 0 für |£|<|£,|
ߣ„ = 0 für |£|<|£„|
DE1 = 1 für |£|>|£||
DE1 = 0 für |£|<|£,|
S = 1 für £>0
S = O für £<0
Zur Vereinfachung werden die Ausgänge der Decodierschaltung 104 mit den gleichen Bezugszeichen
wie die von ihnen abgegebenen Signale bezeichnet.
Der Ausgang DEo und der Ausgang DE\ sind mit zwei Eingängen eines Taktgebers 105 verbunden, der
Impulse mit einer veränderlichen Folgefrequenz liefert die zwischen zwei Werten Fb und Fh liegt Fb ist die 4-,
Maximalfrequenz der Impulse, bei welcher der Schrittmotor 41, der die Verschiebung des Objektträgers 4 in
der X- Richtung steuert unter Berücksichtigung seiner Belastung anlaufen kann. Fh ist die Maximalfrequenz
der Impulse, bei welcher der Motor seine Maximalge- -,0 schwindigkeit annimmt.
Der Rechner gibt einen Positionierungsbefehl ab, indem er durch einen seiner Ausgänge eine bistabile
Kippschaltung 108 in den Zustand »0« versetzt. Das Ausgangssignal der Kippschaltung 108 wird an einen
Eingang des Taktgebers 105 angelegt
Wenn der Positionierungsbefehl gegeben wird, zeigt der Rechner 100 die Sollposition in das Register 122 ein,
und der Vergleicher 103 gibt an seinem Ausgang ein den Stellungsfehler darstellendes Fehlersignal DP ab. Die to
Frequenz des Taktgebers 105 geht, wenn das binäre Signal DE\ am Anfang den Wert »1« hat, nach einem
von den Kennlinien des Motors abhängigen Gesetz fortschreitend von F^auf Früher.
Der Ausgang des Taktgebers 105 ist mit jeweils einem t5
Eingang von zwei UND-Schaltungen 106 und Ϊ07 verbunden. Die Ausgänge der UND-Schaltungen 106
und 107 sind mit zwei Eingängen des m Fig.2 nicht
dargestellten Schrittmotors 41 verbunden, die seine Drehung in dem einen oder anderen Richtungssinn
steuern. Der Ausgang S ist mit einem zweiten Eingang der UND-Schaltung 106 direkt und mit einem zweiten
Eingang der UND-Schaltung 107 über einen Inverter 109 verbunden, der an seinem Ausgang das Komplement
5 des Signals liefert. Außerdem ist der Ausgang DEq jeweils mit einem dritten Eingang jeder der beiden
UND-Schaltungen 106 und 107 verbunden.
Der Ausgang DEa ist andererseits über einen Inverter
112 mit einem Eingang einer UND-Schaltung UO verbunden, deren Ausgang mit einer bistabilen Schaltung
111 verbunden ist, die ein das Ende der mechanischen Positionierung anzeigendes Signal MPan
einen ersten Eingang des Rechners 100 und an den Setzeingang der bistabilen Kippschaltung 108 abgibt,
welche somit beim Erscheinen dieses Impulses den Zustand »1« annimmt.
Der andere Eingang der UND-Schaltung 110 ist in derselben Weise mit einem das Signal DE0 liefernden
Ausgang der der V-Richtung zugeordneten Vorrichtung verbunden.
Die UND-Schaltung 110 liefert somit ein Ausgangssignal 1, wenn die Signale DE0 für beide Koordinaten X
und Y den Wert »0« haben, d. h., wenn ihre
Komplemente DEo gleich 1 sind.
Der Ausgang DE\ der Decodierschaltung 104 ist mit einem Eingang einer ODER-Schaltung 113 verbunden.
Der andere Eingang der ODER-Schaltung 113 ist mit dem entsprechenden Ausgang DEi in der der V-Richtung
zugeordneten Vorrichtung verbunden. Der Ausgang der ODER-Schaltung 113 ist mit einem ersten
Eingang einer UND-Schaltung 114 verbunden, deren zweiter Eingang mit dem Ausgang der bistabilen
Schaltung 108 verbunden ist und deren Ausgang mit einem zweiten Eingang des Rechners 100 verbunden ist.
Der Ausgang der bistabilen Schaltung 108 ist andererseits mit einem Eingang einer UND-Schaltung 115
verbunden, deren anderer Eingang direkt an den Ausgang für das Fehlersignal DP des Vergleichers 103
angeschlossen ist.
Der Ausgang der UND-Schaltung 115 ist mit einem Digital-Analog-Umsetzer 116 verbunden, dessen Ausgangsspannung
an die der A"-Richtung zugeordnete Ablenkplatte 616 angelegt wird.
Die Arbeitsweise der Anordnung wird mit Hilfe der in Fig.3 dargestellten Diagramme erläutert. In jedem
Diagramm ist die Abszisse die Zeit f. Das Diagramm a zeigt den Positionierungsfehler E in der betreffenden
Koordinatenrichtung.
Das Diagramm b zeigt die Geschwindigkeit des zugeordneten Motors.
Das Diagramm c zeigt die Ablenkungen des Elektronenbündels zum Korrigieren der Auswirkungen
von mechanischen Schwingungen des Objektträgers.
Das Diagramm d zeigt das das Ende der mechanischen Positionierung anzeigende Signal MP.
Das Diagramm e zeigt das die fehlerhafte Positionierung anzeigende Diagramm FP, welches geliefert wird,
wenn der Objektträger infolge von mechanischen Schwingungen Stellungsfehler aufweist, die nicht mehr
elektronisch korrigiert werden können.
Die Positionierung besteht nämlich aus zwei Phasen, nämlich der Phase der mechanischen Positionierung, in
welcher lediglich von dem Motor Gebrauch gemacht wird, und der Phase der elektronischen Korrektur, in
welcher der restliche Stellungsfehler und durch mechanische Schwingungen verursachte zufällige Ver-
Schiebungen allein durch Einwirkung auf das Elektronenbündel korrigiert werden.
Am Beginn der ersten Phase im Zeitpunkt /o gibt der
Rechner einen Stellungskorrekturbefehl ab, der die bistabile Kippschaltung 108 in den Zustand »0« versetzt.
Die Sollposition wird durch das Register 122 angezeigt. Der Stellungsfehler wird durch den Vergleicher 103
angezeigt. Wenn die Kippschaltung 108 in dem Zustand »0« ist, ist die UND-Schaltung 114 geschlossen.
Es wird von der Annahme ausgegangen, daß der durch das Signal DP angezeigte Stellungsfehler E
größer als E\ ist.
Das Signal DE1 hat den Zustand »1«. Das Signal 5
nimmt den Zustand an, der dem Richtungssinn der auszuführenden Verschiebung entspricht. Der Taktgeber
105 geht fortschreitend von der Frequenz Fb auf die Frequenz Fh über. Eine der UND-Schaltungen 106 und
107 ist gemäß dem Wert des Signals S geöffnet. Außerdem gilt DE0 = 1, da Ex größer als £0 ist. Der
Motor dreht folglich mit der Maximalgeschwindigkeit, was aus dem Diagramm (b) ersichtlich ist.
Zur Zeit t\ wird fkleiner als E1, bleibt jedoch über Eo.
Das Signal DEa bleibt gleich »1«, aber das Signal DE\
geht auf »0«.
Der Taktgeber 105 liefert die Frequenz Fb, und der
Motor dreht mit seiner niedrigsten Geschwindigkeit (Diagramm b).
Wenn zur Zeit /2 der Stellungsfehler £ durch E0 geht,
hält der Motor an und der Inverter 112 liefert an die UND-Schaltung 110 ein Signal »1«. Wenn in der
K-Richtung das gleiche Ergebnis erreicht ist, liefert die UND-Schaltung 110 ein Signal »1«, and die bistabile
Schaltung Ul liefert das das Ende der mechanischen Positionierung anzeigende Signal MP (Diagramm d).
welches einerseits an den Rechner 100 und andererseits an die bistabile Kippschaltung 108 angelegt wird. Die
Kippschaltung 108 nimmt den Zustand »1« an und bleibt in diesem Zustand. Dadurch wird die zweite Phase
eingeleitet.
Durch das Ausgangssignal »1« der bistabilen Kippschaltung 108 werden die UND-Schaltungen 114 und
115 geöffnet. Die UND-Schaltung 115 überträgt das den
restlichen Stellungsfehler anzeigende Ausgangssignal DPdes Vergleichers 103 zum Digital-Analog-Umsetzer
116, der eine entsprechende Korrekturspannung an die Ablenkplatte 6lb anlegt. Dadurch wird der restliche
Stellungsfehler korrigiert.
Wenn anschließend infolge von Vibrationen Stellungsfehler auftreten (Diagramm c), werden diese durch
die über die UND-Schaltung 115 und den Digital-Analog-Umsetzer
116 an die Ablenkplatte 61 b angelegte Korrekturspannung korrigiert, soweit der Stellungsfehler
E kleiner als E1 bleibt.
Wenn dagegen der durch Vibrationen verursachte Stellungsfshler den Wert £Ί dem Absolutwert nach
überschreite·, wie im Diagramm (c) in den Zeitpunkten t) und U dargestellt ist, kann er nicht mehr durch das
Hilfsablenksystem elektronisch korrigiert werden. In diesem Fall gibt die Decodierschaltung 104 ein Signal
DE1 des Wertes »1« ab, das über die ODER-Schaltung
113 der UND-Schaltung 114 zugeführt wird. Da die UND-Schaltung 114 durch das Ausgangssignal der
bistabilen Kippschaltung 108 geöffnet ist, gibt sie am Ausgang ein die fehlerhafte Positionierung anzeigendes
Signal FP des Wertes »1« ab, wie im Diagramm (e) gezeigt ist. Das Signal FPzeigt dem Rechner 100 an, daß
beim Beschreiben der Spur ein Fehler aufgetreten ist, der nicht mehr korrigiert werden konnte.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Vorrichtung zum genauen Positionieren eines Objektträgers in bezug auf eine Korpuskularoptik,
die einen auf das Objekt gerichteten Teilchenstrahl erzeugt und Ablenkeinrichtungen für den Teilchenstrahl
in zwei Koordinatenrichtungen aufweist, mit digitalen Stellungsgebern, die mit dem Objektträger
verbunden sind, mit einem programmgesteuerten Rechner, der die Soll-Position des Objektträgers
bestimmde digitale Ausgangssignale liefert, und mit
Motoren zur Grobeinstellung des Objektträgers in den beiden Koordinatenrichtungen entsprechend
den Ausgangssignalen des Rechners und sowie mit einer Decodierschaltung und einer digitalen Schaltung
zur Steuerung der Ablenkeinrichtung für die Feineinstellung des Teilchenstrahls relativ zum
Objektträger aufgrund der Ausgangssignale des Rechners, dadurch gekennzeichnet, daß
für jede Koordinatenrichtung ein Vergleicher (103) vorgesehen ist, der eingangsseitig mit dem Rechner
(100) und mit einem der Stellungsgeber (51,71,101;
52, 72, 102) und ausgangsseitig mit der Decodierschaltung (104) und einer dieser nachgeschalteten
Steuerschaltung (105, 106, 107, 109) für den zugeordneten Motor (41, 42) verbunden ist und
kontinuierlich ein die Differenz zwischen den Eingangssignalen darstellendes Fehlersignal (DP)
erzeugt, da3 die Decodierschaltung (104) ein erstes Signal (S) vom Wert »0« oder »1« entsprechend dem
Vorzeichen des Fehlersignals (DP), ein zweites Signal (DEi) vom Wert »0« oder »1«, wenn der
Betrag des Fehlersignals (DP) unter oder über einen ersten Wert (E1) liegt, und ein drittes Signal (DE0)
vom Wert »0« oder »1«, wenn der Betrag des Fehlersignals (DP) unter oder über einem zweiten
kleineren Wert (E0) als dem ersten Wert (E\) liegt, an
die Steuerschaltung (105, 106, 107, 109) Hefen, welche den Lauf des Motors (41,42) in der durch das
erste Signal (S) bestimmten Drehrichtung mit einer großen (V\) bzw. kleinen (Vj) Verstellgeschwindigkeit
steuert, wenn das zweite Signal (DE\) und das dritte Signal (DEo) den Wert »1« haben, bzw. das
zweite Signal (DE\) auf den Wert »0« geht, und den Motor stillsetzt, wenn das dritte Signal (DEo) auf den
Wert »0« geht, und daß die digitale Schaltung (108, 110, 111, 115) das Anlegen einer von dem
Fehlersignal (DP) abgeleiteten Ablenkspannung an die Ablenkeinrichtungen (61a, 61 b, 62a, 62Λ,) freigibt,
wenn das dritte Signal (DEo) auf den Wert »0« geht.
2. Vorrichtung nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Decodierschaltung (104) eine
weitere digitale Schaltung (113, 114) angeschlossen ist, die dem Rechner (100) ein eine fehlerhafte
Positionierung anzeigendes Signal (FP) liefert, wenn nach der Freigabe des Anlegens der Ablenkspannung
das zweite Signal (DE]) wieder auf den Signalwert »1« geht.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die digitale Schaltung (108,110,
111,115) eine bistabile Kippschaltung (108) aufweist,
die von dem Rechner (100) beim Beginn eines Positionierungsvorgangs in den einen Zustand (»0«)
versetzt wird und die in den entgegengesetzten Zustand (»1«) zurückgestellt wird, wenn das dritte
Signal (DE0) der Decodierschaltung (104) erstmals
auf den Wert »0« geht und anschließend bis zum Beginn des nächsten Positionierungsvorgangs in
diesem Zustand bleibt, und daß das Ausgangssignal der bistabilen Kippschaltung (108) im entgegengesetzten
Zustand (»1«) das Anlegen der vom Fehlersignal (DP) abgeleiteten Ablenkspannung an
die Ablenkeinrichtungen (61 a, 61 b, 62a, 62b) freigibt
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal
der bistabilen Kippschaltung iiOS) an einen Eingang
ίο und das zweite Signal (DE\) an den anderen Eingang
einer UND-Schaltung (114) der weiteren digitalen Schaltung (193,114) angelegt ist, deren Ausgangssignal
das die fehlerhafte Positionierung anzeigende Signal (FPJbildet
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückstellung der bistabilen
Kippschaltung (108) durch das Ausgangssignal einer UND-Schaltung (110) erfolgt, die an zwei Eingängen
die den beiden Koordinatenrichtungen zugeordneten dritten Signale (DE0) jeweils über einen Inverter
(112) empfängt.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Motoren (41, 42)
Schrittmotoren sind, und daß die die Verstellgeschwindigkeit der Motoren (41, 42) steuernde
Steusrschaltung (105,106,107,109) einen Taktgeber
(105) enthält, der Impulse mit einer zwischen zwei vorbestimmten Werten (Fb, Fh) liegenden Folgefrequenz
erzeugt, die durch das zweite und das dritte Signal (DE\, DEo) gesteuert wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Taktgebers (105)
jeweils mit einem ersten Eingang von zwei UND-Schaltungen (106,107) verbunden ist, daß das
erste Signal (S) an einen zweiten Eingang der einen UND-Schaltung (106) direkt und an einen zweiten
Eingang der anderen UND-Schaltung (107) über einen Inverter (109) angelegt ist, daß ein dritter
Eingang jeder UND-Schaltung (106,107) das dritte Signal (DE0) empfängt, und daß die Ausgänge der
beiden UND-Schaltungen (106, 107) mit zwei der einen bzw. der anderen Drehrichtung zugeordneten
Eingängen des betreffenden Motors (41, 42) verbunden sind.
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