DE2345155B2

DE2345155B2 - Gruppenweise umgetastete, aus zellenförmig und/oder hierzu senkrechten, streifenförmig angeordneten einzelnen Schwingerelementen bestehendes Ultraschall-Prüfkopfsystem zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung

Info

Publication number: DE2345155B2
Application number: DE2345155A
Authority: DE
Inventors: Ludwig Dr.Phil. 5023 Loevenich Niklas
Original assignee: Krautkraemer GmbH
Current assignee: Krautkraemer GmbH
Priority date: 1973-09-07
Filing date: 1973-09-07
Publication date: 1975-09-25
Also published as: JPS566507B2; DE2345155A1; JPS5083088A; ATA398274A; US3911730A; FR2243435B1; GB1480287A; FR2243435A1; ES427027A1; AT344421B

Description

30

(α = kürzester Abstand einer Zeile bzw. eines Streifens vom Fokuspunkt (29); λ = Wellenlänge der Ultraschallstrahlen im Prüfling; η = ganze Zahl) liegt (Fresnelsche Zonenlinsenwirkung).

2. Prüfkopf system nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht in den Bereichen

a +

^U± |a

Hegenden, sich zwischen den genannten Untergruppen (34 a, 33 a, 336, 346) befindlichen weiteren Untergruppen (34 a', 33 a', 336', 346') einer Zeile (28) bzw. eines Streifens in Gegenphase zu den genannten Untergruppen (34 a, 33 a, 336, « 346) einschaltbar sind.

3. Prüfkopf system nach Anspruch 1 oder 2 mit einem aus zellenförmig und hierzu senkrecht streifenförmig angeordneten einzelnen Schwingerelementen bestehenden Ultraschall-Prüfkopf- 5» system, dadurch gekennzeichnet, daß für eine(n) aus Prüfkopfelementen bestehende(n) Zeile (35) bzw. Streifen nur der Empfängerteil umgetastet wird, während neben dieser Zeile (35) bzw. diesem Streifen senkrecht dazu geteilte, getrennte Senderelemente (36 a bis 50 a) vorgesehen sind, die nach dem Zonenlinsenprogramm an- und abgeschaltet werden.

4. Prüf kopf system nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Zonenlinsenmuster längs der Senderzeile im langsameren Takt als die Empfängerelemente durchgetastet ist.

5. Prüfkopf sy stern nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet durch eine Anordnung, bei der die Sender- und Empfängerelemente vertauscht sind.

6. Prüfkopfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Anordnung, bei der in einer Koordinatenrichtung nach Art eines Die Erfindung betrifft ein gruppenweise umgetastetes, aus zellenförmig und/oder hierzu senkrecht streifenförnvg angeordneten einzelnen Schwingerelementen bestehendes Ultraschall-Prüfkopfsystem zur zerstörungsfreien Prüfung von größeren Prüflingen oder Prüfflächen nach dem Ultraschall-Impulsverfahren, bei dem nebeneinanderliegende Schwingerelemente zu einzelnen Gruppen, im folgenden als Prüfkopfelemente bezeichnet, zusammengefaßt sind und bei dem die Prüfkopfelemente zu unterschiedlichen Zeitpunkten derart erregbar sowie gruppenweise schaltbar sind, daß im Prüfling jeweils durch nachfolgende Prüfkopfelemente räumlich getrennte aufeinanderfolgende Fokuspunkte entstehen, an welchen die Ultraschallstrahlen etwa in Phase eintreffen.

Hierdurch soll die lückenlose Prüfung von größeren Prüflingen verDessert werden. Die zellenförmig angeordneten Prüfkopfelemente werden im Rhythmus einer vorgegebenen Taktfrequenz umgetastet. Dadurch können die Echoanzeigen auch in positionsgerechter Lage des zugehörigen Reflektors dargestellt werden. Eine vorgeschlagene Ausbildung wird an Hand der Fig. 1, der zellenförmigen Prüfschwingerordnung und an Hand der F i g. 2 erläutert, die den Aufbau eines B-Bildes (1), das ein Querschnittsbild darstellt, näher erläutert.

In dem Zeilenprüfkopf 11 arbeiten jeweils drei Sdiwingerelemente 1, 2, 3 usw. gleichzeitig zusammen. In Abweichung zu bekannten Gruppen, d.h. Prüfkopfelementen 8, 9, 10 sind nachfolgend solche Prüfkopfelemente mit 18, 19 bis 24 (vgl. Fig. 2) bezeichnet. Im ersten Takt sendet Prüfkopfelement 18, welches aus einzelnen Schwingerelementen 1, 2, 3 besteht, einen Impuls aus (gestrichelt dargestellt), dei von der Oberfläche und der Rückwand eines Objektes bzw. Prüflings 12 reflektiert und von dem Prüfkopfelement 18 wieder empfangen wird. Verstärkt man die Echosignale und leitet sie auf den Hellsteuereingang eines Oszillographen, bei dem in an sich bekannter Weise eine vertikal liegende Zeitachse mit Kippspannung erzeugt wird, so erscheint auf einem Leuchtschirm 14 je ein Bildpunkt 15 und 17, da die Laufzeigen zugehöriger Echos im Prüfling 12 zwangsläufig unterschiedlich sind.

Im zweiten Takt arbeitet Prüfkopfelement 19, welches um ein Zeilenelement gegen Prüfkopfelement 18 versetzt ist. Gleichzeitig mit dem Taktsignal wird die Zeitachse des Oszillographen vom linken Leuchtschirmrand durch Anlagen einer Spannung an den ^-Eingang nach rechts verschoben. In diesem Takl

erfolgt dieselbe Anzeige wie beim Takt eins. Im Takt wählt ist, ergibt sich die bestenfalls eräelbare seitliche

drei arbeitet das Prüfkcspfelement 20. Ist ein Reflektor Auflösung einer solchen Schwingerzeile zu

bzw. Fehler 13 im Prüfling vorhanden, wird auf dem

Leuchtschirm zusätzlich ein zugehörige Bildpunkt 16 d«,* % 1/4 j£T

angezeigt, tastet man in dieser Weise die ganze Prüf- s

kopfzeile 11 gruppenweise durch und führt mau am sie läßt sich auch bei noch so femer Unterteilung der

x-Eingang des Oszillographen eine Treppenspannung Schwingerelementenzeile in kleine Einzelelemente

mit, die bei jedem Takt um eine Stufe erhöht wird, nicht kleiner machen. Insbesondere bei größeren TSsA-

so gewinnt man ein Querschnittsbild des Objektes 12. fernungen α reicht diese Auflösung für die Praxis oft

Solche Darstellungen mit hoher seitlicher Auflö- io nicht aus.

sung (in z-Richtung) sind für viele Anwendungsfälle Zwar sind noch ein Ultraschallverfahren und eine

der Impulsechotechnik sehr vorteilhaft, wenn es z. B. zugehörige Vorrichtung bekannt, welche bezwecken, darauf ankommt bei der zerstörungsfreien Werkstoff- diese mehr als bisher an die Form der zu prüfenden prüfung die seitliche Ausdehnung des Reflektors bzw. Werkstücke anzupassen. Letztere werden mit HUfe Fehlers 13 genau zu bestimmen oder in der medizini- 15 von fokussieren Uhraschallstrahlen abgetastet Hiersehen Diagnostik, wenn Organe abgebildet werden für ist eine Vielzahl von insbesondere kleinen SchwinsoUen. Eine »hohe Auflösung« bedeutet im vorlie- gerelementen um das Werkstück herum angeordnet, genden Falle, daß das Schallbündel, das von den Eine Anzahl von Schwingerelementen wird jeweils als Prüfkopfelementen 18, 19, 20, 21... erzeugt wird, Gruppe aufgefaßt. Es werden nacheinander jeweils am Ort des Reflektors 13 schmaler als der Gruppen- ao auf einen anderen Brennpunkt fokussierte Strahlen sprung (Abstand der Schwingerelemente der Prüf- durch nacheinander angeschaltete Gruppen von kopfzeile bei Fortschreiten der Gruppe, d. h. Prüf- Schwingerelementen gebildet, wobei einzelne Brennkopfelementes um ein Schwingerelement pro Sprung) punkte nebeneinander liegen, so daß durch die Summe ist. Ist das Schallbündel breiter als dieser Elementen- aller Brennpunkte der gesamte Prüfling abgetastet abstand, so wird das Abbild 16 in seitlicher Richtung »5 wird. Allerdings ist jeder einzelne Wandler (nicht die »verschmiert« dargestellt, das Abbild 16 ist also brei- Gruppe) ausschließlich über ein eigenes Gatter erregter als der Originalreflektor 13. Das Verschmieren bar und mit eigenem Anschluß versehen, und die der Anzeige ist nicht nur in dem hier aufgeführten Schwingelelemente einer Gruppe werden nacheinan-Beispiel einer B-Bilddarstellung störend, sie erschwert der und nicht gleichzeitig erregt, so daß ihre Fokusauch die Bestimmung der Reflektorgröße bei Anwen- 30 sierwirkung bei sonst gleicher Schwingerelementendung einer elektronischen Datenerfassung (letztere zahl kleiner ist. Ferner ist pro Schwingerelement einer wird in der Werkstoffprüfung meist bevorzugt). Bei Gruppe jeweils eine umschaltbare Verzögerungsleider elektronischen Ermittlung der Reflektorgröße rung erforderlich, so daß insofern auch der Aufwand wird man die Anzahl der Prüfkopfelemente auszäh- vergrößert wird.

len, die eine Echoanzeige des Reflektors 13 liefern, 35 Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein mit dem Elementenabstand multiplizieren und so die Ultraschall-Prüfkopfsystem der eingangs genannten Reflektorgröße als direkt ausdruckbaren Wert zur Art dahingehend zu verbessern, daß die Auflösung Verfügung haben. von mit ihm erzeugten Bildern der Prüflinge oder

Das Problem der Schallbündelbreite und das unter- Prüfflächen zumindest, in einer Richtung wesentlich schiedliche Verhalten der Relation Bündelbreite zu 40 erhöht wird.

Gruppenbreite (Prüfkopfelementenbreite) im Fern- Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß eine oder

und Nahfeld der Prüfkopfelemente 18, 19, 20... mehrere dieser Gruppen von Prüfkopfelementen zu wurde vorstehend angedeutet. Die Ausführungen zei- in der gleichen Zeile und/oder im gleichen Streifen gen die an sich bekannte (vgl. Literatur [2]) Tatsache, liegenden Untergruppen zusammengefaßt sind, deren daß das Schalibündel im Nahfeldabstand 45 Lage so gewählt ist, daß die Entfernung ihrer Schwin

gerelemente vom jeweiligen Fokuspunkt in den Be- & reichen

4/.

α + (η+-Αλ±—λ

(vgl. F i g. 3) eine Einschnürung 27, den »natürlichen 50 \ * / *»

Nahfeldfokus« zeigt. Dabei ist b die Breite des gleichzeitig angeregten Prüfkopfelementes 26 und λ die

Schallwellenlänge im Prüfobjekt 12. Um einen Re- (a = kürzester Abstand einer Zeile bzw. eines Streiflektor im Abstand α optimal scharf abzubilden, fens vom Fokuspunkt; λ = Wellenelänge der Ultrawählt man die Prüfkopfelement-Breite b nach obiger 55 schallstrahlen im Prüfling; η = ganze Zahl) liegt Formel: (Fresnelsche Zonenlinsenwirkung).

h ~ 2 ]i~"· Hierdurch erhält man mit handelsüblichen, nicht

"" ^γα '" zu verfeinerten Schwingerelementen und vereinfach-

was durch entsprechendes Programmieren der Schalt- ter Ein- und Ausschaltung auch bei größeren Entfer-

einheit 54 (vgl. F i g. 5) leicht möglich ist. 60 nungen zum Prüfling schärfere, weniger verschmierte

Den ungefähren Duichmesser der Bündeleinschnü- Bilder der Werkstoff-Fehler od. dgl. rung d, hat Gregor (5) mit Ausführungsformen der Erfindung werden an

Hand der Zeichnung erläutert. Es zeigt

A₀ Wellenlänge · Abstand Fig. 4 eine Zeilenanordnung von Prüfkopf-

^df * V² y * 1/2 ■ Breite der Prüfelementgruppe 65 elementen und die zugehörigen, zum Fokuspunkt

ausgerichteten Schallbündel, schematisch in Draufangegeben. Unter der Voraussetzung, daß die Prüf- sieht,
kopfelementbreite gemäß obiger Formel optimal ge- F i g. 5 ein einzeln für sich bekanntes Blockschalt-

bild zur Verdeutlichung der Arbeitsweise einer Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 6 eine Anordnung des Prüfsystems, wobei für Sender- und Empfängerprüfkopfelemente getrennte Streifensysteme vorhanden sind,

Fig. 7 eine Prüfkopf zeile, die zu einem streifenförmig auf geteilten Prüf kopf element verbreitert ist.

Für die seitliche Auflösung wird gemäß Fig. 4 eine Schwingerzeile 28 verwendet, wobei die gleichzeitig erregten Schwingerelemente 1, 2 usw. schwarz ausgelegt sind. Die mittlere Untergruppe 32 aus solchen Elementen ist identisch mit der bekannten Gruppe26 von Schwingerelementen in Fig. 3. Gemäß der Fresnelschen Zonenkonstruktion beruht die Erscheinung des natürlichen Nahfeldfokus darauf, daß alle Elemente der Schwingerzeile 28 innerhalb der Untergruppe 32 einen positiven, d. h. effektiven

5 1 9 1

a + -τ- λ ± -τ- λ; α + ητ λ + -τ-λ-4 4 4 4

Beitrag zum Schalldruck in dem Fokuspunkt 29 liefern, denn die vorstehende Formel für den Nahfeldabstand sagt nichts anderes aus, als daß die Randstrahlen 30 gegenüber der Mittelachse 31 um eine halbe Schallwellenlänge langer sind. Für Stellen rechts oder links neben Fokuspunkt 29 würden Entfernungsunterschiede über eine halbe Wellenlänge vorliegen, die zugehörigen Schwingerelemente würden also einen negativen bzw. verringernden Beitrag zum Schalldruck liefern. Verwendet man jedoch erfindungsgemäß die aus Schwingerelementen bestehenden Untergruppen 33 a, 336 und 34 a, 34 b, so liefern auch diese Untergruppen einen positiven Beitrag zum Schalldruck im Fokuspunkt 29. Es ist wesentlich, daß die Lage dieser Elemente auf der Schwingerzeile so bestimmt ist, daß ihr Abstand zum Fokuspunkt folgende Werte hat:

• · α + ι π +

1\ ! -4 J 4

F i g. 5). In dieser Steuereinheit ist z. B. jedem Schwingerelement der Schwingerzeile 28 in Fig. 4 eine Stelle eines Schieberegisters zugeordnet. Um die mittlere Untergruppe 32 durch die Schwingerzeile zu

(n = ganze Zahl).

Dementsprechend vergrößert die Schallamplitude, 34 a', 33 a', 33 b', 346' vorhanden sind — auch durch gleichzeitig wird die Fokussierung schärfer, da sich weiße Elemente in F i g. 4 dargestellt —, die Phadie Entfernungen in den Untergruppen bei Verlegung senumkehr einschaltet, so daß statt Pause ein phades Fokuspunktes 29 aus der Achse schneller ver- »5 senumgekehrtes Signal gesendet und/oder empfanändern als in der mittleren Untergruppe 32 allein. gen wird. Die Auflösung wird durch diese Maßnahme Die prinzipielle physikalische Wirkungsweise dieser zwar weiter verbessert, der Nutzen wird den elektro-Anordnung entspricht der der bekannten Fresnel- nischen Aufwand aber nur in Einzelfällen decken, sehen Zonenlinse. Die elektrische Anregung dieser In diesem Zusammenhang ist zu beachten, daß es

Anordnung geschieht über eine Steuereinheit 54 (vgl. 30 nicht zweckmäßig ist. eine möglichst hohe Auflösung

dadurch erreichen zu wollen, daß beliebig viele Untergruppen 33 a, 336 usw. einprogrammiert werden sollen. Wenn nämlich die Anzahl der programmierten Untergruppen die Anzahl der Schwingungen

schieben, wird" eine Folge von vier aufeinanderfol- 35 innerhalb des Ultraschallimpulses übersteigt, kommt genden Auslöseimpulsen von dem Taktimpuls des der Schall von den äußeren Untergruppen erst an, Schieberegisters um jeweils eine Stelle weiterge- wenn auf dem kürzesten Wege (vgl. Achse 31, Fig. 4) schoben. Für die erfindungsgemäße Anordnung wird der Impuls bereits abgeklungen ist. Dann sind die statt dessen nicht nur eine Vierergruppe, sondern eine Anteile nicht mehr kohärent, die äußeren Untergrup-Gruppe von Impulsen durchgeschoben, die für das 40 pen tragen dann nicht mehr zur Verbesserung der Beispiel gemäß Fig. 4 diese Folge hätte: 2Impulse, ~

2 Takte Pause, 2 Impulse, 3 Takte Pause, 4 Impulse,

3 Takte Pause, 2 Impulse, 2 Takte Pause, 2 Impulse. Eine solche Impulsfolge läßt sich durch eine Anordnung, die für jede Impuls- und Pausengruppe je einen Vorwahlzähler enthält, leicht und in bekannter Weise herstellen. Zur Ermittlung des Programms fertigt man für die gewünschte Elementgröße, Entfernung α zweckmäßig eine Skizze gemäß F i g. 4 an, die Folge von schwarzen und weißen Elementen in der ZeOe 28 entspricht der Folge von Impulsen und Pausen. Die zu α + χ λ gehörigen Untergruppengrenzen haben zur Mitte der Untergruppe 32 den Abstand

45

>llla·

x² ■?

Auflösung bei (4).

Die Erfindung ist auf diese Ausfuhrungsform nicht eingeschränkt. Zwar wurde durch die beschriebene Ausführungsform die Auflösung in einer Dimension, z.B. in Fig. 4 in der Zeichenebene, verbessert, jedoch insofern nicht senkrecht dazu, wo die Auflösung in der Regel mangelhaft ist. Dies gilt insbesondere für die Abbildung von Organschnitten in der Medizin.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird dieser Nachteil dadurch vermieden, daß man eine Schwingerzeile, bezogen auf das Beispiel Fig.4, senkrecht zur Zeichenebene, ebenfalls in Schwingerelemente aufteilt. Es entsteht ein Mosaik, SS welches in dieser Richtung ebenfalls nach dem Programm, wie an Hand der Fi g. 4 erläutert, zum Mittasten herangezogen wird und den Zonenlinseneffekt ausnutzt. Allerdings würde der elektronische Aufwand im Einzelfall stark ansteigen, wenn man dieses

Wenn α groß gegen I ist, gilt in guter Näherung:
y_?s»2e-Jta. Stimmt der so berechnete y,-Wert
nicht zufällig mit der Grenze zwischen zwei Elementen der Zeile eberein, rundet man auf den notwen- 6o Mosaik zur Abbildung von Objekten verwendet, die digen Wert auf oder ab. keine Konturen aufweisen, da dann dieses Mosaik

Eine weitere Verbesserung läßt sich erzielen, wenn man die Sender- und Empfangsstufen 40 bis 53 in Fig. 5 mit einer abschaltbaren Phasenumkehrstufe von Schwingerelementen ebenfalls fein unterteilt sein müßte.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung

versteht aod mit einem zweiten, der Schaltereinheit 65 kann dieser Aufwand erheblich verringert werden, parallel arbeitenden Schieberegistereinheit so steuert. wenn wie in Fig. 6 veranschaulicht, für Sender-

und Empfängerprüfkopfelemente getrennte Streifensystcmc vorgesehen werden Hier ist die aus Priif-

daß letztere in den Zwischenräumen zwischen den Unterrn 34 a usw., wo andere Untergruppen

kopfelementen bestehende Zeile 35, in Draufsicht gesehen, ein Zeilenschwinger, der wie die vorstehenden Zeilenschwinger arbeitet, jedoch wird hier nur der Empfängerteil umgetastet. Hierdurch wird eine hohe Auflösung in der x-Richtung erzielt. Neben dieser Zeile sind streifenförmige Senderelemente 36 a bis 50 a angeordnet, die sinngemäß gleich wie bei anderen Ausführungsbeispielen, nach dem Zonenlinsenprogramm an- und abgeschaltet werden. Durch diese Maßnahme erreicht man mit dem Senderschallbündel in der y-Richtung eine hohe Auflösung. Man kann also im Echobetrieb eine nahezu punktförmige Auflösung in beiden Richtungen erzielen. Ferner ist es möglich, Sender und Empfänger auch zu vertauschen. Es ist zweckmäßig, das Umschaltprogramm für die Sender- und Empfängerzeile zu koppeln, so daß die Fokusentfernung (vgl. F i g. 4) für beide Teile ohne weiteres die gleiche bleibt.

Eine andere Ausgestaltung der Erfindung ist aus F i g. 7 ersichtlich, wo die Prüfkopfzeile 35 zu einem streifenförmig aufgeteilten Prüfkopf element 51 α verbreitert ist. Das ebenfalls streifenförmig aufgeteilte Senderelement 52 a kann auf das Element 51a geklebt werden, und zwar so, daß sich die Streifenmuster kreuzen und zwischen den Elementen 51 a und 52 a ein Schallkontakt besteht. Die Wirkungsweise entspricht derjenigen gnmäß F i g. 5 mit dem Unterschied, daß der im Element 52 a erzeugte Schall durch das Element 51 α hindurch in das Objekt geschallt wird. Auch hier kann man Sender und Empfänger vertauschen.

Ein weiterer Vorteil der Anordnung gemäß F i g. 7 liegt darin, daß man eine größere Empfindlichkeit erzielt, weil die Abstrahlfläche des Elements 51a, verglichen mit derjenigen von Element 35, größer ist. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß das Schwingerelement 52 a ebenso wie das Element 51a in

ίο Gruppen längs der Streifen umgetastet wird, so daß Element 51 α mit möglichst hoher Taktfolge umtastet, Element 52 a erst dann aber um einen Takt weitergeschaltet wird, wenn Element 51 α jeweils die ganze Zeile durchlaufen hat. Man kann auf diese Weise nicht nur eine Zeile, sondern eine Fläche abtasten und hat hier also die Möglichkeit, ein C-BiId darzustellen mit sehr hoher Auflösung sowohl in der xwie in der y-Richtung.

1. Krautkrämer, Werkstoffprüfung mit Ultraschall, 2. Auflage, Springer-Verlag, 1966, Kapitel 2.353.

2. Dto., Kapitel 1.8.

3. Dto., Kapitel 1.82.

4. Dto., Abbildung 1.78 mit zugehörigem Text.

5. Gregor, Vortrag auf der Frühjahrstagunj der DGZfP in Remscheid am 18./19. Mai 1971

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

$09539/;

Claims

23 45 1S5

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Patentansprüche:

1. Gruppenweise umgetastetes, aus zellenförmig und/oder hierzu senkrecht streifenförmig an- S geordneten einzelnen Schwingerelementen bestehendes Ultraschall-Prüfkopfsystem zur zerstörungsfreien Prüfung von größeren Prüflingen oder Prüfflächen nach dem Ultraschallimpulsverfahlen, bei dem nebeneinanderliegende Schwingerelemente zu einzelnen Gruppen, im folgenden als Prüfkopfeleraente bezeichnet, zusammengefaßt sind und bei dem die Prüfkopf elemente zu unterschiedlichen Zeitpunkten derart erregbar sowie gruppenweise schaltbar sind, daß im Prüfung jeweSs durch nachfolgendePriifkopfelemente räumlich getrennte aufeinanderfolgende Fokuspunkte entstehen, an welchen die Ultraschallstrahlen etwa in Phase eintreffen, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere dieser ao Gruppen von Prüfkopfelementen zu in der gleichen Zeile und/oder im gleichen Streifen liegenden Untergruppen (34 a, 33 a, 336, 34 ft) zusammengefaßt sind, deren Lage so gewählt ist, daß die Entfernung ihrer Schwingerelemente (1, 2, 3) vom jeweiligen Fokuspunkt (29) in den Bereichen

Zonenlinsejpansters, in der anderen Koordmatenrichtung jedoek «ine geschlossene Gruppe bzw. nur die «ittlei» Hauptgruppe des ZonenlinsenmusteKeraegtwkd.

7. Piüfkopfsystem nach einem der Ansprache 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, daß ein Auswertegerät angeschlossen ist, durch welches in an ach bekannter Weise die positionsgerechte Lage und die Anzeigeamplitude von reflektierenden Stellen im Prüfobjekt festgehalten und/oder angezeigt wird.