DE2314384A1 - Dichte siliciumcarbidkoerper und verfahren zu deren herstellung - Google Patents

Dichte siliciumcarbidkoerper und verfahren zu deren herstellung

Info

Publication number
DE2314384A1
DE2314384A1 DE19732314384 DE2314384A DE2314384A1 DE 2314384 A1 DE2314384 A1 DE 2314384A1 DE 19732314384 DE19732314384 DE 19732314384 DE 2314384 A DE2314384 A DE 2314384A DE 2314384 A1 DE2314384 A1 DE 2314384A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
silicon carbide
aluminum
grain size
powder
body according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19732314384
Other languages
English (en)
Other versions
DE2314384B2 (de
DE2314384C3 (de
Inventor
H Dipl Ing Agular
Matsuoka Michio Erf
Yoshio Iida
Mass V St A P Bez Sp Leicester
Takeshi Masuyama
Bradford A Olson
Berlin U Muenchen Pat-Anwaelte
Ruschke H Dr Ing Vtr
Gerald Q Weaver
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Saint Gobain Abrasives Inc
Original Assignee
Norton Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Norton Co filed Critical Norton Co
Publication of DE2314384A1 publication Critical patent/DE2314384A1/de
Publication of DE2314384B2 publication Critical patent/DE2314384B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2314384C3 publication Critical patent/DE2314384C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/575—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained by pressure sintering
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S75/00—Specialized metallurgical processes, compositions for use therein, consolidated metal powder compositions, and loose metal particulate mixtures
    • Y10S75/95—Consolidated metal powder compositions of >95% theoretical density, e.g. wrought

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Description

Dichte Siliciuracarbidkörper und Verfahren zu deren Herstellung
Die Erfindung betrifft dichte Siliciumcarbidkörper, deren Biegefestigkeit über 7000 kg/cm bei Raumtemperatür,über 5600 kg/cm2 bei 120O0C,über 4200 kg/cm2 bei 13750C und über 3HO kg/cm2 bei 150O0C beträgt. Das Produkt besitzt eine Korngröße von<5/um und im wesentlichen das gesamte Siliciumcarbid liegt in der (λ,-Form vor. Es hat eine Dichte von über 99 i> der Theorie und enthält etwa 0,5 bis 5 % Aluminium.
Seit langem besteht der Bedarf an harten festen Materialien, die unter hoher Last bei erhöhten Temperaturen ohne· Abbau und Oxidation arbeitsfähig sind. Derartige Werkstoffe sollten auch hohe Biegefestigkeit bei Raumtemperatur und bei hoher Temperatur besitzen. Bisher versuchte man, derartige Werkstücke zu erhalten, indem Siliciuracarbidkörper geformt wurden. Es ist bekannt, Siliciumcarbid bei einer Temperatur über
350O0C und einem Druck von zumindest 700 kg/cm" heiß zu pressen
(US-PS 3 1!
442). Die Biegefestigkeit dieses Materials ist -2· 309842/0830
1A-42 753 - 2 -
unbekannt, jedoch fand es in der Praxis keinen Eingang. Die Firma Carborundum Company hat verschiedene Anstrengungen unternommen, um hochfestes Siliciumcarbid "KT" herzustellen ("Materials and Methods" Okt. 1956, S. 92; "Journal of Material Science", Bd. 6, 1971, S. 324-331). Dabei handelt es sich um ein selbstgebundenes Siliciumcarbid, das einige interessante Eigenschaften besitzt, jedoch nicht sehr fest ist, denn es hat eine Biegefestigkeit von weniger als 3500 kg/cm bei Raumtemperatur. Besseres Siliciumcarbid erhielt man durch Dampfphasenabscheidung (Gulden "Journal of American Ceramic Society" Bd. 52, S. 585-590, Ifov. 1969). Im allgemeinen wird es erhalten durch thermische Zersetzung eines Silans, wie Methyltrichlorsilan. Das Produkt hat interessante physikalische Eigenschaften. Die Biegefestigkeit ist im Vergleich gegen die erfindungsgemäßen Produkte entsprechend, jedoch besitzt es den Wachteil, daß auf diese Weise keine größeren Körper hergestellt werden können. Es ist außerordentlich schwierig, !Formkörper in der Art von Kugeln, Turbinenflügeln und dergleichen herzustellen. Darüberhinaus weist das erfindungsgemäße Produkt eine regellose Konstruktur auf, während das durch Vakuumabscheidung erhaltene Produkt in einer Richtung hoch orientiert ist. Weiters wurde bereits ein Werkstoff angekündigt, der nach einem unbekannten Verfahren hergestellt wurde und eine Biegefestigkeit in der Größen-Ordnung von 3500 kg/cm besitzen soll. Ein Material ähnlicher,. Eigenschaften soll auch bereits durch Heißpressen erhalten worden sein.
Als nächstkoramender Stand der Technik zu vorliegender Erfindung können die Ausführungen von ülliegro, Coffin and Tinklepaughn"J. Am.Ceram.Soc." 39 (11) 386-389, 1956) angesehen werden, wonach mäßig dichte (98 "Jo) heißgepresste Siliciumcarbidkörper hergestellt worden sind, die eine Biegefestigkeit in der Größenordnung von 3780 kg/cm bei Raumtemperatur haben sollen. Durch die weiteren Untersuchungen - 3 -
309842/0830
ORIGINAL
1A-42 753
- 3 - 2. ΐ -
Progress Reports prepared for the Department of the Navy under Contract ITOOO19-71-C-O29O wurde eine Verbesserung dieser Körper dadurch erreicht, daß verschiedenen Siliciumcarbidpulvern Bor zugesetzt wurde, wodurch man Siliciumcarbidkörper mit etwa gleichen physikalischen Eigenschaften erhalten könnte. Nach der US-PS 3 520 656 wird ein Produkt hergestellt aus 96 Vol.-^ ß-Siliciumoarbid und 4 Vol.-$ Tonerde. Das Gemisch wird heiß gepreßt und hat eine Dichte von 98 % der Theorie. Eingebettet in den etwa 50 fi φ-Siliciuincarbid und etwa 50 fi ß-Siliciumcarbid finden sich dann die Tonerdekristalle. Die Biegefestigkeit dieser Materialien liegt in der Größenordnung von 6550 kg/cm bei PLaumtemperatur. In der Praxis hat dieses Material keinen Eingang gefunden. Nach der US-PS 3 178 807 wurde durch Verdichten unter Anwendung von Sprengkraft versucht, ein Siliciumcarbid-Skelett herzustellen, welches dann mit Aluminium imprägniert wurde.
Die Erfindung betrifft nun sehr dichte feste Körper aus Siliciumcarbid, die nach einer bevorzugten Ausführungsform durch Heißpressen eines innigen Gemisches von feinem $j-Silicimcarbidpulver und 0,5 bis 5 f° feinem Aluminium hergestellt werden. Das Geraisch wird vorzugsweise in einer Kugelmühle aufgemahlen und gemischt, welche ausgekleidet ist mit Wolframcarbid und als Mahlkörper Wolframcarbidkugeln dienen. Die Mahlzeit beträgt zumindest 15 h, wodurch man eine außerordentlich innige Dispersion von Aluminiumpulver innerhalb des rC-Siliciumcarbidpulvers erhält. Das cC-Silicumcarbidpulver hat vorzugsweise eine Korngröße in der Größenordnung von 1 bis 5/um und eine Reinheit in der Größenordnung von zumindest 99 f». Das Mischen und Mahlen erfolgt zweckmäßigerweise in einem inerten Medium, wie Isopropanolj und soll zumindest 15h dauern. Die Festigkeit des fertiggepreßten Produkts ist im wesentlichen direkt proportional
309842/0830 ~ 4 "
»MSPPCTCD
1A-42 753
der Mahlzeit innerhalb des Bereiches von 1 bis 60 h. Das feingemahlene Gemisch wird dann durch Filtrieren getrocknet und auf 900C erwärmt, um restliches Mahlhilfsmittel zu vertreiben. Anschließend wird in einer Graphitform mit minimalern Luftzutritt bei einer Temperatur von zumindest 195ü°C und unter einem Druck von zumindest 140 kg/cm verpreßt. Maximale Preßtemperatur und Druck werden zumindest 1 min aufrechterhalten das Heißpressen erfolt zweckmäßigerweise in Argonatmosphäre. Das so erhaltene Produkt nach der Erfindung hat eine Dichte von über 99 c/° der Theorie.
en
Die Erfindung wird an folgenden Beispiell/ weiter erläutert.
Beispiele
Für das Heißpressen von Siliciumcarbid wurde hier ausgegangen von OC-Siliciumcarbidpulver, Körnung 3/um. Es handelte sich um ein handelsübliches Produkt mit einer mittleren Korngröße von 4,5 /um, mit einem Borgehalt von weniger als 50 ppm, Aluminiumgehalt von weniger als 0,1 fo und Eisengehalt von 0,1 c/o. Das Aluminiumpulver war ein handelsübliches "400" zerstäubtes Aluminiumpulver. Die beiden Pulver wurden gemischt in einer Kugelmühle aus Y/olframearbid mit Hilfe von V/olframcarbidkugeln. Die Mühle hatte ein Fassungsvermögen von nicht ganz 1 1. Es wurden 200 g Siliciumcarbidpulver 3/um und 6 g Aluminium aufgegeben, die Mühle bis zur Hälfte mit den Kugeln - Durchmesser 12,7 mm - gefüllt und als Mahlhilfsmittel 400 cm Isopropanol eingebracht. Es wurde 31 h bei 120 UpM gemahlen. Dann wurde die Masse aus der Mühle ausgetragen und zur Entfernung des Isopropanols 12 a in einem Ofen bei 8O0C gehalten. Das trockene Pulver wurde dann gesiebt (0,42 mm). Dieses feine gut gemischte Pulver wurde nun heiß gepreßt.
_ 5 309842/0830
1A-42 753
Die Formen für das Heißpressen "bestanden aus Graphit, ebenso die Stempel. Der Formraum betrug 88,9 x 12,7 mm. Die Innenwand der Form und die Stirnfläche des Stempels waren mit Bornitrid überzogen.
Das Heißpressen selbst erfolgt in einem durch Induktion beheizten Graphitofens in Argonatmosphäre. Der Ofen war auf einer 75 t-hydraulischen Presse montiert. Bei Anstieg der Temperatur von Raumtemperatur auf etv/a 14000C wurde der Druck von 7 auf etwa 18,9 kg/cm erhöht. Innerhalb des Temperaturintervalls von 1400 bis 2O75°C wurde der Druck konstant auf
18,9 kg/cm gehalten. Die maximale Preßtemperatur wurde 2 min beibehalten, dann konnte der Ofen auf Raumtemperatur unter gleich-bleibendem Druck von 18,9 kg/cm abkühlen.
Der Preßling hatte eine Dichte von 3,627 g/cm. Prüfstäbe (3,175 x 3,175 x 76 mm) wurden aus dem Gießling hergestellt und daran die Festigkeitsbestimmung vorgenommen,(0,5 mm/min Quergeschwindigkeit des Kopfes). Die Querbiegung bei Raumtemperatur über den kleinen Querschnitt (3,175 x 3,175 mm) betrug durchschnittlich 9100 kg/cm mit einer Standardab-
weichung von 785 kg/cm bei einer Einspannlänge von 1,9 cm.
Wie oben bereits angedeutet, ist die Biegefestigkeit des erfindungsgemäßen Produkts direkt in Beziehung zu der Mahlzeit, ebenso wie die Dichte, jedcoh geht der Anstieg der Dichte in 1. Linie auf einen Anstieg des Wolframcarbidgehalt in dem Produkt zurück.
In folgender Tabelle sind die Ergebnisse aus verschiedenen Versuchen zusammengestellt, wobei es sich um identische Produkte nach dem Beispiel handelt mit Ausnahme, daß die Mahlzeit und die Mühlengröße variiert wurden. Das Fassungsvermögen der keinen Mühle betrug nicht ganz 1 1 und der großen Mühle 3,8 1. Die Werte der Biegefestigkeit sind das Mittel von einer Anzahl von Versuchen. -6-
309842/0830
ORIGINAL INSPECTED
1A-42 753
Tabelle
Biegefestigkeit (,1O5 psi)kg/cm2 Dichte Vol.-9S Mühle 200C 12000C 13750C 150O0C g/cm5 WC
(84) (56) (50) 5870 3920 3500
3,228
klein
(90)
6300
(64)
4480
(54) 3780
3,229 0,25 groß
(90)
6300
(106)
7400
(63)
4400
(78)
5450
(52) 3640
(59) 4130
3,333 1,1 klein 3,474 2,3 klein
(110)
7700
(82)
5750
(62) 4250
(46) 3220
3,600 3,5 klein
(130)
9100
(88)
6160
(67) 4700
3,627 3,6 klein
(117)
8200
(75)
5250
(63) 4400
3,3H 0,95 groß
Nach der bevorzugten Herstellungmeihode wird feines Aluminiumpulver angewandt, welches zusammen mit Siliciumcarbidpulver entsprechend lang, vorzugsweise mehr als 15 h;gemahlen wird. Wie erwähnt, steht die Festigkeit des Preßlings in direkter Beziehung zur Mahlzeit. Es wird angenommen, daß dies auf der kontinuierlichen Korngrößenverringerung der Aluininiumteilchen während des Naßmahlens zurückgeht. Diese wird möglicherweise bis unter 0,1 /um gebracht., Darüberhinaus scheinen die meisten Aluminiumteilchen über die Oberfläche des Siliciumcarbids verschmiert zu sein. Selbst wenn diese Aluminiuniteilcheii unter dem Abtastelektronenmikroskop bei einer Vergrößerung von 25 untersucht werden, so zeigt sich, daß bereits nach einer 5·
309842/0830
1A-42 753
stündigen Mahlzeit das Aluminiumpulver bereits ausreichend verschmiert ist, so daß einzelne Aluminiumteilchen nicht mehr feststellbar sind.
Wird nun dieses Pulvergemisch unter Druck auf eine Temperatur in der Größenordnung von 20000C erhitzt, so kann angenommen werden, daß das Aluminium in das Kristallgitter des Silicumcarbids durch Diffusion eintritt. Als Folge dieser Diffusion kann eine Änderung der Oberflächenenergie des Silicumcarbidkristalls angesehen werden, die eine Kristall-Kristall-Bindung begünstigt und dadurch zu Produkten höherer Festigkeit führt. Die genaue Wirkungsweise des Aluminiums ist noch nicht vollständig aufgeklärt. Es scheint jedoch, daß es weitgehendst in das Kristallgefüge eintritt, da auch die Rontgenbeugungsanalyse keine Anhaltspunkte für die Anwesenheit nennenswerter Mengen von einer getrennten aluminiumhaltigen Phase im Endprodukt ergibt. Bei Prüfung der Bruchfläche durch Abtastelektronenmikroskopie mit einer Vergrößerung von 25 000 und durch Elektronensonden mit einer Vergrößerung von 5000 stellt man ebenfalls keine anderen Phasen fest als Silicumcarbid und Wolframcarbid. Es scheint keine nennenswerte Konzentration an Aluminiumoxid, Aluminiumcarbid oder Aluminiumsilicid als getrennte Phase vorzuliegen.Während spurenweise Anzeichen für Aluminiumverbindungen exisitieren, so können diese in keiner V/eise Aluminiummengen zugeordnet werden, wie sie dem Produkt zugesetzt wurden und noch vorliegen (z.B. 2 fo) und wie sie sich durch chemische oder Spektralanalyse ergeben.
Der Wolframcarbidgehalt kann zweckmäßig sein. Jedoch wird angenommen, daß er nicht wesentlich ist, weil der Volumenanteil von Wolframcarbid über weite Strecken variiert und nur einen geringen Einfluß auf die Festigkeit zu haben scheint, (siehe Tabelle).
309842/0830
ORIGINAL INSPECTED
1A-42 753
23U--.34
Abgesehen von dem oben erwähnten Aluminiumpulver kann man auch Aluminiumverbindungen, wie Aluminiumhalogenide, die weniger stabil als Aluminiumoxid sind, anwenden. Die Hauptforderungen an diese aluminiumhaltigen Stoffe sind,daß sie sich auf außerordentlich geringe Korngröße während des Mahlens zerkleinern lassen unter Bildung einer extrem innigen Mischung mit dem Siliciumcarbid und daß sie ausreichend instabil sind beim Heißpressen (Temperatur und Druck),so daß für die Diffusion in das Kristallgitter des Siliciumcarbids atomares Aluminium verfügbar wird.
Die oben genannte obere Grenze von etwa .60 h für die Mahlzeit ist nicht kritisch. Es gibt verschiedene Paktoren, die die Mahlzeit begrenzen können. Eine davon ist offensichtlich der Aufwand. Wichtiger ist jedoch die Korngröße des Aluminiumpulvers. Während die kleinstmögliche Teilchengröße vom Standpunkt der Gleichmäßigkeit der Dispersion mit dem Siliciumcarbidpulver wünschenswert ist, so stellt sich doch das Problem in der Praxis der enorm ansteigenden Reaktivität des Pulvers in Abhängigkeit von der verringerten Korngröße. Das Mahlen muß daher abgebrochen werden, bevor das Aluminiumpulver auf eine Größe verringert wird, wo es Reaktionen eingehen kann, mit dem "inerten" Isopropanol.
Auch sollte das Aluminiumpulver nicht so klein werden, daß die Oxidhaut, deren Bildung während des Mahlens nicht verhindert werden kann, nicht einen wesentlichen Anteil des Metallpulvers ausmacht.
In obigen Ausführungen handelt es sich bei Prozent um Gewichtsprozent» wenn nicht anders angegeben.
In Abwandlung der obigen Herstellungweise kann man auch Siliciumcarbidpulver allein innerhalb einer mit Aluminium ausgekleideten Mühle unter Anwendung von Aluminiumkugeln oJer
309842/08 3 0
ORIGINAL INSPECTED
1A-42 753
•~9~ 23 H
-stäben oder Mahlkörper zerkleinern. In diesem Fall nehmen die reibenden Siliciumcarbidkörner genügend Aluminium aus den Iiahlkörpern und der Hühlenv/and auf, so daß 0,5 bis 5 5& Aluminium in dem gemahlenen Produkt vorliegen. Das Heißpressen eines solchen gemahlenen Pulvers führt zu den gleichen dichten, hochfesten Produkten, wie oben beschrieben.
Patentansprüche
309842/0830
ORIGINAL

Claims (9)

  1. Patentansprüche
    Dichte AluLütTTittuicarbidkörper mit einer Biegefestigkeit von zumindest 7OOO kg/cm bei Raumtemperatur, einer Korngröße yon <3?/um, wobei das Siliciumcarbid im wesentlichen in der dl-Modifikation vorliegt,mit einer Dichte von zumindest 99 i° der Theorie enthaltend 0,5 bis 5 lf° Aluminium.
  2. 2. Siliciumcarbidkörper nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß im wesentlichen das gesamte Aluminium sich durch Röntgenbeugungsanalyse nicht als getrennte Phase feststellen läßt.
  3. 3. Siliciumcarbidkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der Körper eine mittlere Korngröße zwischen etwa 1 und 5/um hat und im wesentlichen frei ist von einer sekundären Phase, abgesehen von Wolframcarbid, die sich durch Abtastelektronen-mikroskopische Untersuchung der Bruchfläche bei einer Vergrößerung von 25 000 oder "
    durch Elektronensondenanalyse bei einer Vergrößerung von 5COO feststellen läßt.
  4. 4. Siliciumcarbidkörper nach Anspruch 1 bis 3f kekennzeichnet durch eine Biegefestigkeit von zumindest 7650 kg/cm bei Raumtemperatur.
  5. 5. Siliciumcarbidkörper nach Anspruch 1 bis 4» gekennzeichnet durch einen Gehalt von 0,5 bis 5 V0I.-/0 Wolframcarbid. 309842/Ü830 - 11 -
    ORIGINAL MterECTED
    1A-42
  6. 6. Siliciumcarbidkörper nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Silicumcarbid regellos im Körper vorliegt»
  7. 7. Verfahren zur Herstellung der Siliciumcarbidkörper
    nach Anspruch 1 bis 6 durch Heißpressen eines feinen Pulvers, dadurch gekennzeichnet , daß man ein Pulvergemisch von Aluminium rait einer Körnung ^5/um und Siliciumcarbid einer Körnung zwischen 1 und 10 /am bei einem Aluminiumanteil an 0,5 bis 5 Gev/.-^ zumindest 15 h in einem inerten flüssigen Mahlhilfsmittel mahlt und dann bei einer Temperatur von zumindest 195O°C unter einem Preßdruck von zumindest 140 kg/cm heiß verpreßt.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß man für das Pulvergemisch eine Aluminiumverbindung anwendet, die weniger stabil als Aluminiumoxid ist.
  9. 9. Abwandlung des Verfahrens nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet , daß man das Siliciumcarbidpulver in einer mit Aluminium ausgekleideten Mühle und gegebenenfalls Mahlkörpern aus Aluminium mahlt.
    309842/0830
DE2314384A 1972-03-23 1973-03-22 Dichter Siliciumcarbidkörper und Verfahren zu dessen Herstellung Expired DE2314384C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US00237545A US3836673A (en) 1972-03-23 1972-03-23 Sintered silicon carbide

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2314384A1 true DE2314384A1 (de) 1973-10-18
DE2314384B2 DE2314384B2 (de) 1975-05-15
DE2314384C3 DE2314384C3 (de) 1981-05-27

Family

ID=22894194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2314384A Expired DE2314384C3 (de) 1972-03-23 1973-03-22 Dichter Siliciumcarbidkörper und Verfahren zu dessen Herstellung

Country Status (11)

Country Link
US (1) US3836673A (de)
AU (1) AU473060B2 (de)
BR (1) BR7302097D0 (de)
CA (1) CA980809A (de)
CH (1) CH587198A5 (de)
DE (1) DE2314384C3 (de)
FR (1) FR2176741B1 (de)
GB (1) GB1432232A (de)
IT (1) IT980686B (de)
NL (1) NL180743C (de)
SE (1) SE389663B (de)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3998646A (en) * 1974-11-11 1976-12-21 Norton Company Process for forming high density silicon carbide
FR2355789A1 (fr) * 1976-06-24 1978-01-20 Comp Generale Electricite Ceramique de carbure de silicium et procede de realisation de cette ceramique
JPS5930781B2 (ja) * 1976-08-31 1984-07-28 財団法人特殊無機材料研究所 シリコンカ−バイド繊維強化クロム基高強度耐熱耐食合金複合材料およびその製造方法
US4123286A (en) * 1976-12-27 1978-10-31 The Carborundum Company Silicon carbide powder compositions
US4135937A (en) * 1977-03-31 1979-01-23 The Carborundum Company High density hot pressed thermal shock resistant silicon carbide
GB2082165B (en) * 1980-07-17 1984-03-28 Asahi Glass Co Ltd Silicon carbide ceramic
DE2809278A1 (de) * 1978-03-03 1979-09-06 Kempten Elektroschmelz Gmbh Dichte polykristalline formkoerper aus alpha-siliciumcarbid und verfahren zu ihrer herstellung durch drucklose sinterung
DE2910059C2 (de) * 1978-03-15 1982-05-19 Suzuki, Hiroshige, Tokyo Verfahren zur Herstellung von feinteiligem Siliziumkarbid sowie dessen Verwendung zur Herstellung von hochdichten Sinterkörpern
CA1332065C (en) * 1978-05-01 1994-09-20 John Allen Cappola Sintered alpha silicon carbide body having equiaxed microstructure
DE2927226A1 (de) * 1979-07-05 1981-01-08 Kempten Elektroschmelz Gmbh Dichte formkoerper aus polykristallinem beta -siliciumcarbid und verfahren zu ihrer herstellung durch heisspressen
DE2923728A1 (de) * 1979-06-12 1980-12-18 Kempten Elektroschmelz Gmbh Dichte formkoerper aus polykristallinem alpha -siliciumcarbid und verfahren zu ihrer herstellung durch heisspressen
US4320204A (en) * 1981-02-25 1982-03-16 Norton Company Sintered high density boron carbide
JPS59102872A (ja) * 1982-12-06 1984-06-14 日本特殊陶業株式会社 炭化珪素．黒鉛複合焼結体の製造方法
US4571331A (en) * 1983-12-12 1986-02-18 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Ultrafine powder of silicon carbide, a method for the preparation thereof and a sintered body therefrom
US4874725A (en) * 1984-04-27 1989-10-17 Nippon Tungsten Co., Ltd. High-density sintered article of silicon carbid
US4962069A (en) * 1988-11-07 1990-10-09 Dow Corning Corporation Highly densified bodies from preceramic polysilazanes filled with silicon carbide powders
DE3902528A1 (de) * 1989-01-28 1990-10-31 Sintec Keramik Gmbh Herstellung von polykristallinen formkoerpern aus (alpha) - und/oder (beta)-siliciumcarbid durch drucklose sinterung
JP3147977B2 (ja) * 1991-12-19 2001-03-19 新日本製鐵株式会社 炭化珪素焼結体製反射ミラー用基板とその製造方法
US5770324A (en) * 1997-03-03 1998-06-23 Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. Method of using a hot pressed silicon carbide dummy wafer
FR2870536B1 (fr) * 2004-05-18 2006-08-18 Haasser Produits Refractaires COMPOSITION DE BASE POUR LA FABRICATION D'OBJETS REFRACTAIRES FACONNES A BASE DE SiC, PROCEDE DE FABRICATION, OBJETS MOULES ET UTILISATIONS CORRESPONDANTES

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3520656A (en) * 1966-03-30 1970-07-14 Du Pont Silicon carbide compositions
US3565643A (en) * 1969-03-03 1971-02-23 Du Pont Alumina - metalline compositions bonded with aluminide and titanide intermetallics

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3520656A (en) * 1966-03-30 1970-07-14 Du Pont Silicon carbide compositions
US3565643A (en) * 1969-03-03 1971-02-23 Du Pont Alumina - metalline compositions bonded with aluminide and titanide intermetallics

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Journal of The American Ceramic Society, Vol. 39, 1956, Nr. 11, S. 386-389 *
Kieffer - Hotop: Pulvermetallurgie und Sinterwerkstoffe, 2. Aufl., Berlin 1948, S. 13, 38, 44, 283 *
Kieffer, R. - Benesovsky, F.: Hartmetalle, Wien, New York 1965, S. 74, 85, 96-98, 123, 339, 490, 495, 496 *
Tinklepaugh, J.R. - Crandall, W.B.: Cermets, New York 1960, S. 98 *
Z.: Poroshkovaya Metallurgiya Nr.6, Nov./Dez. 1962 *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2176741B1 (de) 1976-04-09
NL180743C (nl) 1987-04-16
CA980809A (en) 1975-12-30
DE2314384B2 (de) 1975-05-15
DE2314384C3 (de) 1981-05-27
AU473060B2 (en) 1976-06-10
FR2176741A1 (de) 1973-11-02
NL7303864A (de) 1973-09-25
SE389663B (sv) 1976-11-15
CH587198A5 (de) 1977-04-29
BR7302097D0 (pt) 1974-07-25
US3836673A (en) 1974-09-17
IT980686B (it) 1974-10-10
NL180743B (nl) 1986-11-17
AU5347073A (en) 1974-09-19
GB1432232A (en) 1976-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2314384A1 (de) Dichte siliciumcarbidkoerper und verfahren zu deren herstellung
DE3205877C2 (de)
DE69111715T2 (de) Selbstarmierte Siliziumnitridkeramik von hoher Bruchzähigkeit und Verfahren zu deren Herstellung.
DE2437522C3 (de) Verfahren zum Herstellen eines Schleifkörpers
DE69113966T2 (de) Verbundpulver aus aluminiumoxyd/metall, cermets daraus und verfahren zu ihrer herstellung.
DE69523866T2 (de) Schleifkörper
EP0078010B1 (de) Praktisch porenfreie Formkörper aus polykristallinem Siliciumnitrid und Siliciumcarbid und Verfahren zu ihrer Herstellung durch isostatisches Heisspressen
DE2412339A1 (de) Monolithische, dichte siliciumnitridkoerper hoher festigkeit
DE2800174C2 (de)
EP0628525B1 (de) Verbundwerkstoffe auf der Basis von Borcarbid, Titanborid und elementarem Kohlenstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
DE69200764T2 (de) Durch druckloses oder niedrigdruckgassintern hergestellte dichte, selbstarmierte siliciumnitridkeramik.
DE68909673T2 (de) Verfahren zur Herstellung von keramischen Pulvern aus Borcarbid und Titandiborid mit Borcarbid als Substrat und danach hergestellte Zusammensetzung.
DE3022213A1 (de) Keramischer formkoerper mit eutektischen gefuegebestandteilen und verfahren zu seiner herstellung
EP0406847A1 (de) Sinterwerkstoff auf Basis von Aluminiumoxid, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung
DE69525258T2 (de) Verfahren zur herstellung von hochfestem porzellan
EP0021239B1 (de) Verfahren zur Herstellung von dichten Formkörpern aus polykristallinem alpha-Siliciumcarbid durch Heisspressen und so hergestellte Formkörper
EP0431165A1 (de) Verfahren zur herstellung keramischen kompositmaterials
DE3002971C2 (de)
DE3040897A1 (de) Verfahren zur herstellung von formkoerpern aus titandiborid
DE3515162A1 (de) Verfahren zur herstellung eines dichten cordierits
DE2009696A1 (de) Durch intermetallische Verbindungen verbundene Massen aus Aluminiumoxid und metallischer Verbindung
DE69309664T2 (de) Sialon-verbundwerkstoffe und verfahren zu ihrer herstellung
DE2742303C2 (de)
EP0692524A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Kieselsäuregranulat und Verwendung des so hergestellten Granulats
DE2923729C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)