DE2346204A1 - Wandlerelektroden fuer filter oder verzoegerungsleitungen nach dem oberflaechenwellenprinzip - Google Patents
Wandlerelektroden fuer filter oder verzoegerungsleitungen nach dem oberflaechenwellenprinzipInfo
- Publication number
- DE2346204A1 DE2346204A1 DE19732346204 DE2346204A DE2346204A1 DE 2346204 A1 DE2346204 A1 DE 2346204A1 DE 19732346204 DE19732346204 DE 19732346204 DE 2346204 A DE2346204 A DE 2346204A DE 2346204 A1 DE2346204 A1 DE 2346204A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- prongs
- active
- dummy
- electrodes
- blind
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02858—Means for compensation or elimination of undesirable effects of wave front distortion
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
TJ-IFNS AKTIENGESELLSCHAFT 8000 Hünopen 2, den 13. SER1973
Berlin und Muränen Wittel sbachor^latTS 2
VP
A w 'ϊ / ·■; i r* α
Wandlerelektroden für F: lter oder Verzö^eri.mgfO Ortungen
nach dem Oberflächenwell e
Die Erfinfixing betrifft Wandlerelektroden für Filter oder
1 eitu.nff^n nach dem Oberfl fJcIieYu-relü pnprj nz.ip
pi e^oel^ktrieohen Subst-rater», von?i die V&riälnr als
gewichtete TnterdißitBlstrukturen, die IiI-1T- F;rζeuf-iunυ
einpr möpl.j chst ebenen Ifellenffont zii^ät^ü i oh? Β1:\ιηύ.ζΛ·η~
ken anfwe.i «en, aii..--.p'efiih3it sind.
Ans der US-PS 3 663 899 si^d War-dlrr-?! ektToden für Filifcr
oder Verzögorungrlei.tunken nach dein Oberfläcb.f-'awein erpvi n-
?..ip auf piezoelektrischen Siibstrat.en bekannt, die al.c>
^1---wicht
ate Tnterd.i gita1 Strukturen r-ui-ge.fiibrt sind, das ])eii;t.
die τ e.n^e der einzelnen Interdigital zinken ist f;emäß einer
vorf';ep;ebenen ma thematisch en Funktion variiert. Kp hat sich
jedoch beraupger.tellt, daß eine unerwünschte Krümmung eier
Wellenfront ouftritt, die zu recht erheblichen Abweichungen vom theoretischer» tlbertragungpverhalten. führt. Di ev
ist darauf zurückzufüVtren, daB d.i.e Zinken der VJandlerel'·]':·-
trod.en infolge ihrer Masse, vor allem aber v;egen ihrer
elektrischen T eitfähi gkeit, die Au.sbrsi. tuiirsgescbwindi v~
keit der elastischen Oberflächenv/ellen auf dem piezoelek-
Or
trisehen Substrat beeinflussen, ^ine Metallisierung der
Substratoberfläche führt zu einer Verringerung der Oberfl
äch env/e 11 enge s chwindi gke it.
VPA 9/190/3012
Ke*/Zi - 2 -
50981 3/054Q
In der Zeitschrift "Philips technische Rundschau"
(1971/7?), Seite 195, wird vorgeschlagen, zur Erzeugung
einer geeigneten Verteilung der Quellenstnrken (Wichtung
der Quellen) die Breite der die einzelnen Elemente bildenden Zinken zu variieren, da dadurch die Beugung stark
reduziert werden könne. Dieses Verfahren i-st jedoch nur bei niedrigen Frequenzen angebracht.
Aus der Zeitschrift "TEEE Transactions on Microwave Theory
and Techniques, Februar 1972, Seiten 188 bis 192, ist es ferner bekannt, zur Kompensation der unterschiedlichen Ausbrei
tungsgeschwindigkeiten Blindzinken einzuführen, die am
Elektrodenrand mit den Machbarzinken galvanisch verbunden
sind. Hierdurch vird jedoch insbesondere bei piezoelekfciri sehen
Substraten mit hohen Kopplungsfaktoren, d.h. insbesondere
bei Keramiksubstrat^n, die mit der elastischen Oberflächenwelle
transportierte elektrische Ladungswolke kurzgeschlossen, was die Betriebsdämpfumr spürbar erhöht.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde,
die letztgenannte Methode zur Erzeugung einer ebenen Wellenfront dahingehend zu verbessern, daß auch die Betriebsdempfung
spürbar verringert wird.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Blindzinken keine galvanische Verbindung zu benachbarten Zinken oder zur
Randmetallisierung besitzen und daß die den Blindzinken benachbarten
Zinken durch einen leitenden Steg verbunden sind, der zwischen den einander zugewandten Enden des aktiven Teiizinkens
und des zugehörigen restlichen Blindzinkens verläuft,
Damit ergeben sich die Vorteile, daß eine den Wandler entlanglaufende
elastische Welle überall die gleichen Verhält-
VPA 9/190/5012 SAD ORIGINAL 3 _
503813/0 540
nasse bezüglich der Metallisierung vorfindet, daß aber andererseits
die Blindzinken das jeweilige Potential der mit der elastischen Welle transportierten elektrischen Ladungswolke annehmen können, daß durch den leitenden Steg eine
Anregung der Blindzinken infolge einer kapazitiven Spannimgs· teilung zv.risehen dem in der Achse des Blindzinkens liegenden
aktiven Zinken Und den zu ihm in A/2-Abstand parallellaufenden
Nachbarzinken weitgehend herabgesetzt wird, daß
die Zinkenbereiche sozusagen doppelt kontaktiert sind, was
zu einer Verminderung der Störanfälligkeit der Wandlerstrukturen
durch Unterbrechungen infolge von Ätzfehlern führt, und daß gleichzeitig das elektrische Streufeld an den Enden
der aktiven Zinken besser begrenzt und damit die aktive Zinkenlänge genau definiert ist.
Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit zur Verringerung der kapazitiven Spannimgs te .llung zwischen den auf unterschiedlichem
Potential liegenden aktiven Zinken über die Blindzinken besteht in der Unterteilung der Blindzinken in Teilzinken. Hierdurch werden gleichzeitig Störeinflüsse durch
Kurzschlüsse zwischen benachbarten Zinken, die ebenfalls infolge von Ätzfehlern eintreten können, verringert.
Bei Wanderelektroden mit Phasenumkehr, wie sie z.B. auch in der oben genannten US-PS 3 663 899 beschrieben sind, werden
in den gegenphasigen Teilzonen außerhalb des aktiven Überlappungsbereichs die Ladungswolken, die mit der elastischen
Welle transportiert werden, ungünstig beeinflußt, wenn die Zinken geradlinig nach außen durchgeführt werden. Diese ungünstige
Beeinflussung findet - wie oben bereits dargelegt dadurch statt, daß die mit der elastischen Welle transportierte
elektrische Ladungswolke auf einen Wandlerzinken mit einer abweichenden elektrischen Polarität trifft. Während.
VPA 9/190/3012 - 4 -
50981 3/0540 BAD ORIGINAL
-U-
dies im Überlappungsbereich der Wandlerzinken zur Erreichung
einer bestimmten Übertragungscharakteristik erwünscht ist,
führt es außerhalb des Überlappungsbereiches nur zu unerwünschten Störungen. Zur Behebung dieser Schwierigkeiten
wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die aktiven Zinken mit der als Stromzuführung dienenden Randmetallisienmg nur
j η regelmäßigen Abständen kontaktiert sind und daß die im Überlappungsbereich liegenden aktiven Zinkenteile der ge-·
genphasigen Wandlerzone mit den Verbindungsstegen kontaktiert sind. Auch bei dieser Ausführungsform führt die Tatsache,
daß die Verbindungsstege, die zur Kontaktierung der
im Überlappungsbereich liegenden Zinkenteile dienen, die Verbindung nach rechts und links zu den jeweils benachbarten
gleichgepolten Zinken herstellen, zu einer Verringerung
von Störeinflüssen durch Kurzschlüsse oder durch Unterbrechungen infolge von Ä'tzfehlern.
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden.
Die Figur zeigt einen Ausschnitt aus einer erfindungsgemäß
ausgebildeten Wandlerelektrode. Man erkennt eine erste Wandlerzone A ohne Phasenumkehr sowie eine zweite Zone B mit
Phasenumkehr. In der Zone A erkennt man die als Stromzuführung zu den Zinken 2 dienenden Randmetallisierungen 3.
Je zwei gleichpolig erregte Zinken 2 sind durch einen schmalen Steg 4 verbunden. Dieser Steg U liegt zwischen den einander
zugekehrten Enden eines verkürzten Wandlerzinkens 2 und eines Blindzinken 1. Die Blindzinken 1 können dabei als
mehrere Teilzinken 11 und 12 ausgeführt werden.
Bei' Betrachtung der zweiten Wandlerzone B sieht der Fachmann
sofort, daß die Kontaktierung zwischen der Randmetal-
VPA 9/190/3012 - 5
509813/0540 BAD ORIGINAL
lisierung 3 und den aktiven Zinken 2 in regelmäßigen Abständen
erfolgt, obwohl zur Erzielung einer Phasenumkehrung eine Verschiebung der Kontaktstellen um 1/4 Wellenlänge
nötig wäre, wie es z.B. in der obengenannten US-Patentschrift sehr deutlich zu erkennen ist. Diese regelmäßige
Kontaktierung auch im Bereich der Phasenurakehrung ist bei
der erfindungsgemäßen Wandlerstruktur dadurch möglich, daß
die Phasenumkehr nur durch die im Überlappungsbereich liegenden aktiven Zinkenteile 5-erzeugt wird, die über die
leitenden Stege 4 mit den Zinken 2 und damit mit der Randmetallisierung
3 verbunden sind. Bei dieser Ausführungsform ist es nicht nötig, daß die Stege 4 von den Zinkenteilen
5 ausgehend zu beiden benachbarten, gleichnamig erregten Zinken 2 führen. Diese doppelte Kontaktierung
führt jedoch zu einer erhöhten Sicherheit.
Die im erfindungsgemäßen Wandler erzeugte Wellenfront 6 ist
eben und als strichpunktierte Linie angedeutet.
3 Patentansprüche
1 Figur
1 Figur
VPA 9/190/3012 -'6 -
509813/0540 BÄD ORIGINAL
Claims (3)
- PatentansprücheWandlerelektroden für Filter oder Verzögerungslei tungen nach dem Oberflächenwellenprinzip auf piezoelektrischen Substraten, wobei, die Wandler als gewichtete Tnterdigitalstrukturen, die zur Erzeugung einer möglichst ebenen Wellenfront zusätzliche Blindzinken aufweisen, ausgeführt sind, dadurch g e k e η η ζ e i ch η e t, daß dje Blindzinken M) keine galvanische Verbindung zu benachbarten Zinken (2) odor zur Randme+allisierung (3) besitzen und daß die den Rlindzinken M) benachbarten Zinken (2) durch euitn leitenden Steg (^) verbunden sind, der zwischen clen einander zugewandten Enden des aktiven TeJ1zinkens (2) und des zugehörigen, restlich°n Blindz i nkens (1) ver]auft.
- 2) Wandlerelektroden nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Blindzinken M) als mehrfache Teilz:.?·'·:ον (11,12) ausgeführt sind.
- 3) Vandlerelektroden nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auch bei Elektroden mit Phasenumkehr die aktiven Zinken (2) mit der als Stromzuführung dienenden Randmetallisierung (3) nur in regelmäßigen Abständen kontaktiert sind und daß die im Überlappungsbereich liegenden aktiven Zinkenteile (f3) der gegenphas.i gen Wandlerzonen (B) mit den Verbindungsstegen (Ό kontaktiert sind.VPA 9/190/30125098 13/0540
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19732346204 DE2346204C3 (de) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | Wandler für Füter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19732346204 DE2346204C3 (de) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | Wandler für Füter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2346204A1 true DE2346204A1 (de) | 1975-03-27 |
DE2346204B2 DE2346204B2 (de) | 1979-04-12 |
DE2346204C3 DE2346204C3 (de) | 1980-06-12 |
Family
ID=5892491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19732346204 Expired DE2346204C3 (de) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | Wandler für Füter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2346204C3 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2831584A1 (de) * | 1977-07-22 | 1979-02-01 | Inst Radiotekh Elektron | Wandler fuer akustische oberflaechenwellen und filter, ausgefuehrt auf der basis dieses wandlers |
US4160963A (en) * | 1977-07-21 | 1979-07-10 | Texas Instruments Incorporated | Plural supply path acoustic surface wave device |
US4205280A (en) * | 1978-08-18 | 1980-05-27 | Zenith Radio Corporation | Surface wave device with suppressed boundary-reflected waves |
DE3208252A1 (de) * | 1982-03-08 | 1983-09-15 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Interdigitalwandler mit unterdrueckung reflektierter stoersignale |
EP0257377A2 (de) * | 1986-08-29 | 1988-03-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Oberflächenwellen-Resonatorstruktur mit in Teilstücke unterbrochenen Metallisierungsstreifen von Reflektorfingern |
EP1871006A1 (de) * | 2005-04-08 | 2007-12-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastisches wellenelement |
-
1973
- 1973-09-13 DE DE19732346204 patent/DE2346204C3/de not_active Expired
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4160963A (en) * | 1977-07-21 | 1979-07-10 | Texas Instruments Incorporated | Plural supply path acoustic surface wave device |
DE2831584A1 (de) * | 1977-07-22 | 1979-02-01 | Inst Radiotekh Elektron | Wandler fuer akustische oberflaechenwellen und filter, ausgefuehrt auf der basis dieses wandlers |
US4205280A (en) * | 1978-08-18 | 1980-05-27 | Zenith Radio Corporation | Surface wave device with suppressed boundary-reflected waves |
DE3208252A1 (de) * | 1982-03-08 | 1983-09-15 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Interdigitalwandler mit unterdrueckung reflektierter stoersignale |
EP0257377A2 (de) * | 1986-08-29 | 1988-03-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Oberflächenwellen-Resonatorstruktur mit in Teilstücke unterbrochenen Metallisierungsstreifen von Reflektorfingern |
EP0257377A3 (en) * | 1986-08-29 | 1989-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft Berlin Und Munchen | Surface wave resonator structure comprising reflective finger metallization strips divided into parts |
EP1871006A1 (de) * | 2005-04-08 | 2007-12-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastisches wellenelement |
EP1871006A4 (de) * | 2005-04-08 | 2009-06-17 | Murata Manufacturing Co | Elastisches wellenelement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2346204B2 (de) | 1979-04-12 |
DE2346204C3 (de) | 1980-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102013204428B4 (de) | Akustisches Oberflächenwellenbauelement | |
DE2521290A1 (de) | Oberflaechenwellenresonatorvorrichtung | |
DE3209962A1 (de) | Mit akustischen wellen arbeitendes elektronisches bauelement | |
DE2513672A1 (de) | Oberflaechenwellenfilter | |
DE2238925C2 (de) | Akustisches oberflaechenwellenwandlersystem | |
DE3025871C2 (de) | Akustische Oberflächenwelleneinrichtung | |
DE2437928A1 (de) | Interdigitalwandler fuer oberflaechenwellen-verzoegerungsleitungen und verfahren zu seiner herstellung | |
DE1512270B2 (de) | Verfahren zum unterdruecken bestimmter marmonischer in einem periodischen digitalen wellenzuge und digitaler wellenformgenerator nach diesem verfahren | |
DE2531151C3 (de) | Mit elastischen Oberflächenwellen arbeitende elektromechanische Einrichtung | |
DE2739688A1 (de) | Elektro-akustische vorrichtung mit einem schallfuehrungselement und elektro- akustischen wandlern | |
DE2512671A1 (de) | Mit akustischen oberflaechenwellen in einem ausgewaehlten frequenzbereich arbeitendes geraet | |
DE2346204A1 (de) | Wandlerelektroden fuer filter oder verzoegerungsleitungen nach dem oberflaechenwellenprinzip | |
DE2546193C3 (de) | Festkörperfilter | |
DE3700498C2 (de) | ||
DE2706751A1 (de) | Akustisches oberflaechenwellenfilter | |
DE2618210C3 (de) | Wandlerelektroden für Filter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip | |
DE3039735A1 (de) | Akustische oberflaechenwellenvorrichtung | |
DE3602585C2 (de) | ||
EP0212418A2 (de) | Convolver-Anordnung mit akustischen Wellen | |
DE19925800C1 (de) | Wandler für akustische Oberflächenwellen | |
DE2945643C2 (de) | ||
DE2635192C2 (de) | Akustsche Oberflächenwellenanordnung | |
DE3544132A1 (de) | Elastische oberflaechenwellen-vorrichtung | |
DE3812603C2 (de) | Akustischer Oberflächenfilter | |
DE2854072A1 (de) | Akustische oberflaechenwellenanordnung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |