DE2306827A1 - Drehtisch fuer eine elektronenstrahlbearbeitungsmaschine - Google Patents

Drehtisch fuer eine elektronenstrahlbearbeitungsmaschine

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DE2306827A1
DE2306827A1 DE19732306827 DE2306827A DE2306827A1 DE 2306827 A1 DE2306827 A1 DE 2306827A1 DE 19732306827 DE19732306827 DE 19732306827 DE 2306827 A DE2306827 A DE 2306827A DE 2306827 A1 DE2306827 A1 DE 2306827A1
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DE
Germany
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vacuum chambers
electron beam
fixed plate
vacuum
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Pending
Application number
DE19732306827
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Malcolm John Billings
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOC Group Ltd
Original Assignee
British Oxigen Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by British Oxigen Ltd filed Critical British Oxigen Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting

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FR (1) FR2172216B3 (cg-RX-API-DMAC10.html)
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DE102008061245B3 (de) * 2008-12-10 2010-01-28 Wega-Konstruktion GbR (vertretungsberechtigte Gesellschafter: Matthias Seuß und Steffen Hänsel, 09125 Chemnitz) Rundtaktmaschine für die Elektronenstrahlbearbeitung von Werkstücken und Verfahren zu deren Betreiben
DE102011120157B4 (de) * 2011-12-06 2017-08-31 Evobeam GmbH Vakuumbearbeitungsvorrichtung

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DK135257B (da) * 1975-07-09 1977-03-21 Danfysik As Apparat til ion-implantation i emner, især skiver af halvledermateriale.

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AU6103573A (en) 1975-04-10
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GB1426865A (en) 1976-03-03
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