DE2360614A1 - Symbol fuer optische zeichenmaschinen und vorrichtung zu ihrer herstellung - Google Patents

Symbol fuer optische zeichenmaschinen und vorrichtung zu ihrer herstellung

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DE2360614A1
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Application number
DE19732360614
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German (de)
English (en)
Inventor
Allessandro Raffaele D
Isidore Lagadec
Norber Paris Mauraisin
Michel Pichon
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CII HONEYWELL BULL
Original Assignee
CII HONEYWELL BULL
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70375—Multiphoton lithography or multiphoton photopolymerization; Imaging systems comprising means for converting one type of radiation into another type of radiation

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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