EP0077970B1 - Vorrichtung zum automatischen Abgleich der Kennlinie einer Ablenkeinheit - Google Patents

Vorrichtung zum automatischen Abgleich der Kennlinie einer Ablenkeinheit Download PDF

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EP0077970B1
EP0077970B1 EP82109396A EP82109396A EP0077970B1 EP 0077970 B1 EP0077970 B1 EP 0077970B1 EP 82109396 A EP82109396 A EP 82109396A EP 82109396 A EP82109396 A EP 82109396A EP 0077970 B1 EP0077970 B1 EP 0077970B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
input
output
adjustment
signal
zero
Prior art date
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Expired
Application number
EP82109396A
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English (en)
French (fr)
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EP0077970A1 (de
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Günther Koszytorz
Herbert Dipl.-Ing. Lucke
Gerhard Dipl.-Ing. Schlosser
Joachim Dipl.-Ing. Väth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to AT82109396T priority Critical patent/ATE12600T1/de
Publication of EP0077970A1 publication Critical patent/EP0077970A1/de
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece

Definitions

  • the invention relates to a device for automatic adjustment of the characteristic of a deflection unit according to the zero point and slope.
  • Deflection units are required, for example, for setting deflection mirrors for a laser beam in laser writing instruments.
  • a position signal recorded with an actual value measuring circuit is compared with a target value and the position signal is brought into agreement with a target value with the aid of a controller that controls the deflection unit.
  • the actual value measurement circuits usually used which work with a capacitive sensor, have a temperature drift, which leads to the fact that the actual position of the deflection mirror deviates from the set value. This leads to shifts and changes in scale of the title block.
  • the temperature drift not only leads to a shift in the zero point of the characteristic of the deflection unit, but also to a change in the characteristic slope.
  • the temperature drift is compensated for by preheating the deflection units or by performing a manual compensation.
  • potentiometers for adjusting the characteristic curves are provided in the controller.
  • complete compensation is not possible with the preheating of the deflection unit.
  • a correction of the temperature error i. a. only be carried out for a certain operating temperature.
  • the object of the invention is therefore to design a device for adjusting the linear characteristic of a deflection unit such that an automatic adjustment takes place.
  • the first and the second memory are loaded with values which are smaller than the values to be expected after the adjustment has been carried out before the start of the adjustment, only the contents of the first and second memory being incremented. Since the memory contents are only changed in one direction, only one condition has to be checked by the comparator stage, namely whether the position measurement signal is still less than the predetermined value.
  • the adjustment setpoints are expediently stored in a third memory, at whose address inputs the zero adjustment command and the slope adjustment command are present and whose outputs are connected to the first input of the multiplier and to the second input of the comparator. With this, fixed adjustment values can be preprogrammed.
  • a changeover switch is expediently inserted, at the first input of which the setpoint for the deflection unit is present, the second input of which is connected to the output of the third memory and which is used for a slope adjustment command or zero adjustment command from the first to the second input toggles.
  • the setpoint specified for the deflection unit thus automatically changes to the specified setpoint during the adjustment process.
  • the first and the second memory can be implemented in a particularly simple manner as the first and second counters, a clock generator being provided which applies counting pulses to the incrementing and decrementing inputs of the first and second counters.
  • the clock generator can be connected to the first inputs of four AND gates, the zero adjustment command being present at the second input of the first and second AND gates and the slope adjustment command being present at the second input of the third and fourth AND gates, the first output the comparator stage is connected to the third input of the second and fourth AND gates and the second output of the comparator stage is connected to the third input of the first and third AND gates, and the output of the first AND gate is connected to the increment input of the second counter, the output of the second AND gate is connected to the decrementing input of the second counter, the output of the third AND gate is connected to the incrementing input of the first counter and the output of the fourth AND gate is connected to the decrementing input of the first counter.
  • the counters are subjected to incrementing or three-incrementing pulses, which is necessary for the adjustment function.
  • the first to third memories can also be buffer memories which are loaded accordingly by the data bus of a microprocessor or computer.
  • the adjustment device can thus be controlled in a particularly simple manner in cooperation with a microprocessor or computer.
  • the position measuring device can contain a disc connected to a shaft of the deflection unit, which lies in the light path between a light transmitter and a light receiver emitting the position measurement signal, the disc having a first slit diaphragm, which lies in the light path when the deflection unit is in the zero position, and wherein the disc has a second slit diaphragm which lies in the light path when the position of the deflection unit matches the second adjustment setpoint.
  • the adjustment points can be precisely recorded with little design effort.
  • This position measurement also has the advantage that its output signal is the same in both adjustment points, so that the comparator stage can work with the same comparison value in both adjustment points and a switchover is not necessary.
  • the light receiver can advantageously be a differential photodiode.
  • the output signal of this differential photodiode is zero in both adjustment points, so that only a comparison with the 0 signal is required for the adjustment.
  • the comparison stage is thus simplified to a limit transmitter.
  • Fig. 1 shows a known control device for a deflection unit A, as z. B. is commonly used in laser writing instruments.
  • the deflection unit A adjusts a mirror Sp, the actual position of which is detected by an actual value measuring circuit M. This works for. B. with a capacitive position encoder.
  • the measured value for the actual position is compared in a comparator V with a position setpoint L solI .
  • the control difference is applied to a controller R, which controls the deflection unit A.
  • the deflection unit ideally has z. B. on a characteristic curve A shown in Fig. 2, in which a step of the target value corresponds to a write beam deflection y of 0.02 mm. With ⁇ 2000 steps of the setpoint, a beam deflection of a total of ⁇ 40 mm is achieved.
  • the actual value measuring circuit M exhibits a temperature drift, so that the measured value for the actual position no longer corresponds to the actual position. This has an effect both in a parallel shift and in a change in the slope of the characteristic curve A, which thus merges into the characteristic curve B also shown in FIG. 2.
  • a setpoint signal of + 2000 or - 2000 for example, this would result in a beam deflection of approx. + 32 or - 42 mm.
  • the position setpoint L should be changed accordingly.
  • the characteristic curve of the deflection unit can thus be adjusted to its target characteristic curve.
  • Such an adjustment is possible if the characteristic curve B is first shifted such that it runs as the characteristic curve B 'through the zero point of the coordinate system. This can be realized by allowing the target value L is to add a certain amount.
  • the characteristic curve B 'must then be rotated, which can be done by multiplying the setpoint by a constant factor.
  • the adjustment described is expediently carried out with two adjustment points, namely the adjustment point 0 plus a parallel displacement of the characteristic curve and a second adjustment point, different from zero, for rotating the characteristic curve.
  • FIG. 3 A circuit arrangement with which the characteristic curve of a deflection unit can be automatically adjusted is shown in FIG. 3.
  • the second input of the multiplier 1 is connected to the output of a memory 3. This results in the described rotation of the characteristic.
  • the output of the multiplier 1 is connected to a first input of an adder 2, the second input of which is connected to a second memory 4.
  • the parallel shift of the characteristic curve described is implemented with the adder 2, so that the corrected setpoint L target is present at the output of the adder.
  • the circuit described below ensures that the memories 3 and 4 are loaded with the values required for the adjustment. As described, this requires a double adjustment process, namely zero and slope adjustment.
  • E4 there is the zeroing command which is fed to an address input of a third memory 5, the second input of two AND gates 8 and 9 and an input of an OR gate 14.
  • the output signal of the OR gate 14 controls the switch 6, which thus switches the first input of the multiplier 1 from the input E1 to the output of the memory 5.
  • the corresponding adjustment setpoint was selected with the zero adjustment command, in this case the value zero.
  • the memory 4 must now be set so that the write beam actually assumes the zero position.
  • a separate position measuring device 13 is provided, which must not have a temperature error.
  • this position measuring device 13 since this position measuring device 13 only has to scan the position of the light beam in two points, namely in the zero point and a further adjustment point, this is easy to implement, as will be described below.
  • the output signal of the position measuring device 13 is fed to a comparator 12, the comparator input of which is connected to the output of the memory 5. Since a zero signal is present at the output of the memory 5 when the zeroing command is given, the position measuring signal of the position measuring device 13 is therefore compared with zero.
  • the comparator 12 has two outputs 12a and 12b, a 1 signal being present at the output 12a if the position measurement signal is greater than the comparison value, and a 1 signal being present at the output 12b if the position measurement signal is smaller than the comparison signal.
  • the output 12a of the comparator 12 is connected to the third input of the AND gate 9 and the output 12b to the third input of the AND gate 8.
  • the output of a clock generator 7 is connected to the first inputs of the two AND gates 8 and 9.
  • the output of the AND gate 8 is connected to the increment input IV of the counter 4 and the output of the AND gate 9 is connected to the decrement input IR of the counter 4.
  • the clock pulses of the clock generator 7 are switched through to the incrementing input of the counter 4 when the position measurement signal is less than zero or switched through to the decrementing input when the position measurement signal is greater than zero.
  • the counter 4 is thus brought to such a value that the write beam actually assumes the zero position when a nominal value of zero is specified. As explained, this is done by adding the counter reading of the counter 4 to the setpoint in the adder 2. This results in a parallel shift of the characteristic curve to be calibrated. This ends the zero adjustment.
  • input E3 is also connected to an input of OR gate 14, to a further address input of memory 5 and to the second input of two UN D gates 10 and 11, respectively.
  • OR gate 14 In the memory 5, a non-zero adjustment setpoint is addressed with the slope adjustment command. Since the slope adjustment command via the OR gate 14 also switches the switch 6 to the output of the memory 5, this adjustment setpoint is given to the deflection unit instead of the setpoint L solI . Furthermore, the adjustment setpoint is also fed to the comparison input of the comparator 12. It is assumed that the position measuring device 13 supplies the second adjustment setpoint as an output variable when the write beam is set to the second adjustment point.
  • the position measuring device 13 can also, such as. B.
  • the position measuring device 13 can, however, also deliver any position measurement signal in the second adjustment point if this is stored in the memory and, if necessary, is fed to the comparison input of the comparator 12 via a second output 5.
  • the comparator 12 also checks in the second adjustment point whether the position measurement signal emitted is greater or less than the comparison value.
  • the output 12b is connected to the third input of an AND gate 10 and the output 12a is connected to the third input of an AND gate 11.
  • the output of the AND gate 10 is with. the increment input IV of the counter 3 and the output of the AND gate 11 connected to the decrement input of the counter 3.
  • the output of the clock generator 7 is also connected to the first inputs of the AND gates 8 and 9.
  • the counter 3 With the clock pulses of the clock generator 7, the counter 3 is thus adjusted in the presence of the slope adjustment command until the position of the write beam corresponds to the predetermined second adjustment setpoint. As explained, this is done by supplying the output signal of counter 3 to the second input of multiplier 1. This multiplication causes the characteristic curve B 'to be rotated until it coincides with the characteristic curve A.
  • the changeover switch 6 is switched back again so that the deflection unit is again given the position setpoint LsolI.
  • the counts of counters 3 and 4 are retained until the next adjustment process, so that the characteristic curve of the deflection unit now corresponds to its target characteristic curve at least for a specific operating range.
  • the adjustment process can, for. B. at fixed intervals, e.g. B. after a certain number of labeling operations, or on request.
  • the period of the clock pulses is chosen so that a possible transient of the deflection unit has decayed between two clock pulses.
  • monitoring is required in comparator stage 12 to determine whether the position measurement signal is greater or less than the adjustment setpoint.
  • counters 3 and 4 can also be set to values before the start of the adjustment which are below the values to be expected after the adjustment has taken place. This can e.g. B. done by a set signal at the input E2, which is connected by the lines shown in dashed lines in Fig. 3 with the set inputs S of the counter 3 and 4.
  • the specified values to which counters 3 and 4 are to be set are available at the preset input ZI of counters 3 and 4, respectively. In this case, only the smaller signal at the output 12b of the comparator stage 12 is evaluated. The counts of counters 3 and 4 are incremented until the signal at output 12b has disappeared. Since there is no need to decrement counters 3 and 4, AND gates 9 and 11 can also be omitted.
  • the memories 3 to 5 are designed as buffer memories, which are loaded by a microprocessor or computer 15 via a data bus 16.
  • the buffer memories 3 to 5 also contain a digital / analog converter, which converts the digital signals of the microprocessor into analog values for further processing.
  • the digital / analog converter of the buffer memory 5 is designed as a multiplying converter, the multiplication input of which is connected to the output of the buffer memory 3.
  • the outputs 12a and 12b of the comparator 12 are also coupled to the data bus 16 via a buffer memory 18. 4 is before exposed that the position measurement signal of the position measuring device 13 goes to zero at each adjustment setpoint.
  • the comparator 12 therefore always compares the position measurement signal with zero, so that no separate comparison voltage specification is necessary.
  • the comparator 12 can be designed as a window discriminator which only emits a signal at the outputs 12a or 12b if the input signal lies outside a certain bandwidth around the zero point.
  • the microprocessor or computer 15 sets the buffer memory 5 to the position setpoint for the deflection unit in normal operation, so that the deflection unit adjusts itself accordingly.
  • the microprocessor for the buffer memory 5 first sets the input signal zero during the zero adjustment. If the already described method of unilaterally approximating the adjustment state is carried out, the microprocessor 15 also specifies values for the buffer memories 3 and 4 which are below the values to be expected in the adjustment state.
  • the output 12b of the comparator stage 12 is then queried via the buffer memory 18 as to whether the smaller signal is present. If this is the case, the content of the buffer memory 4 is increased by one. Then the output 12b of the comparator 12 is queried again whether the smaller signal is still present. The content of the buffer memory 4 is increased until the smaller signal at the output 12b of the comparator 12 has disappeared. Between the interrogation processes, one may wait for a settling time of the deflecting mirror Sp. The zero adjustment is thus carried out.
  • the buffer memory 5 is then given a second adjustment value which differs from zero and which is as close as possible to the end deflection of the mirror Sp or corresponds to it.
  • the content of the buffer memory 4 remains unchanged.
  • the small signal at the output 12b of the comparator 12 is again queried and the content of the buffer memory 3 is incremented until the small signal has disappeared. This ends the adjustment and the microprocessor 15 can again specify the position setpoint for the deflection unit A in normal operation.
  • the position measuring device 13 contains a light transmitter 13a, which can be a light-emitting diode, for example.
  • the light transmitter 13a is located in a holder 13b opposite a light receiver 13c, which can be a differential photodiode, for example. This contains two sub-photodiodes, the output voltages of which are connected to one another.
  • a disk 13d which is mechanically firmly connected to a shaft of the deflection unit A.
  • the disk 13d has two slit diaphragms 13e and 13f.
  • the slit diaphragms 13e and 13f are arranged such that each one slit diaphragm lies exactly between the light transmitter 13a and the dividing line between the two partial photodiodes of the differential photodiode 13c at one of the two adjustment points. It is thus achieved that the output signal of the position measuring device 13 becomes zero as soon as the deflection unit A has reached one of the two adjustment points.
  • the carrier 13b of the light transmitter 13a and light receiver 13c is expediently displaceably arranged with an adjusting screw 13g.
  • This allows manufacturing tolerances for the first gap 13e or the attachment of the disk 13d to the shaft of the deflection unit A to be compensated for.
  • the following procedure can be followed: The second adjustment point is not determined from the outset, but it is first determined at which point the position measuring device detects the Releases zero voltage. This point would then be selected as the second adjustment setpoint.
  • the second adjustment setpoint only has to be determined once and should - in the case of machine production, the orifices remain the same for at least every production lot.

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum automatischen Abgleich der Kennlinie einer Ablenkeinheit nach Nullpunkt und Steigung.
  • Ablenkeinheiten werden beispielsweise zur Einstellung von Ablenkspiegeln für einen Laserstrahl bei Laserschreibgeräten benötigt. Dabei wird ein mit einem Istwertmesskreis erfasstes Lagesignal mit einem Sollwert verglichen und mit Hilfe eines Reglers, der die Ablenkeinheit steuert, das Lagesignal in Übereinstimmung mit einem Sollwert gebracht. Es hat sich jedoch gezeigt, dass die üblicherweise eingesetzten, mit einem kapazitiven Fühler arbeitenden Istwertmesskreise eine Temperaturdrift aufweisen, die dazu führt, dass die Istlage desAblenkspiegelsvom eingestellten Sollwertabweicht. Dies führt zu Verschiebungen und Massstabsveränderungen des Schriftfeldes. Die Temperaturdrift führt nicht nur zu einer Verschiebung des Nullpunkts der Kennlinie der Ablenkeinheit, sondern auch zu einer Veränderung der Kennliniensteigung.
  • Bei handelsüblichen Geräten wird die Temperaturdrift dadurch kompensiert, dass die Ablenkeinheiten vorgeheizt werden oder eine manuelle Kompensation durchgeführt wird. Dazu sind im Regler Potentiometer zur Kennlinienverstellung vorgesehen. Mit der Vorheizung der Ablenkeinheit ist jedoch keine vollständige Kompensation möglich. Bei der manuellen Kompensation kann eine Korrektur des Temperaturfehlers i. a. nur für eine bestimmte Betriebstemperatur durchgeführt werden.
  • Aus FR-A Nr. 2373819 ist bereits eine Vorrichtung zum automatischen Eichen des Positionsgebers eines Magnetkopfes, der über einer sich drehenden Magnetspeicherplatte bewegt wird, bekannt.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung zum Abgleich der linearen Kennlinie einer Ablenkeinheit so auszugestalten, dass ein automatischer Abgleich erfolgt.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
  • Mit der erfindungsgemässen Lösung ist ein automatischer Abgleich sowohl des Nullpunkts als auch der Steigung der Kennlinie der Ablenkeinheit möglich. Der Abgleich erfolgt in kurzer Zeit, so dass er auch periodisch durchgeführt werden kann. Damit ist ein automatischer Abgleich in jedem Betriebszustand möglich.
  • Vorteilhafterweise werden der erste und der zweite Speicher vor Beginn des Abgleichs mit Werten geladen, die kleiner als die nach erfolgtem Abgleich zu erwartenden Werte sind, wobei lediglich ein Inkrementieren der Inhalte des ersten und zweiten Speichers erfolgt. Da die Speicherinhalte nur in einer Richtung verändert werden, muss von der Vergleicherstufe nur eine Bedingung überprüft werden, nämlich ob das Lagemesssignal noch kleiner als der vorgegebene Wert ist.
  • Zweckmässigerweise sind die Abgleichsollwerte in einem dritten Speicher abgespeichert, an dessen Adresseingängen der Nullabgleichbefehl und der Steigungsabgleichbefehl ansteht und dessen Ausgänge mit dem ersten Eingang des M ultiplizierersund mit dem zweiten Eingang des Vergleichers verbunden sind. Damit können feste Abgleichwerte vorprogrammiert werden.
  • Zwischen dem dritten Speicher und dem ersten Eingang des Multiplizierers istzweckmässigerweise ein Umschalter eingefügt, an dessen erstem Eingang der Sollwert für die Ablenkeinheit ansteht, dessen zweiter Eingang mit dem Ausgang des dritten Speichers verbunden ist und der bei einem Steigungsabgleichbefehl oder Nullabgleichbefehl vom ersten auf den zweiten Eingang umschaltet. Damit wechselt der der Ablenkeinheit vorgegebene Sollwert beim Abgleichvorgang selbsttätig auf den vorgegebenen Abgleichsollwert.
  • Der erste und der zweite Speicher können besonders einfach als erster und zweiter Zähler realisiert sein, wobei ein Taktgeber vorgesehen ist, der die Inkrementier- und Dekrementiereingänge des ersten und des zweiten Zählers mit Zählimpulsen beaufschlagt.
  • Der Taktgeber kann mit den jeweils ersten Eingängen von vier UND-Gattern verbunden sein, wobei jeweils am zweiten Eingang des ersten und zweiten UND-Gatters der Nullabgleichbefehl und jeweils am zweiten Eingang des dritten und vierten UND-Gatters der Steigungsabgleichbefehl ansteht, wobei der erste Ausgang der Vergleicherstufe jeweils mit dem dritten Eingang des zweiten und vierten UND-Gatters und der zweite Ausgang der Vergleicherstufe jeweils mit dem dritten Eingang des ersten und dritten UND-Gatters verbunden ist und wobei der Ausgang des ersten UND-Gatters mit dem Inkrementiereingang des zweiten Zählers, der Ausgang des zweiten UND-Gatters mit dem Dekrementiereingang des zweiten Zählers, der Ausgang des dritten UND-Gatters mit dem Inkrementiereingang des ersten Zählers und der Ausgang des vierten UND-Gatters mit dem Dekrementiereingang des ersten Zählers verbunden ist. Mit dieser Schaltungsanordnung wird eine für die Abgleichfunktion erforderliche Beaufschlagung der Zähler mit Inkrementier- bzw. Drekrementierimpulsen erreicht.
  • Alternativ können der erste bis dritte Speicher auch Pufferspeicher sein, die vom Datenbus eines Mikroprozessors oder Rechners entsprechend geladen werden. Damit kann die Abgleichvorrichtung im Zusammenwirken mit einem Mikroprozessor oder Rechner besonders einfach angesteuert werden.
  • Die Lagemesseinrichtung kann eine mit einer Welle der Ablenkeinheit verbundene Scheibe enthalten, die im Lichtweg zwischen einem Lichtsender und einem das Lagemesssignal abgebenden Lichtempfänger liegt, wobei die Scheibe eine erste Schlitzblende aufweist, die bei Nullage der Ablenkeinheit im Lichtweg liegt und wobei die Scheibe eine zweite Schlitzblende aufweist, die im Lichtweg liegt, wenn die Lage der Ablenkeinheit mit dem zweiten Abgleichsollwert übereinstimmt. Mit einer derartigen Lagemesseinrichtung können die Abgleichpunkte bei geringem konstruktiven Aufwand genau erfasst werden. Diese Lagemesseinrichtung hat ausserdem den Vorteil, dass ihr Ausgangssignal in beiden Abgleichpunkten gleich ist, so dass die Vergleicherstufe in beiden Abgleichpunkten mit dem selben Vergleichswert arbeiten kann und eine Umschaltung nicht erforderlich ist.
  • Vorteilhafterweise kann dabei der Lichtempfänger eine Differentialfotodiode sein. Das Ausgangssignal dieser Differentialfotodiode ist in beiden Abgleichpunkten Null, so dass zum Abgleich lediglich ein Vergleich mit dem 0-Signal erforderlich ist. Die Vergleicherstufe vereinfacht sich damit auf einen Grenzwertgeber.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Fig. 1 bis 5 näher erläutert.
  • Fig. 1 zeigt eine bekannte Steuereinrichtung für eine Ablenkeinheit A, wie sie z. B. in Laserschreibgeräten üblicherweise verwendet wird. Die Ablenkeinheit A verstellt einen Spiegel Sp, dessen Istlage mit einem Istwertmesskreis M erfasst wird. Dieser arbeitet z. B. mit einem kapazitiven Lagegeber. Der Messwert für die Istlage wird in einem Vergleicher V mit einem Lagesollwert LsolI verglichen. Die Regeldifferenz wird einem Regler R aufgeschaltet, der die Ablenkeinheit A ansteuert.
  • Die Ablenkeinheit weist im Idealfall z. B. eine in Fig. 2 dargestellte Kennlinie A auf, bei der einer Stufe des Sollwerts eine Schreibstrahlablenkung y von 0,02 mm entspricht. Mit ± 2000 Stufen des Sollwerts wird somit eine Strahlauslenkung von insgesamt ± 40 mm erzielt.
  • Wie bereits eingangs dargelegt, weist der Istwertmesskreis M eine Temperaturdrift auf, so dass der Messwert für die Istlage nicht mehr mit der tatsächlichen Lage übereinstimmt. Dies wirkt sich sowohl in einer Parallelverschiebung als auch in einer Veränderung der Steigung der Kennlinie A aus, die damit in die ebenfalls in Fig. 2 dargestellte Kennlinie B übergeht. Bei einem Sollwertsignal von + 2000 bzw. - 2000 würde sich damit beispielsweise eine Strahlauslenkung von ca. + 32 bzw. - 42 mm ergeben. Um die Abweichung der Kennlinie B von der Idealkennlinie A zu kompensieren, muss der Lagesollwert Lsoll entsprechend verändert werden. Damit kann die Kennlinie der Ablenkeinheit auf ihre Sollkennlinie abgeglichen werden. Ein derartiger Abgleich ist möglich, wenn man die Kennlinie B zunächst so verschiebt, dass sie als Kennlinie B' durch den Nullpunkt des Koordinatensystems verläuft. Dies kann dadurch realisiert werden, dass man zum Sollwert Lsoll einen bestimmten Betrag addiert. Anschliessend muss die Kennlinie B' noch gedreht werden, was durch Multiplikation des Sollwerts mit einem konstanten Faktor erfolgen kann. Der beschriebene Abgleich erfolgt zweckmässigerweise mit zwei Abgleichpunkten, nämlich dem Abgleichpunkt 0 zus Parallelverschiebung der Kennlinie und einem zweiten, von Null verschiedenen Abgleichpunkt, zur Drehung der Kennlinie.
  • Eine Schaltungsanordnung, mit der ein Abgleich der Kennlinie einer Ablenkeinheit automatisch durchgeführt werden kann, ist in Fig. 3 dargestellt. Der am Eingang E1 anstehende Lagesollwert Lsoll ist über einen Umschalter 6 dem ersten Eingang eines Multiplizierers 1 zugeführt. Der zweite Eingang des Multiplizierers 1 ist mit dem Ausgang eines Speichers 3 verbunden. Damit wird die beschriebene Drehung der Kennlinie bewirkt. Der Ausgang des Multiplizierers 1 ist mit einem ersten Eingang eines Addierers 2 verbunden, dessen zweiter Eingang mit einem zweiten Speicher 4 verbunden ist. Mit dem Addierer 2 wird die beschriebene Parallelverschiebung der Kennlinie realisiert, so dass am Ausgang des Addierers der korrigierte Sollwert Lsoll ansteht.
  • Durch die im folgenden beschriebene Schaltung wird erreicht, dass die Speicher 3 und 4 mit den für den Abgleich erforderlichen Werten geladen werden. Wie beschrieben, ist dafür ein zweifacherAbgleichvorgang, nämlich ein Null- und Steigungsabgleich, erforderlich. An einem Eingang E4 steht der Nullabgleichbefehl an, der einem Adresseingang eines dritten Speichers 5, dem jeweils zweiten Eingang zweier UND-Gatter 8 und 9 sowie einem Eingang eines ODER-Gatters 14 zugeführt ist. Das Ausgangssignal des ODER-Gatters 14 steuert den Umschalter 6 an, der damit den ersten Eingang des Multiplizierers 1 vom Eingang E1 auf den Ausgang des Speichers 5 umschaltet. Im Speicher 5 wurde mit dem Nuliabgleichbefehl-der entsprechende Abgleichsollwert angewählt, in diesem Fall also der Wert Null. Der Speicher 4 muss also nun so eingestellt werden, dass der Schreibstrahl tatsächlich die Nullage einnimmt. Dazu ist eine gesonderte Lagemesseinrichtung 13 vorgesehen, die keinen Temperaturfehler aufweisen darf. Da diese Lagemesseinrichtung 13 jedoch die Lage des Lichtstrahls nur in zwei Punkten, nämlich im Nullpunkt und einem weiteren Abgleichpunkt abtasten muss, ist dies, wie nachfolgend noch beschrieben wird, einfach zu realisieren. Das Ausgangssignal der Lagemesseinrichtung 13 wird einem Vergleicher 12 zugeführt, dessen Vergleichereingang mit dem Ausgang des Speichers 5 verbunden ist. Da bei Nullabgleichbefehl am Ausgang des Speichers 5 ein 0-Signal ansteht, wird also das Lagemesssignal der Lagemesseinrichtung 13 mit Null verglichen. Der Vergleicher 12 weist zwei Ausgänge 12a und 12b auf, wobei am Ausgang 12a ein 1-Signal ansteht, wenn das Lagemesssignal grösser als der Vergleichswert ist, und wobei am Ausgang 12b ein 1-Signal ansteht, wenn das Lagemesssignal kleiner als das Vergleichssignal ist. Der Ausgang 12a des Vergleichers 12 ist mit dem dritten Eingang des UND-Gatters 9 und der Ausgang 12b mit dem dritten Eingang des UND-Gatters 8 verbunden. Mit den ersten Eingängen der beiden UND-Gatter 8 und 9 ist jeweils der Ausgang eines Taktgebers 7 verbunden. Der Ausgang des UND-Gatters 8 ist mit dem Inkrementiereingang IV des Zählers 4 und der Ausgang des UND-Gatters 9 mit dem Dekrementiereingang IR des Zählers 4 verbunden.
  • Damit werden also bei Nullabgleichbefehl die Taktimpulse des Taktgebers 7 auf den Inkrementiereingang des Zählers 4 durchgeschaltet, wenn das Lagemesssignal kleiner als Null ist bzw. auf den Dekrementiereingang durchgeschaltet, wenn das Lagemesssignal grösser als Null ist. Der Zähler 4 wird also auf einen derartigen Wert gebracht, dass bei Vorgabe eines Sollwerts Null der Schreibstrahl tatsächlich die Nullage einnimmt. Dies geschieht, wie erläutert, durch Addition des Zählerstands des Zählers 4 zum Sollwert im Addierer 2. Damit ist eine Parallelverschiebung der abzugleichenden Kennlinie durchgeführt. Der Nullabgleich ist damit beendet.
  • Mit dem nun folgenden, am Eingang E3 anstehenden Steigungsabgleichbefehl wird anschliessend eine Drehung der abzugleichenden Kennlinie durchgeführt. Dazu ist der Eingang E3 ebenfalls mit einem Eingang des ODER-Gatters 14, mit einem weiteren Adresseingang des Speichers 5 sowie mit jeweils dem zweiten Eingang zweier U N D-Gatter 10 und 11 verbunden. Im Speicher 5 wird mit dem Steigungsabgleichbefehl ein von Null verschiedener Abgleichsollwert adressiert. Da beim Steigungsabgleichbefehl über das ODER-Gatter 14 ebenfalls eine Umschaltung des Umschalters 6 auf den Ausgang des Speichers 5 vorgenommen wird, wird dieser Abgleichsollwert anstelle des Sollwerts LsolI der Ablenkeinheit vorgegeben. Ferner wird der Abgleichsollwert auch dem Vergleichseingang des Vergleichers 12 zugeführt. Dabei wird davon ausgegangen, dass die Lagemesseinrichtung 13 bei Einstellung des Schreibstrahls auf den zweiten Abgleichpunkt als Ausgangsgrösse den zweiten Abgleichsollwert liefert. Die Lagemesseinrichtung 13 kann aber auch, wie z. B. im nachfolgenden Ausführungsbeispiel dargestellt, im zweiten Abgleichpunkt den Ausgangswert 0 liefern. In diesem Fall wird als Vergleichswert selbstverständlich der Wert Null vorgegeben. Die Lagemesseinrichtung 13 kann aber im zweiten Abgleichpunkt auch jedes beliebige Lagemesssignal liefern, wenn dieses im Speicher abgespeichert ist und gegebenenfalls über einen zweiten Ausgang 5 dem Vergleichseingang des Vergleichers 12 zugeführt ist.
  • Der Vergleicher 12 überprüft nun auch im zweiten Abgleichpunkt, ob das abgegebene Lagemesssignal grösser oder kleiner als der Vergleichswert ist. Zur entsprechenden Einstellung des Zählers 3 ist der Ausgang 12b mit dem dritten Eingang eines UND-Gatters 10 und der Ausgang 12a mit dem drittem Eingang eines UND-Gatters 11 verbunden. Der Ausgang des UND-Gatters 10 ist mit. dem Inkrementiereingang IV des Zählers 3 und der Ausgang des UND-Gatters 11 mit dem Dekrementiereingang des Zählers 3 verbunden. Mit den ersten Eingängen der UND-Gatter 8 und 9 ist ebenfalls der Ausgang des Taktgebers 7 verbunden.
  • Mit den Taktimpulsen des Taktgebers 7 wird also der Zähler 3 bei Vorliegen des Steigungsabgleichbefehls so lange verstellt, bis die Lage des Schreibstrahls mit dem vorgegebenen zweiten Abgleichsollwert übereinstimmt. Dies geschieht wie erläutert, indem das Ausgangssignal des Zählers 3 dem zweiten Eingang des Multiplizierers 1 zugeführt ist. Durch diese Multiplikation wird eine Drehung der Kennlinie B' durchgeführt, bis diese mit der Kennlinie A übereinstimmt.
  • Damit ist auch der Steigungsabgleich beendet. Der Umschalter 6 wird wieder zurückgeschaltet, so dass der Ablenkeinheit wieder der Lagesollwert LsolI vorgegeben wird. Die Zählerstände der Zähler 3 und 4 bleiben dabei bis zum nächsten Abgleichvorgang erhalten, so dass nunmehr zumindest für einen bestimmten Betriebsbereich eine Übereinstimmung der Kennlinie der Ablenkeinheit mit ihrer Sollkennlinie vorliegt. Der Abgleichvorgang kann z. B. in festen Zeitabständen, z. B. nach einer bestimmten Anzahl von Beschriftungsvorgängen, oder auf Anforderung erfolgen.
  • Die Periodendauer der Taktimpulse ist so gewählt, dass zwischen zwei Taktimpulsen jeweils ein eventueller Einschwingvorgang der Ablenkeinheit abgeklungen ist.
  • Bei dem bisher beschriebenen Ausführungsbeispiel ist in der Vergleicherstufe 12 eine Überwachung erforderlich, ob das Lagemesssignal grösser oder kleiner als der Abgleichsollwert ist. Damit müssen also zwei Ausgangssignale der Vergleicherstufe 12 verarbeitet werden. Alternativ kann man jedoch auch dieZähler3 und 4 vor Beginn des Abgleichs auf Werte setzen, die unter den nach erfolgtem Abgleich zu erwartenden Werten sind. Dies kann z. B. durch ein Setzsignal am Eingang E2 erfolgen, der durch die in Fig. 3 gestrichelt eingezeichneten Leitungen mit den Setzeingängen S der Zähler 3 und 4 verbunden ist. Die vorgegebenen Werte, auf die die Zähler 3 und 4 gesetzt werden sollen, stehen am Voreinstelleingang ZI des Zählers 3 bzw. 4 an. In diesem Fall wird nur das kleiner-Signal am Ausgang 12b der Vergleicherstufe 12 ausgewertet. Die Zählerstände der Zähler 3 bzw. 4 werden so lange inkrementiert, bis das Signal am Ausgang 12b verschwunden ist. Da ein Dekrementieren der Zähler 3 und 4 entfällt, können auch die UND-Gatter 9 und 11 entfallen.
  • Dieses Verfahren, bei dem die Abgleichwerte von einer Seite her angenähert werden, dauert etwas länger als die vorher beschriebene zweiseitige Annäherung, da mit der Voreinstellung der Zähler 3 und 4 deren Werte im Mittel weiter vom einzustellenden Endwert entfernt sind. Dafür ist nur ein Vergleichssignal auszuwerten und die Genauigkeit beim Anfahren des Abgleichpunkts ist etwas grösser. Ausserdem ist die Gefahr, dass der Ablenkspiegel Sp pendelt, geringer, wenn er nur in einer Richtung bewegt wird.
  • Fig. 4 zeigt schliesslich eine Möglichkeit, wie der automatische Abgleich mit Hilfe eines Mikroprozessors oder Rechners durchgeführt werden kann. Dabei sind die Speicher 3 bis 5 als Pufferspeicher ausgeführt, die von einem Mikroprozessor oder Rechner 15 über einen Datenbus 16 geladen werden. Die Pufferspeicher 3 bis 5 beinhalten zugleich einen Digital/Analog-Wandler, der die Digitalsignale des Mikroprozessors zur Weiterverarbeitung in Analogwerte umsetzt. Der Digital/ Analog-Wandler des Pufferspeichers 5 ist als multiplizierender Wandler ausgeführt, dessen Multiplikationseingang mit dem Ausgang des Pufferspeichers 3 verbunden ist. Die Ausgänge 12a und 12b des Vergleichers 12 sind ebenfalls über einen Pufferspeicher 18 an den Datenbus 16 angekoppelt. Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 ist vorausgesetzt, dass das Lagemesssignal der Lagemesseinrichtung 13 bei jedem Abgleichsollwert auf Null geht. Der Vergleicher 12 vergleicht daher das Lagemesssignal stets mit Null, so dass keine gesonderte Vergleichsspannungsvorgabe nötig ist. Der Vergleicher 12 kann dabei als Fensterdiskriminator ausgeführt sein, der nur dann ein Signal an den Ausgängen 12a bzw. 12b abgibt, wenn das Eingangssignal ausserhalb einer bestimmten Bandbreite um den Nullpunkt liegt.
  • Der Mikroprozessor bzw. Rechner 15 setzt den Pufferspeicher 5 im Normalbetrieb auf den Lagesollwert für die Ablenkeinheit, so dass sich die Ablenkeinheit entsprechend einstellt. Beim Abgleichvorgang stellt der Mikroprozessor für den Pufferspeicher 5 zunächst beim Nullabgleich das Eingangssignal Null ein. Wenn das bereits beschriebene Verfahren der einseitigen Annäherung an den Abgleichszustand durchgeführt wird, so gibt der Mikroprozessor 15 ausserdem den Pufferspeichern 3 und 4 Werte vor, die unterhalb der zu erwartenden Werte im Abgleichszustand liegen. Anschliessend wird über den Pufferspeicher 18 der Ausgang 12b der Vergleicherstufe 12 abgefragt, ob das kleiner-Signal ansteht. Ist dies der Fall, dann wird der Inhalt des Pufferspeichers 4 um eins erhöht. Dann wird erneut der Ausgang 12b des Vergleichers 12 abgefragt, ob das kleiner-Signal noch ansteht. Der Inhalt des Pufferspeichers 4 wird so lange erhöht, bis das kleiner-Signal am Ausgang 12b des Vergleichers 12 verschwunden ist. Zwischen den Abfragevorgängen wartet man gegebenenfalls eine Einschwingzeit des Ablenkspiegels Sp ab. Damit ist also der Nullabgleich durchgeführt.
  • Anschliessend wird dem Pufferspeicher 5 ein von Null verschiedener zweiter Abgleichwert, der möglichst in der Nähe des Endausschlags des Spiegels Sp liegt oder mit diesem übereinstimmt, vorgegeben. Der Inhalt des Pufferspeichers 4 bleibt unverändert. Es wird wieder das kleiner-Signal am Ausgang 12b des Vergleichers 12 abgefragt und der Inhalt des Pufferspeichers 3 so lange inkrementiert, bis das kleiner-Signal verschwunden ist. Damit ist der Abgleich beendet und der Mikroprozessor 15 kann wieder im Normalbetrieb den Lagesollwert für die Ablenkeinheit A vorgeben.
  • Fig. 5 zeigtschliesslich schematisch ein Ausführungsbeispiel für die Lagemesseinrichtung 13. Sie hat, wie bereits erläutert, die Aufgabe, die Lage der Ablenkeinheit A in zwei Abgleichpunkten, von denen einer der Nullpunkt ist, genau festzustellen. Sie darf dabei im Gegensatz zum Istwertmesskreis M keine Temperaturdrift haben. Die Lagemesseinrichtung 13 enthält einen Lichtsender 13a, der beispielsweise eine Leuchtdiode sein kann. Dem Lichtsender 13a liegt in einer Halterung 13b ein Lichtempfänger 13c gegenüber, der beispielsweise eine Differentialfotodiode sein kann. Diese enthält zwei Teilfotodioden, deren Ausgangsspannungen gegeneinander geschaltet sind. Wenn daher ein Lichtstrahl auf die Trennlinie zwischen beiden Teildioden fällt, so werden diese gleich stark beleuchtet, die Ausgangsspannungen beider Teilfotodioden sind gleich und die Ausgangsspannung der gesamten Differentialfotodiode ist Null. Weicht dagegen der Lichtstrahl von der Trennungslinie ab, so wird eine der beiden Teilfotodioden stärker beleuchtet und die Ausgangsspannung der gesamten Differentialfotodiode wird je nach Richtung der Ablenkung positiv oder negativ.
  • Im Lichtweg zwischen dem Lichtsender 13a und Lichtempfänger 13c liegt eine mit einer Welle der Ablenkeinheit A mechanisch fest verbundene Scheibe 13d. Die Scheibe 13d weist zwei Schlitzblenden 13e und 13f auf. Die Schlitzblenden 13e und 13f sind so angeordnet, dass jede eine Schlitzblende bei einem der beiden Abgleichpunkte genau zwischen Lichtsender 13a und der Trennungslinie zwischen den beiden Teilfotodioden der Differentialfotodiode 13c liegen. Damit wird also erreicht, dass das Ausgangssignal der Lagemesseinrichtung 13 Null wird, sobald die Ablenkeinheit A einen der beiden Abgleichpunkte erreicht hat.
  • Um die Lage eines dieser Abgleichpunkte, vorzugsweise des Nullpunkts, einstellen zu können, ist der Träger 13b von Lichtsender 13a und Lichtempfänger 13c zweckmässigerweise mit einer Stellschraube 13g verschiebbar angeordnet. Damit können Fertigungstoleranzen für den ersten Spalt 13e bzw. die Anbringung der Scheibe 13d an der Welle der Ablenkeinheit A ausgeglichen werden. Um auch eine Fertigungstoleranz bezüglich des Abstands zwischen beiden Schlitzblenden 13e und 13f auszugleichen, die den zweiten Abgleichpunkt betreffen würde, kann man nach folgenden Verfahren vorgehen: Der zweite Abgleichpunkt wird nicht von vornherein festgelegt, sondern es wird zunächst ermittelt, bei welchem Punkt die Lagemesseinrichtung die Spannung Null abgibt. Dieser Punkt würde dann als zweiter Abgleichsollwert gewählt. Der zweite Abgleichsollwert muss nur einmal ermittelt werden und dürfte - bei maschineller Fertigung der Blendenzumindest für jedes Fertigungslos gleich bleiben.

Claims (11)

1. Vorrichtung zum automatischen Abgleich der Kennlinie einer Ablenkeinheit nach Nullpunkt und Steigung mit folgenden Merkmalen:
a) ein Sollwert für die Ablenkeinheit (A) ist einem ersten Eingang eines Multiplizierers (1 ) zugeführt, dessen zweiter Eingang mit dem Ausgang eines ersten Speichers (3) verbunden ist,
b) der Ausgang des Multiplizierers (1 ) ist mit einem ersten Eingang eines Addierers (2) verbunden, dessen zweiter Eingang mit dem Ausgang eines zweiten Speichers (4) verbunden ist,
c) eine ein Lagemesssignal abgebende Lagemesseinrichtung (13) für die Ablenkeinheit (A) ist mit einem ersten Eingang einer Vergleicherstufe (12) verbunden, an deren zweitem Eingang bei einem Nullabgleichbefehl der Wert Null als erster Abgleichsollwert und bei einem Steigungsabgleichbefehl ein zweiter Abgleichsollwert ansteht,
d) die Vergleicherstufe (12) gibt an einem ersten Ausgang (12a) ein Signal ab, wenn das Lagemesssignal am ersten Eingang (12c) grösser als der Wert am zweiten Eingang (12d) ist,
e) die Vergleicherstufe (12) gibt an einem zweiten Ausgang (12b) ein Signal ab, wenn das Lagemesssignal am ersten Eingang (12c) kleiner als der Wert am zweiten Eingang (12d) ist,
f) bei einem Nullabgleichbefehl wird als Sollwert für die Ablenkeinheit (A) der erste Abgleichsollwert 0 vorgegeben und der Inhalt des zweiten Speichers (4) bei Vorliegen eines Signals am ersten Ausgang (12a) der Vergleicherstufe (12) so lange inkrementiert bzw. bei Vorliegen eines Signals am zweiten Ausgang (12b) der Vergleicherstufe (12) so lange dekrementiert, bis an keinem der Ausgänge der Vergleicherstufe ein Signal ansteht, und
g) bei einem Steigungsabgleichbefehl wird als Sollwert für die Ablenkeinheit (A) der zweite Abgleichsollwert vorgegeben und der Inhalt des ersten Speichers (3) bei Vorliegen eines Signals am ersten Ausgang (12a) der Vergleicherstufe (12) so lange inkrementiert bzw. bei Vorliegen eines Signals am zweiten Ausgang (12b) der Vergleicherstufe (12) so lange dekrementiert, bis an keinem der Ausgänge der Vegleicherstufe (12) ein Signal ansteht.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Speicher (3, 4) vor Beginn des Abgleichs mit Werten geladen werden, die kleiner als die nach erfolgtem Abgleich zu erwartenden Werte sind, und dass lediglich ein Inkrementieren der Inhalte des ersten und zweiten Speichers (3, 4) erfolgt.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Abgleichsollwerte in einem dritten Speicher (5) abgespeichert sind, an dessen Adresseingängen der Nullabgleichbefehl und der Steigungsabgleichbefehl anstehen und dessen Ausgänge mit dem ersten Eingang des Multiplizierers (1) und mit dem zweiten Eingang (12d) des Vergleichers (12) verbunden sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem dritten Speicher (5) und dem ersten Eingang des Multiplizierers (1) ein Umschalter (6) eingefügt ist, an dessen erstem Eingang der Sollwert (LsolI) für die Ablenkeinheit (A) ansteht, dessen zweiter Eingang mit dem Ausgang des dritten Speichers (5) verbunden ist und der bei einem Steigungsabgleichbefehl oder Nullabgleichbefehl vom ersten auf den zweiten Eingang umschaltet.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Speicher (3, 4) ein erster und ein zweiter Zähler sind und dass ein Taktgeber (7) vorgesehen ist, der die Inkrementier- (IV) und Dekrementiereingänge (IR) des ersten und des zweiten Zählers (3, 4) mit Zählimpulsen beaufschlagt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Taktgeber (7) mit den jeweils ersten Eingängen von vier UND-Gattern (8 bis 11) verbunden ist, dass jeweils am zweiten Eingang des ersten und zweiten UND-Gatters (8, 9) der Nullabgleichbefehl und jeweils am zweiten Eingang des dritten und vierten UND-Gatters (10, 11) der Steigungsabgleichbefehl ansteht, dass der erste Ausgang (12a) der Vergleicherstufe (12) jeweils mit dem dritten Eingang des zweiten und vierten UND-Gatters (9,11) und der zweite Ausgang (12b) der Vergleicherstufe (12) jeweils mit dem dritten Eingang des ersten und dritten UND-Gatters (8, 10) verbunden ist und dass der Ausgang des ersten UND-Gatters (8) mit dem Inkrementiereingang (IV) des zweiten Zählers (4), der Ausgang des zweiten UND-Gatters (9) mit dem Dekrementiereingang (IR) des zweiten Zählers (4), der Ausgang des dritten UND-Gatters (10) mit dem Inkrementiereingang (IV) des ersten Zählers (3) und der Ausgang des vierten UND-Gatters (11) mit dem Dekrementiereingang (IR) des ersten Zählers (3) verbunden sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der erste bis dritte Speicher (3 bis 5) Pufferspeicher sind, die vom Datenbus (16) eines Mikroprozessors oder Rechners (15) entsprechend geladen werden.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Speicher (3 bis 5) als Digital/Analog-Wandler ausgeführt sind, wobei der dritte Speicher (5) und der Multiplizierer (1) zu einem multiplizierenden Digital/Analog-Wandler (5) zusammengefasst sind.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagemesseinrichtung (13) eine mit einer Welle der Ablenkeinheit (A) verbundene Scheibe (13d) enthält, die im Lichtweg zwischen einem Lichtsender (13a) und einem das Lagemesssignal abgebenden Lichtempfänger (13c) liegt, dass die Scheibe (13d) eine erste Schlitzblende (13e) aufweist, die bei Nullage der Ablenkeinheit (A) im Lichtweg liegt, und dass die Scheibe (13d) eine zweite Schlitzblende (13f) aufweist, die im Lichtweg liegt, wenn die Lage der Ablenkeinheit (A) mit dem zweiten Abgleichsollwert übereinstimmt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtempfänger (13c) eine Differentialfotodiode ist.
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