DE2320639B2 - Loeschvorrichtung fuer das target einer speicherroehre - Google Patents

Loeschvorrichtung fuer das target einer speicherroehre

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DE2320639B2 DE19732320639 DE2320639A DE2320639B2 DE 2320639 B2 DE2320639 B2 DE 2320639B2 DE 19732320639 DE19732320639 DE 19732320639 DE 2320639 A DE2320639 A DE 2320639A DE 2320639 B2 DE2320639 B2 DE 2320639B2
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Gattungsbegriff des Patentanspruchs 1.
Es ist bereits ein System zur Übertragung unbewegter
Fernsehbilder dreidimensionaler Objekte über Übertragungskanäle, wie lange unabgeglichene Fernsprechkanäle, beschrieben. Dort wird eine Fernsehkamera verwendet, welche ein Videosignal kontinuierlich an eine Speicherröhre liefert, in der die Information eines
Videobildes gespeichert werden kann. Das einzelne gespeicherte Bild, welches übertragen werden soll, wird dann für die Übertragung durch Telefonleitungen an einen entfernten Empfangsort in ein tonfrequentes Signal umgewandelt, und am Empfangsort wird zur
Speicherung der übermittelten tonfrequenten Information eine zweite Speicherröhre benutzt. Nach der Beendigung der Übertragung wird die auf der Empfangsseite gespeicherte tonfrequente Information zur Betrachtung auf einem Sichtgerät wieder in ein Videosignal zurückgewandelt. Das übertragene Signal ist frequenzmoduliert, wobei die Momentanfrequenz direkt proportional dem Helligkeitswert des gespeicherten und gerade übertragene Elementes ist.
Ein solches Übertragungssystem wird als Simplexsy-
stern bezeichnet, da die Übertragung immer in derselben Richtung auf der Telefonleitung erfolgt. Bei einem Halbduplexsystem kann andererseits die Übertragung in beiden Richtungen, jedoch nicht gleichzeitig, erfolgen. Versuche haben gezeigt, daß die Übertragungsverhältnisse sich erweitern lassen, wenn man eine zusätzliche Hybridbetriebsweise in Ergänzung des üblichen Lösch-, Schreib- und Lesebetriebs, wie er für die Steuerung einer solchen Speicherröhre üblich ist, anwendet.
Verwendet man eine Speicherröhre zur Aufzeichnung einer Fernsehinformation — entweder zur Speicherung eines Fernsehbildes für die Übertragung oder zur Speicherung des über die Telefonleitung übertragenen Fernsehbildes —, dann wird ein Ladungsmuster in einer bestimmten Verteilung auf den Isolatoroberflächen des Targets ausgebildet, welches vom Bildelement zu Bildelement anders ist. Diese Ladungsverteilung bleibt bei der Rückgewinnung der Information erhalten, da die Speicherröhre so gebaut ist, daß die Information im Lesebetrieb nicht zerstört wird.
Zur Löschung dieser Bildinformation hat man die Isolatorelemente von zehn Bildern an aufwärts mit Hilfe eines unmodulierten Strahles hoher Stromstärke und mittlerer Geschwindigkeit abgetastet. Da in dem gespeicherten Ladungsmuster innerhalb der Ladungsverteilung jedoch unterschiedliche Potentiale bestehen, werden die Isolatorelemente am Ende der Abtastung nicht alle auf das gleiche Potential gebracht. Vielmehr verbleibt auf ihnen eine Restladung, die einen bestimmten Hintergrundschatten für die nachfolgend in den Speicher eingeschriebenen Bilder zur Folge hat.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Löschvorrichtung für elektronische Speicheranordnungen, die entweder Bild- oder Digital-Information oder beide Arten von Informationen speichern können, zu schaffen, mit der störende Hintergrundschatten für die nachfolgend aufzuzeichnenden Informationen vermieden werden, so daß ungewollte und unerwünschte
Beeinflussung der aufeinanderfolgenden Informationen verhindert werden.
Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale und Maßnahmen gelöst
Hierbei wird das Substrat des Speicherröhren-Targets auf einem Potential gehalten, welches demjenigen vergleichbar ist, das dem Target während des Schreibbetriebes zugeführt wird, während jedoch das Steuergitter der Speicherröhre auf das typische Auslesepotential vorgespannt wird. Durch Abtasten des gesamten Targets öder eines Teiles desselben mit einem unmodulierten Strahl in dieser Weise, tritt die Wirkung eines Überschreibens in der Speicherröhre auf, derart, daß sämtliche Isolatorelemente auf praktisch das gleiche Potential gebracht werden. Schließt man hieran das typische Löschverfahren an, dann liegen sämtliche Isolatorelemente auf dem gleichen Anfangspotential und haben nach dem Abtasten mit einem Strahl hoher Stromstärke und mittlerer Geschwindigkeit auch dasselbe Endpotential. Da dieses Endpotential das gleiche wie das Kathodenpotential ist, ergibt sich nur noch eine vernachlässigbar kleine Restladung, welche nicht mehr zu einem störenden Hintergrundschatten für die nachfolgend aufgezeichneten Informationen führt.
Bei diesem erfindungsgemäßen, sogenannten Hybrid-Betrieb wird also das Substrat der Speicherröhre auf dem Schreib-Potential gehalten, wogegen die Steuerelektrode der Speicheranordnung auf dem Le_.e- Potential gehalten wird. Diese Maßnahme bewirkt, daß ausschließlich Schwarz-Information in den Speicher geschrieben wird, daß also ein vollständiges schwarzes Bild erhalten wird. Sämtliche Targetstellen werden auf diese Weise auf das gleiche Potential gebracht. Dies führt dazu, daß der nachfolgende Löschvorgang für sämtliche Speicherstellen gleiche Wirkung zeitigt und unabhängig von der zuvor gespeicherten Information ist. Auf diese Weise werden die Targetstellen gleichmäßig gelöscht, so daß ausgeschlossen ist, daß die zuvor gespeicherte Information die nachfolgend gespeicherte Information stören kann.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Löschen von elektronischen Speicheranordnungen ist sowohl für die Löschung von Bild- als auch von Digital-Information geeignet. Während bei der Speicherung von Bildinformation kontinuierlich veränderliche Werte auftreten, liegen bei der Digitalinformation praktisch nur zwei Speicherwerte vor, es handelt sich im letzteren Fall also um ein diskontinuierliches Ladungsmuster auf dem Speichertarget. Insbesondere in diesem Fall ändert sich der Ladungswert von nahe beieinanderliegenden Speicherfeldstellen drastisch. Wenn diese diskontinuierlichen Ladungsfelder nicht vollständig gelöscht sind, können bei einer nachfolgenden Speicherung digitaler Information besonders leicht Fehler auftreten. Die erfindungsgemäße Speichervorrichtung ist daher insbesondere auch zur einwandfreien Löschung von gespeicherter Digitalinformation geeignet.
Darstellung der Erfindung
Die Erfindung ist im folgenden an Hand der Darstellung eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Die in der Figur dargestellte Speicherröhre 10 hat einen Kolben 12, innerhalb dessen ein Steuergitter 14, eine Kathode 16, eine Beschleunigungsanode 18, eine Fokusanode 20, ein Target 22 mit einem Substrat 24 und einer Mosaikschicht 26 sowie ein Kollektorgitter 30 angeordnet sind und die mit einem Ausgangsanschluß 28 versehen ist Bei einer Ausführungsform kann das Target der Speicherröhre 22 aus einer koplanaren Anordnung von Siliciumdioxydisolatoren 26 auf einem praktisch quadratischen »P«-leitenden Siliciumplättchen 24 bestehen, auf welchem mit den üblichen Fotolithografieverfahren sich etwa 600 000 dieser Elemente pro cm2 ätzen lasser, Jedes Element kann durch Steuerung des von der Kathode 16 auf es gerichteten Elektronenstrahls selektiv geladen werden.
Ist ein bestimmtes Ladungsmuster auf den isolatorelementen ausgebildet, dann ist diese Ladung praktisch zerstörungsfrei und läßt sich zur Modulation eines anderen, mit Hilfe fester Vorspannungen erzeugten Elektronenstrahls, verwendet, der von der Kathode 16 auf das Substrat gerichtet ist. Für diesen Lesebetrieb muß die Targetoberfläche vorbereitet werden, müssen ferner die Isolatoren 26 durch Umschalten des Strahles für den Schreibbetrieb aufgeladen werden und muß das Substrat 24 auf ein Potential gebracht (umgeschaltet) werden, welches ein Verbleiben der Ladung erlaubt.
Wenn das Target 22 im Lesebetrieb vom Elektronenstrahl abgetastet wird, dann sind die Siliciumdioxydisolatoren 26 negativ gegenüber der Kathode der Speicherröhre 16. Die Ladungsverteilung auf der isolierenden Oberfläche hängt dann ab von dem während des Schreibbetriebes eingespeicherten Bild und von der Substratvorspannung. Beim Überstreichen des Targets 22 durch den Strahl ist die Gesamtanzahl der das Substrat 24 erreichenden Elektronen umgekehrt proportional der negativen Ladung auf den Isolatoren. Bei einer typischen Speicherröhre, bei welcher das Lesepotential auf dem Substrat 24+8 Volt und auf dem Gitter 14 -35 Volt beträgt, kann durch ein Isolatorpotential von —4 Volt verhindert werden, daß Elektronen das Substrat erreichen. Die Elektronen werden dann von der Isolatoroberfläche 26 abgestoßen und von dem gesonderten Kollektorgitter 3^ angezogen, während die das Targetsubstrat 26 erreichenden Elektronen den Signalstrom der Speicherröhre bilden, der am Ausgangsanschluß 28 auftritt.
Da der Isolator 26 während dieses Lesebetriebes negativ gegenüber der Kathode ist, treffen keine der von der Kathode 16 auf das Target 22 gerichteten Elektronen auf die Isolatoroberflächen auf. Während des Lesebetriebes wird daher die Isolatoroberfläche nicht entladen, und das auf ihr gebildete Ladungsmuster wird nicht zerstört. Da jedoch das Vakuum in einer Speicherröhre normalerweise nicht vollkommen ist, werden die in der Röhre verbliebenen Gasmoleküle — insbesondere diejenigen zwischen dem Gitter 30 und dem Target 22 — durch Kollision mit Elektronen ionisiert. Durch diese Kollisionen entstehen wiederum positive Ionen, die von der isolierenden Oberfläche angezogen werden und allmählich das gespeicherte Bild auch im Lesebetrieb entladen. Die Folge der Konstruktion der Speicherröhre — insbesondere in Abhängigkeit von der Isolatordicke, der Substratvorspannung, der Gleichförmigkeit des Targets, dem Vakuum innerhalb der Röhre und der jeweils gespeicherten Videoinformation — kann das Target praktisch 15 Minuten lang kontinuierlich abgetastet werden, ohne daß ein bemerkbarer Verlust der gespeicherten Information auftritt.
Weiterhin ist die Lesezeit und die Speicherzeit nicht exakt gleich. Die Speicherzeit hängt von demjenigen Zeitraum ab, innerhalb dessen die Röhre ein gespeichertes Bild halten kann, wenn sie nicht dauernd abgetastet wird. Da die dielektrische Relaxationszeit von Siliciumdioxyd in der Größenordnung von 5 · ίΟ6 Sekunden
liegt, können Bilder auf der isolierenden Oberfläche wochenlang gespeichert werden, wenn der Elektronenstrahl ausgeblendet ist
Während des Löschbetriebes wird die Isolatorspannung der Speicherröhre erhöht, so daß jede zusätzliche dielektrische Fläche positiv gegenüber der Kathode ist. Da der Isolator 26 am Substrat 24 befestigt ist, wird durch eine Erhöhung der Substratvorspannung von dem Lesepotential von +8 Volt auf eine höhere positive Spannung (beispielsweise + 20 Volt) sichergestellt, daß der Isolator 26 positiv gegenüber der Kathode ist. Das Target wird dann bei geerdetem Steuergitter 14 abgetastet, bis die Isolatoroberfläche etwa auf Kathodenpotential entladen ist.
Wird das Target im Löschbetrieb wiederholt abgetastet, dann fährt der Isolator 26 fort, sich auf ein Gleichgewichtspotential zu entladen, bei welchem sämtliche Speicherelemente die gleiche Spannung haben, wie dies erwünscht ist. Die Länge des Zeitraumes, während dessen das Target wiederholt abgetastet wird, beträgt 10 Bilder. Weil das Speichertarget nur dann gelöscht wird, wenn der Elektronenstrahl mit einer geeigneten Elektrodenvorspannung auftrifft, läßt sich über eine selektive Steuerung der Größe und des Zentrums des Elektronenstrahlrasters bestimmen, welche Teile des Targets gelöscht werden sollen.
Nachdem der Isolator 26 gelöscht ist, ist das Target zur Speicherung eines Ladungsmusters bereit. Wird die Speicherröhre gemäß der Erfindung verwendet, dann folgt nun der Schreibprozeß, der mit Hilfe von Sekundärstrahlemission bewirkt wird. Während des Schreibbetriebes treffen Elektronen mit hoher Energie auf die Siliciumdioxydisolatoren auf, so daß das Verhältnis der Sekundärelektronen zu den Primärelektronen größer als 1 ist Das bedeutet daß per Saldo ein Strom vom Isolator wegfließt so daß er positiv aufgeladen wird. Die für diese Sekundäremission erforderliche hohe Aufprallenergie erhält man dadurch, daß das Potential des Targetsubstrats 24 vom Löschpotential, 20 Volt auf das Schreibpotential von etwa +200 Volt erhöht wird. Dadurch wächst das Isolatorpotential auf etwa +180 Volt und dieser Wert liegt ausreichend über dem für die Sekundäremission erforderlichen Potential.
Soll in dem Targetisolator ein volles Fernsehbild gespeichert werden, dann muß der Substrat 24 während des gesamten Bildzeitraums auf +200 Volt gehalten werden. Gleichzeitig wird das Steuergitter 14 der Röhre auf einen negativen Wert von etwa —60 Volt vorgespannt und der Elektronenstrahl wird mit dem Videosignal des einen Bildes moduliert Wenn der Elektronenstrahl über das Gitter moduliert wird, wird dadurch die auf dem Isolator 26 aufgebrachte Ladung gesteuert, und die dem Gitter 14 zugeführte Momentanspannung ist umgekehrt proportional der auf den Isolator 26 aufgebrachten Ladung. Da das Einschreiben erfolgt, wenn der modulierende Strahl auf das Target auftrifft, wobei die Videoinformation selektiv aufgezeichnet wird, muß der Strahl zunächst eine geeignete Größe bekommen und zer werden, ehe der Schreibzyklus eingeleitet werden kann.
Hn Elektronenstrahl hoher Stromstärke and mittlerer Geschwindigkeit tastet die Isolatoroberfläche etwa für 10 Fernsehbilder im Löschbetrieb ab, wobei der Substrat 24 dann etwa anf +20 Volt and das Steoergitter anf Masse, also KathodenpotentiaL vorgespannt weiden. Im Schreibbetrieb arbeitet man mit Sekundäremission mit einem modulierten Elektronenstrahl hoher Geschwindigkeit wobei der Substrat 24 dann auf etwa +200 Volt vorgespannt wird und das Steuergitter 14 zur Modulation des Elektronenstrahls für ein Bild benutzt wird. Schließlich verwendet man im Lesebetrieb einen Elektronenstrahl niedriger Geschwindigkeit zum Abtasten des Isolators 26, wobei der Substrat dann auf etwa +8 Volt und das Steuergitter 14 auf — 35 Volt vorgespannt werden.
Die Schaltung zur Einregulierung der Spannungen
ίο von Target und Steuergitter der Bildröhre für diesen Hybridbetrieb und den Normallöschbetrieb enthält ein Paar Transistoren 50 und 52 und ein Paar Potentiometer 54 und 56. Die Emitter der Transistoren sind jeweils an einen Bezugspotentialpunkt (beispielsweise Masse) angeschlossen. Der Kollektor des als PNP-Transistor dargestellten Transistor 50 liegt unmittelbar am Steuergitter 14 der Speicherröhre 10. Der Kollektor des als N PN-Transistor dargestellten Transistors 52 ist andererseits einmal über das Potentiometer 56 und einen Widerstand 58 an eine Betriebsspannung +Vi und zum anderen über den Abgriff des Potentiometers 56 an einen Kontakt A eines einpoligen Umschalters 40 angeschlossen, dessen zweiter Kontakt B mit dem Substrat 24 der Speicherröhre verbunden ist. Das Potentiometer 54 ist ferner über zusätzliche Widerstände 62 und 64 zwischen Masse und eine Betriebsspannung - \J2 geschaltet während sein Abgriff unmittelbar am Steuergitter 14 der Speicherröhre liegt
Die Basis des Transistors 50 liegt über einen Widerstand 66 an einer dritten Betriebsspannung - V3, während die Basis des Transistors 52 über einen Widerstand 68 an Masse liegt Ferner ist" die Basis des Transistors 50 über zwei1 in Reihe geschaltete Widerstände 70 und 72 an eine Betriebsspannung +V4
gelegt, wobei der Widerstand 70 von einem Kondensator 74 überbrückt ist Der Verbindungspunkt der Widerstände 70 und 72 ist mit der Anode eines Halbleitergleichrichters 76 verbunden, dessen Kathode am Kollektor des Transistors 52 liegt Die Basis des
Transistors 52 ist ferner über einen Widerstand 80 an einen Anschluß 82 zur Zuführung eines Löschsignals angeschlossen. Eine Relaisspule 84 für den Schalter 60 ist weiterhin zwischen eine Betriebsspannung + V5 und einen Anschluß 88 zur Zuführung eines Target-Steuersi-
gnals geschaltet und durch einen Halbleitergleichrichter 90 mit der dargestellten Polung überbrückt
Im Betrieb, insbesondere während des vorangehenden Zeitraums der Steuerung des Auslesens der Speicherröhre, wird dem Eingangsanschluß 82 ein
Logiksignal Null zugeführt, während dem Eingangsanschluß 88 ein Logiksignal Eins zugeführt wird. Das Logiksignal Eins ist ausreichend positiv, um den Gleichrichter 90 auf Durchlaßbetrieb vorzuspannen, so daß er die Relaisspule 84 überbrückt und der Kontakt B
SS des Schalters 60 mh dem dritten Kontakt Cverbunden ist Der Kontakt Cist seinerseits über einen Widerstand 92 an ein drittes Potentiometer 94 angeschlossen, wodurch dem Substrat 24 der Speicherröhre eine Lesevorspannung von ungefähr +8 Voh zugeführt
wird. Gleichzeitig werden die Transistoren 50 und 52 durch das an den Anschluß 82 gelegte Logiksignal Null gesperrt gehalten.
Das Potentiometer 54 ist so eingestellt, daß es dem Steuergitter 14 der Speicherröhre erne nominale
Lese vorspaninmg von-35 Volt zuführt
Während des Hybridbetriebes für das Löschen waf! ^ beiden Anschlössen 80 und 82 ein Logiksignal NuB
einer Sperrung des Gleichrichters 90, so daß durch die Relaisspule 84 ein Erregerstrom fließt und der Kontakt B des Relais auf den Kontakt A umgeschaltet wird. Infolge des Logiksignals Null am Anschluß 82 werden die Transistoren 50 und 52 in diesem Betriebszustand gesperrt gehalten. Dem Substrat 24 wird über den Widerstand 58 und das Potentiometer 56 eine Vorspannung von +200 Volt zugeführt, welche derjenigen Spannung nahekommt, die dem Speicherröhrentarget im Schreibbetrieb zugeführt wird. Wenn beide Transistoren 50 und 52 gesperrt sind, bleibt das Potential von —35 Volt am Abgriff des Potentiometers 54 bestehen, und die dem Steuergitter 14 der Speicherröhre zugeführte Spannung ist praktisch die gleiche, wie im Lesebetrieb der Speicherröhre.
In diesem Hybridbetrieb beim Löschen verbleibt das Substrat der Speicherröhre auf einem Schreibpotential, während das Steuergitter sich auf einem Lesepotential befindet. In diesem Zustand tastet ein von der Kathode der Röhre kommender unmodulierter Strahl die Isolatorelemente ab und bringt sie alle während eines oder zweier Abtastungen etwa auf das Kathodenpotential. Auf diesen Hybridbetrieb kann der normale Löschbetrieb folgen.
Hierbei wird ein Logiksignal Null an den Anschluß 88 gelegt, so daß die Schalterkontakte A und B zusammengelegt werden. Jedoch wird an den Anschluß 82 nun ein Logiksignal Eins angelegt, wodurch beide Transistoren 50 und 52 gesättigt werden. Das Potentiometer 56 wird mit Rücksicht auf den Wert des Widerstands 5S und die Spannung +Vi so bemessen, daß bei dieser Betriebsweise, also bei stark leitendem Transistor 52, das dem Target 24 vom Abgriff über den Schalter 60 zugeführte Potential auf etwa +20 Volt reduziert wird. Befindet sich der Transistor 50 gleichfalls in der Sättigung, dann ist das dem Steuergitter 14 der Speicherröhre zugeführte Potential praktisch gleich dem am Emitter des Transistors 50 liegenden, nämlich Massepotential. Beim Abtasten der Isolatoroberfläche mit einem unmodulierten Abtaststrahl bei diesen Vorspannungsbedingungen läßt sich das gespeicherte Ladungsmuster aus der Röhre entfernen und wegen des Hybridbetriebes haben alle Isolatorelemente das gleiche Anfangspotential.
Die Potentiometer 54 und 56 sind einstellbar, damit man die Vorspannungen verändern kann, wenn sich die Eigenschaften der Speicherröhre im Laufe der Zeit oder bei unterschiedlichen Umgebungsverhältnissen verändern. Mit Hilfe des Potentiometers 54 läßt sich die Vorspannung des Steuergitters für den Lesebetrieb und den Hybridlöschbetrieb in einem Bereich von etwa —30 Volt bis -60 Volt verändern. Das Potentiometer 56 dient der Veränderung der Targetvorspannung im Löschzustand im Bereich etwa von Null bis —20 Volt.
In Abweichung von der vorbeschriebenen Ausführungsform der Erfindung können die Vorspannungen für die verschiedenen Teile der Speicherröhre auch in anderer Weise erzeugt werden, ohne daß von den Lehren der Erfindung abgewichen wird, nämlich einen Hybridlöschbetrieb bei der Steuerung der Speicherröhre zusätzlich zum normalen Löschbetrieb durchzuführen, wobei in der Speicherröhre der Substrat auf ein Schreibpotential vorgespannt wird, während ihr Steuergitter auf ein Lesepotential vorgespannt wird. Durch Abtasten der Isolatorelemente mit einem unmodulierten Strahl bei Anliegen dieser Spannungen werden praktisch alle Isolatorelemente in wenigen Abtastungen auf dasselbe Potential gebracht, so daß der nachfolgende eigentliche Löschvorgang vollständiger durchführbar ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen «09550/365

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zur Verwendung bei einer elektronischen Speicheranordnung mit einem aus mehreren auf einem Substrat angeordneten Isolatoren bestehenden Target, mit Eingangs-, Ausgangs-, Steuer- und Fokuselektroden, ferner mit einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, mit Hilfe dessen Informationssignale dem Target zugeführt werden, um ein diese Informationen darstellendes gewünschtes Ladungsmuster beim Einschreiben der Informationssignale in den Speicher auszubilden, und mit Hilfe dessen anschließend das Ladungsmuster auf dem Target beim Auslesen der Informationssignale aus dem Speicher bestimmt wird, wobei die Vorrichtung benutzt wird zum Löschen des Ladungsmusters vom Target nach dem Lesen der Informationssignale vom Speicher und vor dem Einschreiben neuer Informationssignale in den Speicher, gekennzeichnet durch eine Anordnung (14, 16, 18, 20) zur Erzeugung eines unmodulierten Elektronenstrahls zur Abtastung der Isolatoren (26) auf dem Substrat (24), ferner durch eine erste Schaltungsanordnung, welche der Steuerelektrode (14) und dem Substrat (24) während eines ersten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl erste Vorspannungspotentiale zuführt, und durch eine zweite Schaltungsanordnung, welche während eines zweiten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Strahl der Steuerelektrode (14) und dem Substrat (24) zweite Vorspannungspotentiale zuführt, derart, daß der Steuerelektrode (14) während des zweiten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl ein positiveres Potential als während des ersten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl zugeführt wird, und dem Substrat (24) während des zweiten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Strahl ein weniger positives Potential als während des ersten Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl angelegt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schaltungsanordnung die ersten beiden Vorspannungspotentiale der Steuerelektrode (14) und dem Substrat (24) während eines Intervalls der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl zuführt, welches kleiner als das Intervall der Abtastung durch den unmodulierten Elektronenstrahl ist, während dessen die zweiten Vorspannungspotentiale der Steuerelektrode und dem Substrat von der zweiten Schaltungsanordnung zugeführt werden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schaltungsanordnung der Steuerelektrode (14) ein Vorspannungspotential zuführt, welches in seiner Größe vergleichbar mit dem Potential ist, das der Steuerelektrode während der Feststellung des Ladungsmusters auf dem Target beim Auslesen der Informationssignale aus dem Speicher zugeführt wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Schaltungsanordnung dem Substrat (14) ein Vorspannungssignal zuführt, das in der Größe einem Potential vergleichbar ist, welches dem Substrat bei der Ausbildung des die Informationssignale darstellenden Ladungsmusters beim Einschreiben der Signale in den Speicher zugeführt wird.
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GB1425944A (en) 1976-02-25
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FR2182032A1 (de) 1973-12-07
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IT984116B (it) 1974-11-20

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