DE2332329B1 - Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer auf eine Unterlage festhaftend aufgebrachten Schicht - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer auf eine Unterlage festhaftend aufgebrachten Schicht

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    • G01B11/0616Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating

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Description

  • Darüber hinaus ist ein weiteres Schichtdickenmeßverfahren bekannt, welches zur Bestimmung der Dicke von plastisch bildsamen über eine elektrisch leitende Walze laufenden Bahnen dient (vgl. deutsche Patentschrift 849759). Hierbei wird mit bekannter Geschwindigkeit ein spitzer metallischer Probekörper radial auf den von der Bahn umschlungenen Umfangsteil der Walze zu bewegt und das kurze Zeitintervall zwischen dem ersten Berühren der Spitze auf der Bahnoberfläche und dem Berühren auf der Walzenoberfläche gemessen, welches als Maß für die Bahndicke dient. Dieses Verfahren ist nicht ohne weiteres auf stillstehende Bahnen oder Schichten übertragbar und auch auf weiche Schichtwerkstoffe beschränkt; im übrigen ist es apparativ recht kompliziert.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mit dessen Hilfe die Dicke von aufgebrachten Schichten schnell und ohne aufwendige Apparaturen, und vor allem ohne Zerstörung eines Werkstücks zuverlässig festgestellt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mit einem Schneidwerkzeug eine im Querschnitt V-förmige, mit der Werkzeugspitze die zu messende Schicht bis auf das Grundmaterial durchdringende punkt- oder linienförmige Vertiefung herausgeschnitten wird, von deren Flanken wenigstens eine stumpfwinklig unter einem auf Grund der Schneidengeometrie definierten Winkel zur Schichtoberfläche verläuft, und daß durch geeignete Beleuchtung der Schnittflächen der Schicht die Schichtgrenze sichtbar gemacht wird und die Erscheinungsbreite der Schichtdickenschnittfläche unter Beachtung der Schneiden- und der Betrachtungsgeometrie als Maß für die Schichtdicke gemessen wird.
  • Zwar wird durch die punkt- oder linienförmige V-förmige Vertiefung die Schicht verletzt, dadurch aber im Regelfall der die Beschichtung tragende Körper nicht unbrauchbar gemacht, da die Vertiefung absolut gesehen sehr klein, nämlich geringfügig tiefer als die Schichtdicke ist. Bei Korrosionsschutzschichten oder bei elektrischen Isolierschichten, bei denen es auf absolute Geschlossenheit der Schicht ankommt, kann in den meisten Fällen durch einen nachträglich aufgebrachten Tupfer des Beschichtungsstoffs die Prüfstelle wieder ausgebessert und der Gegenstand wieder brauchbar gemacht werden.
  • Wenn auch die physikalischen Eigenschaften im Hinblick auf die bisher bekannten zerstörungsfreien Schichtdickenmeßverfahren in bestimmten Fällen einander zu ähnlich waren, um Meßergebnisse zeitigen zu können, so sind die optischen Eigenschaften der Schichten und des Grundmaterials, nämlich die Farbe, die Helligkeit oder das Reflexionsverhalten im Regelfall so verschieden, um durch geeignete Beleuchtung nach Helligkeit, Farbe oder Auffallrichtung die Grenze der durch das Werkzeug schräg angeschnittenen Schicht für das Auge erkennbar zu machen. Ähnlich wie die Eindrücke von Prüfkörpern bei der Härteprüfung kann unter einem Meßmikroskop aus der Erscheinungsbreite der Schnittbreite der Schicht unter Beachtung der Betrachtungs-und der Schneidengeometrie auf die Schichtdicke geschlossen werden. Da diese Erscheinungsbreite mit Hilfe handelsüblicher optischer Instrumente recht genau ermittelt werden kann, da zudem die Werkzeuggeometrie auch mit großer Zuverlässigkeit und Genauigkeit bestimmt werden kann, ist eine recht exakte Ermittlung der Schichtdicke möglich. An instrumentellen Einrichtungen zur Ausübung dieses genauen, rasch und so gut wie zerstörungsfrei auszuführenden Verfahrens ist lediglich das Ritzwerkzeug und ein vergleichsweise billiges und in jedem Meßlabor ohnehin vorhandenes Meßmikroskop erforderlich.
  • Das erfindungsgemäße Schichtdicken-Meßschnittverfahren kann universell angewandt werden und ist auf keine bestimmten Materialien oder Schichtstärken oder -härten beschränkt. Als Werkzeug kann ein geschliffener Diamant verwendet werden, der be- kanntlich härter als alle anderen Werkstoffe ist. Das Verfahren kann beispielsweise zur Bestimmung der Dicke von galvanischen Überzügen auf Metall oder auf Kunststoff, von Vergoldungen an technischen oder an Schmuckgegenständen oder von Metallbeschichtungen auf Gleitlagerschalen dienen. Es läßt sich mittels ein und desselben Meßschnitts nicht nur die Schichtdicke im Neuzustand des zu prüfenden Körpers, sondern auch nach bestimmten Gebrauchsintervallen ermitteln. Es kann also an Hand eines Meßschnitts immer wieder die Dicke einer dem Verschleiß unterliegenden Beschichtung ermittelt und so an Hand eines ganz bestimmten individuellen Prüfstücks das Verschleißverhalten eines Beschichtungsstoffs oder einer Konstruktion ermittelt werden. Der die Schicht schräg anschneidende V-förmige Meßschnitt kann symmetrisch oder asymmetrisch sein.
  • Die symmetrische Schnittausbildung hat den Vorteil, daß mit einem Schnittvorgang zwei gleiche schräge Schichtanschnitte erzielt werden, die beide vermessen und gemittelt werden können, wodurch das Meßergebnis genauer und zuverlässiger wird. Je flacher der Anschnitt ist, um so größer ist die Erscheinungsbreite der Schichtdickenschnittfläche. Um eine Rückermittlung von der Schnittbreite auf die Schichtdicke bei senkrechter Betrachtung zu erleichtern, ist es vorteilhaft, wenn die Neigung der Werkzeugschneide zu einer auf der Schichtoberfläche stehenden Lotlinie so gewählt ist, daß der Tangens des Winkels zwischen diesen Linien ganzzahlig, vorzugsweise vier oder fünf ist. Bei einer Neigung von etwa 78,90 erscheint die Schnittbreite fünfmal breiter als die Schichtdicke und bei symmetrischem Meßschnitt entspricht die gesamte Schnittbreite beiderseits des Meßschnitts dem Zehnfachen der Schichtdicke.
  • In Ausgestaltung der Erfindung wird eine bei der Ausübung des Schichtdicken-Meßschnittverfahrens erforderliche Vorrichtung vorgeschlagen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß in einem U-förmigen oder glockenförmigen, auf der Unterseite offenen und mit in einer Ebene (Kufenebene) angeordneten Kufen versehenen Körper Gleitflächen zur Führung eines im Abstand zur Ebene der Kufen einstellbaren Werkzeugträgers vorgesehen sind und daß ferner Mittel zur feinfühligen Verschiebung des Werkzeugträgers in der Führung vorgesehen sind.
  • Es versteht sich, daß die Vorrichtung in ihrer Größe der Größe des zu untersuchenden Körpers angepaßt sein muß. Die Ritzvorrichtung ist so ausgestaltet, daß sie zum Ritzen auf den Prüfling aufgesetzt oder daß der Prüfling auf die Vorrichtung aufgelegt werden kann. Die Mittel zur feinfühligen Einstellung des Werkzeugträgers in bezug auf die Kufenebene bestehen in einer drehbar aber axial spielfrei mit dem Werkzeugträger verbundenen Verstellschraube. Die Werkzeugspitze muß so tief eingestellt werden, daß die zu messende Schicht durch den Meßschnitt durchdrungen wird. Die Tiefe des Meßschnitts ist im übrigen auf das Meßergebnis ohne Einfluß. Die Einstellbarkeit des Werkzeugs dient also lediglich einer Anpassung an die Schichtdicke; es soll möglichst wenig Schichtmaterial durch den Meßschnitt entfernt werden. Auch ist bei einer Wölbung der zu messenden Oberfläche eine Tiefeneinstellung des Werkzeugs erforderlich.
  • Ein linienförmiger Meßschnitt wird durch relatives Verschieben der Meßschnittvorrichtung gegenüber dem Prüfling parallel zu den Kufen bewirkt. Um dies zu erleichtern, weisen die Kufen Mittel zur Reibungsverminderung auf, z. B. bestehen sie aus reibungsarmem Kunststoff, z.B. Nylon oder weisen eine reibungsarme Beschichtung, z. B. Polytetrafluoräthylen, auf. Auch können in den Kufen kleine Röllchen, z. B. kleine Kugellager, eingelassen sein.
  • Damit die Meßschnittvorrichtung auf zylindrisch gewölbten Flächen konvexer und konkaver Krümmung standsicher aufgesetzt werden kann, ist es vorteilhaft, wenn die Kufen gleichlang ausgebildet und parallel zueinander und symmetrisch zur Werkzeugspitze angeordnet sind.
  • Zur Erleichterung der Schnittkräfte oder zur Erzielung eines punktförmigen Meßschnitts ist es empfehlenswert, das Werkzeug drehbar und von außen antreibbar in dem Werkzeugträger zu lagern. Damit jedoch eine definierte Werkzeugstellung beim Hobelmeßschnitt erhalten bleibt, ist es vorteilhaft, wenn das Werkzeug in seiner Umfangslage arretierbar im Werkzeugträger angeordnet ist. Um die Meßschnittvorrichtung beim Arbeiten mit umlaufendem Schnittwerkzeug nicht durch manuelle Antriebsbewegungen zu erschüttern, um sie andererseits von schweren motorischen Antriebsquellen zu befreien, ist es zweckmäßig, das Werkzeug entweder über ein manuell anwerfbares Schwungrad (Schwungspeicher) oder von einem federelastischen, aufladbaren Kraftspeicher anzutreiben. Beide Antriebsarten können auch miteinander kombiniert sein.
  • Um das Ansetzen der Meßschnittvorrichtung an bestimmten Punkten des Prüflings zu erleichtern, kann an dem U- oder glockenförmigen Körper ein parallel zur Kufenebene im Abstand seitlich zur Werkzeugspitze verstellbarer, senkrecht zur Kufenebene und über sie hinweg sich erstreckender Anschlagkörpervorgesehen sein. Dieser ragt bis unter die Ebene der Kufen hinunter. Um andererseits die Meßschnittvorrichtung behinderungsfrei auch auf größeren Prüflingen aufsetzen zu können, ist es zweckmäßig, wenn der Anschlagkörper aus der Kufenebene heraus schwenkbar angeordnet ist.
  • Die Erfindung ist an Hand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels im folgenden näher erläutert; es zeigt Fig. 1 den Querschnitt durch einen V-förmigen, stumpfwinkligen, die Schichtdecke erkennbar machenden Meßschnitt in vergrößerter Darstellung, F i g. 2 den Meßschnitt nach F i g. 1 in der Draufsicht, und F i g. 3 ein Ausführungsbeispiel für eine Meßschnittvorrichtung.
  • Bei dem in den F i g. 1 und 2 gezeigten Ausschnitt eines Prüflings ist mit 1 das beschichtete Grundmaterial und mit 2 die darauf festhaftend aufgebrachte Schicht mit der zu ermittelnden Stärke t bezeichnet. An dem Prüfling ist durch einen sauber und scharf geschliffenen Diamanten mit bekannter Schneidengeometrie eine stumpfwinklige V-förmige, die Schicht 2 bis auf das Grundmaterial 1 durchdringende Nut 3 angebracht. Im gezeigten Beispiel ist die Nut 3 symmetrisch mit unter dem gleichen Winkel a zur Nutsymmetrieebene geneigten Flanken 4 ausgebildet. Der Winkel* ist möglichst groß gewählt, damit die in der Daufsicht der F i g. 2 erkennbare Erscheinungsbreite der Schnittfläche s' bzw.
  • s" der Schicht 2 möglichst groß wird. Diese Maße können unter dem Meßmikroskop zuverlässig genau ermittelt werden und aus deren Breite, unter der Voraussetzung, daß die Betrachtungsrichtung parallel zur Symmetrieebene der Nut erfolgt, nach der Beziehung t= V2tan(9O-)(s'+s") die Schichtdicke t ermittelt werden. Um diese durch eine Tabelle oder ein Diagramm zu erleichternde Ermittlung noch weiter zu vereinfachen, kann der Winkel a so gewählt werden, daß der Kehrwert von tan (9() - a) ganzzahlig, vorzugsweise fünf wird, so daß die Beziehung dann lautet: t = I/oo (s' + S") Natürlich kann in dem Meßmikroskop auch eine entsprechend geeichte, die oben angegebene Funktion implizierende Skala angeordnet sein, die es erlaubt, ohne Umrechnung direkt an der Skala die Schichtdicke in stm abzulesen.
  • In den F i g. 1 und 2 ist ein linienförmiger Meßschnitt dargestellt. Zwar ist die Verletzung der Schicht 2 durch einen solchen Schnitt etwas größer als durch einen punkt- oder trichterförmigen Meßschnitt, jedoch erlaubt der linienförmige Meßschnitt bei spröden Beschichtungswerkstoffen oder Grundwerkstoffen oder bei rauhen Oberflächen, die am Meßschnittrand bzw. an der Schichtgrenze einen unregelmäßig gezackten Schnittrand ergeben, durch Einfahren eines Meßfadens eines im Meßmikroskop eingebauten Fadenkreuzes an die Schnittränder bzw.
  • Schichtgrenzen eine gemittelte und durchaus genaue Lage der Schnittränder bzw. Schnittgrenzen zu ermitteln.
  • Die in Fig. 3 dargestellte Meßschnittvorrichtung, die auf eine beschichtete (Schicht 1') Blechtafel 5 aufgesetzt ist, weist einen U-förmigen, nach unten offenen und in beschichtete (Gleitschicht 6) Kufen 7 auslauoffenen und in beschichtete (Gleitschicht 6) auslaufenden Rahmenkörper 8 auf, der an der Innenseite der Schenkel des U-Rahmens Prismenführungen 9 für einen im Rahmen gleitbar angeordneten Werkzeugträger 10 hat. Der Werkzeugträger 10 ist mittels der Rändelmutter 11, der Schraube 12 und der Spreizfeder 13 im Abstand zu der durch die Kufen 7 aufgespannten Ebene feinfühlig und spielfrei einstellbar. Im Werkzeugträger 10 seinerseits ist das in dem rotationssymmetrischen und um eine Querachse im Werkzeugträger drehbar gelagerten Körper 14 eingebettete Werkzeug 15 angeordnet, welches von dem Handrädchen 16 aus über die Stirnradverzahnung 17/18 antreibbar ist. Der das Werkzeug 15 tragende Körper 14 kann mittels einer nicht dargestellten Klemmschraube in bestimmten, durch das Handrad 16 einstellbaren Umfangslagen festgestellt werden.
  • Die Meßschnittvorrichtung weist ferner einen Seitenanschlag 19 auf, an dem eine in dem U-förmigen Rahmenkörper 8 senkrecht zur Hochachse querbewegliche und durch Schrauben 20 festklemmbare Führungssäule 21 angeordnet ist. Dieser Anschlag ermöglicht es, an unterschiedlichen Längsstellen aber an gleicher Breitenposition eines Prüflings Meßschnitte anzubringen. Dank der Rundführung kann der Anschlag bedarfsweise auch hochgeschwenkt und so die Meßschnittvorrichtung an beliebiger Stelle des Prüflings angesetzt werden.

Claims (14)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zur Messung der Dicke einer auf einer Unterlage festhaftend aufgebrachten Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem Schneidwerkzeug (15) eine im Querschnitt V-förmige, mit der Werkzeugspitze die zu messende Schicht (2) bis auf das Grundmaterial (1) durchdringende punkt- oder linienförmige Vertiefung (3) herausgeschnitten wird, von deren Flanken (4) wenigstens eine stumpfwinklig unter einem auf Grund der Schneidengeometrie definierten Winkel (900 + a) zur Schichtoberfläche verläuft, und daß durch geeignete Beleuchtung der Schnittflächen der Schicht (2) die Schichtgrenze sichtbar gemacht wird und die Erscheinungsbreite (s' bzw. s") der Schichtdickenschnittfläche unter Beachtung der Schneiden- und der Betrachtungsgeometrie als Maß für die Schichtdicke gemessen wird.
  2. 2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einem U-förmigen oder glockenförmigen, auf der Unterseite offenen und mit einer Ebene (Kufenebene) angeordneten Kufen (7) versehenen Körper (8) Gleitflächen (9) zur Führung eines im Abstand zur Ebene der Kufen (7) einstellbaren Werkzeugträgers (10) vorgesehen sind und daß ferner Mittel (11, 12, 13) zur feinfühligen Verschiebung des Werkzeugträgers (10) in der Führung (9) vorgesehen sind.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kufen (7) mit Mitteln (6) zur Verminderung der Reibung versehen sind.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kufen (7) eine Beschichtung (6) aus gut gleitfähigem Kunststoff enthalten oder aus einem solchen Kunststoff bestehen.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kufen (7) Rollen aufweisen.
  6. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kufen (7) gleichlang ausgebildet und parallel zueinander und symmetrisch zur Werkzeugspitze angeordnet sind.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (15) drehbar und von außen antreibbar in dem Werkzeugträger(10) gelagert ist.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug(15) in seiner Umfangslage arretierbar im Werkzeugträger (10) angeordnet ist.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug über ein manuell anwerfbares Schwungrad antreibbar ist.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug von einem federelastischen aufladbaren Kraftspeicher antreibbar ist.
  11. 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkzeugschneiden symmetrisch zu der durch die Werkzeugspitze verlaufenden Lotlinie auf der Kufenebene angeordnet sind.
  12. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Neigung (Winkel a) der Werkzeugschneide zu einer auf der Kufenebene stehenden Lotlinie so gewählt ist, daß der Tangens des Winkels (fit) zwischen diesen Linien ganzzahlig, vorzugsweise vier oder fünf ist.
  13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß an dem U-oder glockenförmigen Körper (8) ein parallel zur Kufenebene im Abstand seitlich zur Werkzeugspitze verstellbarer, senkrecht zur Kufenebene und über sie hinweg sich erstreckender Anschlagkörper (19) vorgesehen ist.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlagkörper (19) aus der Kufenebene heraus schwenkbar angeordnet ist.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Dicke einer auf eine Unterlage festhaftend aufgebrachten Schicht.
    Zur Messung der Schichtdicke derartiger Beläge sind verschiedene zerstörende und zerstörungsfreie Verfahren bekannt, die zum Teil sehr aufwendig, zum Teil nicht ausreichend genau sind. Besondere Schwierigkeiten treten bei der Messung von galvanischen Schichten auf, wenn das Grundmaterial und die Schicht der gleichen Materialgruppe angehören und durch die ähnlichen physikalischen z. B. ferromagnetischen, röntgenologischen oder dielektrischen Eigenschaften die Schichtgrenze mit einem zerstörungsfreien Verfahren nicht erkannt werden kann.
    In solchen Fällen kann die Schichtdicke in bestimmten Fällen bis jetzt nur durch Einbetten eines Probestücks in Kunststoff und durch senkrecht zur Schichterstreckung gelegte metallographische Schliffe ermittelt werden. Ähnliche Schwierigkeiten treten auch beim Messen von Lack- oder Isolierschichten auf nicht ferromagnetischem Material auf.
    Zwar sind Ritzverfahren zur Schichtdickenbestimmung bekannt (vgl. USA.-Patentschriften 2 727266 und 2 814 122 oder deutsche Offenlegungsschrift 1 623 168). Dabei wird ein Ritz von bekannter Tiefe in die Schichtoberfläche angebracht und anschließend geprüft, ob er die Schicht bis auf das Grundmaterial durchdrungen hat oder nicht. Dieser Ritz muß in der Regel häufig, und zwar mit veränderter Ritztiefe wiederholt werden, weil es sich bei diesem Schichtdickenmeßverfahren um ein Probierverfahren handelt. Die tatsächliche Schichtdicke kann durch mehrere Ritzproben eingeengt werden. Auch dieses Schichtdickenmeßverfahren kann nicht als zerstörungsfreies Meßverfahren angesehen werden, da durch die vielen Ritzproben die zu messende Schicht so erheblich gestört wird, daß sie danach ihren bestimmungsgemäßen Zweck nicht mehr erfüllen kann.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19641815A1 (de) * 1996-10-10 1998-04-16 Frank Dr Budei Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke von Oberflächenschichten
CN104142280A (zh) * 2013-10-16 2014-11-12 河南富耐克超硬材料股份有限公司 一种检测硬质涂层质量的方法
DE102021102582A1 (de) 2021-02-04 2022-08-04 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Verfahren zum Bestimmen der Dicke einer Beschichtung sowie Verfahren zum Herstellen eines Bauteils

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