DE2350848C3 - Thermischer Durchflußmesser - Google Patents

Thermischer Durchflußmesser

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    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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Description

Die Erfindung betrifft einen thermischen Durchflußmesser zum Bestimmen der Strömungsrate eines Fluids in einem Meßkanal, mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Hauptanspruches.
Ein Durchflußmesser dieser Art ist aus der DE-PS 8 76 484 bekannt, der an sich wegen der unmittelbaren Anordnung der beiden beheizten Spulen auf der Außenseite des Meßkanales sehr genau arbeitet und insbesondere auch schnell auf Änderungen des Fluid-Durchstromes anspricht. Da die Spulen durch elektrische Widerstandserhitzung erwärmt werden, ist eine Ansprechbarkeit praktisch ohne Zeitverzögerung gewährleistet. Man kann mit einem derartigen Durchflußmesser Messungen innerhalb eines weiten Temperaturbereiches durchführen, jedoch besteht der Nachteil, daß Voraussetzungen für genaue Messungen ist, daß die Spulen stets in der Lage bleiben, in welcher der Brückenkreis abgeglichen ist, denn wenn man den Meßkanal kippt oder sonstwie bewegt, so daß beispielsweise die eine Spule höher als die andere liegt, kann von der unteren Spule abgestrahlte Wärme die obere Spule beeinflussen, so daß sich deren Widerstand verändert und der Brückenkreis aus dem Gleichgewicht gerät. Dieser Nachteil kann auch bei feststehendem Meßkanal auftreten, wenn über diesen ein Luftstrom hinweg streicht, der konvektiv abgestrahlte Wärme einer Spule der anderen Spule zuführt
Es sind zwar thermische Strömungsmesser bekannt, bei denen eine die Meßergebnisse verfälschende thermische Beeinflussung der beiden Meßspulen verhindert wird, jedoch handelt es sich hierbei um verhältnismäßig aufwendige und bezüglich ihrer Meßwirksamkeit nachteilige Strömungsmesser. So ist beispielsweise aus dem DE-GBM 19 20 597 ein thermischer Strömungsmesser bekannt, bei dem zwei durch elektrische Widerstandsheizung zu erwärmende Spulen eines Brückenkreises im Abstand voneinander innerhalb eines Meßrohres angeordnet sind und dementsprechend die Abkühlung der Spulen aufgrund des durchströmenden Fluids gemessen wird. Da die Meßspulen im Fluidstrom liegen, erzeugen sie Turbulenzen des sie passierenden Fluids, welche die Messung verfälschen können. Bsi einem anderen bekannten thermischen Durchflußmesser (US-PS 25 86 060) sind die auf der Außenseite eines Meßkanales hintereinander angeordneten Meßspulen in
ίο einem Gehäuse gekapselt, so daß Luftströmungen die Messungen nicht beeinflussen können. Hingegen würden auch bei dieser aufwendigen Anordnung Änderungen der Lage des Durchflußmessers eine gegenseitige thermische Beeinflussung der beiden Spulen bewirken.
Andere bekannte thermische Durchfiußmesser (DE-AS 14 73 158, DE-OS 16 48 008, US-PS 27 29 976, 29 53 022 und 30 56 295) weisen zwar eine thermische gegenseitige Isolierung der Meßspulen auf, sind jedoch sehr aufwendig und weisen eine separate Heizung mit zwei Temperaturdifferenzfühlern auf.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ausgehend von dem aus der DE-PS 8 76 484 bekannten Stand der Technik einen thermischen Durchflußmesser zu schaffen, bei dem mit einfachen Mitteln eine unmittelbare Wärmebeeinflussung der beiden auf den Meßkanal aufgewickelten Spulen untereinander vermieden wird, damit dieser Durchflußmesser unabhängig von der jeweiligen Lage des Meßkanals arbeitet und eine Eineichung auf bestimmte Lagen des Meßkanales nicht notwendig ist
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Durchflußmesser der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Kennzeichens des Hauptanspruches gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind
v~> Gegenstand der Unteransprüche.
Da bei diesem Durchfiußmesser die beiden auf die Außenseite des Meßkanals aufgewickelten Spulen von einem die Wärmeabstrahlung verhindernden Material umhüllt sind, erhält man unabhängig von der jeweiligen
M) Lage des Meßkanales bei der angelegten konstanten elektrischen Spannung gleichförmige Meßergebnisse, so daß der Durchfiußmesser auch als tragbares Gerät oder in Fahrzeugen und insbesondere auch Flugkörpern eingesetzt werden kann. Es zeigte sich, daß die Empfindlichkeit des Durchflußmessers auf Lageänderungen, die bei einem Messer gemäß DE-PS 8 76 484 mehr als 50% beträgt, durch die Erfindung auf weniger als 0,5% reduziert wurde.
Die Erfindung wird weiterhin anhand der Zeichnung erläutert, in der schematisch zwei Ausführungsbeispiele eines thermischen Durchflußmessers dargestellt sind, und zwar zeigt
F i g. 1 eine Darstellung des Brückenkreises einer Ausführungsform des Durchflußmessers,
F i g. 2 eine teilweise geschnittene schaubildliche Ansicht des Durchflußmessers und
Fig.3 eine abgewandelte Ausführungsform des Brückenkreises, der zur Temperaturstabilisierung des Durchflußmessers verwendet wird.
bo Gemäß F i g. 1 weist der thermische Durchflußmesser einen an einem Meßkanal 14 angebrachten Brückenkreis 12 auf, v/elcher einen ersten Widerstand 16 und einen zweiten Widerstand 18 enthält und zwei hintereinander auf den Meßkanal aufgewickelte Spulen
μ 22 und 24. Die Spule 22 liegt dem Eingangsende 26 des Meßkanals 14 näher, während die Spule 24 näher an dem Ausgangsende 28 des Meßkanales 14 angeordnet ist.
Der Brückenkreis 12 umfaßt auch eine Gleichspannungsqueüe 30, die einerseits an die Verbindung zwischen den Spulen 22 und 24 und andererseits über einen Schalter 32 an die Verbindung zwischen den Widerständen 16 und 18 angeschlossen ist Die Ausgangssignale des Brückenkreises 12 werden von zwei Anschlüssen 34 und 36 abgenommen, die mit den Verbindungen zwischen der Spule 22 und dem Widerstand 16 bzw. zwischen der Spule 24 und dem Widerstand 18 verbunden sind. Die beiden Spulen 24 und 22 biAtehen aus Draht, dessen elektrischer Widerstand sich temperaturabhängig ändert. Der Draht kann eine Eisen-Nickel-Legierung sein. Der Meßkanal 14 ist vorzugsweise ein dünnwandiges Rohr, das beispielsweise aus rostfreiem Stahl bestehen kann.
Auf dem Meßkanal 14 befindet sich eine die Spulen 22 und 24 umhüllende Isolierung 37 aus offenzelligem Schaumstoff, die eine geringe Masse aufweist, um die Reaktionszeit der Meßspulen so gering wie möglich zu beeinflussen, und der außerdem eine niedrige thermische Leitfähigkeit hat, um Wärmeverluste zu vermeiden. Beispielsweise besteht der offenzellige Schaumstoff aus Polystyrol, Polyurethan, Polyäthylen oder Polypropylen.
Gemäß F i g. 2 besteht die Isolierung aus zwei zusammengesetzten und der Oberfläche des Meßkanals angepaßten Blöcken 37a und 376, die nach dem Aufsetzen auf Spulen 62 und 64 zusammengeklebt, durch eine äußere Wicklung zusammengehalten oder mit dem Meßkanal verklammert sind. Die Blöcke 37a und 37£> bestehen aus offenzelligem Polystyrolschaum mit einer Dichte von etwa 0,016 g/cm3.
Bei geschlossenem Schalter 32 erwärmen sich dit Spulen 22 und 24, wodurch ihr elektrischer Widerstand zunimmt und die Temperatur des Meßkanals 14 erhöht wird Bei keiner oder nur geringer Strömjng eines Fluids durch den Meßkanal 14 sind die Temperaturen der Spulen 22 und 24 gleich groß und die Brückenschaltung daher abgeglichen, so daß an den Ausgangsklemmen 34 und 36 eine Anzeige »Null« erscheint. Ein vom Eingangsende 26 zum Ausgangsende 28 des Meßkanales 14 strömendes Fluid nimmt die von den Spulen 22 und 24 auf den Meßkanal 14 übertragene Wärme mit, wodurch sich eine Veränderung d^s Temperaturprofils entlang des Meßkanals 14 und dadurch eine Temperaturdifferenz zwischen den Spulen 22 und 24 ergibt, wodurch der elektrische Widerstand der Spule 22 sinkt und der elektrische Widerstand der Spule 24 steigt Die an den Ausgangsklemmen 34 und 36 angezeigte Ausgangsspannung der Brückenschaltung steigt dabei linear proportional zur Strömungsrate.
Steigt die Strömungsrate auf einen mehrfachen Wert des vollen Meßbereiches des Durchflußmessers, so nähert sich die Temperatur der Spule 22 derjenigen des zuströmenden Fluids, während der Temperaturanstieg der Spule 24 zunächst flacher wird und dann sich sogar umkehrt, da mehr und mehr Wärme vom durchströmenden Fluid abgeführt wird. Dementsprechend erreicht die Ausgangsspannung der Brückenschaltung zunächst einen Spitzenwert und fällt dann wieder ab und nähert sich dem Wert »Null« asymptotisch.
Gemäß F i g. 2 ist parallel zu einem Hauptrohr 52 ein Meßrohr 54 angeordnet, das mit seinem Einlaßende 5b und seinem Auslaßende 58 jeweils an einen in das Hauptrohr 52 führenden Krümmer angeschlossen ist Die Strömungsverhältnisse im Meßrohi* 54 sind dabei
lu denen im Hauptrohr 52 gleich. Das Hauptrohr 52 enthält eine Drossel 60, mit deren Hilfe eine nahezu unbegrenzte Anzahl von Durchflußmeßbereichen geschaffen werden kann.
Die auf das Meßrohr 54 aufgewickelten Spulen 62 und 64 entsprechen den Spulen 22 und 24 aus Fig. 1. Die beiden Spulen sind als durchgehende Spule mit einem Mittelabgriff angeordnet, wodurch die Meßgenauigkeit und die Ansprechgeschwindigkeit des Durchflußmessers verbessert wird. Die Spulen sind von den Blöcken 37a und 37b umhüllt
Bei der in Fig.3 dargestellten abgewandelten Ausführungsform des Brückenkreises sind die Widerstände 16 und 18 des Brückenkreises aus F i g. 1 durch zwei konstante Stromquellen 72 und 74 ersetzt, so daß die Temperaturstabilität des Brückenkreises auch bei Änderungen der Umgebungstemperatur aufrecht erhalten bleibt, denn die konstanten Stromquellen 72 und 74 halten den Brückenkreis auch bei Temperaturschwankungen stabil.
Statt zwei getrennte gleiche Stromquellen gemäß F i g. 3 zu verwenden, ist es auch möglich, den Strom durch die Spulen 22 und 24 dadurch weitgehend konstant zu halten, daß die Widerstände 16 und 18 im Vergleich zu den Spulen 22 und 24 ausreichend groß
j5 gewählt werden und in Reihe zur Gleichspannungsquelle 30 eine einzige konstante Stromquelle eingefügt wird. Eine derartige Anordnung hat den Vorteil, daß nur eine Stromquelle erforderlich ist. Bleibt die Umgebungstemperatur nur selten konstant, ist die Temperaturstabilität
au des Durchflußmessers von größter Wichtigkeit für eine gute Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen. Bei Anwendung der vorstehend erwähnten abgeänderten Anordnung werden die mit der Änderung der Umgebungstemperatur verbundenen Probleme einfach
Vt dadurch übei wunden, daß eine oder mehrere konstante Stromquellen vorgesehen sind.
Wenn vorstehend von einem »Fluid« gesprochen wird, so kann es sich dabei um eine Flüssigkeit, Dampf oder Gas handeln. Der Durchflußmesser kann wegen der Isolierung der Meßspulen in jeder beliebigen Lage und auch in sich ändernden Lagen benutzt werden, beispielsweise als tragbares Gerät oder in Raumfahrzeugen. Die Eichung kann in jeder beliebigen Lage des Meßkanales durchgeführt werden und ist für alle Lagen des Meßkanales gleich.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Thermischer Durchflußmesser zürn Bestimmen der Strömungsrate eines Fluids in einem Meßkanai, mit zwei in Strömungsrichtung hintereinander auf die Außenseite des Meßkanals aufgewickelten, in Reihe geschalteten elektrisch beheizten Spulen, die zusammen mit zwei weiteren Widerständen eine Brückenschaltung bilden, zum Erfassen der Temperaturdifferenz zwischen den beiden Spulen, dadurch gekennzeichnet, daß an die Brückenschaltung in der Diagonalen zwischen den beiden Zweigen eine konstante Spannung angelegt ist und daß die beiden Spulen (22; 24; 62; 64) von offenzelligem Schaumstoff (37; 37a; 37b) umhüllt sind.
2. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaumstoff Polystyrol ist.
3. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Brückenschaltung in jedem Zweig außer der Spule (22 bzw. 24) jeweils eine konstante Stromquelle (72 bzw. 74) enthält
4. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandswerte der Widerstände (16; 18) im Vergleich zu denen der Spulen (22; 24) groß sind und daß eine konstante Stromquelle in Reihe mit der Spannungsquelle (30) der Brückenschaltung vorgesehen ist.
DE2350848A 1972-10-13 1973-10-10 Thermischer Durchflußmesser Expired DE2350848C3 (de)

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US29754972A 1972-10-13 1972-10-13
US05/381,455 US3938384A (en) 1972-10-13 1973-07-23 Mass flow meter with reduced attitude sensitivity

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2350848A1 DE2350848A1 (de) 1974-04-25
DE2350848B2 DE2350848B2 (de) 1978-05-18
DE2350848C3 true DE2350848C3 (de) 1979-02-15

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NL (1) NL173676C (de)

Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4056975A (en) * 1976-02-09 1977-11-08 Tylan Corporation Mass flow sensor system
US4276243A (en) * 1978-12-08 1981-06-30 Western Electric Company, Inc. Vapor delivery control system and method
US4306453A (en) * 1979-01-04 1981-12-22 Wolfshoerndl Egon Apparatuses for measuring the flow rate of a flowing medium
US4220460A (en) * 1979-02-05 1980-09-02 Western Electric Company, Inc. Vapor delivery system and method
US4314837A (en) * 1979-03-01 1982-02-09 Corning Glass Works Reactant delivery system method
US4440021A (en) * 1980-07-29 1984-04-03 Abouchar John W Mass flow meter with reduced attitude sensitivity
US4658855A (en) * 1980-10-03 1987-04-21 Silicon Valley Group Mass flow controller
CH649843A5 (de) * 1981-04-08 1985-06-14 Landis & Gyr Ag Anordnung zur waermemengenmessung an den einzelnen heizgruppen einer gemeinsamen heizzentrale.
US4696188A (en) * 1981-10-09 1987-09-29 Honeywell Inc. Semiconductor device microstructure
US4519246A (en) * 1981-12-21 1985-05-28 Advanced Semiconductor Materials International, N.V. Improved flow meter
US4464932A (en) * 1982-07-12 1984-08-14 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flowmetering
US4487213A (en) * 1982-09-09 1984-12-11 Omicron Technology Corporation Mass flow controller apparatus
JPS5988622A (ja) * 1982-11-12 1984-05-22 Ohkura Electric Co Ltd 熱式質量流量計
US4487062A (en) * 1983-03-30 1984-12-11 Sierra Instruments, Inc. Mass flowmeter
US4522058A (en) * 1983-06-15 1985-06-11 Mks Instruments, Inc. Laminar-flow channeling in thermal flowmeters and the like
JPS6013220A (ja) * 1983-07-04 1985-01-23 Esutetsuku:Kk ガス流量センサ−及びその製造方法
US4548075A (en) * 1984-02-02 1985-10-22 Dresser Industries, Inc. Fast responsive flowmeter transducer
US4648270A (en) * 1984-02-22 1987-03-10 Sirris Flow Technology, Inc. Mass flowmeter
US5191793A (en) * 1984-03-12 1993-03-09 Tylan Corporation Fluid mass flow meter device with reduced attitude sensitivity
US4672997A (en) * 1984-10-29 1987-06-16 Btu Engineering Corporation Modular, self-diagnostic mass-flow controller and system
JPS61182821U (de) * 1986-05-01 1986-11-14
US4762010A (en) * 1987-04-02 1988-08-09 Mobil Oil Corporation Apparatus and method for adsorption and desorption studies, particularly for characterization of catalysts
JP2814379B2 (ja) * 1988-06-20 1998-10-22 忠弘 大見 マスフローコントローラ
DE3842578A1 (de) * 1988-12-17 1990-06-21 Holstein & Kappert Maschf Fuellmaschine zum abfuellen von fluessigkeiten in gefaesse
DE3842579A1 (de) * 1988-12-17 1990-06-28 Holstein & Kappert Maschf Fuellmaschine zum abfuellen von fluessigkeiten in gefaesse
JPH02138827A (ja) * 1989-04-22 1990-05-28 Stec Kk マスフロー流量計
US5216918A (en) * 1990-01-18 1993-06-08 Integrated Control Concepts, Inc. Fluid mass flow detecting
DE4219551C2 (de) * 1991-06-13 1996-04-18 Mks Japan Inc Massenströmungssensor
JP2666163B2 (ja) * 1991-12-04 1997-10-22 山武ハネウエル株式会社 流速センサの温度特性補正方法
US5311762A (en) * 1991-12-16 1994-05-17 Dxl Usa Flow sensor calibration
JPH05215583A (ja) * 1992-02-04 1993-08-24 Mitsubishi Electric Corp 感熱式流量センサ
US5763791A (en) * 1995-11-01 1998-06-09 The Rosaen Company Flowmeter
US5576498A (en) * 1995-11-01 1996-11-19 The Rosaen Company Laminar flow element for a flowmeter
US5804717A (en) * 1996-04-05 1998-09-08 Mks Instruments, Inc. Mass flow transducer having extended flow rate measurement range
US5792952A (en) * 1996-05-23 1998-08-11 Varian Associates, Inc. Fluid thermal mass flow sensor
US5693880A (en) * 1996-06-14 1997-12-02 Mks Instruments, Inc. Heater with tapered heater density function for use with mass flowmeter
US5763774A (en) * 1996-08-01 1998-06-09 Millipore Corporation Fluid flow meter with reduced orientation sensitivity
DE69714747T2 (de) * 1997-12-30 2003-04-30 Qualiflow S A Verfahren zu Herstellung von einem Sensor für einen thermischen Massendurchflussmesser
US6269692B1 (en) * 1999-02-01 2001-08-07 Dxl Usa Inc. Mass flow measuring assembly having low pressure drop and fast response time
US6677517B2 (en) * 2001-05-15 2004-01-13 William J. Fowler Lightning suppression system for power lines
US6779394B2 (en) 2001-12-21 2004-08-24 Mks Instruments, Inc. Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller
US6668642B2 (en) 2001-12-21 2003-12-30 Mks Instruments, Inc. Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor
US6668641B2 (en) 2001-12-21 2003-12-30 Mks Instruments, Inc. Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor
US7000465B1 (en) 2004-09-17 2006-02-21 Mks Instruments, Inc. Attitude error self-correction for thermal sensors of mass flow meters and controllers
US7107834B2 (en) * 2004-11-12 2006-09-19 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flow rate sensor including bypass passageways and a sensor passageway having similar entrance effects
US20060203886A1 (en) * 2005-03-10 2006-09-14 Aai Corporation Simplified thermal isolator for temperature sensor
US20070084280A1 (en) * 2005-08-26 2007-04-19 Gill Rajinder S Semi-constant temperature excitation method for fluid flow sensors
US7467027B2 (en) * 2006-01-26 2008-12-16 Mks Instruments, Inc. Compensation for thermal siphoning in mass flow controllers
US7469583B2 (en) * 2007-02-21 2008-12-30 Mks Japan, Inc. Flow sensor
US7874208B2 (en) * 2007-10-10 2011-01-25 Brooks Instrument, Llc System for and method of providing a wide-range flow controller
DE102007062977B4 (de) 2007-12-21 2018-07-19 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von Prozessgasen für die Dampfphasenabscheidung
US8850872B2 (en) 2009-05-08 2014-10-07 Opw Fuel Management Systems, Inc. Line leak detector and method of using same
US8316695B2 (en) * 2009-05-08 2012-11-27 Delaware Capital Formation, Inc. Line leak detector and method of using same
NL2011975C2 (nl) * 2013-12-17 2015-06-18 Berkin Bv Stromingsmeetapparaat van het thermische type.
GB2533936B (en) 2015-01-07 2017-10-25 Homeserve Plc Flow detection device
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
US10845226B2 (en) * 2017-04-21 2020-11-24 Trane International Inc. Adhesive flow meter
US11262226B2 (en) 2020-02-17 2022-03-01 GWU Design Hybrid mass flow sensor including a thermal and coriolis principle measurement arrangements

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE876484C (de) * 1942-10-18 1953-05-15 Basf Ag Hitzdrahtstroemungsmesser
FR911680A (fr) * 1950-03-10 1946-07-17 Pyrometrie Ind Procédé et dispositif de mesure et de réglage du débit d'un fluide
US2813237A (en) * 1953-07-16 1957-11-12 Phillips Petroleum Co Flow measuring servosystem
US3199348A (en) * 1961-05-01 1965-08-10 Edmond A Saiera Fluid flow detection apparatus
US3336804A (en) * 1964-03-09 1967-08-22 Heinz F Poppendiek Means and techniques useful in fluid flow determinations
US3246523A (en) * 1963-12-10 1966-04-19 Joseph D Richard Pressure rate measuring apparatus
US3433068A (en) * 1964-11-12 1969-03-18 Rosemount Eng Co Ltd Thermal mass flow sensor
US3372590A (en) * 1965-10-01 1968-03-12 Technology Inc Thermal flowmeter
US3614967A (en) * 1968-10-08 1971-10-26 Royston Lab Multilayered pipe coatings and coated pipe
US3677085A (en) * 1970-04-08 1972-07-18 Yugen Kaisha Tsukasa Sokken Tandem-type hot-wire velocity meter probe
US3650151A (en) * 1970-11-18 1972-03-21 Tylan Corp Fluid flow measuring system
US3802264A (en) * 1972-07-10 1974-04-09 Geoscience Ltd Fluid temperature differential flow meter

Also Published As

Publication number Publication date
DE2350848B2 (de) 1978-05-18
JPS4974976A (de) 1974-07-19
NL173676B (nl) 1983-09-16
US3938384A (en) 1976-02-17
NL7313172A (de) 1974-04-16
DE2350848A1 (de) 1974-04-25
JPS5623094B2 (de) 1981-05-29
NL173676C (nl) 1984-02-16

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