JPS5886610A - 偏向ユニツトの特性曲線の自動修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は偏向ユニットの特性曲線を零点と勾配につい
て自動的に修正する装置に関する。

−向ユニットは例えばレーザー記録器のレーザー元巌偏
向鏡のｖＩ４！ｌＩに必要とされているものである。こ
の場合現在値測定回路で検出された位ｆ１Ｍ号が目標値
と比較され、偏向ユニツｌ制御する詞！！１器によって
位置信号を１！Ｉｌｌ値−に一致させる。

しかし答量検ｇ器を使用する通常の現在醸測定回、路は
温度ト°“ノットがあり゛偏向讐０現在位ｍカ”設定目
標値から外れることが認められている。こ懸によって記
録器の移動と寸法変化が起る。又温度ド。

リフトは偏向ユニットの特性面−の零点の移動だけでな
くその勾配をも変化させる。

予め加熱するかあるいは手動操作によって修正される。

そのためには調整器に特性面ｇａ調整用２ポテンショメ
ータが設け？れている。ｔｌ−し偏向ユ　二”イトを予
備゛加熱しても完全な修正線不可能である。手動的の修
正では温度誤差の補正が特定の動作温度に対してギは実
施される。　°。

この発明のム的は偏向ユニットの巌形声耘を修正する装
置を自動的の修正が付層われるように構成才る５とであ
る。この目的は特許請求の範囲第１項に％徴としで挙げ
念構成とすることによって達成される。　　　　　　　
　　　・ ′　この発明の装置にｊれば特性自蔵の零点と勾配の双
方を自動的に修正するどとができる。し６かも修正社短
時間で遂行されるから周期的に行なうことも可能である
。従ってそれぞれの動作状態において自動的の修正が可
能と門る。

修正の開始に先立って第一と第二の記憶装置にくとこれ
らの記憶装置の＾答の増大だけかへｔわれるので有利で
ある。゛記憶ｆｃＴｊｔが一方向に変化するだけである
カ↑ら比較段では位置５１１１定信号が予め与えられて
いる値よりまだ小さいことだけを調べればよ、い。

修正目標値は第三の記憶装置に記憶させるのが効果的で
ある。この記憶装置のアドレス入力端には零脩正命令と
勾配修正命令を導き、その出力端線乗算器の稟−入力端
と比較器の第二人力端（（結ぶ。（れによって同定修正
値を予めプログラムに組み込んでおくことができる。

第三メモリと乗算器の第一入力端の間に切換器を挿入し
、その第−入力端に偏向ユニットに対する目標値を導き
、第二人力端祉第三メモ゛りの出力端に結び、勾配修正
命令又鉱零修正命令が与えら　′れたとき第一入力端か
ら゛第二人力端に切り換えるようにすると効果的である
。これてよって偏向ユニットに予め与えられている目標
値が修勇過枚において自動的に予め与えられた修正目標
値に切り換えられる。

第一と第二の記憶装置ＩＩｔは・簡単、にカラ／りとし
て実現する仁とができる。この場合これらのカウンタの
内容増大入力端と内容低減入力端にはカランクロックパ
ルス発生器Ｆ１４個のＡＮＤ回９７４の第一入力端に結
んでおくことができる。この場合第一と第二のｊｋＮＤ
回路の第二人力端には零補正命令が導かれ、第三よ第四
のＡＮＤ回路の第二人力端にｈｑ配補正命令が導かれる
・又皆較段の第一出力端は第二と第四のＡＮＤ回路の第
三入力端に結゛ばれ、比較段の第二−力端扛第一と第一
の第三入力端に結ばれる。爽に第−ＡＮＤ回路の出力端
は第二カウンタの内容増大入力端に結はれ１、第二Ａ’
ＭＤ回絡の出力端は第二カウンタの内容低減入力端に結
−７・第三ＡＮ′Ｄ回路の出力端轄竺−カウンタの内容
増大入力端に結ばれ、第四Ａ　Ｎ　、Ｄ回路の出力端は
第一カウンタの内容低減入力端に結ばれる。こめａｍ構
成により修正ａ能に必要な増大パルス又５は低減パルス
のカウンタへの送り込みが実施される。

第一乃至第三メモリをバッファメモリとすることも可能
である。このバッファメモリは７１−クロア’ｏセッサ
又はコンピュータのデータ４巌を通して情報を受ける。

これによって修正装置はマイク・プ・セッサ又は・ンピ
＝−夕と共同して％ＫＩＩ単に制御することができる。

位置測定装置には偏向ユニットの軸に結合された平板腕
を含、ませ、これを・光発生−と位に測定信号を送９出
す受光器の間の光路内に置くことかできる。この腕には
偏向ユニットの零位置において光路内にある第一スリッ
ト絞りと、偏向ユニットの位置が第二修正目標値と合致
するとき光路内にある第二スリツ゛ト絞りが設けられ゛
る。このような位置測定装置を使用して修正点を簡単法
構造をもって捕えることができる。この位置測定Ｊ！ｆ
ｆは更に両修正点においてその出：ｊ′Ｊ信号が互に寺
しく。

比較段は両修正点において同じ比較１１１をもって動作
可能であり切換の必要がないとい、う利点を持つ。゛受
光器は差動フォトダイオードと亥るのが有利である。こ
の差動フォトダイオードの出力信号は両修、正点におい
て零であるから補正に対しては単にＩ　ｇ　１信号°と
の比較だけか必要である。これによって比較段は限界′
値発生器どして簡略化される。

・　この発明の実施例を第１図乃至第５図について詳細
に説明する。

第１図に偏向ユニットＡに対する公知の制御装　、智を
示す。これ杖例えばレーザー記録器によく使用゛されて
いるも″の−である。偏向ユニツ）Ａは一８ｐを揺動回
転させ、礎の現在位置は現在値測定回路Ｍで測定される
。この測定回路は例えば容量的の位置検出器を使用する
。現在位置の測定値は比較器Ｖで位置目標値Ｌ８と比較
され、Ｉ１１整偏差は調整器Ｒに・導かれ、偏向ユニツ
）Ａが制御される。

偏向二二ツ）ＡＨ理想的には１２図に示した特性曲線Ａ
を持ち、目標値の一段は記録ビームの偏向量ｙでは０．
０２ｍ５に対応する。従って目標１亀が＋２０００段で
あればビームの偏向量は全体で士４０ａとなる。

前に述べたように現在値測定回路Ｍには温度ドリフトが
あり現在位置の測定値は実際の位置に合致しな、い。こ
の偏差には特性面−の平行移動とその勾配の変化が含ま
れ特性曲線Ａは例えば第２図に示され゛ているＢに移る
。従って＋２０００又は−２０００の目標値に対してビ
ーム偏向値は杓子３２）ｕｌ又は−４２ａｌｌとなる。

特性曲線Ｂを理想的の特性面ｗＡに合せて修正するため
には位ｔ１１ム標値Ｌ８を適当に変えなければならない
。これによって偏向ユニットの特性曲線をＩ！準時特性
曲線合せることができる。この修正を行なうにｒ先づ特
性曲線−Ｂｆ平行移動により座祢系の原点を通る峙′性
曲−Ｂ′に移す。これは目標値Ｌ６に時定の値を加える
ことによって実′施される。続いて特性曲線Ｂ′を回転
させなければならないが、これは目標値に一定の係数を
乗することによって実施される。

このような修正操作は二つの修正点即ち平行移動い修正
点について実行するのが効果的である。

特性曲線の修正を自動的に行なう回路を第３図に示す。

入力端Ｅｌに到達した位置目標＠ｔＬＬｓは切換器６を
通して乗算器１の第一入力端に導かれる。乗算器ｌの第
二人力端り記憶装置ｌｔ３の出力端に結ばれ、これによ
って特性曲線の回転が行なわ　。

れる。乗ｉｌ器ｌめ出力端は加算器２ρ第一入力端に結
ばれ、加算器の第二人力、端は第二や記憶装置４に結ば
れている。加算器２によって特性曲線の平行移動が行な
ｉれるから加算器の出力端に祉補正された目標値　、１
が現われる。

次に説明する回路によって記憶装置３と４に修正に必要
な値が書き込まれる。この場合零修正と勾配修正との二
重の修正が必要である。入力端Ｅ４に零修正命令が到達
し第三記憶装置５のアドレッシングを行なう。入力４Ｉ
Ｃ４には二つのＡＮＤ回路８と９の第二人力端と一つの
ＯＲ回路１４の一つの入力端が結ばれている。ＯＲＩｇ
Ｊ路１４の出を入力端Ｅ１か、らメモヂ５の出力端に切
り換える二メモリ５では零修正命令に従って山市する修
正目標値（この場合には零値）が選び出される。ここで
メ竺り４は記録ビームが実際に零位置にあるように［ｔ
ｌｉｌｌさｔ′Ｌ′−なけｉばならない。そのために温
度ドリフト誤差を示さない菊殊な位置測定装置Ｉｒ１３
が設けられる。己かしこの位置測定装置１３け二つの点
即ち零点と１の修正点だけで光ビームの位置を検知すれ
ば−よいから次に述べるようにｍ墜に実現することがで
きる。位−１１定装ｆｉ１８の出力信号は比較器１２に
尋か羨この比ｄ器の比較入力端はメモリ５の出力端に結
ばれている。零略正命令の°場合メモリ５の出力端には
”０１倍号が導かれているから位に測定１ｆｃ隨１３の
位置測定信号は零信号と比較される。比較器１２には二
つの出力端１２ａと１２ｔ）があシ、位置測定信号が比
較信号より大きいときは出力端１２ａＫ’ｌ“信号が現
われ、゛位置測定信号が比較信号より小さいときは出力
端１２ｂＫＩ１１血号が現われる。出力端１２ａはＡＮ
Ｄ回路９の第三入力端と結ばれ、出力端１２ｔ＋１ＡＮ
Ｄ回路８の第三入力端に結ば０″１（Ｌｎ７）、ｉｉ［
１ＡＱＤ回路８・　９０第７１力端は１にクロック先生
器７の出力端に結ばれ、ＡＮＤＩＩ２１路８の出力端は
カウンタ４の増大入力瑞工ＶＫ。

ＡＮＤ回路９の出力端はその低減入力端工Ｒに結ばれそ
いる。

、従って零修正命令が与えられたとき位置測定信号を零
より小さいとクロック先生器７のクロック　′、　　　
１ パルスはカウンタ４の増大入力端に導かれ１位置画定信
号が零より大きｈと低減入力端に導かれる。

これによってカゲンタ４は目標Ｌｍ　１０　”が設定さ
れているとき記録ビー゛ムが実際に零位置を占める値に
移される。これはカウンタ４の計数値を刀日算器２にお
いて目ｍ値に加え合せることによって実現する。これに
よって特性曲線の平行移動が実施され、零修正はこれで
修了する。

続いて入力端Ｅ３に勾配修正命令が与えられると特性曲
線の回転が実施される。そのために入力端Ｋ　３ｉ；ｉ
　０　Ｒ回路１４の一つの入力端とメモリ５の別のアド
レッシング入力端とＡＮＤ回％ｌＵ。

ｌ］の第二人力端にも結ばれている。メモリ６において
、は勾配修正命令に゛より零ではない修正目標値がアド
レスされる。ＯＲ＠に１１４ｔｔ通して勾配゛修正命令
が到着したときも切換器６がメモ；ノ５の出力端に切り
換えられるからこの修正目標ｆ―、が目１ｉ１［ｋＬｓ
に代って偏向ユニットに与えられる。史に修正目標値は
比較器１２の比較入力端にも尋かれる。この場合位［Ｙ
Ａｌｌ定装置１３は記録ビームを第二補正点で調整する
とき初期値として第、二補正目標値を供給するものとす
る。しかし位置測定装置１３は次に述べる実施例で示す
ように第二補正点において初期値１０ｍを与えることも
可能である。この場合比°較値としては当然零が与えら
れる。

位置測定装置は第二補正点において任意の位置測定信号
をそれがメモＩＪＫＩＦ積されている眠り与えるとと可
能であハこの信号は第二出力端を通して比ｉ器１２の比
較入力端に導かれる。

比較器１２は第二修正点においても送らへて来た位置測
定信号が比較値ｘ９大きいかあるい拡小さいかを―べる
。カウンタ３をこれに応じ１て調整するため出力’４１
２ｂはＡＮＤ回路ｌＯの第三入力端に、出力端１２ａは
ＡＮＩＦ回路１１の第三入力端に結ばれる。又ＡＮＤ回
路ｌＯの出力端は力゛ウンタ３の増大入力端ＩＶＫ、Ａ
ＮＤ回路１”ｌの出力端はカウンタの低減入力端に結ば
れる。ＡＮＤ回路８と９の第一入力端もクロック先生器
７の出力端に結ばれている。　　　　゛ クロック発生器７のクロックパルスによりカウンタａＨ
勾配修正命令が与えられているとき記録　　、ビームの
位置が予め与えられている纂二補正目標値に一致するま
で１Ｉｌｌ！整される。この過程はカウンタ３の出力信
号が箪算器ｌの第二人力端に得かれることによって生ず
る。この乗算処理によシ特性曲ｍ　Ｂ’４１特性曲−Ａ
に合致するまで回転する。

これによって勾配修正を終了する。切換器６は元に戻さ
れ、ｌｌ向ユニイトには再び位置目標値Ｌ８が与えられ
る。カウンタ３とｊの計数レベルＪｄ次の轡正過程まで
そのまｔｍ持され、少くとも一つの特定の動作範囲内で
は偏向ユニットの特性曲線がその目標とする特性曲線に
合致する。修正過程は例えば二定の時間間隔毎に例えば
一定数のＢピ大過程毎に４るいは要求に応じて実施する
□′こ゛とができる。

クロックパルスの周期社二つのクロックパルスの間Ｖζ
常に偏向ユニットに発生した過渡現象が消滅するよう（
（選ぶ。

上記の実施例では比較段１２におりて１α置測定信号が
比較目標値ｉり大きいか小さいかを監視することが必要
である。従って比較段１２°の二つの出力信号が処理さ
れなければならない。その代シにカラど夕３と４に比較
操作開始忙先立って修正後に予期される値よりも小さい
値を入れておくことができる。そのためには第３図に破
線で示した４１１Ｍを通してカウンタ３と４のセット入
力４ＢＩＩＣ結ばれている入力４端凡２にセット信号を
導く。カラ／り３と４に入れておく値はカウンタ３と４
の−予調整入力端ＺＩＫ４＜。、この場合小さい信号だ
けが比較段１２の出力端１２Ｔｏで評価される。カウン
タ３と４°の計数レベルは安力端１２ｂの信号が消滅す
るまで上昇する。カウンタ３と４のカウントレベルの低
下は不必要であるからＡＮＤ回路９と１１も必要無くな
る。

このように一方の側だけがら補正亀に近つく方法は両側
から近づく方法に比べていくらか長くなる。それはカウ
ンタ３と４を予め調整することによりその値が平均とし
て調整最終値からより遠く離れていることに基く。これ
に対して比較信号は一つだけ評価すればよく、修正点に
導く際の精度がいくらか高くなる。巣に−づの方向だけ
Ｋｊｌ！］けばよい場合には偏向鏡８ｐが振動する危険
が低下する。

ｉイクロプロセツサ又は計１１＆を使用して行なう自動
補正方式を第４図に示す。この場！メモリ８乃至５扛バ
ツノアメモリとして構成されマイクロプロセッサ又は計
算機１５によってデータ母線−ｌ　ｆｊ’４通して書き
込まれる。バッファ、メモリ３乃至５は同時にマイクロ
プロセッサのディ、ジタル信号をア、ナログ値に変換す
るＤＡ変換器を含む。バックアメモリ６のＤＡ変換器は
乗算変換器として構成されその乗算入力端はバッファメ
モリ３の出力端に結ばれている。比較器１２の出力端１
２ａと１２ｂ％バッファメモリ、１Ｂを通してデータ母
Ｉｗ１６４Ｉｃ結ばれる。第４図の実施例では位置測定
信号１３の位置測定信号が総ての比較目標値において零
に達することが９となっている。従って比較器１２は常
に位置測定信号を零と比較するから特別な比較電圧を予
め設定する必１ＩＩＦｉない。比較器１２はこの場合入
力信号が零点の両側に拡がる特定の帯域の外側にあると
きだけ端子１２ａ又は１２１）から信号を送り出す窓列
別器とすることができる。

マイクロプロセッサ又は計算＋ｆｉ１５は通常動作にお
いてバッファメモリ６に一向ユニットの位置目標値を入
れ偏向ユニットをそれに応じて調整する。修正操作に際
してマイクロプロセッサはまず零補正のための入力信号
零をバックアメモリ５に入れる。補正過程が一方ＩＩミ
ら補正状態に近づくものであればマイクロプロセッサ１
５は更にパックアメモリ３と４に修正された状態で予期
される値よシも低い値を与える。それに続いてバッファ
メモリ１８を４して１より小さい信号１が与えられてい
るかを比較段１２の出力４１２ｂＫ間合わせる。もしそ
うであればバッファメモリ４の内容はｌだけ上げられる
。こ仁であらためて比較器の出力端１２　ｂＫｔ７２’
より小さい信号１が与えられているかを間合わせる。バ
ックアメモリ４の内容は比較器１２の出力端１２ｔ＋に
１より小さい信号１が消滅するまで上昇する。間合せ過
程の間に必要に応じて偏向鏡８ｐの振動過液時間をはさ
む。

これＫよって零修正が遂行される。

続いてバッファメモリ５．に零と異る第二比較亀を与え
ておく。この値はできるだけ規Ｓｐの撮れの終点近（に
おくかそれと一致させる。バッファメモリ４７）内容は
この場合不変である。ここでも比較器１２の出力端１２
ｂＫ１より小さい信号１の存在、が問い合わされ、バッ
ファメモリ３の内容は１より小さい信号１が消滅するま
で増大する。

これによって修正操作が終了し、マイクロプロセッサ１
５は再び正規動作で偏向ユニツ）Ａに対する位置目標値
を与えることができる。

最後の第５図は位置測定ｆ？、置１３の一つの実施例を
示す。前に述べたようにこの装に社零点を含む二つの修
正点において偏向ユニツ）Ａの位置を正確に決定するた
めのものであって現在＋ｉｆ　ｆｉｌｌ定回路Ｍと異り
温度ドリフトは許されない。祉宵測定装置１３は光発生
器１８ａ例えば先光ダイオードを含む。光発生器１３ａ
は支持体１８ｂ内で受光器１８ｃと対向する。受光器１
８ｃは例えば二つのフォトダイオードが出力電圧を逆向
きにして接続されμ差動フォトダイオードとすることが
できる。光ビームが二つのダイオードの間の分ｍｓに当
るとこれらのダイオードは互に等しい強さで照射され出
力電圧が等しくなるから差動フォトダイオード全体の出
力！圧は零となる。光ビームが分離線から外れ“ると二
２９フォトダイオードの照射量が異り偏向方向によって
正又は負の出力電圧が送り出される。

光発生器１３ａと受光器１３ｃの間の光路には偏向ユニ
ットＡの軸に機械的に固定された平板腕１８ｄが置かれ
、この腕には二つのスリット絞り１３ｅと１３ｆが設け
られている。これらのスリット絞りは両補正点のそれぞ
れにおいてその一方が精確に光発生器１３ａと両フォト
ダイオード間の分離線との間に置かれる。これによって
偏向ユニットＡが両修正点のｈずれか一方に達したとき
位置測定装ｒＩｔ１３の出力信号が零となる。

これらの修正点特に零点の位置が調節できるようにする
ため光発生器１８ａと受光器１８ｃの支持体１８ｂを調
整ねじ１８ｇＫよって移動できるようにする°と有利で
ある。これによって第一間隙Ｌｅｅの製作の寸法誤差又
は腕１３（ｌの軸へのとりつけ位置の誤差を打消すこと
ができる。第二修正点に関係する両スリット絞４１１１
３６と１３ｆの間の間隔の製作誤差も次の方法で打消す
ことができる。即ち第二の補正点を始めから固定して定
めることをせず１位置測定装置が零電圧を測定する点を
求めこの点゛を第二の補正目標値に選ぶ。第二補正目標
値は一度だけ求めればよいものであり紋りを機械的に工
作する場合各製作ロットに対して常に等しくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はレーザー記録装置等に使用されている公知の偏
向ユニットの構成図、 第２図社偏向ユニットの特性曲線、 第３図社偏向ユニットの特性曲線の自動修正回路のブロ
ック接続図、 第４図はマイクロプロセッサ又は計算機を使用する自動
補正回路のブロック接続図、 第５図はこの％明の装置に使用される位置測定装置の立
体図である。 第３図において１：乗算器、２：加′に器、３と４と５
：記憶装置、１２：比較段、１３：位置測定装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）（ａ）偏向ユニット（Ａ）に対する目標値が一つの
   乗算器（１）の第一人力端に導かれ、その第二人力端は
   ４二記憶装置１ｔ（８）の出力端に結ばれていること、
   　　　　′ （ｂ）　　乗算器（１）の出力端が一つめ加に器（２）
   の第一入力端に結ばれ、その第二人力端か第二記憶装置
   （４）の出力端に峙ばれていること。 （ｃ）　　偏向ユニツ）　（Ａ）Ｋ対して位−測、定信
   号を送り出す位ｍ副定−ｔｃ電（１３，ｌが比較　・段
   ＜１２）の第一入力端に結ばれ、その第一　二人力端に
   は零点修正分へか与えられてい。 るとき（１”０”が第一修正目標イ庫として導かれ、勾
   配°修正命令か与えらｎているとき第二修正目標値が導
   かれること。 （ｄ）　　比較段、（１２）は第一入力端（１２ｃ、　
   ）に導かれた位置測定信号が第二仝万端に導かｔ″１″
   号値１″も大きヅｓ＊−ａｓｉ＊（１２ａ’）から１ざ
   号を送１．ｖ出すこと。 ける−号ｒりも小さいとき一二出力＃（。 、１２ｂ）から信号を送り出す′こと、（ｆ）　　零修
   正の場容は偏向−＝ニドにＱする弓標値、として第一修
   正目標値１ｇｌが与えられ、第二記憶装置（４）の内容
   は比較段（１２）の第一出力端（１２ａ、）に信号が介
   在するときは比較段の出や端のいずれにも。 ′信号が無くなるまで増大し続け、比較段の第二出力端
   （１２ｂ）に信号が存在するときはそれまで減小し続け
   ること、 ■　勾配修正分“令が与えられているときは偏向二二ツ
   ）　（Ａ）に対する目１１ｆｌｌＬとして第の内容は比
   較段（１２）の攬−出力端（１２ａ）に信号が存在する
   ときは比較段（１２）の出力端のいずれにも信号が無く
   なるまで増大し続け、比較段の奸二出力端（１２ｂ）に
   信号が存在するときはそれまで減小し続けること を特徴とする偏向ユニット特性曲巌を零点と勾配に関し
   て自製的に修正する装ｍ。 ２）、修正開始前に第一と第二の記憶装置（３゜、４）
   に修正後に予想される値よりも小さい値刈入れられ、第
   一と第二の記憶装置の内容の増大だけが行なわれること
   を特徴とする特許請求の範囲第１４記載、の装置。 ３）修正目標値が第三の記憶−装置（５）に枦憶され、
   そのアドレス入力端に零修正命蕃と勾配修正命令とが導
   亡れ、−その出力端は乗ＩＩＩ器（１）の第一入力端と
   比較ｑ、Ｃ１２）の第二人力端に結ばれていることを特
   徴とする特町隋求の範囲第１項又は第２項記載の装置。 ４）”第三記憶装［（５）と乗算器（１）の第−合力趨
   の間に切換器（６）が挿入され、その第一入力端に偏向
   ユニツ）（Ａ）に対する目標値（、Ｌｓ　）赤導かれ、
   その第二人力端は第三記憶装置の出力端に結ばれ、″勾
   配修正命令又拡！点修正命令が与えられたとき第一入力
   端・から第二人力端に切換えることを特徴とする特許Ｍ
   求の範囲第」項乃至第３項お一つに二載の装置。 ５）第一と第二の記憶装置がカウンタであり。 この第一セよび第二のカウンタの内容の増大ならび低べ
   過程を計数パルスによ゛つて行なわせるクロック発生器
   （７）が設けられている　。 ことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第４項の一
   つに記載の装置。 ６）クロック発生器（，７）が４個のＡＮＤ回路（８乃
   至１１）のそれぞれの第一入力端に結ばれてｈること、
   第一と第三のＡＮＤ回路（８，９）の各第二人力端に！
   修正命令が導かれ第三と第四のＡＮＤ回路（、ｊＯ，ｌ
   　ｌ　）の各第二人力端に勾配修正命令が゛導かれるこ
   と。 比較段（１２）の第一出力端（１２ａ）が第　′、　二
   、と第四のＡＮ’Ｄ回路（９，１１）の各竺゛三入力端
   と結ばれ比較論の第二轡力端（１’２　ｂ　）が”第一
   と第三のＡ’ＨＤ回路（８，１０）の各第三入力端に結
   ばれていること、第−ＡＮＤ回路（８）の出力端が第二
   カウンｐ（４）の内容増大入力端（、Ｚ　Ｖ　）に結ば
   れ１Ｍ二ＡＮＤ回路（９）の出力端が第二カウンタ（４
   ）の内容低減入力端（ＩＲ）に結ばれ、第三″ＡＮＤ回
   路（ｌＯ）の出力端が第一″カウンタ（３）の内容増大
   入力端（ＩＶ）に結ばれＪ第四ＡＮＤ回路（１１）の出
   力端が第一カラ／り（３）の内容低減入力端（ＩＲ）に
   結ばれていることを特徴とする特許請求の範囲′Ｍ５項
   記載の゛装置。 ７）第一乃至第三記憶装置（，８，４，５，）がバッフ
   ァメモリであってマイクロプロセッサ又はコンピュータ
   のデータバスを通してテークを入れられることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項乃至第３項の一つに記載の装
   置。′８）記憶装置（我、４．５）がり、−Ａ変換器と
   して構成さ０・第５記憶！置’（，５）と乗算器（１）
   が呆算型Ｄ−Ａ変換器としてまとめられて匹ることｔ特
   徴とする特許請求の範囲第７項記載の装置。 ９）゛位Ｉ１１測定装置（１３）が偏向ユニットの軸に
   結合さハた平板腕（１８ｄ）を含み、この腕が光発箪器
   （１８ａ）と位置測定信号を送り出す受光器（１８ｃ）
   の間の光路内に１１か・れていること、平板腕（１８（
   １）に第一スリット絞り（１８ｅ）がありこの絞りが偏
   向ユニットの零位−において光路円に置かれること、腕
   ｊｕｓａ）に第二のスリト綾り　’ｉｔあって偏向ユニ
   ットの位置が第二修正目標、値に一致するとき光路内に
   置かれることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第
   ８項の一つに記載の装置。 １０）受光器（１３ｃ）が差動光ダイオードであること
   を特徴とする特許請求の範囲第９項記載の装置。