DE2347025B2

DE2347025B2 - Daempfungspol-monolithkristallfilter

Info

Publication number: DE2347025B2
Application number: DE19732347025
Authority: DE
Inventors: Masaki; Kawakami Izumi; Gunji Katuhiko; Tokio Kobayashi
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1972-09-20
Filing date: 1973-09-19
Publication date: 1976-09-09
Also published as: JPS5329265B2; JPS4951843A; US3866155A; FR2200692B1; DE2347025A1; GB1442440A; FR2200692A1

Description

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Die Erfindung betrifft ein Dämpfungspol-Monolithkristallfilter mit einer piezoelektrischen Platte, mehreren auf der Platte angeordneten, akustisch miteinander gekoppelten Hauptelektrodenpaaren, von denen zwei mit den Eingangs- und den Ausgangsanschlüssen verbunden sind, sowie mit mindestens einem Paar von auf der Platte zwischen den Hauptelektroden angeordneten und von diesen elektrisch getrennten Zwischenelektroden zur Erzeugung von Dämpfungspolen.

Die Haupttendenz in der Filtertechnologie besteht darin, ein LC-Filter mit mehreren Induktivitäten und Kapazitäten einzusetzen. In bestimmten Bereichen jedoch, beispielsweise bei Miniaturbauteilen oder bei Bauteilen mit integrierten Schaltungen und/oder einem Schmalbandfilter kann das herkömmliche LC-Filter den Anforderungen nicht gerecht werden, und es wird in diesen Bereichen ein aktives RC-Filter, ein mechanisches Filter und/oder ein Monolithkristallfilter verwendet.

Ein Monolithkristallfilter besteht aus einer piezoelektrischen Platte, und es funktioniert erheblich anders als bekannte Filter. Die Arbeitsfrequenz eines Monolithkristallfilters ist auf das VHF-Band begrenzt, und zwar wegen der Charakteristiken einer piezoelektrischen Platte. Das Gefüge eines Monolithkristallfilters ist sehr einfach und erfordert keine Induktivität. Ferner entsprechen die Verfahrensschritte für die Herstellung denen integrierter Schaltungen, und es ist eine Massenproduktion von Monolithkristallfiltern dadurch möglich, daß in geeigneter Weise die Dicke der F.lektroden Besteuert wird.

Ein Monolithkristallfilter ist aus der japanischen Patentanmeldung No. 4 369/1969 bekannt, die am 22. Februar 1969 veröffentlicht worden ist

Dieses bekannte Monolithkristallfilter ist eine pollose Ausführung, d.h. es hat keinen Dämpfungspol bei endlicher Frequenz, sondern nur bei unendlicher Frequenz. Die Charakteristiken von pollosen Filtern werden jedoch den derzeitigen strengen technischen Anforderungen nicht gerecht, und es ist ein Dämpfungspol-Monolithkristallfilter erforderlich geworden, das einen Dämpfungspol bei endlicher Frequenz hat und das steilere Abschluß- bzw. Grenzchar-akicristiken hat

Ein Dämpfungspol-Fihersystem läßt sich elektrisch durch Verwendung eines herkömmlichen pollosen Monolithkristallfilters beispielsweise zusammen mit einer Kapazität (oder einer Streukapazität) zwischen dessen Eingangs- und Ausgangsanschlüssen erreichen, um eine Dämpfungspolcharakteristik mit einer steileren Abtrennung zu schaffen.

Der Nachteil dieses bekannten Dämpfungspol-Filtersystems besteht darin, daß man einen Dämpfungspol nicht genau bei einer gewünschten Frequenz erhalten kann, und zwar wegen des Fehlers in der Kapazität oder in der Streukapazität

Ein weiterer Nachteil dieser bekannten Ausführung besteht darin, daß die Umgebungsänderungen, die Tempiralurcharakteristiken, die Hochfrequenzcharakteristiken und die Stabilität nicht zufriedenstellend sind.

Aus der US-PS 35 64 463 ist bereits ein Monolithkristallfilter mit aufeinanderfolgenden Zwischenelektroden bekannt. Dieses bekannte Monolithkristallfilter weist eine niedrige Resonanzfrequenz f*, und eine höhere Resonanzfrequenz f_B auf. Dabei erfolgt die Ankopplung der Welle zwischen den beiden Hauptelektrodenpaaren derart, daß bei der niedrigsten Resonanzfrequenz /λ keine Phasenumkehr stattfindet, während bei der höheren Resonanzfrequenz /s die Phase umgekehrt wird. Das Durchlaßband liegt somit bei dieser bekannten Anordnung zwischen den Frequenzen /"a und fa.

Der Nachteil dieses bekannten Monolithkristallfilters besteht darin, daß in diesem Falle nur Dämpfungspole in einem sehr begrenzten Frequenzbereich gewonnen werden können.

Die vorliegende Erfindung hat die Aufgabe, ein Dämpfungspol-Monolithkristallfilter anzugeben, bei dem ein Dämpfungspol in einem weiten Frequenzbereich erzeugt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Zwischenelektroden eine größere Masse pro Flächeneinheit als die einzelnen Hauptelektroden haben, und zwar derart, daß sie dadurch die Energie dei stehenden Welle unter Phasendrehung um 180° an die nächstfolgenden Hauptelektroden ankoppeln.

Der große Vorteil des Dämpfungspol-Monolithkri stallfilters nach der Erfindung besteht darin, daß in Gegensatz zum Stand der Technik durch entsprechend« Wahl der Elektrodenabstände und -massen Dämpfungs pole in einem weiten Frequenzbereich erzeugt werdet können.

Die Erfindung ist nachstehend an Hand de Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen ist

Fig. IA eine Draufsicht auf ein bekanntes Monolith kristallfilter,

Fig. 1B ein Schnitt an der Linie A-A der Fig. IA,

Fig. IC eine elektrisch äquivalente Schaltung de Filtersaus Fi g. IA,

Fig.2A ein Ausführungsbeispiel eines bekannten Dämpfungspol-Filters unter Verwendung eines herkörnmlichen Monolithkristallfilters,

Fig.2B ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein bekanntes DämpfungspolfUter unter Verwendung eines herkömmlichen Monolithkristallfilters,

Fig.2C ein weiteres Ausführungsbeispiel eines bekannten Dämpfungspol-Filters,

Fig.3A ein Ausfuhrungsbeispiel eines Monolithkastallfilters gemäß der Erfindung mit einer Zwischenelek- ι ο trode als Phasepinverter,

Fig.3B eine elektrisch äquivalente Schaltung eines Filters nach F ig. 3 A,

Fig.3C ebenfalls eine elektrisch äquivalente Schaltung eines Filters nach Fig.3A in einer anderen Alternative,

F i g. 3D eine Variante des Aufbaus eines Filters nach Fig.3A,

Fig.4A ein weiteres Ausführungsbeispel eines Monolithk ristalJfilters nach der Erfindung,

Fig.4B eine elektrisch äquivalente Schaltung des Filters nach F i g. 4A,

Fig.4C eine Kennungskurve des Filters nach F ig. 4 A,

Fig.5A ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Monolithkristallfilters nach der Erfindung,

Fig.5B eine elektrisch äquivalente Schaltung des Filters nach F i g. 5A,

Fig.5C eine Kennungskurve des Filters nach F i g. 5A und

F i g. 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Monolithkristallfilters gemäß der Erfindung.

Fig. IA ist eine Draufsicht auf ein bekanntes Monolithkristallfilter, und F ig. Ib isi ein Schnitt an der Linie A-A. In diesen Zeichnungen sind 20 eine piezoelektrische Platte, 21 und 21a ein erstes Paar Elektroden und 22 und 22a ein zweites Paar Elektroden. Eine piezoelektrische Platte 20 ist beispielsweise eine Kristallplatte. Die Elektroden 21, 21a, 22 und 22a bestehen aus dünnen metallischen Filmen, und sie sind an einer piezoelektrischen Platte 20 m entsprechender Weise angebracht, wie das bei der Herstellung von integrierten Schaltungen geschieht, beispielsweise durch Aufdampfen, Aufstäuben oder mit Siebdruck. Eine elektrische Stromzuführung (nicht dargestellt) ist für jede Elektrode vorgesehen, um sie mit einer Fremdvorrichtung zu verbinden. Das erste Paar Elektroden 21 und 21a ist ein Paar Eingangselektroden, und das zweite Paar Elektroden 22 und 22a sind Ausgangselektroden. Ein gewünschtes Frequenzband eines an die beiden ersten Elektroden 21 und 21a angelegten Signals geht zu den beiden zweiten Elektroden 22 und 22a Das Monolithkristallfilter ist deshalb im wesentlichen ein Bandpaßfilter. Fig. IC ist eine Darstellung einer elektrisch äquivalenten Schaltung eines Filters nach F i g. 1A, bei dem der Teil 23 eine Induktivität Li und eine Kapazität C\ hat und den beiden Elektroden 21 und 21a entspricht, bei dem ein Teil 24 mit einer Induktivität La und einer Kapazität C2 zwei Elektroden 22 und 22a entspricht, und bei dem ein Teil 25 mit e^;ner Induktivität L₀ und einer Kapazität C₀ Verbindi'iigsmitteln zwischen den Elektroden 21, 21a und 22,22a entspricht. Ein Filter nach F i g. 1A kann nur ein polloses Filter bilden und kein Dämpfungspol-Filter schaffen, das einen Dämpfungspol bei endlicher Frequenz hat.

F i g. 2A zeigt ein Beispiel für ein bekanntes DämDfunESDol-Filter unter Verwendung eines herkömmlichen Monolithkristattfilters In F i g. 2A wird ein Dämpfungspol durch äußere elektrische Mittel verwirklicht Ein Monolithkristallfilter mach Fig.2A hat eine piezoelektrische Platte 20, zwei Elektroden 21 - 21 a und 22-22a, Eingangsanschlüsse 1-2 und Ausgangsanschlüsse 3—4. Ein Kondensator 26 ist zwischen einen Eingangsanschluß 1 und einen Ausgangsanschluß 3 geschaltet und liefert Dämpfungspole sowohl bei höheren als auch bei niedrigeren Frequenzen als die Mittelfrequenz F₀ eines Filters. Bei der Methode nach Fig.2A ist jedoch die Kapazität des Kondensators 26 extrem klein, weil ein Monolithkristallfilter ein sehr schmales Paßband hat Deshalb sind die Positionen der Dämpfungspole unstabil, und die Auslegung des Filters unter Einschluß eines Kondensators 26 ist extrem schwierig.

In F i g. 2B ist ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein Dämpfungspol-Filter unter Verwendung eines herkömmlichen Monolithkristallfilters gezeigt In diesem Falle ist ebenfalls ein Dämpfungspol durch äußere elektrische Mittel gebildet In F i g. 2B sind drei gleiche Monolithkristallfüter MCFl, MCFl und MCFi und Quarzkristalloszillatoren 27 und 27a in einem Filtersystem eingeschlossen. Ein DämpfungsDol mit einer niedrigeren Frequenz wird durch den Quarzkristalloszillator 27 und einen Kondensator 28 verwirklicht, die zwischen die Elektroden 21 und 22 von MCR und MCFl geschaltet sind und zu der Sammelleitung 2-4 führen. Ein Dämpfungspol mit höherer Frequenz wird durch Antiresonanz durch einen Quarzkristalloszillator 27a und Kondensatoren 28a, 2&b und 28c verwirklicht, die zwischen die Ausgangselektrode 22 von MCFl und die Eingangselektrode 21 von MCFi geschaltet sind. Der Nachteil dieses Dämpfungspol-Filtersystems nach F i g. 2B besteht jedoch darin, daß streuende und/oder verteilte Kapazität die Stabilität beeinflußt, so daß die Position des höheren Dämpfungspols unstabil ist.

In F i g. 2C ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines bekannten Dämpfungspol-Filters gezeigt. Das Filter nach F i g. 2C besteht aus einer piezoelektrischen Platte 20, einer Eingangselektrode 21, einer Ausgangselektrode 22 und einer dritten Elektrode 29.

Die dritte Elektrode sitzt außerhalb der geraden Linie zwischen den Elektroden 21 und 22 und hat die gleiche Dicke und Masse wie die Elektroden 21 und 22. In dem Filter nach Fig.2C geht eine Schwingwelle von der Eingangselektrode 21 direkt zur Ausgangselektrode 22 und durch die dritte Elektrode 29, und die Schwingwellen von den beiden Wegen werden addiert. Damit wird ein Dämpfungspol auf Grund des Unterschieds in der Fortpflanzungslänge der Wellen in den beiden Wegen gebildet. Da die Verbindung zwischen den drei Elektroden jedoch auf Grund der Wellenbewegung der Abtrennfunktion entsteht, ändert sich die Phase der Welle nicht, selbst wenn die Fortpflanzungslänge eingestellt wird. Das ^üilter nach F i g. 2C liefen demgemäß einen Dämpfungspol nur bei einer höheren Frequenz, aber nicht bei einer niedrigeren Frequenz.

In Fig.3A ist ein erstes Ausführungsbeispiel eines Dämpfungspol-Monolithkristallfilters gemäß der Erfin dung gezeigt. Das Filter nach Fig.3A wird häufig al; Multimodus-Filter bezeichnet und arbeitet mit derr Rückkopplungseffekt der mechanischen Schwingwelle Das Filter nach F i g. 3 besteht aus einer piezoelektri sehen Platte 20, zwei Hauptelektroden 7, 7 a, als erste: Paar, zwei weitere Hauptelektroden 8, 8a als weitere; Paar und zwei Zwischenelektroden 9, 9a. Dies< Elektroden sind an den beiden Seiten der piezoelektri

sehen Platte 20 durch Aufdampfen, Aufstäuben und Siebdrucken angebracht. Die piezoelektrische Platte 20 ist beispielsweise eine Quarzkristallplatte. Der Abfall in der Frequenz als Folge der Zwischenelektrode 9 und 9a ist größer als der als Folge der Hauptelektrode 7, 7a, 8 oder 8a, d. h. die Zwischenelektroden 9 und 9a sind gewöhnlich dicker als die Haupteleketroden 7,7a, 8 und 8a Der Betrag des Abfalls in der Frequenz wird wie folgt definiert:

IO

fs

Darin ist Z₁ die Resonanzfrequenz für Dickenvibration der piezoelek crischen Platte unter der Voraussetzung, daß die Fläche der Platte sehr groß ist, und f_c ist die Resonanzfrequenz der Dickenvibration unter der Voraussetzung, daß das leitende Material der Elektrode an der gesamten Fläche der piezoelektrischen Platte 20 angebracht wäre. f_e wird als die Grenzfrequenz der Elektrode bezeichnet, und gewöhnlich ist f_e kleiner als /» und zwar wegen der Masse des Elektrodenmaterials. Andererseits wird die Eigenfrequenz /„ der Elektrode definiert als die Resonanzfrequenz für die Dickenvibration der piezoelektrischen Platte, die ein Stück einer Elektrode in der Fläche hat, die tatsächlich hergestellt wird.

In Fig.3A ist die Grenzfrequenz der in geeigneter Weise ausgelegten Zwischenelektroden 9—9a niedriger als die der Hauptelektroden 7 —7a und 8 —8a, und das Vorzeichen der Impedanz der Verbindungsmittel in der äquivalenten Schaltung des Filters mit den Zwischenelektroden ist anders als die ohne Zwischenelektroden bei der Eigenfrequenz /„ der Hauptelektroden. D. h., das Vorzeichen ändert sich, wenn die Grenzfrequenz der Verbindungsmittel niedriger wird als die Grenzfrequenz der Hauptelektroden als Folge des Vorhandenseins der Zwischenelektrode.

Wenn demgemäß angenommen wird, daß die Verbindungsmittel zwischen den Hauptelektroden die Zwischenelektroden 9—9a sind, dann unterscheidet sich die Phase des Gyrators der Verbindungsmittel, d. h. der Zwischenelektroden um 180° von der Anfangsphase, d. h. sie ist entgegengesetzt zur Phase des Gyrators der Verbindungsmittel ohne die Zwischenelektroden.

Eine elektrisch äquivalente Schaltung nach Fig.3A ist in Fig.3B gezeigt, bei der der Teil 23a mit einer Induktivität L\ und einer Kapazität Ci den Hauptelektroden 7 —7a entspricht, der Teil 25a mit einer Induktivität L\, einer Kapazität C_n und einem Umformer T mit einem Wendeverhältnis von 1 : — 1 den Zwischenelektroden 9—9a entspricht, und der Teil 24a mit einer Induktivität L₂ und einer Kapazität Ck den Elektroden 8—8a entspricht Die äquivalente Schaltung von 3B ist äquivalent zur Schaltung nach F ig. 3C, wobei der Teil 25a'dem Teil 25a entspricht Die F-Matrix Fi des Teils 25 nach F i g. 1C ist wie folgt:

=7

0 W₀L
1

/MoQ)

6c

Demgemäß ist der Teil 25 ein Gyrator bei der Frequenz .

+ 1

UJ₀C₀

Die F-Matrix F₂ des Teils 25a' nach Fig. 3C ist

Wie aus der vorstehenden Erläuterung der äquivalenten Schaltung und der F-Matrix hervorgeht, ändert sich das Vorzeichen des Gyrators.

Ein Filter mit einer Zwischenelektrode, das in F i g. 3A gezeigt ist, kann einen stabilen Dämpfungspol bei einer gewünschten höheren oder niedrigerer Frequenz liefern, indem der vorstehend genannte Phaseninvertoreffekt ausgenutzt wird, und zwar ohne fremdes Element oder verteilte Kapazität.

Die mit den Zwischenelektroden 9 und 9a verbundenen Anschlüsse 5 und 6 werden verwendet, um die Charakteristiken des Filters während der Herstellung einzustellen, und sie werden im Betrieb kurzgeschlossen

F i g. 3D zeigt eine Variante des in F i g. 3A gezeigter Aufbaus. Ein Filter nach F i g. 3D hat eine gemeinsame Elektrode 53 anstelle von getrennten Elektroden 7a, 8a und 9a, und es hat ähnliche Charakteristiken wie der Aufbau nach F i g. 3A.

Fig.4A ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Aufbaus eines Monolithkristallfilters nach der Erfindung. Der Aufbau nach F i g. 4A weist eine piezoelektrische Platte 20, drei Paare Hauptelektroden 10,11 und 12 an der Platte 20 und eine Zwischenelektrode 13 als ein Phaseninverter zwischen den Hauptelektroden 10 und 12 auf. Anschlüsse 5, 6 der Zwischenelektrode 13 und Anschlüsse 14,15 der Hauptelektrode 11 sind jeweils im Betrieb kurzgeschlossen. Die beiden Elektroden 10 sind mit Eingangsanschlüssen 1 und 2 über Stromzuführungen verbunden, und die beiden Elektroden 12 sind mit Ausgangsanschlüssen 3 und 4 ebenfalls über Stromzuführungen verbunden. In Fig.4A pflanzt sich ein Vibrationssignal von der Hauptelektrode 10 durch die Hauptelektrode 11 zur Hauptelektrode 12 und längs des anderen Wegs von der Hauptelektrode 10 durch die Zwischenelektrode 13 zur Hauptelektrode 12 fort Die Zwischenelektrode 13 wandelt die Phase der Vibrationswelle um, d. h. invertiert sie. Die Vibrationswellen durch die beiden Wege werden automatisch an der Hauptelektrode 12 addiert, und man erhält einen Dämpfungspol auf Grund der Phasendifferenz der Wellen längs der beiden Wege.

In Fig.4B ist eine elektrisch äquivalente Schaltung des Aufbaus nach F i g. 4A gezeigt In F i g. 4 B entspricht der Teil 30 mit einer Induktivität L₃ und einer Kapazität C₃ der Hauptelektrode 10, der Teil 32 mit einer Induktivität U und einer Kapazität Q entspricht der Hauptelektrode 11, und der Teil 34 mit einer Induktivität L₅ und einer Kapazität C₅ entspricht der Hauptelektrode 12. Ferner entspricht der Teil 31 mit einer Induktivität L₆ und einer Kapazität Ck den Verbindungsmitteln zwischen den Hauptelektroden 10 und 11, der Teil 33 mit einer Induktivität L₇ und einer Kapazität C₇ entspricht den Verbindungsmitteln zwischen den Hauptelektroden 11 und 12, und der Teil 35 mit einer Induktivität L₈, einer Kapazität Q und einem Umformer T mit einem Wendeverhältnis von 1 : -1 entspricht der Zwischenelektrode 13.

In F i g. 4C ist ein Beispiel für eine Kennungskurve des Filters nach Fig.4A gezeigt Die waagrechte Achse gibt die Frequenz wieder, die vertikale Achse die Dämpfung (dB). In Fig.4C ist zu beachten, daß ein Dämpfungspol bei einer niedrigeren Frequenz als der mittleren Frequenz f_o vorhanden ist

In F i g. 5A ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Aufbaus eines Monolithkristallfilters nach der Erfindung gezeigt. In Fig.5A ist eine Hauptelektrode 10 mit den Eingangsanschlüssen 1 und 2 über Stromzuführungen verbunden, und eine Hauptelektrode 12 ist über Stromzuführungen mit Ausgangsanschlüssen 13 und 14 verbunden. Zwischenelektroden 16a und 16έ> sind als Phaseninverter zwischen den Hauptelektroden 10 und 11 und zwischen den Hauptelektroden 11 und 12 angeordnet. Der Abfall in der Frequenz als Folge von Anordnungen der Zwischenelektrode 16a, 166 ist größer als der als Folge einer Hauptelektrode 10,11 und 12, d. h. die Masse und die Dicke einer Zwischenelektrode sind größer als jene einer Hauptelektrode. Es werden Anschlußpaare 17a-18a, 17b-18i> und 14-15 als Einstellmittel für die Herstellung verwendet, die im Betrieb kurzgeschlossen werden.

In Fig. 5B ist eine elektrisch äquivalente Schaltung des Filters nach Fig.5A gezeigt. In Fig.5B entspricht der Teil 36 mit einer Induktivität L₃ und einer Kapazität C₃ der Hauptelektrode 10, der Teil 38 mit einer Induktivität La und einer Kapazität Ci entspricht der Hauptelektrode 11, der Teil 40 mit einer Induktivität L₅ und einer Kapazität Cs entspricht der Hauptelektrode 12, der Teil 37 mit einer Induktivität Lt, einer Kapazität C₆ und einem Umformer Ti mit einem Wendeverhältnis von 1 : — 1 entspricht der Zwischenelektrode 16a, der Teil 39 mit einer Induktivität L?, einer Kapazität Q und einem Umformer T₂ mit einem Wendeverhältnis von 1 : — 1 entspricht der Zwischenelektrode 16b, und der Teil 41 mit einer Induktivität Ls und einer Kapazität Ce entspricht den Verbindungsmitteln zwischen den Zwischenelektroden 16a und 16t.

In Fig.5C ist ein Beispiel einer Kennungskurve des Filters nach Fig.5A gezeigt. Deren waagrechte Achse stellt die Frequenz dar, deren vertikale Achse die Dämpfung (dB).

Fig.6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Monolithkristallfilters nach der Erfindung. Das Filter nach Fig.6 kombiniert den Aufbau nach Fig.4A mit dem nach F i g. 5A, um Dämpfungspole sowohl bei höheren als auch bei niedrigeren Frequenzen zu haben. In F i g. 6 ist die Anordnung der Hauptelektroden 10,11 und 12 und der Zwischenelektrode 13 auf einer piezoelektrischen Platte 20 die gleiche wie beim Filter nach Fig.4A, und weiter ist die Anordnung der Hauptelektroden 12,50,51 und der Zwischenelektroden 16a und 16b an der Platte 20 die gleiche wie beim Filter nach F i g. 5A. Demgemäß besteht der Aufbau nach F i g. 6 sowohl aus dem Aufbau nach F i g. 4A als auch aus dem nach F i g. 5A aui' einer einzigen piezoelektrischen Platte, und er hat den Vorteil beider Filter nach Fi g. 4A und Fi g. 5A.

Es versteht sich, daß ein Filter mit mehr als zwei Dämpfungspolen sowohl bei höheren als auch bei niedrigeren Frequenzen ohne weiteres dadurch zu konstruieren ist, daß die Anzahl von Hauptelektroden und Zwischenelektroden auf einer einzigen piezoelektrischen Platte erhöht wird, wobei jeder Grundabschnitt in der Art und Weise organisiert wird, wie das in Fig.4A oder Fig.4B gezeigt ist. Ferner kann die erfindungsgemäße Lehre auf ein Monolithkristallfilter angewendet werden, dessen Elektrode auf einer Seite einer piezoelektrischen Platte allen Elektrodenpaaren gemeinsam ist, wie in dem in Fig.3E gezeigten Ausführungsbeispiel.

Aus dem Vorstehenden geht hervor, daß ein neues und verbessertes Monolithkristallfilter geschaffen worden ist. Da eine Zwischenelektrode als ein Phaseninverter einer mechanischen Schwingwelle fungiert und stabile Dämpfungspole sowohl bei höheren als auch be: niedrigeren Frequenzen als die mittlere Frequenz /"< eines Filters erreicht werden, wird eine steilere Grenzcharakteristik eines Bandpaßfilters verwirklicht.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

«9 537/:

Claims

Patentansprüche:

: 1. Dämpfungspoi-Monolithkristallfüter mit einer piezoelektrischen Platte, mehreren auf der Platte angeordneten akustisch miteinander gekuppelten Hauptelektrodenpaaren, von denen zwei mit den Eingangs- und den Ausgangsanschlüssen verbunden sind, sowie mit mindestens einem Paar von auf der Platte zwischen den Hauptelektroden angeordneten ι ο und von diesen elektrisch getrennten Zwischenelektroden zur Erzeugung von Dämpfungspolen, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektroden (9, 9a) eine größere Masse pro Flächeneinheit als die einzelnen Hauptelektroden haben, und zwar derart, daß sie dadurch die Energie der stehenden Welle unter Phasendrehung um 180° an die nächstfolgenden Hauptelektroden ankoppeln.
2. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß drei Paare Hauptelektroden und ein Paar Zwischenelektroden vorhanden sind.
3. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß drei Paare Hauptelektroden und zwei Paare Zwischenelektroden vorhanden sind.
4. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische Platte eine Quarzkristallplatte ist.
5. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Elektrode auf einer Seite der piezoelektrischen Platte allen Haupt- und Zwischenelektroden gemeinsam ist.