DE2261664C3 - Differenzdruck-Meßumformer - Google Patents
Differenzdruck-MeßumformerInfo
- Publication number
- DE2261664C3 DE2261664C3 DE2261664A DE2261664A DE2261664C3 DE 2261664 C3 DE2261664 C3 DE 2261664C3 DE 2261664 A DE2261664 A DE 2261664A DE 2261664 A DE2261664 A DE 2261664A DE 2261664 C3 DE2261664 C3 DE 2261664C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- mechanical
- electrical converter
- chamber
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0618—Overload protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
Description
60
Die Erfindung bezieht sich auf einen Differenzdruck-Meßumformer gemäß dem Gattungsbegriff des Anspruchs
I. Aus der DE-OS 20 40 786 ist ein Meßumformer bekannt, bei dem der mechanisch-elektrische
Umformer eine Öffnung im starren Bodenteil eines als druckempfindliches Element dienenden Balgens
verschließt, wobei der Boden zugleich als einer der beiden Schließkörper des Überlastungsschutzventils
dient, dessen anderer Schließkörper auf der gegenüberliegenden Seite des Durchlasses über eine Ventilstange
mit dem genannten Bodenteil verbunden ist.
Weiterhin zeigt die US-PS 30 58 350 einen Differenzdruck-Mefiumformer
mit je einem auf beiden Druckeingangsseiten vorgesehenen Druckübertragungsbalgen,
einer den Raum zwischen den beiden Dxuckübertragungsbalgen
unterteilenden starren Trennwand, einem in diese eingesetzten, mit einem Dehnungsmeßstreifengeber
gekoppelten Meßbalgen, welcher auf der Außenseite von dem Druck in der dem einen Druckübertragungsbalgen
zugewandten Teilkammer und auf der Innenseite dem Druck in der dem anderen Druckübertragungsbalgen
zugewandten Teilkammer ausgesetzt ist, sowie mit zwei jeweils mit entgegengesetzter
Wirkrichtung an die beiden Teilkammern angeschlossenen vorgespannten Überdruck-Ausgleichsbalgcn, deren
Federsteifigkeit wesentlich geringer ist als die des Dehnungsmeßstreifengebers in Verbindung mit dem
Meßbalgen. Sobald der Differenzdruck einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet, fällt der mit seiner
Außenseite dem Überdruck ausgesetzte Ausgleichsbalgen zusammen und ermöglicht das Einströmen der im
Innenraum des angeschlossenen Druckübertragungsbalgen befindlichen Druckflüssigkeit in den frei werdenden
Raum, so daß der Druckübertragungsbalgen ebenfalls zusammengedrückt wird und mit seiner Endscheibe
den Eingang zu der mit ihm in Verbindung stehenden Teilkammer verschließt. Damit wird der Differenzdruck
begrenzt und der Überdruck vom Meßbalgen ferngehalten. Mit dem Verschwinden des Druckes
auf der Oberdruckseite geht aber ebenso wie beim Differenzdruck-Meßumformer gemäß DE-OS 20 40 786
das elektrische Ausgangssignal unter den das Vorhandensein eines übermäßigen Differenzdruckes anzeigenden
Betrag zurück. Die Überdruck-Ausgleichsbalgen dienen hier der hydraulischen Steuerung der durch die
Endscheibe der Druckübertragungsb-ilgen gebildeten
Schließkörper zweier Überlastungsschutzventile.
Ferner ist aus der GBPS Il 06 284 ein Differenzdruck-Meßumformer
nach dem Gattungsbegriff des Anspruchs 1 bekannt, bei dem das dem mechanischelektrischen Umformer parallelgeschaltete nachgiebige
Element in Form eines zusätzlichen Balgen dem Übertemperaturschutz dient. Wenn die auf der einen Seite
des Umformers liegende flüssigkeitsgefüllte Kammer durch das Überdruckventil geschlossen ist und die Flüssigkeit
in dieser Kaminer infolge Wärmezufuhr ihr Volumen ausdehnt, soll es einen Druckausgleich zwischen
den beiden Meßkammern schaffen und damit den mechanisch-elektrischen Umformer vor Überbeanspruchung
schützen. Um die Genauigkeit der Differenzdruckmessung unter normalen Bedingungen nicht zu
beeinträchtigen, erscheint es dabei naheliegend, die Nachgiebigkeit dieses Ausgleichelements kleiner zu
wählen als die des Umformers.
Des weiteren ist aus der DE-AS 14 98 205 ein Diffe
renzdruck-Meßumformer bekannt, welcher eine zusätzliche mittels eines Kolbens oder Balgens abgeschlossene
Kammer zur Aufnahme der bei auftretendem einseitigem Überdruck ausweichenden Flüssigkeitsmenge
vorsieht, wobei der Kolben bzw. Balg erst nach Überschreiten einer mittels einer vorgespannten Feder gebildeten
Kraftschwelle frei wird. Auch hier ist die Nachgiebigkeit des Ausgleichelements geringer, d. h. seine
Steifigkeit größer als die des Umformers.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Differenzdruck-Meßumformer so auszugestalten, daß
im Fall einer Überlastung nicht nur durch das Überlastungsschutzventil
den mechanisch-elektrischen Umformer gefährdende Differenzdrücke von diesem ferngehalten
werden, sondern zugleich das elektrische Ausgangssignal des Meßumformers anzeigt, daß ein Überlastungszustand
vorhanden ist Es soll also verhindert werden, daß im Überlastungsfall beim Schließen des
Überlastungsventils das elektrische Ausgangssignal auf einen Wert zurückgeht, welcher innerhalb des Normalbereichs
liegt. '
Diese Aufgabe wird gelöst durch die im Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmale. Die Erfindung führt zu
einem platzsparenden und übersichtlichen Aufbau und zu hoher Zuverlässigkeit des Meßumformers.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben '
sich aus den Unteransprüchen. Die Befestigung des mechanisch-eiektrischen
Umformers ortsfest an~ einem starren Trägerteil hat den Vorteil, daß die elektrischen
Anschlußleitungen, weiche den Umformer mit dem äußeren Stromkreis verbinden, keinen Biegebeanspruchungen
ausgesetzt sind und überhaupt nicht flf-.abei zu
sein brauchen.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand eines in den Zeichnungen wiedergegebenen Ausführungsbeispiels
erläutert. Darin zeigt
F i g. 1 im Schnitt den Differenzdruck-Meßumformer,
F i g. 2 Teile des Überlastungsschutzventils beim Aufsetzen des den Schließkörper umgebenden Dichtungsringes
auf den Ventilsitz,
F i g. 3 die gleichen Teile, wenn durch weiteren Druckanstieg der Dichtungsring so weit verformt ist,
daß der Schließkörper selbst auf dem Ventilsitz aufliegt,
F i g. 4 den mechanisch-elektrischen Umformer mit seinen elektrischen Anschlußleitungen und den Anschlußblock
für die Verbindung mit den äußeren Zuleitungen,
F i g. 5 ein Blockschaltbild eines elektrischen Anzeigestromkreises
mit einem mechanisch-elektrischen Umformer in Form einer aus druckempfindlichen Widerständen aufgebauten Brückenschaltung und
F i g. 6 den Verlauf des elektrischen Ausgangssignals,
und zwar im mittleren Teil bei geöffnetem Überlastungsschutz ventil, d.h. im normaler: Arbeitsbereich
des Differenzdruck-Meßumformers, und zu beiden Seiten hiervon im Fall einer Überlastung, also bei geschlossenem
Überlastungsschutzventil. Die ausgezogene Linie zeigt dabei den Vt/-lauf des Ausgangssignals A
beim Differenzdruck-Meßumformer gemäß der Erfindung, während die gestrichelten Kurven den Verlauf
bei herkömmlichen Differenzdruck-Meßumformern wiedergeben, wo zwar der mechanisch-elektrische Umformer
durch das Überlastungsschutzventil geschützt wird, aber im Überlastungsfall das Ausgangssignal B
Werte annimmt, welche innerhalb des normalen Betriebsbereichs liegen können.
Im Ausfführungsbeispiel gemäß F i g. I ist ein starres
Gehäuse 1 innen durch zwei gleiche Membranen 2 und 3 in eine öberdruckkammer 4 und eine Niederdruckkammer
5 unterteilt, welche über Einlasse 6 und 7 mit den Drücken beaufschlagt werden, deren Differenz gemessen
werden soll. Zwischen den beiden Dichtmembranen 2 und 3 ist der Innenraum des Gehäuses 1 weiterhin
durch eine starre Wand 8 und eine zusammengesetzte Wand 9 in drei wd'.-re Kammern 10, 11 und 12
unterteilt, von denen die Kammern 11 und 12 über einen Durchlaß 13 in der Wand 8 miteinander in Ver-
bindung stehen. Alle drei Kammern 10,11 und 12 sowie
der DurchlaQ 13 sind mit einer inkompressiblen Flüssigkeit
gefüllt, welche bei der Herstellung des Meßumformers über Kugelventile 14 und 15 eingefüllt wird.
Die zusammengesetzte Wand 9 umfaßt einen starren Wandteil 16 des Gehäuses 1, welcher zwei öffnungen
bildet, in die eine Buchse 17 mit dem Überlastungsschutzventil und ein Block 18 mit dem mechanischelektrischen
Wandler und einem nachgiebigen Element eingesetzt sind. Die Buchse 17 und der Block 18 sind als
auswechselbare Einsätze ausgebildet und mittels Dichtungsringen 19 gegenüber dem Wandteil 16 abgedichtet
Dieser Aufbau der zusammengesetzten Wand 9 erleichtert den Zusammenbau des Meßumformers und
gegebenenfalls den Austausch der beweglichen Teile innerhalb des Gehäuses 1.
Der mechanisch-elektrische Umformer, der auf dem Block 18 angeordnet ist, besteht aus einer dünnen Platte
20 eines Silicium-Einkristalls, auf dem mit Hilfe einer entsprechenden Diffusions- oder Dof.ertechnik eine
druckempfindliche Widerstandsbrücke als Wheatstone-Brücke angeordnet ist. Diese Platte 20 verschließt eine
öffnung am einen Ende eines innen hohlen Trägers 21, der von einer keramischen Schutzkappe 22 umgeben
wird. Diener Träger 21 bildet eine flüssigkeitsundurchlässige
Erweiterung eines Durchlasses 23 im Block 18 und ist als Teil der Kammer 11 im Gehäuse 1 anzusehen.
Daher ist die eine Seite der Platte 20 über den Durchlaß 23 mit dem Inneren der Kammer 11 verbunden,
während die andere Seite der Platte einen Teil der Innenwand der Kammer 10 bildet. Folglich ist der von
der Platte 20 aufgenommene Druck gleich dem Differenzdruck zwischen den Kammern 10 und II. Dünne
Drähte 24 verbinden die Widerstandsbrücke auf der Platte 20 elektrisch mit einer Leiterplatte 25, deren
Aufbau am besten in Fig.4 dargestellt ist. Die Platte
ist am Gehäuse 1 befestigt und führt zu einem Anschlußblock 26, der eine öffnung in der einen Wand der
Kammer 10 verschließt.
Ein nachgiebiges Element besteht aus einem Balgen 27. der auf der zur Platte 20 entgegengesetzten Seite
des Blockes 18 angebracht ist. Dieser Balgen 27 ist gegenüber einem am Block vorhandenen Fortsatz, der
einen großen Teil des Innenraums des Balgens einnimmt, abgedichtet. Der Rest des Volumens des Balgens
steht über einen Durchlaß 28 im Block 18 in dauernder Verbindung mit dem Inneren der Kammer
10. Das Äußere des Balgens ragt vollständig ins Innere der Kammer 11. Damit bildet der Balgen 27 ebenso wie
die Platte 20 einen Teil der zusammengesetzten Wand 9, die die Kammern 10 und 11 voneinander trennt. Wegen
seiner Nachgiebigkeit spricht der Balgen 27 ebenfalls, aui Druckdifferenzen zwischen diesen Kammern
10 und 11 an.
Das Überlastungsschutzveniil, das von der Buchse 17 getragen ist, enthält einen Betätigungsbalgen 30, der
mit seinem offenen Ende abdichtend mit einem ringförmigen Ansatz im m"eren der Buchse 17 verlötet ist.
Dieser Balgen 30 umgibt einen ersten Ventilschließkörper 31 Und wird durch diesen am änderen Ende Verschlossen.
Der Schließkörper 31 hat die Fonn eines Vollzylinders und ist koaxial zum Durchlaß 13 in der
starren Trennwand 8 angeordnet, welche die Kammern
11 und 12 voneinande- trennt. Die Ventilstange 32 ist mit dem Ventilkörper 31 verschraubt und koaxial im
Abstand durch den Durchlaß 13 hindurchgeführt. In der Kammer 12 ist an der Ventilstange ein zweiter Schließkörper
33 befestigt, so daß beide Schließkörper starr
miteinander verbunden sind. Ein mit Gewinde versehener Teil der Ventilstange 32, der als Stangenende aus
dem Schließkörper 33 herausragt, ist durch eine zentrale öffnung einer S-förmigen Blattfeder 34 geführt und
mit Hilfe zweier Schraubenmuttern 35 fest mit der Blattfeder verbunden. Die Feder ist an beiden Enden
durch Schrauben an der starren Wand 8 befestigt. Mil Hilfe der Muttern 35 läßt sich die axiale Lage der Ventilstange
32, in der sie durch die Blattfeder 34 gehalten wird, einstellen. Dies dient der Bestimmung der Größe m
des Überlastungsdifferenzdruckes, der am druckempfindlichen Element 30 herrschen muß. um die Kraft der
Blattfeder 34 zu überwinden, um mil einem der Schließkörper
31 und 33 den Durchlaß 13 zu schließen.
leder der beiden Schließkörper 31 und 3) bildet an
einer flachen Stirnseite einen ringförmigen Absatz, der auf die starre Trennwand 8 aufsetzt, um den Durchlaß
13 zu schließen. Auf diesen beiden ringförmigen Absätzen der Schließkörper 31 und 33 sind dichtende
O-Ringe 36 bzw. 37 so angeordnet, daß sie über die
flache Stirnfläche überstehen. Wie für die O-Ringdichtung 36 in F i g. 3 angedeutet ist, verformt sich jeder
O-Ring 36.37 beim Schließen des Ventils.
Während des Betriebes ist die Widerstandsbrücke auf der dünnen Siliciumplatte 20, die als mechanischelektrischer
Umformer dient, über ein Kabel vom Anschlußblock 26 mit einer in F i g. 5 gezeigten Schaltung
verbunden. Diese Schaltung besteht aus einer Stromversorgung 40, einem konstanten Strom erzeugenden
Regler 43, einem temperaturkompensierten Verstärker 41 und einem Amperemeter 42, dessen Meßbereich
zwischen 4 und 20 mA einem Differenzdruck zwischen 0 und 100% entspricht und welches mit einer in prozentualem
Differenzdruck geeichten Skala versehen ist.
Wirkt über die Einlasse 6 und 7 eine normale, den Umformer 20 nicht überlastende Druckdifferenz, so
zeigt das Amperemeter 42 eine Druckdifferenz zwischen 0 und 100% an. Liegt die einwirkende Druckdifferenz
außerhalb dieses Bereiches, dann schließt der als druckempfindliches Element wirkende Balgen 30 den
Durchlaß 13 in der Trennwand 8. Steht beispielsweise der höhere Druck am Einlaß 6, dann wird die O-Ringdichtung
36 des Schließkörpers 31, wie in F i g. 2 gezeigt, gegen die Trennwand 8 gepreßt und verschließt
den Durchlaß 13 und damit die Kammer 11. In diesem Fall zeigt aber das Amperemeter 42 einen Überlastungsdruck
oberhalb 100% an. Ein solcher Fall wird in F i g. 6 gezeigt, wo die ausgezogene Kurve A des Ausgangssignals
die zweite senkrechte Linie von rechts schneidet.
Steigt der Druck in Kammer 10 weiter an, so bringt das druckempfindliche Element 30 unter Verformung
der O-Ringdichtung 36 den Schließkörper 31 aus der in
F i g. 2 gezeigten Stellung in die Stellung nach F i g. 3. Während der Schließkörper 31 die Stellung nach
F i g. 2 verläßt, verringert das druckempfindliche Element 30 das innere Volumen der Kammer Il so lange,
bis die Stirnfläche des Schließkörpers 31, wie in F i g. 3 gezeigt, fest auf der Trennwand 8 aufsitzt. Da die Kammer
11 mil Flüssigkeil gefüllt und durch den O Ring 36
gegen den Auslaß 13 abgedichtet ist. bewirkt die Volumenverringerung in Kammer 11 ein Ansteigen des
Kammerdruckes. Dies führt zu einer Abnahme der Druckdifferenz an der dünnen Siliciumplatte 20, die als
mechanisch-elektrischer Umformer dient. Der höchsle Punkt in der ausgezogenen Kurve A des Ausgangssignals
(rechts in F i g. 6) enlsprichl dem Zeilpunkt während des Zusammendriickens der O-Ringdichtung 36, in
welchem der außerordentliche Druckanstieg in Kammer 11 eine Abnahme des Ausgangssignals hervorruft.
Bevor jedoch die Abnahme der Druckdifferenz an der Platte 20 einen nennenswerten Abfall des Ausgangssignals
bewirkt, führt der außerordentliche Druckanstieg in der Kammer 11 zu einem Zusammendrücken
des nachgiebigen F.lements 27. Das Innenvolumen des nachgiebigen Elements 27 wird im selben
Maße verringert wie das Volumen der Kammer 11 infolge
des Zusammendrückens der O-Ringdichtung 36 zunimmt. Als wirksamer Teil der die Kammern 10 und
11 trennenden zusammengesetzten Wand 9 überträgt das nachgiebige Element 27 den ungewöhnlichen
Druckans'.'eg in der Kammer 11 auf die Kammer 10.
Hierdurch virkt das Element 27 jeder weiteren Abnahme der Druckdifferenz an der Platte 20 und somit
gleichzeitig einer Abnahme des vom Umformer gelieferten Ausgangssignals entgegen. Die Nachgiebigkeit
des Elements 27 ist hinreichend größer als die der dünnen Siliciumplatte 20 und gewährleistet, daß das Ausgangssignal
im Überlastungsfall nicht unter einen 100% Differenzdruck entsprechenden Wert sinkt und somit
die Überlastung am Amperemeter 42 angezeigt bleibt. Die Abnahme des Ausgangssignals hört auf, wenn der
Schließkörper 31 selbst auf dem Ventilsitz aufliegt.
Die Arbeitsweise des Meßumformers bei einer überlastenden Druckdifferenz im umgekehrten Sinn, d. h.
mit einem höheren Druck in Kammer 12, unterscheidet sich nicht wesentlich von dem gerade beschriebenen
Verlauf. Kurzerhand führt der Überdruck in Kammer
12 zum Zusammenpressen der O-Ringdichtung 37 und infolge der Ausdehnung des Balgens 30 zur Vergrößerung
des Volumens der Kammer U. Der hierdurch bedingte außerordentliche Druckabfall in der Kammer 11
führt zur Ausdehnung des nachgiebigen Elements 27 und somit zur Beseitigung eines entsprechenden
Druckanstiegs in Kammer 10. Unter der Voraussetzung, daß der niedere Druck in Kammer 10 nicht wesentlich
unter den Druck beim Schließen des Durchlasses 13 durch die O-Ringdichtung 37 und den Schließkörper
33 absinkt, zeigt das Amperemeter 42 eine Überlastung an. Die Arbeitsweise des Meßumformers
bei Überlastung im gerade genannten Sinn ist auf der linken Seite in F i g. 6 dargestellt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Differenzdruck-Meßumformer mit einem an einer inneren Trennwand seines Gehäuses gehaltenen
flexiblen mechanisch-elektrischen Umformer sowie einem durch ein druckempfindliches Element
gesteuerten, in einem Durchlaß der Trennwand angeordneten Überlastungsschutzventii, über welches
die eine Seite des mechanisch-elektrischen Umformers mit der einen Druckeingangskanimer des
Meßumformers in Verbindung steht, während die andere Seite des mechanisch-elektrischen Umformers
dem Druck in der anderen Druckeingangskammer ausgesetzt ist und wobei zwischen dem
Überlastungsschutzventil und der einen Seite des mechanisch-elektrischen Umformers eine durch
Deformation der Dichtungsmittel des Überlastungsschutzventils
·η ihrem Volumen veränderbare Kammer gebildet und ein nachgiebiges Element dem mechanisch-elektrischen
Umformer parallel geschaltet und Teil der gleichen Kammerwand ist, in welcher
auch der mechanisch-elektrische Umformer angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß
die Nachgiebigkeit des nachgiebigen Elements (27) größer gewählt ist als die des inechanisch-elektrischen
Umformers (20).
2. Gerät nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß das nachgiebige Element (27) an einem in
einen starren Teil (16) der Trennwand (9) abgedichtet eingesetzten Einsatz (18) befestigt ist.
3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Einsatz (18) i-ugleich den mechanischelektrischen Umformer (20) trag und zusammen
mit diesem und dem nachgiebigen Element (27) auswechselbar im starren Wandteil (16) befestigt ist.
4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das nachgiebige Element
(27) und das druckempfindliche Element (30) auf der einen Seite dem Druck in der Kammer (11) und auf
der anderen Seite dem Druck in der anderen Druckeingangskammer (10) ausgesetzt sind.
5. Gerät nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das nachgiebige Element
(27) ein Balgen und sein Innenraum durch einen in ihn hineinragend;n Ansatz des Einsatzes (18) teilweise
gefüllt ist.
6. Gerät nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in den den Einsatz (18)
mit dem nachgiebigen Element (27) tragenden starren Teil (16) der Trennwand (9) ein das der Steuerung
des Überlastungsschutzventils (31 bis 33, 36. 37) dienende druckempfindliche Element (30) haltender
weiterer Einsatz (17) abgedichtet und zusammen mit dem druckempfindlichen Element auswechselbar
eingesetzt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US21036571A | 1971-12-21 | 1971-12-21 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2261664A1 DE2261664A1 (de) | 1973-07-05 |
DE2261664B2 DE2261664B2 (de) | 1976-03-11 |
DE2261664C3 true DE2261664C3 (de) | 1978-04-13 |
Family
ID=22782626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2261664A Expired DE2261664C3 (de) | 1971-12-21 | 1972-12-16 | Differenzdruck-Meßumformer |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3712143A (de) |
JP (1) | JPS5228671B2 (de) |
CA (1) | CA971386A (de) |
DE (1) | DE2261664C3 (de) |
FR (1) | FR2165618A5 (de) |
GB (1) | GB1363208A (de) |
IT (1) | IT974113B (de) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5112437B2 (de) * | 1971-10-01 | 1976-04-19 | ||
JPS5222973A (en) * | 1975-08-14 | 1977-02-21 | Fuji Electric Co Ltd | Pressure measuring device |
JPS5233575A (en) * | 1975-09-09 | 1977-03-14 | Fuji Electric Co Ltd | Differential pressure measuring device |
CA1078217A (en) * | 1976-03-31 | 1980-05-27 | Robert C. Whitehead (Jr.) | Force transducing cantilever beam and pressure transducer incorporating it |
US4072058A (en) * | 1976-05-03 | 1978-02-07 | Honeywell Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection |
CA1077294A (en) * | 1976-05-03 | 1980-05-13 | Honeywell Inc. | Pressure transmitter with simplified pressure sensing head |
DE2657933C3 (de) * | 1976-12-21 | 1984-01-05 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Differenzdruck-Meßumformer mit Überlastschutz |
DE2659376C2 (de) * | 1976-12-29 | 1982-10-21 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Differenzdruck-Meßzelle |
US4120206A (en) * | 1977-01-17 | 1978-10-17 | Rosemount Inc. | Differential pressure sensor capsule with low acceleration sensitivity |
JPS5451585U (de) * | 1977-09-16 | 1979-04-10 | ||
US4203327A (en) * | 1978-06-29 | 1980-05-20 | Honeywell Inc. | Piezoresistive silicon strain sensors and pressure transducers incorporating them |
JPS5550131A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-11 | Hitachi Ltd | Electronic transmitter |
US4218925A (en) * | 1979-06-27 | 1980-08-26 | Honeywell Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection |
JPS5687194A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-15 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
JPS5687196A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-15 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
US4285244A (en) * | 1980-02-13 | 1981-08-25 | Honeywell Inc. | Non-symmetrical overload protection device for differential pressure transmitter |
US4345476A (en) * | 1980-07-25 | 1982-08-24 | Bourns Instruments, Inc. | Differential pressure transducer with high compliance, constant stress cantilever beam |
FR2498755A1 (fr) * | 1981-01-27 | 1982-07-30 | Ams Sa | Appareil de protection pour capteurs de pressions differentielles contre le depassement d'une pression differentielle maximale donnee |
US4563901A (en) * | 1983-09-09 | 1986-01-14 | International Telephone & Telegraph Corp. | Transducer |
DE3341987A1 (de) * | 1983-11-21 | 1985-05-30 | Samson Ag, 6000 Frankfurt | Ueberdrucksicherung fuer eine differenzdruckmesszelle |
US4693121A (en) * | 1985-06-05 | 1987-09-15 | The Foxboro Company | Differential-pressure measuring apparatus with improved overpressure protection |
US4766769A (en) * | 1985-06-05 | 1988-08-30 | The Foxboro Company | Differential-pressure measuring apparatus with improved arrangement for coupling pressures to a semiconductor sensor |
DE9017855U1 (de) * | 1990-11-17 | 1992-05-07 | Honeywell Elac Nautik Gmbh, 2300 Kiel, De | |
DE4211816C2 (de) * | 1992-04-08 | 1995-08-31 | Danfoss As | Drucksensor |
DE9314579U1 (de) * | 1993-09-29 | 1993-12-09 | Walcher Mestechnik Gmbh | Differensdruck-Meßumformer |
US5605574A (en) * | 1995-09-20 | 1997-02-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor wafer support apparatus and method |
US7698951B2 (en) * | 2008-05-27 | 2010-04-20 | Honeywell International Inc. | Pressure-sensor apparatus |
CN103487203A (zh) * | 2013-10-11 | 2014-01-01 | 湖州三井低温设备有限公司 | 一种低温高压往复泵用压力表减振结构 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3058350A (en) * | 1959-10-06 | 1962-10-16 | Statham Instrument Inc | Differential pressure transducer |
US3313158A (en) * | 1965-07-23 | 1967-04-11 | Statham Instrument Inc | High overload pressure transducer |
-
1971
- 1971-12-21 US US00210365A patent/US3712143A/en not_active Expired - Lifetime
-
1972
- 1972-11-24 CA CA157,475A patent/CA971386A/en not_active Expired
- 1972-12-05 GB GB5614572A patent/GB1363208A/en not_active Expired
- 1972-12-15 IT IT54766/72A patent/IT974113B/it active
- 1972-12-16 DE DE2261664A patent/DE2261664C3/de not_active Expired
- 1972-12-19 FR FR7245294A patent/FR2165618A5/fr not_active Expired
- 1972-12-21 JP JP47127739A patent/JPS5228671B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5228671B2 (de) | 1977-07-28 |
US3712143A (en) | 1973-01-23 |
CA971386A (en) | 1975-07-22 |
JPS4871687A (de) | 1973-09-27 |
GB1363208A (en) | 1974-08-14 |
IT974113B (it) | 1974-06-20 |
DE2261664A1 (de) | 1973-07-05 |
FR2165618A5 (de) | 1973-08-03 |
DE2261664B2 (de) | 1976-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2261664C3 (de) | Differenzdruck-Meßumformer | |
EP0086737B1 (de) | Druck- oder Druckdifferenzmessgerät mit einer vor Überlastung geschützten Drucksensor-Einrichtung | |
DE2718931A1 (de) | Differenzdruckumformer | |
DE2640235C2 (de) | Differenzdruck-Meßeinrichtung | |
EP3588042B1 (de) | Druckelement | |
DE102016008508A1 (de) | Differenzdruckwandleranordnung mit Überdruckschutz | |
DE3436440A1 (de) | Halbleiter-messeinrichtung | |
DE1573664A1 (de) | Vorrichtung zum Messen von Druckdifferenzen | |
DE1241151B (de) | Auf einen Stroemungsdruck ansprechende mechanische Betaetigungsvorrichtung | |
EP1275951B1 (de) | Drucksensor und Verfahren zu dessen Betriebsüberwachung | |
DE102007060184A1 (de) | Frostsichere Einrichtung für einen Raum mit einem Medium | |
DE2429123C3 (de) | Differenzdruck-Meßgerät | |
DE2626475A1 (de) | Luftdruckpruefgeraet fuer kraftfahrzeugreifen | |
DE2038868A1 (de) | Elektrischer Druckwandler | |
DE2657933C3 (de) | Differenzdruck-Meßumformer mit Überlastschutz | |
DE558690C (de) | Einrichtung zum Messen oder Registrieren von Druckaenderungen mit Hilfe eines Kondensators | |
DE2734853C2 (de) | Filter zur Reinigung von Flüssigkeiten | |
DE2659376C2 (de) | Differenzdruck-Meßzelle | |
EP0423462A1 (de) | Einrichtung zur Überwachung der Dichtigkeit eines Fahrzeugreifens | |
DE3436184C1 (de) | Überdrucksicherung für Druckmeßsysteme | |
DE4408926C1 (de) | Vorrichtung zum Messen von Drücken an mehreren Meßstellen | |
DE1298479B (de) | Einrichtung zum Messen der Verformbarkeit von Erdreich, Gestein od. dgl. in einem Bohrloch | |
DE2448629B2 (de) | Differenzdruck-Meßzelle | |
DD154242A1 (de) | Messumformer zum messen von druckdifferenzen | |
DE2541786C3 (de) | Differenzdruckmesser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |