DE2406106A1 - Isolatoranordnung mit einer die belastung verteilenden traganordnung - Google Patents
Isolatoranordnung mit einer die belastung verteilenden traganordnungInfo
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- H01B17/14—Supporting insulators
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Description
PATENTANWALT D-IBERLIN334. Februar 1974
MANFRED MIEHE falkenried4
Telefon: (030) 8 3119 50
Diplom-Chemiker Telegramme: Indusprop Berlin
Telex: 0185443
US/46/2154 Case 40
CONTINENTAL ELECTRONICS
MANUFACTURING COMPANY P.O.Box 17040, Dallas, Texas 75217, USA
Isolatoranordnung mit einer die Belastung verteilenden
Traganordnung
Es wird eine keramische Isolatoranordnung geschaffen,
die eine Mehrzahl an parallelen senkrechten Isolatoren aufweist, die im gleichen Abstandsverhältnis um den
Umfang eines Kreises herum angeordnet sind« Auf die Isolatoren werden senkrechte Belastungskräfte über
eine Adapterplatte beaufschlagt, die vermittels eines die Belastung verteilenden Rings von einer oberen Platte
der Isolatoren getrennt ist. Der Rings ist mit den Achsen der Isolatoren ausgerichtet, so daß Biegekräfte
nicht auf die Isolatoren übertragen werden. Es kann eine Mehrzahl an senkrechten Isolatorenreihen getrennt
durch Unterteilungsplatten vorgesehen sein. Ein Ende jedes Isolators kann in einem ausgeformten Verbindungsstück
angeordnet sein, um so eine praktisch gleiche Belastungsverteilung sicherzustellen.
Die' Erfindung betrifft Isolatorenanordnungen und insbesondere
das Vorsehen von Mitteln, durch die die Belastungen auf die Isolatorenanordnungen, die eine Mehrzahl an senkrechten keramischen
Isolatoren aufweist, verteilt werden.
Bisher sind eine Anzahl keramischer Isolatorenanordnungen bekannt geworden, die eine oder mehrere Isolatorenreihen
aufweisen. Wegen verschiedener baumäßiger und thermischer Gründe traten in derartigen Isolatorenanordnungen Konzentrationen von
Beanspruchungen auf, so daß unter den Bedingungen einer hohen Belastung die Anordnungen versagten, bedingt
409850/0238
- 2 durch eine Rißbildung der keramischen Isolatoren.
Um diese Probleme auszuräumen sind parallele, mit Öl gefüllte, keramische Rohre vorgesehen worden, die
zv/ischen Stahlplatten angeordnet sind. Wenn auch diese abgewandlete Ausführungsform bei mäßig hohen Belastungen
erfolgreich ist, wurde doch gefunden, daß die Anordnung einem Versagen unter hohen Belastungsbedingungen ausgesetzt
ist.
Kurz umrissen, wird erfindungsgemäß eine keramische Isolatoranordnung geschaffen, die ohne Versagen hohen
Belastungskräften widerstehen kann. Die Anordnung besteht aus einer oder mehreren Reihen paralleler keramischer
Isolatoren, die im gleichen Abstandsverhältnis um den Umfang eines Kreises herum angeordnet sind, d.h. einheitlich um den
Kreis herum verteilt sind. Wenn mehr als eine Reihe vorgesehen ist, sind die Achsen der entsprechenden Isolatoren in den
Reihen ausgerichtet, und die Reihen sind durch Unterteilerplatten getrennt.
Es ist eine Befestigungsplatte an den oberen Enden der Isolatoren der obersten Reihen angeordnet, und ein die Belastung verteilender
Ring befindet sich an der oberen Seite der oberen Befestigungsplatte. Der Ring ist mit den Achsen der Isolatoren ausgerichtet,
d.h. die Mittellinien der Isolatoren erstrecken sich durch den die Belastung verteilenden Ring zwischen den
inneren und äußeren Durchmessern derselben. Es ist eine Adapterplatte an der oberen Seite des Verteilungsringes
angeordnet. Der Ring weist eine Breite, d.h. Abmessungen zwischen seinen inneren und äußeren Durchmessern, dergestalt
auf, daß ein Biegen bedingt durch die Belastung der Anordnung durch die Adapterplatte aufgenommen wird und nicht auf die
obere Befestigungsplatte und somit die keramischen Isolatoren übertragen wird.
409850/0238
Um eine praktisch gleiche Verteilung der senkrechten Belastungen zwischen den keramischen Isolatoren sicherzustellen,
ist ein ausgeformtes Verbindungsstück, z.B. aus einem Epoxid-Kunststoff an einem Ende jedes Isolators
vorgesehen.
Bezüglich dieser Anordnung wurde gefunden, daß starke Belastungskräfte auf die Isolatoranordnung beaufschlagt
werden können, ohne daß sich die Gefahr eines Versagens der Anordnung durch Rißbildung der keramischen Isolatoren
bedingt durch Konzentration von Beanspruchungen ergibt.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher
beschrieben. Es zeigt:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines erfindungsgemäßen, mehrere
Reihen aufweisenden Isolators;
Fig. 2 eine vergrößerte, teilweise weggeschnittene, Ansicht von oben auf die Isolatoranordnung nach Fig. 1;
Fig. 3 eine weitere, vergrößerte, teilweise im Querschnitt aufgeführte Ansicht eines Teils der Isolatoranordnung nach
Fig. 2 längs der Linien 3τ3;
Fig.4 eine teilweise im Querschnitt ausgeführt Ansicht eines
Teils der Anordnung nach der Fig. 3 und erläutert die Wirkung der Belastungskräfte auf die Isolatoranordnung.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ist in der Figur 1 eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Isolatoranordnung wiedergegeben.
Die Anordnung weist eine oder mehrere Reihen paralleler, sich senkrecht erstreckender , vorzugsweise zylinderförmiger,
keramischer Isolatoren 10 auf, von denen zwei derartige Reihen in der Anordnung nach der Figur 1 wiedergegeben sind.
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Es versteht sich natürlich, daß eine größere oder kleinere Anzahl an Reihen vorgesehen sein kann. Die Enden jedes
Isolators sind mit Befestigungsflanschen 11 in herkömmlicher Weise versehen, die Isolatoren 10 liegen im gleichen
Abstandsverhältnis um den Umfang eines Kreises vor, siehe die Fig. 2, und gemäß der Fig. 1 sind die Achsen der
entsprechenden Isolatoren in den Reihen ausgerichtet.
Wenn zwei oder mehrere Reihen der Isolatoren vorgesehen sind, sind dieselben durch eine mittlere Platte 12 getrennt. Die
unteren Enden der Isolatoren der untersten Reihe sind auf einer Basisplatte 13 angeordnet, und eine obere Platte 14
befindet sich auf den oberen Enden der Isolatoren der obersten Reihe. Die Isolatorflansche 11 sind an den entsprechenden
Platten 12, 13 und 14 in herkömmlicher Weise, wie unter Anwenden von Bolzen, nicht gezeigt, befestigt. Die Basisplatte
13 kann in herkömmlicher Weise auf einer Abstandshalterplatte 15 angeordnet sein.
Eine mit der Isolatoranordnung ausgerichtete Adapterplatte liegt im Abstandsverhältnis gegenüber der oberen SEite der
oberen Platte 14 vor unter Anwenden eines die Belastung verteilenden 3ings 21. Der die Belastung verteilende Ring
siehe die Fig. 2 und 3, ist mit den Achsen der keramischen Isolatoren ausgereichtet, d.h. die Achsen der keramischen
Isolatoren schneiden den Ring 21 zwischen dem inneren und äußeren Durchmesser. Die Fig. 1 erläutert das Beaufschlagen
einer senkrechten Belastung auf die Isolatoranordnung durch den Pfeil P, der auf die Adapterplatte 20 nach unten
gerichtet ist.
Die Platten 12, 13 und 14 sind vorzugsweise kreisförmig ausgeführt, si&e die Fig. 2. Gegebenenfalls können diese
Platten auch ringförmig sein, wobei die Linie 22 deren innere Kanten wiedergibt, da das wirksame Gebiet dieser Platten
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- 5 vom Standpunkt der Belastung aus ringförmig ist.
Wenn auch die in der Zeichnung wiedergegebenen Isolatoren glatte äußere Oberflächen aufweisen, versteht es sich
natürlich, daß diese Isolatoren auch mit ringförmigen Erhöhungen versehen sein können, wie dies der herkömmlichen
Praxis entspricht. Weiterhin, siehe Fig. 1, sind die Durchmesser der keramischen Isolatoren größer an deren
Enden als an deren mittleren Teilen. Wenn auch dieses Merkmal nicht sehr wesentlich ist, ist es doch zweckmäßig,
da die höchsten Biegebeanspruchungen auf die Anordnung an den Enden auftreten und nicht an den axialen Mittelpunkten
der Isolatoren.
Um die Fähigkeit der Anordnung Scherbelastungen zu tragen zu erhöhen, werden die Längen der keramischen Isolatoren
verringert und es ist eine Merhzahl an Reihen derartiger Isolatoren vorgesehen, siehe die Fig. 1, wodurch die Biegung
in den keramischen Isolatoren bedingt durch Scherbelastungen gleichmäßig auf jedes Ende jedes keramischen Isolators
verteilt wird. Die Unterteilerplatte oder Platten 12 bei einer mehrreihigen Anordnung weisen gleiche Flexibilität
bezüglich der oberen und unteren Platten 14 bzw. 13 auf. Bei dieser Anordnung ist somit die Säulenlänge der Isolatoren
wirksam verkürzt und bedingt somit eine Verringerung der Wirkung der Bauexzentrizität.
Der Belastungsverteilungsring 21 ist vorgesehen um die gesamte Biegung ausgehend von der senkrechten Belastung P
innerhalb des Kreises der keramischen Isolatoren in die Adapterplatte 20 aufzunehmen und hierbei nicht eine ungleichmäßige
Übertragung auf die keramischen Isolatoren zu bewirken. Für diesen Zweck ist es bevorzugt, daß die
Breite, d.h. die Abmessung zwischen den inneren und äußeren Durchmessern, des Rings 21 möglichst klein gemacht wird.
Die kleinste Breite ist gemäß der herkömmlichen Praxis durch die Druckfestigkeit des Materials des Rings und des Materials
A09850/023S
2A06106 - β -
in der oberen Platte 14 und der Adapterplatte 20 begrenzt. Der Ring ist mit den Achsen der keramischen Isolatoren
ausgerichtet, so daß angenähert gleiche Flächen der oberen Enden der keramischen Isolatoren an der Innenseite und der Außenseite des Rings 21, siehe die Fig. 2, auftreten.
ausgerichtet, so daß angenähert gleiche Flächen der oberen Enden der keramischen Isolatoren an der Innenseite und der Außenseite des Rings 21, siehe die Fig. 2, auftreten.
Die Wirkung des Rings 21 in der Anordnung ist in der
teilweisen Querschnittsansicht nach Fig. 4 übertrieben
dargestellt. Bei dieser Darstellung ist die auf die
Adapterplatte 20 einwirkende senkrechte Kraft P so gezeigt, daß dieselbe eine ausreichende Größe besitzt um ein Biegen der Adapterplatte 20 zu bewirken. Dieses Biegen hat in
wirksamer Weise den Belastungspunkt zwischen der Adapterplatte und dem Ring 21 nach innen verschoben, jedoch ist
die Verschiebung der Belastungskraft durch die Breite des
Rings 21 begrenzt. Als Folge hiervon werden die auf den
keramischen Isolator 10 über die obere Platte 14 und den
Verteilungsring 21 einwirkenden Kräfte innerhalb tolerierbarer Grenzwerte bezüglich der Achsen der kermmischen Isolatoren gehalten, und es wird praktisch keine der auf die Platte einwirkenden Biegekraft auf den keramischen Isolator 10
übertragen. Wie weiter oben dargelegt, ist die Darstellung der Figur 4 übertrieben, und bei der praktischen Auslegung der Isolatoranordnung ist es bevorzugt, daß die Elemente
der Anordnung so vorgesehen werden, daß das auf den
Verteilungsring einwirkene Belastungszentrum sich um nicht mehr als O,3 cm der Ringbreite für den schlimmsten Fall der Belastungsverteilung verschiebt.
teilweisen Querschnittsansicht nach Fig. 4 übertrieben
dargestellt. Bei dieser Darstellung ist die auf die
Adapterplatte 20 einwirkende senkrechte Kraft P so gezeigt, daß dieselbe eine ausreichende Größe besitzt um ein Biegen der Adapterplatte 20 zu bewirken. Dieses Biegen hat in
wirksamer Weise den Belastungspunkt zwischen der Adapterplatte und dem Ring 21 nach innen verschoben, jedoch ist
die Verschiebung der Belastungskraft durch die Breite des
Rings 21 begrenzt. Als Folge hiervon werden die auf den
keramischen Isolator 10 über die obere Platte 14 und den
Verteilungsring 21 einwirkenden Kräfte innerhalb tolerierbarer Grenzwerte bezüglich der Achsen der kermmischen Isolatoren gehalten, und es wird praktisch keine der auf die Platte einwirkenden Biegekraft auf den keramischen Isolator 10
übertragen. Wie weiter oben dargelegt, ist die Darstellung der Figur 4 übertrieben, und bei der praktischen Auslegung der Isolatoranordnung ist es bevorzugt, daß die Elemente
der Anordnung so vorgesehen werden, daß das auf den
Verteilungsring einwirkene Belastungszentrum sich um nicht mehr als O,3 cm der Ringbreite für den schlimmsten Fall der Belastungsverteilung verschiebt.
Es versteht sich natürlich, daß geeignete Anordnungen wie
Bolzen vorgesehen werden können, um so die Ausrichtung der Adapterplatte 20 an der Anordnung aufrechtzuerhalten, wenn auch dieses Merkmal keinen Teil der vorliegenden Erfindung darstellt.
Bolzen vorgesehen werden können, um so die Ausrichtung der Adapterplatte 20 an der Anordnung aufrechtzuerhalten, wenn auch dieses Merkmal keinen Teil der vorliegenden Erfindung darstellt.
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mm Π mm
Um die Verteilung der senkrechten Kraft auf innerhalb 10%
zwischen den keramischen Isolatoren jeder Reihe zu ermöglichen, ist an jedem Isolator ein ausgeformtes Verbindungsstück, siehe
Fig.3, vorgesehen. Die ausgeformten Verbindungsstücke sind an lediglich einem Ende jedes Isolators vorgesehen. DAs Material
derselben muß eine hohe Druckfestigkeit und einen höchstmöglichen Elastizitätsmodel besitzen, wie weiterhin es ebenfalls
wenig fließen muß. Für diesen Zweck haben sich Epoxidkunststoffe als geeignet erwiesen. Die größte Dicke des
Verbindungsstücks 25 wird dadurch bestimmt, daß alle Bautoleranzen bei der Herstellung der Isolatoren addiert werden
und man sicherstellt, daß die gesamte senkrechte Ablenkung des ausgeformten Verbindungsstücks kleiner als 10% der
gesamten Ablenkung des keramischen Isolators unter größtmöglicher Belastung ist. Das ausgeformte Verbindungsstück
wird so angewandt, daß alle parallel wirkendenISolatoren ihre Belastungszyklen gleichzeitig bei Beaufschlagen der
Belastung auf die Anordnung beginnen, wodurch keine Beanspruchungskonzentrationen erzeugt werden.
Bei einer praktischen erfindungsgemäßen Ausführungsform werden keramische Isolatoren angewandt, die Längen von
117 cm und Wurzeldurchmesser an deren Mittelpunkten von 20 cm und Wurzeldurchmesser von 22,8 cm bezüglich deren
Enden von 21,6 cm besitzen. Die Isolatoren sind aus herkömmlichem Material gefertigt. Die Höhen der Flansche
belaufen sich auf 10,5 cmr die obere Platte 14, die
Unterteilerplatte 12 und die Basisplatte 13 besitzen eine Dicke von 12,7 cm und Durchmesser von 140 cm. Die wirksame
innere Kante 22 dieser Platten weist einen Durchmesser von 48 cm auf. Der Durchmesser der Anordnung zwischen den Anhsen
der gegenüberliegenden Isolatoren beläuft sich auf 94cm. Der Belastungsverteilungsring 21 weist einen inneren Durchmesser
von 90,5 cm, einen äußeren Durchmesser von 98 cm und eine Dicke von 0,635 cm auf. Der Adapterring weist eine Dicke von
30,5 cm auf. Die ausgeformten Verb indungsstücke 25 werden aus einem Epoxid-Kunststoff gefertigt und weisen maximale
Dicken von etwa 0,04 cm auf.
409850/023B - s -
Bezüglich des Aufbaus der ausgeformten Verbindungsstücke sei angenommen, daß die gesamte senkrechte Ablenkung einer
Isolatoranordnung mit zwei keramischen Isolatoren sich unter einer Belastung von 1,631 kP sich auf angenähert 0,6 cm
beläuft, sowie der wirksame Durchmesser des ausgeformten Verbindungsstückes 31,8 cm an dem Bolzenkreis beträgt,
sowie die keramischen Isolatoren und die oberen und unteren Platten einer einzigen Reiheneinheit Toleranzen von plus
oder minus 0,005 cm besitzen.In diesem Fall beläuft sich
die gesamte mögliche Fehlanpassung in der Anordnung auf möglicherweise 2,5(8 χ 2 χ 0,002) = 0,081 cm. Wenn ein
Epoxid-Verbindungsstück mit einer Dicke von 0,081 cm angewandt wird, beläuft sich die gesamte Ablenkung des
Epoxid-Verbi ndungsStücks unter den obigen Belastungsbedingungen auf Δ = PL = 0,002cm
AE
wobei P die beaufschlagte Belastung, L die Dicke des ausgeformten Verbindungsstücks, A die Fläche des Verbindungsstücks
und E der Elastizitätsmodul ist, der sich in diesem Fall auf 520 000 beläuft.
Die gesamte Ablenkung des Epoxid-Kunststoffes unter der oben Belastung beläuft sich somit auf weniger als 1%
der gesamten senkrechten Ablenkung.
409850/0238 _ g _
Claims (11)
1.7Isolatoranordnung, dadurch gekennz eichnet,
aß dieselbe eine Mehrzahl paralleler zylinderförmiger Isolatoren aufweist, die im gleichen Abstandsverhältnis um
den Umfang eines Kreises herum angeordnet sind, eine Befestigungsplatten-Anordnung (12,13,14) sich an einem
Ende der Isolatoren (10) befindet, eine Adapterplatten-Anordnung (20) mit der Befestigungsplatten-Anordnung (12,13,14)
ausgerichtet ist für die Aufnahme einer Belastungskraft, und ein die Belastung verteilender Ring (14) zwischen der
Befestigungsplatte und den Isolatoren (10) vorliegt, der Ring (14) mit den Achsen der Isolatoren )10) ausgerichtet
ist, sowie der Ring (14) eine Breitenabmessung zwischen seinen inneren und äußeren Durchmessern aufweist, die kleiner
als die Durchmesser der Isolatoren (10) an dem einen Ende derselben ist, wodurch ein Durchbiegen bedingt durch die
Belastungskraft nicht auf die Isolatoren übertragen wird.
2.Isolatoranordnung, dadurch gekennzeichnet, daß dieselbe eine Mehrzahl paralleler, senkrecht länglicher,
keramischer Isolatoren (10) aufweist, die im gleichen Abstandsverhältnis um den Umfang eines Kreises herum vorliegen,
eine obere Plattenanordnung (14) an den oberen Enden der Isolatoren (10) vorliegt, eine Adapterplatte (20) über der
oberen Plattenanordnung (14) überliegt, und ein die Belastung verteilender Ring (21) zwischen der Adapterplatte (20) und
der oberen Platte (14) vorliegt und mit den Achsen der
Isolatoren (10) ausgerichtet ist, wobei der Ring (21) eine Breitenabmessung, zwischen den inneren und äußeren Durchmessern
derselben dergestalt besitzt, daß dieselbe kleiner als die
409850/0238
- 10 -
Durchmesser der oberen Enden der Isolatoren (10) ist,
wodurch Biegekräfte bedingt durch das Beaufschlagen senkrechter Belastungen auf die Adapterplatten-Anordnung (20)
nicht auf die Isolatoren (10) übertragen werden können.
3. Isolatoranordnung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß an einem Ende jeder der Isolatoren (10) ein ausgeformtes Verbindungsstück (25)
vorliegt, wodurch die senkrechten Belastungen praktisch gleichmäßig zwischen den Isolatoren (10) verteilt werden.
4. Isolatoranordnung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die ausgeformten Verbindungsstücke (25) aus einem Epoxid-Kunststoff bestehen.
5. Isolatoranordnung nach Anspruch 3, dadurch
gekennz ei chnet, daß die ausgeformten Verbindungsstücke (25) an lediglich einem Ende jeder Isolatoren (10)
vorliegen.
6. Isolatoranordnung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzei chnet, daß die Durchmesser der Isolatoren
(10) an den axialen Enden derselben größer sind als an deren axialen Mittelpunkten.
7. Isolatoranordnung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die ausgeformten Verbindungsstücke (25) eine Schicht eines ausgeformten Materials mit
einer Dicke aufweisen, dergestalt, daß die senkrechte Deformation Shicht sich auf weniger als 10% der senkrechten
Deformation des entsprechenden Isolators unter größtmöglicher Belastung beläuft.
8. Isolatoranordnung, dadurch gekennzeichnet, daß dieselbe eine Mehrzahl ausgerichteter Reihen paralleler,
senkrechter, zylinderförmiger Isolatoren (10) aufweist, die im gleichen Abstandsverhältnis um den Umfang eines Kreises
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- 11 -
herum angeordnet sind, wobei die Achsen der Isolatoren
in getrennten Reihen ausgerichtet sind, eine Unterteilerplatten-Anordnung (12) die Reihen trennt, eine obere
Platte (14) an den oberen Enden der obersten Reihe der Isolatoren (10) angeordnet ist, eine Adapterplatte (20)
über der oberen Platte (14) vorliegt, sowie ein die Belastung verteilender Ring (21) zwischen der Adapterplatte
(20) und der oberen Platte (14) vorliegt, sowie mit den Achsen der Isolatoren (10) ausgerichtet ist für
die übertragung senkrechter Belastungen auf die Adapterplatte
(20) zu den Reihen der Isolatoren (10), sowie der Ring (21) eine Breitenabmessung zwischen seinen inneren
und äußeren Durchmessern dergestalt aufweist, daß dieselben kleiner als die Durchmesser der oberen Enden der Isolatoren (10)
sind, wodurch ein Durchbiegen bedingt durch die senkrechte Belastung nicht von der Adapterplatte (20) auf die obere
Platte (14) übertragen wird.
9. Isolatoranordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß lediglich ein Ende jeder
der Isolatoren (10) ein ausgeformtes Verbindungsstück (25) besitzt, um so eine praktisch gleiche Belastung der
Isolatoren (10) sicherzustellen.
10. Isolatoranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die ausgeformten
Verbindungsstücke (25) aus einem Epoxid-Kunststoff bestehen.
11. Isolatoranordnung nach Anspruch 8, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Basisplatte (13) an den unteren Enden der Isolatoren (10) der untersten Reihe
der Isolatoren (10) angeordnet ist, die obere Platte (14), die Unterteilerplatten-Anordnung (12) und die Basisplatte (13)
praktisch gleiche Flexibilität besitzen.
409850/0238
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US00365930A US3814838A (en) | 1973-06-01 | 1973-06-01 | Insulator assembly having load distribution support |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2406106A1 true DE2406106A1 (de) | 1974-12-12 |
DE2406106B2 DE2406106B2 (de) | 1980-04-24 |
DE2406106C3 DE2406106C3 (de) | 1981-01-08 |
Family
ID=23440979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2406106A Expired DE2406106C3 (de) | 1973-06-01 | 1974-02-05 | Stützisolatoranordnung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3814838A (de) |
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FR (1) | FR2232047B1 (de) |
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---|---|---|---|---|
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US6002263A (en) | 1997-06-06 | 1999-12-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having inner and outer shielding |
US6445202B1 (en) * | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
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US7250779B2 (en) | 2002-11-25 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
US6861856B2 (en) | 2002-12-13 | 2005-03-01 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
JP2004213984A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Ngk Insulators Ltd | ポリマーポスト碍子装置及びその装着方法 |
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US7187188B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-03-06 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
US7176705B2 (en) | 2004-06-07 | 2007-02-13 | Cascade Microtech, Inc. | Thermal optical chuck |
US8319503B2 (en) | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
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-
1973
- 1973-06-01 US US00365930A patent/US3814838A/en not_active Expired - Lifetime
-
1974
- 1974-02-05 DE DE2406106A patent/DE2406106C3/de not_active Expired
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- 1974-02-28 JP JP2409274A patent/JPS5479B2/ja not_active Expired
Also Published As
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---|---|
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JPS5031392A (de) | 1975-03-27 |
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FR2232047B1 (de) | 1978-01-06 |
JPS5479B2 (de) | 1979-01-05 |
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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