DE2312029A1

DE2312029A1 - Vorrichtung zur photoelektrischen untersuchung von photographischen platten

Info

Publication number: DE2312029A1
Application number: DE2312029A
Authority: DE
Inventors: Nils Robert Dahr Aaslund
Original assignee: Saab Scania AB
Current assignee: Saab AB
Priority date: 1972-03-27
Filing date: 1973-03-10
Publication date: 1973-10-04
Also published as: US3829222A; FR2177997B1; FR2177997A1; GB1429536A; DE2312029C3; DE2312029B2; SE354360B

Description

DIPL-ING. HANS W. SCHÖNIN« _{)inn UA}.._BIID_ . ~r

PATENTANWALT ²⁰⁰° HAMBURG 1 . < *

Mönckebergstraße 31

(am Rathausmarkt)

Telefon (0411} 33 80 85

SAAB-SCAHIA AB

ςτΡ/

S +85- 88 Linköping/Schweden Anwalt satte: 3169

Vorrichtung zur photoelektrischen Untersuchung von photographischen Platten.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur photoelektrischen Untersuchung von photographischen Platten mit einem bilderzeugenden Stxahlenpfad, der von der zu untersuchenden Platte zu einer Detektoranordnung führt, die in der Bildebene des Strahlenpfades einen Schlitz aufweist und hinter dem Schlitz einen Signalerzeuger enthält, mit dem das durch den Schlitz durchgelassen Licht in ein elektrisches Signal umgewandelt wird, wobei zur Bestimmung der lege oder der Schwärzung eines be* leuchteten Objektes auf der Platte mit Hilfe dee Signale das Bild quer zur Richtung des Schlitzes periodisch abgelenkt wird.

Das in entsprechenden Heßmaschinen durchgeführte meoha-309840/0822

KONTEN: DRESDNER BANK. KONTO 5807855 - POSTSCHECK HAMBURG 198523

nische Verfahren ersetzt bisherige manuelle Meßverfahren, bei denen man eine photographische Platte, (worunter nachfolgend jede Art von transparenter photographischer Registrierung auf einem zweidimensional geformten dauerhaften Iräger verstanden werden soll) auf einem Koordinaten tisch ablegte und durch eine Relativbewegung zu einem mit Haarlinien versehenen Mikroskop abtastete» Bin interessierender Funkt, eine interessierende Linie oder ein sonstiges Objekt, das die Bedienungsperson hierbei entdeckt, wird lagemäßig definiert, durch eine Ablesung der Koordinaten des Sisches, nachdem zuvor das Objekt mit den Haarlinien zur Deckung gebracht wurde.

Bei einem bekannten photoelektrischen Verfahren wird ein Seil der Platte beleuchtet und hinter diesem Teil an einem Schlitz oder dergl. mit einem photoelektrischen Detektor des von der Platte und dem Schlitz durchgelassene Licht erfaßt» Das Gegenstück zu den Haarlinien der mikroskopischen Verfahren ist hier der Schlitz, wenn man diesen auf der Platte abbilden würde.

Bei dem photoelektrisohen Untersuchungsverfahren, auf das sich die Erfindung insbesondere bezieht, sind ein

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oder mehrere Teile des bilderzeugenden Strahlenpfades so beweglich, daß sich eine periodische schnelle Abtastimg Über einen Abschnitt des beleuchteten Plattenteils ergibt. Zweck dieser Anordnung ist u.a. bei einen Studiua ausgewählter Objekte der Platte eine graphische Serstellung auf dem Schirm eines Oszilloskops oder dergl. zu gewinnen, aus der sich ergibt, wie sich die lichtintensität, d.h. die Schwärzung der Platte innerhalb des abgetasteten Abschnittes verändert. Die erwähnte Ablenkung ist Strahlenpfad läßt sich in verschiedener Welse erreichen. Beispielsweise kann die Detektoranordnung zusammen alt dem Schlitz periodisch so in Bewegung gesetzt werden, daß der Schlitz sich entlang der Ebene des Bildes senkrecht zur Schlitzrichtung bewegt. Die gleiche Wirkung kann man grundsätzlich auch erhalten, wenn sen die Detektoranordnung stationär läßt und dafür ein rotierendes oder schwingendes Prisma in den Strahlenpfad zwischen der reproduzierenden linse und dem Schlitz anbringt. Sin Verfahren der letztgenannten Art ist ausführlicher int schwedischen Patent 325 424 beschrieben.

Sine wesentliche Schwierigkeit bei allen photoelektrlsehen untersuchungsverfahren mit periodischer Abtastung liegt in der Schaffung eines Gegenstückes zu den vorer-

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wähnten Haarlinien, welches nach der Erfassung im Detektor in einer elektrisch lesbaren 3?ora bezüglich der optischen Achse der Meßmaschine eine Angabe über die Lage liefern kann, die von der Platte und dem versohieblionen Teil des Koord inatentiscb.es in jedem Augenblick der Untersuchung eingenommen wird· Bas Intensitätssignal selbst, welches die Setektoranordnung erzeugt und gem auf dem Schirm des Oszilloskopa beobachten kann, liefert keinen Beitrag zu einer solchen Lagehestiamung, da das Signal ein Bild wiedergibt, welches sich ständig in der Ebene des Bildes an dem Peetpunkt vorbeibewegt, an dem sich die optische Achse oder "Haarlinien" befinden. Ss 1st jedoch notwendig, in anderer Weise einen Xegebesugswert au definieren. Dies geschieht bei der Vorrichtung nach dem schwedischen Patent 325 424 durch einen Signal erzeuger, der an dem beweglichen Ablenkungeelement im Strahlenpfad angeordnet ist«

Der Vaohteil eines Signalgebers, der die üageangabe in eiaer suvor festgelegten Stellung dear beweglichen Ablenkungnanordnung liefert, liegt darin, daß durch Refökußsdterung verursachte Änderungen des Strahlenpfadee, welch· die feste optische lege der "Haarlinien" relativ sur Platte verschieben, nicht ohne «inen seitraubenden

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Test kompensiert werden kennen. Die vorliegende Erfindung bringt eine Lösung dieses Problems, durch die der Einfluß solcher systembedingten Fehler völlig ausgeschaltet werden kann und die eine Refokussierung während der laufenden Untersuchung ermöglicht, ohne daß hierdurch das Meßergebnis gefährdet wird«

Biese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Strahlenpfad eine Spiegelanordnung enthält, in die vor der Ablenkungsstelle des Liehtpfades Licht von einem sich getrennt erstreckenden zweiten Strahlenpfad eingeführt wird, welcher in der Bildebene eine sich im zweiten Strahlenpfad befindliche feste Meßnarke wiedergibt, und daß Mittel vorgesehen sind, die dem Licht in den zwei Strahlenpfaden unterschiedliche spektrale Zusammensetzungen geben, um das Licht der beiden Strahlenpfade hinter dem Schlitz trennen zn können.

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und den "beigefügten Zeichnungen, in denen eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beispielsweise veranschaulicht ist.

In den Zeichnungen zeigen:

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Fig. 1 eine schematiscbe perspektivische Ansicht : einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur photoelektrischen Untersuchung von jibotographischen Platten,

Pig. 2 Darstellungen eines abgetasteten, auf

einem Projektionsschirm wiedergegebenen Objektes und deren zugehörige in der Vorrichtung erzeugten Signale,

Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel von in der erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendeten Meßmarken und

Pig. 4 das von den Meßmarken erzeugte elektrische Signal.

Sie flg. 1 zeigt einen ersten Strahlenpfad H, der von einer Gleiehstromlampe 1 durch eine photoelektrische Platte 2 zu einer Setektoranordnung 3 mit einem Schlitz führt, in dessen Ebene ein beleuchteter Seil der Platte scharf wiedergegeben werden soll.

Sie die Platte enthaltende Registrierung kann beispiels-

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weise ein Spektrum mit Linien 5 sein, die sorgfältig studiert werden sollen, um die Lichtintensitätsverteilung iind auch die Relativlage der Spektrallinien zu bestimmen. Es kann sieb aber auch um beliebige andere Arten pbotograpbiscbe Aufzeichnung bandeln, die aus Punkten, Linien oder sonstigen Bildelementen willkürlicher Form besteben, von denen das Haß der Schwärzung und/oder die Lage in mindestens einer Eoordinatenrichtung erfaßt werden soll.

Die Platte 2 befindet sich auf einem schematised dargestelltön Koordlnatentisch, der aus einem die Platte tragenden Halter 6 besteht, welcher vorzugsweise mit einer HilfsSteuerung auf Rollen 7 verschiebbar ist. Pur die Rollen 7 ist auf einem Schlitten eine Axialführung vorgesehen, die sich parallel zu den Seltenkanten der Platte, d.h. in y-Riehtung et streckt. Der Schlitten ist auf zwei weiteren Axialführungen 8 verschieblich, die sich senkrecht zur vorerwähnten Richtung, d.h. in der x-Richtung erstrecken· Auf diese Welse ist es möglich, jeden beliebigen Punkt der photographischen Aufzeichnung auf die optische Achse des Strahlenpfadee auszurichten, wobei die Lage des Punktes mit nicbt dargestellten optlsoh-elektrieeh arbeitenden Meßübertragern gleichzeitig sorgfältig in der Ebene definiert wird.

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Der Strahlenpfad vor der Platte 2 kann ,wie in dem Beispiel dargestellt, aus einem Köhler-Kondensator bestehen, zwischen dessen zwei Linsen 9 und 10 ein sog. Eintrittsschlitz 11 angeordnet ist, um die über einen Spiegel 13 beleuchteten Punkte oder die Oberfläche 12 zu begrenzen, ferner ist eine Lochblende H vorgesehen, mit der man die Lichtintensität im Strahlenpfad verändern kann.

Die Wiedergabe des Punktes oder der Oberfläche erfolgt mit einer Linse 15» die das Licht zu einer Spiegelanordnung 16 überträgt, die vorzugsweise ein sogenanntes Äbbe-Würfelprisma ist. Bei der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsform der Spiegelanordnung kann das von der Linse 15 kommende Licht an drei Stellen austreten. Zwei Liohtaustrittspfade VL· und H_ führen von gegenüberliegenden Seiten der Spiegelanordnung 16 zu den vorerwähnten Schlitzen 4, wobei der zum Lichtpfad ML gehörige Schlitz nicht in den Zeichnungen sichtbar ist. Sin dritter Lichtpfad führt zu einem Prlssa 17 und erzeugt mit Hilfe einer Linse 18 und eines Spiegels 19 auf einem Projektionsschirm 20 ein stark vergrößertes Bild des beleuchteten Objektes.

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Bei dem hier beschriebenen Meßverfahren wird in den I&ehtpfaden H_x und M eine periodische Ablenkung des Bildes in Querrichtung der Schlitze vorgenommen, 00 daß Photodetektoren 21 im Lichtpfad hinter dem Schlitz die Änderungen der Lichtintensität innerhalb eines abgetasteten Abschnittes im wiedergegebenen Stell der Platte 2 erfassen. Die Ablenkung erfolgt durch eine schnell Hin- und Herbewegung des Schlitzes 4 oder durch Einfügen eines Drehprismas im bilderzeugenden Strahlenpfad, der hierdurch wiederholt entlang des Schlitzes abgetastet wird. Bei dem dargestellten Beispiel der Zeichnung geschieht die Ablenkung mit Tibrationsprlsmen 2^.bzw. 22__f die unter Beibehaltung ihrer Bbrmalriohtung schnell entlang einer Ebene bewegt werden, die sich parallel siu den zugehörigen Bildebenen erstreckt« Sie Abtastung mit dem Prisma 22_χ erfolgt in der x-Eiehtung des Koordinaten tlsohes und die dea Priemes 22_ in y-Richtung. Hit den beiden Detektoren 21_χ und 21_ kann nan somit die Lichtverteilung dee im Augenblick Vor der optischen Aohse des Systeme liegenden Punktes auf der Platte 2 in Quertmd Höhenrichtung erfassen. Die Anordnung der Prismen ist ausführlicher im schwedischen Patent 325 424 beschrieben.

üa das so erhaltene Intensitätsprofil bu eichen, kann die

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Torrichtung mit einem optischen Bezugslcanal versehen sein, su dem ein im Strahlenpfad M angeordneter Zerhacker 23 gehört« Dieser Zerhacker 23 hat eine mit optischen Lichtleiterftthrungen 25 und 26 zusammenarbeitende kleine Öffnung 24* Während eines kurzen Intervalle* des Ablenkzyklusses kann ein Teil des Lichtes durchgelassen «erden, welches von der lampe 1 über einen halbtransparenten Spiegel 27 zu einem Eingang der Spiegelanordnung 16 übertragen wird. Von der Spiegelanordnung 16 wird das Licht des 'Bezugskanals in die der gleichen Lichtpfade geleitet, Über die auch das durch die Platte hindurchgehende Licht übertragen wird. Der Strahlenpfad M wird während des Intervenes durch die Scheiben 26 des Zerhackers unterbrochen, so daß kein Licht durch den Zerhacker hindurchgelassen wird und jeder Photodetektor 21 zusätzlich sum Bildsignal einen Impuls kurzer Dauer aussendet, der eine bestirnte iaplitude hat, auf die die erfaßten Intensitätswerte bezogen werden können«

Gea&ß eines besonderen Herkaele der Keßaaechloe let ein swelter Strahlenpfad R vorgesehen, der star Beetinmtmg der Koordinaten des Objektes auf der Platte In x-Richtung und/oder y-Riobtung dient· Auch In diesem falle wird der Strahlenpfad vorzugsweise von dee Licht der Lampe 1

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erzeugt. Diesem Zweck dienen Sammellinsen 29 und 30 und eine Linse 31 vor einem Seiteneingang der Spiegelanordnung 16. Das in die Spiegelanordnung einfallende Liebt wird in den Lichtpfad des £rojektionsscbirmes 20 und auch in die zwei Meß-Lichtpfade "H_x und ML reflektiert, mit denen die Verlängerungen der Achse des Stranlenpfades E Übereinstimmt. Im Strahlenpfad R befindet sich eine Scheibe 32 mit einer Meßmarke, die bezüglich ihrer Punktion den Haarlinien entspricht und die mit Hilfe der Linse 31 in solcher Welse wiedergegeben wird, daß auf der Bildebene der Meß-Licbtpfade oder in deren Sähe, d.h. an den Schlitzen 4 ein scharfes Bild der Meßmarke entsteht, das dem abgelenkten Bild der Platte 2 überlagert wird· Der gleiche Zustand herrscht auch am Projektionsschirm, so daß die Bedienungsperson die Platte so voreinstellen kann, daß sich das zu überprüfende Objekt in der Mitte der Haarlinien befindet·

Die zwei Bilder, die gleichzeitig an den Schlitzen der Detektoranordnung aus den Strahlenpfaden M und R empfangen werden, verursachen - wenn keine weiteren Maßnahmen vorgesehen sind - ein elektrisches Summensignal· Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das Licht jedoch bei der Erfassung getrennt, so daß zwei Bildeignale

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empfangen werden, die man unabhängig voneinander in den nachfolgenden elektronischen Kreisen behandeln loran· Zu diesem Zweck sind die Strahlenpfade mit optisch wirkenden Filtern versehen, die dem Licht unterschiedliche Spektralzusammensetzungen verleihen· Bei der dargestellten Ausführtmgeform geschieht dies beispielsweise dadurch, daß man den transparenten Seil der Meßmarkenscheibe 32 so ausbildet, Saß rotes Licht abgegeben wird, während im Strahlenpfad H an der Sammellinse 9 ein Filter 33 eingeschaltet wird, welches für bleues Licht., oder ein anderes Licht sorgt, dessen Wellenlänge kürzer ist als das Licht hinter der Scheibe 32, Bine entsprechende Auftrennung in der !Detektoranordnung erfolgt dadurch, daß man zusätzlich zum Photodetektor 21 hinter dem Schlitz 4 noch einen weiteren Detektor 34 anordnet, wobei dann jeder Detektorkanal in Analogie mit den vorerwShnten Pilterfunkt ionen im wesentlichen nur Licht einer spektralen Zusammensetzung erfaßt. Der Detektor 21 des Heß-Liontpfades H, bei dem es sioh um einen Photomultiplier mit einer größeren Empfindlichkeit für blaues Licht handeln kann, empfängt das Licht aus dem Liohtpfad H_x über einen halbtransparenten Spiegel 35, ein Abbe-Prisma oder dergl. Der Detektor 34 für den Strahlenpfad R kann eine Photodiode sein, welche die von der

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kommende und durch den gleichen Spiegel hindurchgehende Lichtkomponente erfaßt. Abweichend hiervon kann man zur Verbesserung der Trennung jedem Detektorkanal eine eigene PiIterfunktion verleihen, indem «an mit dem Spiegel 35 das reflektierte licht dem Bezugsdetektor 34 entsprechend der unterschiedlichen Licbtzusammensetzung zuleitet, wobei am Bezugsdetektor 34 auch ein filter 36 vorgesehen sein kann. In diesem letzteren Fall können die Photodetektoren auch gegebenenfalls gleiche Spektralempfindliehkeitskurven haben.

Die in die Idchtpfade H_x und HL reflektierte Meßmarke gibt den elektronischen !reisen die Möglichkeit, automatisch und sehr genau den Teil eines Intensitätsprofiles der abgetasteten Xüchtvertellung an der einen Seite« d.tu in x-Riohtung, der Haarlinien der !teemaschine gegenüber dem an der anderen Seite des Profile liegenden Seil abzugleichen und ein Differenzsignal au erzeugen, welches die Größe der momentanen Abweichung in Mittellinien-Richtung der abgetasteten Itiohtverteilung von den Haarlinien angibt. Wenn man mit dieses Differenz-Signal den Xoordinatentisch und damit auch die Lage des am Schlitz 4 abgetasteten Profiles verstellt und der Detektor 21 seine Relativlage bezüglich der Haarlinien ändert bis das Differenzsignal zu lull wird,

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ergeben die am lisch ablesbaren Koordinaten offensiehtliob ein Maß für die lege des abgetasteten Objektes auf der Platte.

Bei der Intensitäts- und Lagebestimmung in nur einer Koordinatenrichtung kann die Meßmarke 32 im allereinfaobsten Pail eine nichttransparente Scheibe mit einer scharfen Kante sein, die vorzugsweise auf die optische Achse der Maschine zentriert ist, wobei dann das im Bezugskanal durchgelassene Licht bei der Erfassung als Stufen- oder Sprungfunktion in Erscheinung tritt* Wenn es jedoch vie beim dargestellten Beispiel erwünscht ist, die Messungen in den zwei Koordinatenrichtungen gleich-* zeitig durchzuführen, kann die wiedergegebene Harke ein aus der Scheibe herausgeschnittener Quadrant 37 sein. Der-Quadrant wird hierdurch, wie im oberen Seil der Pig. 2 gezeigt, einerseits optisch auf dem Projektionsschirm 20 wiedergegeben, auf dem sich auch ein ausgewähltes Objekt 5 der Platte zeigt. Andererseits erscheint die Heßmarke in jedem Bezugskanal auf einem Oszilloakopsohirm in einer Form, wie es. der untere SeH der Pig. 2 zeigt. Das Signalbild im Mittelteil der Pig. zeigt den abgetasteten Seil der Platte nach der Erfassung im Detektor.

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Die Erfindung umfaßt auch andere AusfuTuruugsf ormen der Kittel zum Einführen elektrisch erfassbarer optischer Meßmarken in Meßmaschinen. Die Jona der Meßmarke läßt sich entsprechend den Voraussetzungen und Desiderata geänderter Verfahren anpassen. Beispielsweise kann die Meßmarke so aussehen, wie es die 3?ig» 3 zeigt* Fig. 3 zeigt ein Schema von getönten Abschnitten« bei denen es sich um lichtdurchlässige Oberfläcbenelemente der HeB-marke handelt« Die anderen feile der iig. 3 sind als nichttransparent gedacht.

Wie dargestellt, besteht die Harke aus einer Anzahl von kleinen Quadraten, die in horizontaler und vertikaler Richtung gleichmäßig verteilt sind, und einem Quadrant, der dem Beispiel der TIg. 2 ähnlich ist· Bas erfaßbare Ergebnis ist hier ein Signalbild entsprechend Fig. 4» welches dadurch entsteht, dad das Bild der Harke bei der Abtastung über den Schlitz 4 blnyeglSuft, gleichgültig, ob es eich uts eine horizontale oder vertikale Abtastung handelt. .. .

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Bel der Abtastung von links nach rechts erzeugt die Marke zu Beginn einen intermittierenden Lichtfluß, der auf einer konstanten Zahl von Quadraten 58 basiert und

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somit eine Impulsfolge 39 liefert, deren Einzelimpulse den gleichen geringen Signalpegel, gleiche Pulsamplituden und Pulebreiten haben. Sobald die geometrische Mitte der Meßmarke passiert ist, bleibt der Lichtfluß noch weiterhin veränderlich und puleiert aufgrund der Quadrate, die auch rechts der Msßmarke vorhanden sind. Ba nun aber auch der Quadrant 37 wirksam wird» entsteht eine Impulsfolge auf einen höheren Signalpegel· Es ist erkennbar, daß der Übergang 40 zwischen diesen zwei Seilen des Signalbildes, den man genau dann auftreten lassen kann, wenn die optische Achse des Meßkanals M passiert wird, eine Stufenfunktion ist, die man in der gleichen Weise wie dls Haarlinien der Sig. 2 verwenden kann, ferner bildet die Impulsfolge eine lÄngenekala, dl· nan unmittelbar zur Lagebesti ramme des untersuchten Objektes auf der photographisoheti Aufeelchnung verwenden kann. Die Verwendung einer solchen Impulse aussendenden Meßmarke führt somit au abweichenden oder zusätz lichen Verfahrenschritten, da der Koordlnatentlsoh £ueamnen Bit der Aufzeichnung vor Her Koordinaten^eeti»- mung bewegt werden nuß. Sin solches Verfahren ist besondere vorteilhaft im Falle von Darstellungen von Objekten, die einander eng benachbart aind.

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unabhängig von ihrer Fnra bat das Bild der MeBaarke eine feste lege bezüglich des Bildes des dargestellten überprüften Objektes. Somit ist eine nachfokussierung des optischen Syeteaa störungefrei durchführbar. Es 1st «u beachten, daß eine solche ffaehfokussierung keinen Parallaxen-Iehler verursacht und dies sogar, wenn der Schlitz 4- unbeabsichtigt seitlich verschoben wird. Ok die fokussierung zu vereinfachen, kann die Betektoranordnung 5 verscbiebbar auf einem zxm Maschinenrahmen gehörigen Geeteil 4-1 angeordnet sein» dessen Führungen sich in Richtung der Lichtpfade M_x be*. H_ erstreoken· Bei einer solchen Hacnfokussienmg handelt es sich Is allgeiieinen ua eine Scharfstellung des photograpBlschen Bildea, die beispielsweise erforäerlioh wird, «eon die Platte eine unebene Oberfläche hat· Dadtaroh, dafi Mn den Besngskanal R telesentrisoh anordnet und die Brennweite besugllcb der Mefioarke größer nacht als dl* besüglioh des Bildes der Platte, wird bei einer lachfokoeeierang die Soharf stellung der Meßaarke nicht oder naehlttseigbax venig gelndert«

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Claims

Patentansprüche

1./ Vorrichtung ear photoelektrieohen Untersuchung von photographischen Platten mit einem bilderseugenden Strahlenpfad, der von der zu untersuchenden Platte BU einer Itetektoranordnung führt, die in der Bildebene des Strahlenpfadee einen Schiita aufweist und hinter de» Schlitz einen Signalerseuger enthält, mit äem das durch den Sohlita durehgelaseene Licht In ein elektrisches Signal umgewandelt wird, wobei but Beetiemmg der lege oder der SobvSraung eines belesenteten Objektes auf der Platte mit Hilfe des Signalee das Bild guer zur Riontong des Sohlltsee periodliich abgelenkt wird, dadurch geleennseiebnet_v deß der Strahlenpfad (H) eine Spiegelanordnung (16) «mthält, in die Tor der Ablenkungsetelle (22) des üientpfadee (K) licht τβη einem slob getrennt erstreckenden »weiten Strahlenpfad (R) eingeführt wird, veleher in der Bildebene eine eich im eveitan Straoleiipfad "befindliche fest« HefinarlDt (52) wiedergibt, und daß lütt·! (55) Tozgesehen sind, die den Lieht in den mei etrahlenpfaden (M₁R) untereehiedliohe epektrale gnrin—engfttznmgen geben, tm das Idoht der beides Strablenpfadö hinter dem Schiit« (4) trennen en können·

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2» Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Fc'ISiseiereinrichtung (4-1) für die bilderaeugenden Strahlenpfade (M₃., HL), mit welcher der SchlHas (4) vorzugsweise zusammen mit der Setektoranordnung (21,34) in Richtung der Strablenpfade (H_x, R_) bewegbar ist, wobei die Meßmarke (32) dee streiten Strahlenpfades (R) in solcher Weise projiziert wird, daß deren Scharfeinstellung "bei der nachfokussierung nicht verlorengeht.

3· Vorrichtimg nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dafi die Heßmarke eine nichttraneparente Scheibe (32) ist, aus der ein sektorföriniger feil (37) herausgeschnitten ist, deren Kanten senkrecht aufeinander— stehen und von der Soneibenaitte ausgehen.

4· Vorrichtung nach Ansprach 1 oder 3t dadurch gekennzeichnet, daß die Meßaarke roreugsweis· in Verbindung mit den sektorföraigen Seil (37) gea&B Inepruoh 3 ein Hetss von Quadraten. (58) in gleich weit voneinander entfernten» sieh unter einem reohten Winkel schneidenden .Reiben enthält, welche aioh parallel su den Kanten dee sektorförmigen Seil·· (37) erstrecken und am Detektor eine Iapulereih· erseugen.

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