DE2342045C3 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung ebener, bandförmiger Folien, insbesondere aus Glas, Metallen und Metalloxiden, in glasartigem Zustand, die eine geringe, gleichmäßige Dicke, große Abmessungen und vollkommene Planheit haben.

Derartige Folien, insbesondere aus Glas, können zahlreiche praktische Anwendungen haben, wie z. B. die folgenden:

Den Schutz von Kunststoffmaterialien in Folienform. Bestimmte Kunststoffmaterialien sind in ihrer Anwendung begrenzt, weil ihre Oberfläche strahlungsempfindlich ist und sie der Abnutzung unterliegen, oder auch, weil fette Materialien daran haften und es daher schwierig ist, sie sauber zu halten. Für diese Verwendung muß die Glasfolie auf der Oberfläche der Kunststoffolie angeordnet werden. Man verwendet vorzugsweise eine gegen die Abnutzung und gegen chemische Einwirkungen widerstandsfeste Glasart

Die Verbindung mit Kunststoffolien zur Herstellung von Schichtverbundmaterialien. Im Unterschied zu dem vorherigen Fall befindet sich die Glasfolie nicht allgemein auf der Oberfläche des Verbundmaterials, und man nutzt andere mechanische Eigenschaften des Glases, in erster Linie den Elastizitätsmodul und die Zugfestigkeit aus.

Die Herstellung von Windschutzscheiben für Kraftfahrzeuge. Wenn man das Glas für diesen Anwendungsfall verwendet, ist es unerläßlich, daß dieses Material beim Bruch nicht zu Splittern führt, die Schnittverletzungen verursachen oder auch in die Haut oder die Augen eindringen können. Die Verwendung von sehr dünnem Glas für die hintere Schicht der Windschutzscheibe kann dazu beitragen, ihr diese Eigenschaften zu verleihen.

Die Herstellung von Infrarotstrahlung reflektierenden Scheiben. Bei den bekannten Scheiben ordnet man die reflektierende Schicht außerhalb an, um die Erwärmung zu vermeiden, diese Anordnung setzt jedoch die reflektierende Schicht der Abnutzung und den Witterungseinflüssen aus. Die Verwendung einer Glasfolie ermöglicht es, die reflektierende Schicht an der Innenseite der Folie ohne die Gefahr einer Erwärmung anzuordnen, wobei eine ausgezeichnete

Schutzwirkung erreicht w ird.

Die leichte und wirtschaftliche Herstellung von regelmäßigen Oberflächenformen infolge der Flexibilität der Glasfolie, die durch einfaches Biegen die

Anpassung an diese Formen ermöglicht

Trotz aller bisherigen Bemühungen zur Herstellung derartiger Folien mußte man erkennen, daß diese Herstellung auf große Schwierigkeiten stöCt

Das übliche Verfahren zur Herstellung ebenen Glases ermöglicht es nur sehr schwer, mit akzeptablem Wirkungsgrad ebene Folien mit einer Dicke von weniger als 500 μ herzustellen.

Bestimmte besondere Verfahren ergeben durch Ziehen eine Glasfolie, deren Gleichmäßigkeit, Planheit und deren Bereich innerer Spannungen nicht zufriedenstellend sind. Diese Nachteile schaden nicht nur der kommerziellen Qualität des Produktes, sondern machen außerdem die Handhabung oder Lagerung durch Stapeln oder Aufrollen ohne Beschädigung der Folie schwierig. Weitherin ist eine vollkommene Planheit der Folie notwendig, wenn die Folie wirksam auf eine ebene Unterlage aufgebracht werden solL

Es sind außerdem Vakuumdampfverfahrsn bekannt, die es ermöglichen, eine haftende Glasfolie direkt auf zu schützende Kunststoffteile aufzubringen, jedoch sind die mit diesen Verfahren erzielten Ergebnisse für einige Zentimeter überschreitende Abmessungen nicht zufriedenstellend, da sich der Kunststoff und das Glas unter der Wirkung von physikalischen oder chemischen Vorgängen unterschiedlich dehnen, so daß sich die Glasschicht ablöst oder sogar reißt

Die Herstellung von Folien kann für zahlreiche andere Materialien als Glas, z. B. für Metalle, von Interesse sein. Es ist bekannt dünne Metallablagerungen auf Bändern aus Glas, Kunststoffmaterialien oder anderen Metallen zu bilden. Weiterhin kann man auch sehr dünne Folien mit geringen Abmessungen aus Mitteln verschiedener Verfahren (Walzen, Hämmern usw.) streckbarer Metalle herstellen. Jedoch kann die Herstellung von Folien großer Abmessungen aus bestimmten Metallen oder Metalloxiden und von jeder Unterlage unabhängigen Folien große Schwierigkeiten bereiten, obwohl ein derartiges Produkt von erheblichem praktischen Interesse sein kann, wenn man es als Folie lagern will, um es später auf eine Unterlage aus einem anderen Metall aufzubringen.

Aus der US-PS 31 81 209 ist es zwar bekannt bei der Herstellung von dünnen Folien die Dämpfe auf einem Substrat niederzuschlagen, von wo aus sie als selbsttragende Folie abgezogen werden. Bei dem dort beschriebenen Verfahren ist es aber erforderlich, das Substrat in Form eines um Rollen laufenden Endlosbandes anzuordnen und für eine gleichmäßige Bewegung des Endlosbandcs zu sorgen. Außerdem muß bei dem dort beschriebenen Verfahren dafür Sorge getragen werden, daß die nach dem Aufdampfen verfestigte Folie ohne Beschädigung von dem ebenfalls festen Substrat getrennt wird.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, unter Vermeidung der durch ein festes Substrat auftretenden Schwierigkeiten, ein Verfahren zur Herstellung von Folien der oben angegebenen Art zu schaffen, welches das Aufnehmen der Folien nach ihrer Herstellung ohne Beschädigung erleichtert

Gelöst wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zur Herstellung ebener, bandförmiger Folien, insbesondere aus Glas, Metallen und Metalloxiden, in glasartigem Zustand, die eine geringe, gleichmäßige Dicke, große Abmessungen und vollkomene Planheit haben, gemäß der Erfindung dadurch, daß filmbildende Materialien in an sich bekannter Weise im Vakuum verdampft werden, daß der Dampf auf der Oberfläche eines Flüssigkeitsbades in Form einer ebenen Folie zur Kondensation gebracht wird und daß die Folie von der Flüssigkeit getrennt wird. Gemäß der Erfindung trennt man die Folie von der Oberfläche der Flüssigkeit durch eine kontinuierliche horizontale Zugbewegung, während die Folie auf der Oberfläche des Flüssigkeitsbades schwimmt

Der Dampf wird durch ein bekanntes Verfahren hergestellt Seine Moleküle können neutral oder

ίο ionisiert sein und sich in einem Vakuum mit einer nach Druck und/oder chemischer Zusammensetzung gesteuerten Atmosphäre befinden.

In einer ersten Stufe lagert sich der Dampf auf dem Flüssigkeitsbad in Form eines feinen Vlieses ab, das auf diesem Flüssigkeitsbad schwimmt Eine zweite Stufe ist erreicht wenn das Vlies eine ausreichende Dicke hat um den kondensierten Dampf von dem Flüssigkeitsbad zu trennen und, wenn die Konsistenz des Vlieses ausreicht, um es durch eine horizontale Zugbewegung abzuziehen. Von diesem Moment an erfolgt die Ablagerung des Dampfes unter den gleichen physikalischen Bedingungen wie eine übliche Ablagerung auf einer festen Unterlage. Daher bietet die Verwendung eines Flüssigkeitsbades, auf dem das Vlies schwimmt die Möglichkeit ohne Beschädigung des noch sehr brüchigen Vlieses, es zum Transport in Zonen zu bewegen, in denen es dann verdickt und verstärkt wird.

Außerdem gibt die Verwendung des Flüssigkeitsbades ein geeignetes Mittel, um die Temperatur und allgemeiner die physikalischen Bedingungen der Ablagerung, insbesondere in der ersten Stufe, zu bestimmen. Diese Bestimmung ist eine Bedingung der chemischen Homogenität des NichtVorhandenseins innerer Spannungen und damit der guten Planheit der hergestellten Folie.

Das Material, das das Flüssigkeitsbad bildet wird in jedem Fall in Abhängigkeit von einer bestimmten Anzahl von Kriterien; wie z. B. den folgenden gewählt:
Geringe Dampfspannung bei der Verwendungstemperatur; keine Reaktion zwischen dem das Flüssigkeitsbad bildenden Material und demjenigen der Folie ebenso wie zwischen dem Flüssigkeitsbad und der sich mit ihr in Kontakt befindenden Atmosphäre; Homogenität des Materials, das das Flüssigkeitsbad bildet, und die Sauberkeit seiner Oberfläche; gegebenenfalls eine gute elektrische Leitfähigkeit der Oberfläche des Flüssigkeitsbades, um seine elektrische Spannung bezüglich derjenigen des Dampfes zu stabilisieren; eine im allgemeinen größere Dichte des Flüssigkeitsbades als

so die mittlere Dichte der Folie, um ein Überfließen der Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades zu verhindern, das zu einem Eintauchen der Folie nach seiner ersten Herstellungsstufe auf der Oberfläche des Flüssigkeitsbades führt Wenn die Dichte des abgelagerten Materials größer als die Dichte der Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades ist, kann man folgende Lösungen in Betracht ziehen, um diesem Überfließen entgegenzuwirken.

Ablagerungen eines haftenden Wulstes auf der Folie in der Nähe der beiden Ränder. Unter diesen Bedingungen schwimmt die Folie auf der Oberfläche des Flüssigkeitsbades, von dem Auftrieb gleichmäßig unterstützt, und das Verfahren kann wie im Falle einer Dichte der Folie durchgeführt werden, die geringer als diejenige des Flüssigkeitsbades ist;

Umschlagen des Randes der Folie nach oben, wenn das ihn bildende Material es ermöglicht. Dies führt zu einem dem vorherigen entsprechenden Ergebnis;
Anbringung eines derartigen Mittels am Rande der

Folie, daß die Oberflächenspannung der Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades sie daran hindert, auf die Folie vorzurücken und sie einzutauchen.

Es kann von Vorteil sein, ein Flüssigkeitsbad mit Umgebungstemperatur zu verwenden. Man kann dadurch die Niederschläge auf den umgebenden Wänden verringern, deren Nachteile bekannt sind. Außerdem wird sichergestellt, daß die Folie nach der Herstellung keine innere Spannung hat, die ihre gute Planheit beeinträchtigen kann.

Selbst wenn das Flüssigkeitsbad eine mehr oder weniger hohe Temperatur hat, ermöglicht es sein flüssiger Zustand, die Temperatur leicht derart zu homogenisieren, so daß sie auf jeder geraden Querlinie der Folie konstant bleibt und keine Verformung und innere Spannung erzeugt werden, die durch die Kontraktion beim Abkühlen verursacht werden.

Um die Gefahren von Auf- oder Abtrieben thermischen Ursprungs zu vermindern, muß vermieden werden, daß das Flüssigkeitsbad während des Betriebs an der Oberfläche kälter als in der Tiefe ist Lokale Änderungen der Temperatur an der Oberfläche beeinträchtigen tatsächlich die regelmäßige Bildung der Folie und ihre PlanheiL Ein derartiges Ergebnis kann durch die Verwendung eines Flüssigkeitsbades erreicht werden, das aus verschiedenen übereinanderliegenden Schichten besteht

Es ist zu beachten, daß das Verfahren gemäß der Erfindung nicht die vorherige Erzeugung eines homogenen Glases erfordert, das dann in der Umgebung verdampft wird. Es genügt tatsächlich, die verschiedenen Bestandteile des Glases gleichzeitig, sogar in Form von Gemischen, zu verdampfen, jedoch unter der Bedingung, daß die konstant gehaltenen Verdampfungsgeschwindigkeiten dem Dampf die gewünschte mittlere Zusammensetzung verleihen. Unter diesen Bedingungen ermöglicht es das erfindungsgemäße Verfahren, den üblichen Glasschmelzofen vollständig wegzulassen.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht die Herstellung von Produkten, insbesondere aus Glas, mit völlig ungewöhnlicher Zusammensetzung. Tatsächlich ist die Zusammensetzung der derzeit in der Industrie hergestellten Gläser stark von Überlegungen im Hinblick auf eine leichte Herstellung beeinflußt, wie insbesondere den Schmelztemperaturen und den « Entglasungstemperaturen der Arbeitsstrecke, der Abgabe von schädlichen Dämpfen, der Korrosion der feuerfesten Auskleidung der öfen. Dies führt zu einer Wahl der Zusammensetzung des Glases, die nicht immer befriedigend ist, insbesondere vom Standpunkt der chemischen und mechanischen Widerstandsfähigkeit

Zur Duchrführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Wahl des zu verdampfenden Materials durch völlig andere Überlegungen bestimmt, wie insbesondere die leichte Verdampfung oder das Vorhandensein eines Flüssigkeitsbades, mit dem dieses Material kompatibel ist

Schließlich ist der Gestehungspreis der Rohstoffe im allgemeinen bei Gläsern im Hinblick auf die einzusetzenden Förderieistungsmengen bei den Gläsern ein wichtiges Element Die Verwendung von folienförmigem Glas kann diesen Gesichtspunkt im Hinblick auf sein geringes Gewicht pro Quadratmeter ändern.

Wenn man verlangt, daß der Film aus verschiedenen Schichten besteht, ist es möglich, ihn mit großer Genauigkeit dadurch zu erhalten, daß man über dem Flüssigkeitsbad voneinander getrennte Zellen anordnet, von denen jede einen Dampf unterschiedlicher Zusammensetzung enthält, wobei die Trennwand zwischen zwei Zellen senkrecht zur Vorschubrichtung der Folie verläuft.

Wenn man eine schnelle Änderung der Zusammensetzung zwischen zwei aufeinanderfolgenden Schichten erreichen will, hält die Trennwand eine unverfälschte Trennung zwischen den beiden entsprechenden Zellen aufrecht. Wenn man dagegen eine fortschreitende Änderung der Zusammensetzung will, läßt die Trennwand zwischen den beiden Zellen eine Übergangszone, in der sich die beiden Dämpfe mischen.

Die Änderung des verdampften Materials ist sehr leicht und kann schnell durchgeführt werden, vorausgesetzt, daß die Änderung nicht eine Änderung des Fiüssigkeitsbades mit sich bringt

Es ist mittels bekannter Vorrichtungen möglich, die Behälter zu wechseln, die die zu verdampfenden Produkte enthalten, ohne daß Vakuum zu beseitigen. Es ist auch von Vorteil, stets zwei Behälter nebeneinander zu haben. Man hält dadurch einen absolut kontinuierlichen Ablauf der Produktion aufrecht wenn die beiden Behälter eine gleich Charge enthalten, indem man den entleerten Behälter ersetzt, während der andere in Betrieb ist Wenn man dagegen die Herstellung ändern will, wird einer der beiden Behälter mit dem neuen, zu verdampfenden Produkt beladen, und der Übergang kann sehr schnell erfolgen.

Wenn die Herstellung auf einem Flüssigkeitsbad mit hoher Temperatur erfolgt und wenn die Verteilung der Schichten nicht symmetrisch bezüglich der mittleren Schicht ist erfordert die Herstellung der Folie Vorsichtsmaßnahmen, da eine ungleichmäßige Kontraktion der Schichten beim Abkühlen eine Verformung der Folie verursachen würde. Wenn die Folie kalt hergestellt wird, ist eine derartige Vorsichtsmaßnahme selbstverständlich nicht notwenidg.

Man kann eine Kompression der beiden Seiten der Folie durch Anwendung einer bekannten Technik erreichen, indem man aus Lagen bestehende Schichten aufbringt, die derart gewählt sind, daß sich die Schichten der beiden Oberflächen weniger kontrahieren als die zentrale Schicht oder die zentralen Schichten.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden somit in vorteilhafter Weise übliche Stoffe unter Anwendung der zahlreichen bekannten Vakuum-Beschichtungsverfahren zur Schaffung von Folien verwendet da es trotz zahlreicher Versuche bisher nicht möglich war, Glas in einer Dicke von einigen V100 mm herzustellen.

Ein typisches Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die Herstellung eines Glasbandes oder einer Glasfolie mit einer Dicke von 'Λο mm, einer industrieüblichen Breite von 3,20 m und einer Länge von einigen 10 Metern, während Fensterglas zum Vergleich je nach der Qualität eine Dicke zwischen 1,7 mm und 4 mm besitzt

Die Erfindung wird nachstehend anhand einer in den F i g. 1 bis 3 dargestellten Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens erläutert Es zeigt

Fig. 1 einen Längsschnitt der Vorrichtung und

F i g. 2 und 3 in einem Vertikalschnitt die Einrichtungen, die vorgesehen sind um ein Überfließen der Flüssigkeit des Bades zu verhindern.

Die Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Gehäuse 10, das das gewünschte Volumen aufrechterhalten kann. Die Erfordernisse der Konstruktion dieses Behälters sind in dem vorliegenden Fall besonders einfach:

Das Gehäuse 10 hat eine einzige öffnung 12 für den Austritt der Folie- 14. Diese öffnung 12 hat die Form eines geraden Schlitzes, da die Dünne der Folie ihr jede Flexibilität verleiht, die notwendig ist. um sich daran anzupassen.

Im allgemeinen kann man die schlitzförmige öffnung 12 mit weichen Bändern mit niedrigem Kontaktdruck, z. B. aus Gummi, ausstatten, um den Lufteintritt zu verringern. Unter diesen Bedingungen ist es nicht notwendig, zahlreiche Blenden einzubauen, um die Dichtheit aufrechtzuerhalten, und die Lufteintritte werden auf einem sehr niedrigen Niveau gehalten.

Das Gehäuse 10 weist bekannte, nicht dargestellte Einrichtungen auf, um das Vakuum bzw. eine gesteuerte Atmosphäre herzustellen. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Einrichtung drei Zellen 18,20,22 auf, die durch Trennwände isoliert sind und von denen jede einen Dampf verschiedener Zusammensetzung enthält. Die zu verdampfenden Produkte sind in Behältern 24 enthalten, die paarweise angeordnet sind, um einen geleerten Behälter 24 im Betrieb ersetzen zu können, während der andere in Betrieb bleibt

Die durch eine kontinuierliche horizontale Zugbewegung herausgezogene Folie 14 wird auf einer Spule 16 gelagert.

Um zu verhindern, daß die Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades 26, die z. B. Quecksilber sein kann, nicht über die Ränder der Folie 14 tritt und auf die Oberfläche der Folie 14 strömt, kann man einen Wulst 28 aufbringen, der auf den Rändern (F i g. 2) haftet, die Ränder nach oben umbiegen (Fig.3) oder auch auf den Rändern der Folie eine Substanz aufbringen, die eine Oberflächenspannung erzeugt, die der der Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades 26 angemessen ist

Die einfachste Möglichkeit der Durchführung des oben angebenen Verfahrens besteht darin, das filmbildende Material, z. B. in Form von Fensterglasabfall, in homogener Form zu verdampfen. Derartige Verdampfungsverfahren werden industriell insbesondere für die Beschichtung von Kunststoff mit Glas angewandt um die sonst nicht kratzfeste Kunststoffoberfläche zu schützen, beispielsweise Brillengläser oder Autoscheinwerfer.

Der Verdampfungsvorgang ist nicht auf eine be

stimmte Art der Verdampfung beschränkt, sondern kann z. B. auch ein physikalischer Verdampfungsvorgang, wie das Ionenbombardement, oder einer der zahlreichen chemischen Verdampfungsvorgänge sein. So kann man z. B.:

zur Herstellung von Borsilikatglas ein Gemisch aus pulverförmigem Pyrexglas und fluortantalsaurem Kalium verdampfen,

zur Herstellung einer Tantalfolie thermisch zerlegtes iü Tantalpentachlorid,

zur Herstellung einer Nickelfolie thermisch zerlegtes Tetrakarbonyl,

zur Herstellung einer Titanfolie durch Wasserstoff zerlegtes Tetrabromid und

zur Herstellung einer Kobaltfolie durch Pyrolyse zerlegtes Azetylazetonat oder Nitrosiltricarbonyl verdampfen.

Beispiel 1

Glas in der chemischen Zusammensetzung von Fensterglas wird zu feinem Pulver reduziert und durch Ionenbombardement im Vakuum von 10~⁴ Torr verdampft. Die Folienbildung erfolgt bei einer Bildung von 20° C auf einem Silikonölbad. Das Silikonöl ist ein für Vakuumpumpen handelsüblich erhältliches. Da die Dichte des Glases höher ist als die des Öles, muß bei dem Verfahren in der oben angegebenen Weise dafür gesorgt werden, daß die Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades nicht über die Ränder der Folie tritt und auf ihre

Oberfläche fließt. Beispiel 2 Das niedergeschlagene Material ist Aluminium, das

bei einem Vakuum von 10~⁴ Torr physikalisch verdampft wird. Der Niederschlag wird auf einem

Silikonölbad unter den gleichen Bedingungen wie beim Beispiel 1 gebildet. Beispiel 3

Das zerlegte Material ist Kobalt das durch Pyrolyse von Acetylacetonat hergestellt wird. Das Vakuum beträgt 0,1 Torr, und das Flüssigkeitsbad ist ein Zinnbad mit einer Temperatur von 330° C.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung ebener, bandförmiger Folien, insbesondere aus Glas, Metallen und Metalloxiden, in glasartigem Zustand, die eine geringe, gleichmäßige Dicke, große Abmessungen und vollkommene Planheit haben, dadurch gekennzeichnet, daß filmbildende Materialien in an sich bekannter Weise im VaKuum verdampft werden, daß der Dampf auf der Oberfläche eines Flüssigkeitsbades in Form einer ebenen Folie zur Kondensation gebracht wird und daß die Folie von der Flüssigkeit getrennt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nur ein einziges Material verdampft wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen ungelösten Komponenten des filmbildenden Materials gegebenenfalls in Form von Gemischen, in einem Verhältnis und in Mengen verdampft werden, daß ihre gleichzeitige Kondensation auf der Oberfläche des Flüssigkeitsbades die Folie bildet

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen filmbüdenden Materialien getrennt verdampft und aufeinanderfolgend kondensiert werden, und zwar das erste auf der Flüssigkeit und die folgende aufeinander, um eine aus Schichten bestehende Folie zu bilden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1—4, dadurch gekennzeichnet, daß kontinuierlich gearbeitet wird und daß man die hergestellte Folie dadurch verschiebt, daß man über ihre gesamte Breite einen gleichmäßigen Zug ausübt, um die ständig auf dem Flüssigkeitsbad schwimmende Folie in Zonen zu transportieren, wo sie unter Aufrechterhaltung ihrer völligen Planheit verdickt und verstärkt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Vermeidung jeder Kontraktion, die die Planheit der Folie um Ausgang des Herstellungsbehälters beeinträchtigen könnte, ein Flüssigkeitsbad mit Umgebungstemperatur verwendet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem filmbildenden Material, das eine größere Dichte als die Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades hat, die Ränder der Folie nach oben umgeschlagen werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem filmbildenden Material, das eine größere Dichte als die Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades hat, ein an den Rändern der Folie haftender Wulst aufgebracht wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem filmbildenden Material, das eine größere Dichte als die Flüssigkeit des Flüssigkeitsbades hat, auf die Ränder der Folie eine Substanz aufgebracht wird, die der Flüssigkeit eine angemessene Oberflächenspannung verleiht

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit des die Folie tragenden Flüssigkeitsbades Quecksilber ist.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß man die Größe des Restdruckes der Atmosphäre steuert.

12. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch ein langgestrecktes Gehäuse (10), in dem ein Vakuum aufrechterhalten wird, das an einer einzigen Seite mit einer Austrittsöffnung (12) für die Folie (14) versehen und in dem das Flüssigkeitsbad (26) angeordnet ist, durch Zellen (18, 20, 22) bildende Trennwände in dem Gehäuse (10), von denen jede einen Dampf unterschiedlicher Zusammensetzung enthält, wobei jede Trennwand senkrecht zur

ίο Vorschubrichtung der Folie (14) verläuft, und durch Behälter (24) in den Zellen (18, 20, 22), die die zu verdampfenden Produkte enthalten.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (12) mit weichen Bändern mit niedrigem Kontaktdruck, insbesondere aus Gummi, versehen ist, so daß möglichst wenig Luft in das Gehäuse (10) eintritt