DE1810188C3 - Vorrichtung zur Abstandsmessung - Google Patents

Vorrichtung zur Abstandsmessung

Info

Publication number
DE1810188C3
DE1810188C3 DE1810188A DE1810188A DE1810188C3 DE 1810188 C3 DE1810188 C3 DE 1810188C3 DE 1810188 A DE1810188 A DE 1810188A DE 1810188 A DE1810188 A DE 1810188A DE 1810188 C3 DE1810188 C3 DE 1810188C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiator
laser
measured
time counting
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1810188A
Other languages
English (en)
Other versions
DE1810188A1 (de
DE1810188B2 (de
Inventor
Robert-Alfred Angleur Pirlet (Belgien)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre de Recherches Metallurgiques CRM ASBL
Original Assignee
Centre de Recherches Metallurgiques CRM ASBL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre de Recherches Metallurgiques CRM ASBL filed Critical Centre de Recherches Metallurgiques CRM ASBL
Publication of DE1810188A1 publication Critical patent/DE1810188A1/de
Publication of DE1810188B2 publication Critical patent/DE1810188B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1810188C3 publication Critical patent/DE1810188C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/10Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders using a parallactic triangle with variable angles and a base of fixed length in the observation station, e.g. in the instrument
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/46Indirect determination of position data
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/0007Applications not otherwise provided for

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Abstandsmessung, insbesondere für die Ermittlung des Profils einer Oberfläche, mit einem eine elektromagnetische Strahlung auf die Oberfläche, deren Profil zu bestimmen ist, aussendenden Strahler und einem relativ zum Strahler ortsfest angeordneten Objektiv, das die an der Oberfläche zurückgeworfenen Strahlen empfängt und als Bildsignal auf einem Bildschirm abbildet.
Eine Einrichtung dieser Art ist nach dem DE-Gbm 59 198 bekannt. Dabei wird ein Lichtspalt auf der Oberfläche eines Werkstückes, dessen Dicke mittels einer Werkzeugmaschine abgetragen werden soll, abgebildet und dieses Bild mittels der Optik über eine Strahlenteilungsplatte auf den mit einer Teilung versehenen Bildschirm geworfen, so daß man aus der Stellung des abgebildeten Spaltes auf dem Bildschirm ermitteln kann, wie weit sich die Oberfläche des Werkstückes jeweils von dem aus Strahler und Objektiv bestehenden Teil der Einrichtung befindet. Man kann also durch Ablesen das jeweilige Maß der Oberfläche des Werkstückes ermitteln. Dies setzt eine konzentrier te Beobachtung voraus und führt bei unscharfen Spaltabbildungen, wie sie sich auf Grund der sich ändernden Abstandslage der Werkstückoberfläche von der genannten Einrichtung ergeben, zu nicht mehr völlig
S eindeutigen Ableseergebnissen. Um eine von subjektiven Einflüssen des Messenden freie Aussage zu erzielen, wird der reflektierte Lichtstrahl weiterhin in zwei einen Winkel mit der optischen Achse bildende Strahlengänge aufgeteilt, von denen jeder mittels eines fcwoelektrisehen Empfängers gemessen wird. Eine Verschiebung des Bildes führt dann zu unterschiedlichen Fotoströmen der beiden fotoelektrischen Empfänger, die dann eine Aussage über den Abstand der Oberfläche des Werkstückes zulassen.
IS Nach der BE-PS 6 82 292 ist auch bei einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art die Verwendung einer Fernsehkamera im Zusammenhang mit dem Objektiv bekannt Der Steradiant der Fernsehkamera erfaßt dabei die gesamte zu beobachtende Fläche. Wenn nun nach einer vorgegebenen Gesetzmäßigkeit die Strahlerachse geändert wird, werden auch die zurückgeworfenen Strahlen an entsprechend unterschiedlichen Stellen aufgenommen, so daß man insgesamt ein Bild der Oberfläche entsprechend der Gesetzmäßigkeit der Richtungsänderung der Strahlerachse erzielen kann. Die quantitative Erfassung dieses Bildes ist bei Aufnahme- beispielsweise mittels eines Fernsehschirms möglich, indem man einerseits eine Zählung von Bildzeilen und andererseits eine Zählung auf jeder einzelnen Bildzeile vornimmt, woraus sich dann der Winkel und der Abstand für die Stellung eines jeden Bildpunktes ermitteln läßt. Eine derartige elektronische Zählung ist nicht nur durch die Verwendung zweier Zähler, sondern auch durch die Auswertung der von den beiden Zählern ermittelten Meßwerte aufwendig.
Ein weiteres Verfahren zur optischen Abstandsbestimmung ist nach der FR-PS 15 04 539 bekannt. Dabei finden zwei enge Strahlenbündel in paralleler Lage zueinander Verwendung, die von zwei Stellen eines Gegenstandes, dessen Maße überwacht werden müssen, reflektiert werden. Die Entfernung der beiden Stellen des Gegenstandes ergibt sich aus einer Differenzmessung. Es ist also zumindest auf der Senderseite ein doppelter Aufwand gegenüber dem eingangs genannten Stand der Technik erforderlich.
Vom einleitend genannten Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, bei Ausschaltung subjektiver Beobachtungsfehler die Verwendung einer doppelten optoelektronischen Messung im Hinblick auf den dafür erheblichen Aufwand ebenso wie die Verwendung einer doppelten elektronischen Zählung zu vermeiden.
Dies wird beim einleitend beschriebenen Stand der Technik erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die aus dem Strahler und einer mit dem Objektiv versehenen Fernsehkamera bestehende Gruppe um ihre Verbindungslinie als Achse verschwenkbar ist, und daß eine Zeitzählanordnung für die Abtastzeit zwischen dem empfangenen Bildsignal und einem festen Bezugspunkt des Bildschirms vorgesehen ist, die ein dem zu messenden Abstand entsprechendes Digitalsignal erzeugt.
Somit kommt man bei Verwendung nur eines einzigen ausgesendeten Strahls durch jeweils nur einen einzigen Zählvorgang zu der gewünschten Aussage über das Profil der Oberfläche des Werkstücks.
Das durch die Zeitzählanordnung erzeugte Ausgangs-
signal ist ein Digitalsigna!. Man kann je nach der vorgesehenen Signalverarbeitung selbstverständlich auch zu einem kontinuierlichen Analogsignal kommen, wenn an die Zeitzählanordnung ein Analogrechner angeschlossen ist, der aus der Zeitzählung ein dem zu messenden Abstand entsprechendes Analogsignal erzeugt.
Zur Erzielung einer größtmöglichen Ausstrahlungsstärke des Strahlers mit sehr hoher Richtungsgenauigkeit wird bevorzugt als Strahler ein Laser vorgesehen, und zwar zweckmäßig ein auf Impulsbasis arbeitender Laser. Gegenüber der Erzeugung von Bildpunkten auf der zu messenden Fläche mittels Linsen hat die Verwendung des Laserstrahls noch den Vorteil, daß unabhängig vom Abstand der zu messender. Fläche der Bildpunkt stets von gleichbleibender Schärfe ist.
Um die Eigenstrahlung der zu messenden Oberfläche zu eliminieren, wird zweckmäßig noch ein diese Eigenstrahlung ausschaltender Interferenzfilter in den Strahlengang zur Fernsehkamera eingeschaltet.
Bei Verwendung eines Impulslasers als Rmissionsquelle sind nach einem weiteren Merkmal der Erfindung Mittel für die synchrone Auslösung des Impulses relativ zur Vorderflanke der Zeile vorgesehen, auf der die Zeitzählung zur Ortung der Stellung des Bildes erfolgt. Diese Methode ist deshalb vorteilhaft, weil hierbei das Maximum der während der Zeilenabtastzeit ausgestrahlten Energie ausgenutzt und die Emission während der Abtastung der anderen Zeilen unterbrochen werden kann.
Zur weiteren Veranschaulichung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen. Darin zeigen, jeweils in schematischer Darstellung
Fig. 1 die geometrische und elektronische Gesamtanordnung, wohingegen
Fig.2 den für den Empfang dei Bildpunktes vorgesehenen Bildschirm eines Fernsehgerätes wiedergibt.
S Wie sich aus F i g. 1 erkennen läßt, wird ein Strahl EP vom Strahler £auf die Oberfläche des Profils geworfen. Dieser Strahl trifft die Oberfläche im Punkt P. Ein zurückgeworfener Strahl PR wird von der Fernsehkameras R erfaßt, die bezüglich des Strahlers £ ortsfest
ίο ist. Die optische Achse der Fernsehkamera R ist mithin bezüglich der Linie ERnM des Strahls fPfixiert, jedoch muß sie nicht unbedingt zu EP koplanar sein. Das Bild des Punktes /"wird, wie Fig.2 erkennen läßt, in der Ebent π an der Stelle P'aufgefangen und kann mithin auf einer zwischen den Punkten A und B verlaufenden Geraden geortet werden. In der Regel befindet sich die Gerade AB im wesentlichen in der Mitte des Bildschirms.
Die aus Strahler und Fernsehkamera besiehende Gruppe ist um die Achse ER verseb-'-enkbar, wodurch sich die Stellung des Punktes P auf QT Oberfläche des Profils und mithin auch die Stellung des Punktes f'auf dem Bildschirm verändert. In jeder Stellung des Punktes Pgestattet eine einzige Zählung der zwischen P und B abgelaufenen Zeit Δ t die Bestimmung des Abstandes EP. Das Verhältnis zwischen Δι und EP wird durch At = I(EP) ausgedrückt, wobei der Wert von EP numerisch durch ein Digitalsignal SD in einet Zeitzählanordnung Z oder durch ein Analogsignal SA auf Grund einer kontinuierlichen Umwandlung der Zeit Δ t in eine stets meßbare Spannung Δ vdurch einen an die Zeitzählanordnung Z angeschlossenen Analogrechner Vausgedrückt werden kann.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zur Abstandsmessung, insbesondere für die Ermittlung des Profils einer Oberfläche, mit einem eine elektromagnetische Strahlung auf die Oberfläche, deren Profil zu bestimmen ist, aussen denden Strahler und einem relativ zum Strahler ortsfest angeordneten Objektiv, das die an der Oberfläche zurückgeworfenen Strahlen empfängt und als Bildsignal auf einem Bildschirm abbildet, dadurch gekennzeichnet, daß die aus dem Strahler (E) und einer mit dem Objektiv versehenen Fernsehkamera (R) bestehende Gruppe um ihre Verbindungslinie als Achse (ER) verschwenkbar ist, und daß eine Zeitzählanordnung (Z) für die Abtastzeit zwischen dem empfangenen Bildsignal von einem festen Bezugspunkt des Bildschirms vorgesehen ist, die ein dem zu messenden Abstand fEPJentspr'xhendes Digitalsignal (SD)erzeugl.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Zeitzählanordnung (Z) ein Analogrechner (V) angeschlossen ist, der aus der Zeitzählung ein dem zu messenden Abstand entsprechendes Analogsignal (SA) erzeugt.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, da& als Strahler (E) ein Laser vorgesehen ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser als Impulslaser ausgeführt ist.
5. Vorriciitung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß .in die Eigenstrahlung der zu messenden Oberfläche ausschaltendes Interferenzfilter in den Strahlengang zur Fernsehkamera (/^eingeschaltet ist.
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines Impulslasers als Emissionsquelle Mittel für die synchrone Auslösung des Impulses relativ zur Vorderflanke der Zeile vorgesehen sind, auf der die Zeitzählung zur Ortung der Stellung des Bildes erfolgt.
DE1810188A 1967-11-24 1968-11-21 Vorrichtung zur Abstandsmessung Expired DE1810188C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE707075 1967-11-24

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1810188A1 DE1810188A1 (de) 1969-08-14
DE1810188B2 DE1810188B2 (de) 1977-08-18
DE1810188C3 true DE1810188C3 (de) 1978-04-27

Family

ID=3851872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1810188A Expired DE1810188C3 (de) 1967-11-24 1968-11-21 Vorrichtung zur Abstandsmessung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3610754A (de)
BE (1) BE707075A (de)
DE (1) DE1810188C3 (de)
FR (1) FR1592779A (de)
GB (1) GB1225000A (de)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3773422A (en) * 1971-04-07 1973-11-20 Singer Co Calculating linear dimensions from tv images
FR2139663B1 (de) * 1971-05-28 1973-05-25 France Etat
US3895870A (en) * 1971-06-01 1975-07-22 Autech Corp Laser dimension comparator
JPS5539810B2 (de) * 1972-03-22 1980-10-14
JPS5542433B2 (de) * 1972-11-16 1980-10-30
US4123650A (en) * 1974-02-26 1978-10-31 Kazuya Hosoe Range finder system
JPS5118564A (ja) * 1974-08-06 1976-02-14 Sokkisha Romenototsujidokeisokushisutemu
US4063283A (en) * 1975-04-03 1977-12-13 Chemetron Corporation Automatic envelope measuring system
JPS5290246A (en) * 1976-01-23 1977-07-29 Hitachi Ltd Material information input unit
US4081214A (en) * 1976-07-06 1978-03-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Low altitude optical altimeter
JPS5337455A (en) * 1976-09-18 1978-04-06 Iwatsu Electric Co Ltd Distance measuring device
JPS5337456A (en) * 1976-09-18 1978-04-06 Iwatsu Electric Co Ltd Distance measuring device
JPS5337454A (en) * 1976-09-18 1978-04-06 Iwatsu Electric Co Ltd Distance measuring device
US4227813A (en) * 1977-03-10 1980-10-14 Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Research In De Metallurgie Process for determining a dimension of an object
CH628138A5 (de) * 1977-10-06 1982-02-15 Tino Celio Verfahren und vorrichtung zur messung der entfernung eines zielobjekts durch beaufschlagung mit einem strahlenbuendel sowie anwendung des verfahrens.
US4373804A (en) * 1979-04-30 1983-02-15 Diffracto Ltd. Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects
US4294544A (en) * 1979-08-03 1981-10-13 Altschuler Bruce R Topographic comparator
FR2485959B1 (fr) * 1980-06-13 1986-07-18 Centre Rech Metallurgique Procede et dispositif pour controler la planeite des toles metalliques
US4905151A (en) * 1988-03-07 1990-02-27 Transitions Research Corporation One dimensional image visual system for a moving vehicle
US4896343A (en) * 1988-05-02 1990-01-23 Saunders Allan M Radiation apparatus with distance mapper for dose control
US4954962A (en) * 1988-09-06 1990-09-04 Transitions Research Corporation Visual navigation and obstacle avoidance structured light system
US5040116A (en) * 1988-09-06 1991-08-13 Transitions Research Corporation Visual navigation and obstacle avoidance structured light system
US5051906A (en) * 1989-06-07 1991-09-24 Transitions Research Corporation Mobile robot navigation employing retroreflective ceiling features
US7050177B2 (en) * 2002-05-22 2006-05-23 Canesta, Inc. Method and apparatus for approximating depth of an object's placement onto a monitored region with applications to virtual interface devices
US7006236B2 (en) * 2002-05-22 2006-02-28 Canesta, Inc. Method and apparatus for approximating depth of an object's placement onto a monitored region with applications to virtual interface devices
US20030165048A1 (en) * 2001-12-07 2003-09-04 Cyrus Bamji Enhanced light-generated interface for use with electronic devices
US7340077B2 (en) * 2002-02-15 2008-03-04 Canesta, Inc. Gesture recognition system using depth perceptive sensors
US10242255B2 (en) 2002-02-15 2019-03-26 Microsoft Technology Licensing, Llc Gesture recognition system using depth perceptive sensors
AU2003219926A1 (en) * 2002-02-26 2003-09-09 Canesta, Inc. Method and apparatus for recognizing objects
US7310431B2 (en) * 2002-04-10 2007-12-18 Canesta, Inc. Optical methods for remotely measuring objects
US7203356B2 (en) 2002-04-11 2007-04-10 Canesta, Inc. Subject segmentation and tracking using 3D sensing technology for video compression in multimedia applications
AU2002326992A1 (en) * 2002-05-22 2003-12-12 Canesta, Inc. Method and apparatus for approximating depth of an object's placement onto a monitored region
US7151530B2 (en) 2002-08-20 2006-12-19 Canesta, Inc. System and method for determining an input selected by a user through a virtual interface
US7526120B2 (en) * 2002-09-11 2009-04-28 Canesta, Inc. System and method for providing intelligent airbag deployment
US20040066500A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-08 Gokturk Salih Burak Occupancy detection and measurement system and method
US7439074B2 (en) * 2003-09-30 2008-10-21 Hoa Duc Nguyen Method of analysis of alcohol by mass spectrometry
US8009871B2 (en) 2005-02-08 2011-08-30 Microsoft Corporation Method and system to segment depth images and to detect shapes in three-dimensionally acquired data
MY177646A (en) * 2014-02-28 2020-09-23 Icm Airport Technics Australia Pty Ltd Luggage processing station and system thereof
CN104859562A (zh) * 2015-05-27 2015-08-26 北京信息科技大学 用于检测车辆后方障碍物的方法及装置
CN109631710A (zh) * 2019-01-08 2019-04-16 京东方科技集团股份有限公司 游标卡尺、距离测量方法及存储介质
CN110595363A (zh) * 2019-08-21 2019-12-20 广州幻境科技有限公司 一种三维虚拟建模方法、系统、装置及存储介质
CN114812427B (zh) * 2022-04-22 2023-05-02 重庆大学 一种具有纳米级分辨率的超快成像系统
CN116878419B (zh) * 2023-09-06 2023-12-01 南京景曜智能科技有限公司 基于三维点云数据的轨道车辆限界检测方法、系统及电子设备

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2996946A (en) * 1956-01-20 1961-08-22 Irving R Brendholdt Optical device including gating circuits, adjustable in time and duration
US3409368A (en) * 1964-01-07 1968-11-05 Martin Marietta Corp Ranging device

Also Published As

Publication number Publication date
BE707075A (de) 1968-05-24
DE1810188A1 (de) 1969-08-14
GB1225000A (en) 1971-03-10
US3610754A (en) 1971-10-05
FR1592779A (de) 1970-05-19
DE1810188B2 (de) 1977-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1810188C3 (de) Vorrichtung zur Abstandsmessung
DE2812593C2 (de) Vorrichtung zur automatischen Fokussierung des optischen Systems eines Mikroskops
DE2325457C3 (de) Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Objektes
DE1930111B2 (de) Optische Vorrichtung zum Messen der Bewegung von gegeneinander bewegten Teilen
DE3021448A1 (de) Verfahren und anordnung zur erfassung raeumlicher abweichungen von einer glatten ebene an oberflaechen von gegenstaenden
DE2750109C2 (de) Vorrichtung zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere des Durchmessers
DE3039425A1 (de) Einrichtung zur fotoelektrischen bestimmung der lage mindestens einer schaerfenebene eines bildes
DE3333830C2 (de) Verfahren zur Laserentfernungsmessung mit hoher Auflösung für den Nahbereich
DE4027328A1 (de) 3d-kamera zur erfassung von oberflaechenstrukturen, insbesondere fuer zahnmedizinische zwecke
DE1588018B2 (de) Einrichtung zur x,y-positionierung von kreuztischen
DE2312029C3 (de)
DE2144487B2 (de) Einrichtung zur beruhrungslosen Messung
DE1159174B (de) Vorrichtung zum Messen der gegenseitigen Lage zweier Objekte
EP0222787B1 (de) Verfahren und anordnung zur ausrichtung, prüfung und/oder vermessung zweidimensionaler objekte
DE2340688B2 (de) Lesevorrichtung fuer optisch erfassbare digitale codierungen
DE1016945B (de) Verfahren zur beruehrungslosen Laengenmessung
DE2917971A1 (de) Verfahren zur automatischen auswertung von eindruecken bei der haertepruefung von werkstoffen und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE1804028B2 (de) Ablesevorrichtung für Meßteilungen oder andere periodische Objekte
DE2528515B2 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen fokussierung eines optischen geraetes mit einem abtastgitter
DE3336579C2 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Schußdichte eines bewegten Gewebes
DE1588018C3 (de) Einrichtung zur x,y-Positionierung von Kreuztischen
DE3232833A1 (de) Entfernungszonenmesseinrichtung
DE2251915A1 (de) Vorrichtung zum feststellen von flekken oder fehlern in einer oberflaeche
DE102018107710B4 (de) Intraoraler parallelkonfokaler Oberflächenscanner mit Störlichtsubtraktion
DE1273828B (de) Photoelektrische Einrichtung zur Ermittlung der Breiten- oder Dickenabweichung einesGegenstandes von einem Sollwert

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee