DE2258690B2 - Schaltung zum Vergleichen der Werte zweier Impedanzen - Google Patents

Schaltung zum Vergleichen der Werte zweier Impedanzen

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Description

Die Erfindung betrifft eine Schaltung zum Vergleichen der Werte zweier Impedanzen einer zu messenden Impedanz und einer Bezugsimpedanz, die von einer Wechselstrom-Erregerquelle gespeist werden, mit zwei weiteren an einem <. rsten Anschluß miteinander verbundenen impedanzen, deren zweiter Anschluß zu der Meß- und Bezugsimpedanz führt und wenigstens zwei der Impedanzen aus Gleichstrom abblockenden Impedanzen bestehen, weiter mit Mitteln zum Erzeugen eines Signal?, welches der Differenz zwischen der ersten und zweiten Impedanz entspricht und mit einer Einrichtung zum Anzeigen der Impedanzdifferenz zwischen der Bezugsimpedanz und der zu messenden Impedanz.
Eine derartige Schaltung ist bereits bekannt und dient ebenso dazu, Wechselstromwiderstände miteinander zu vergleichen. Die bekannte Schaltung wird von einer Wechselspannung gespeist und besteht aus zwei im wesentlichen gleichen Schaltungshälften, so daß die Wechselspannung zu einer Serienschaltung führt, die aus zwei gleichen Kondensatoren oder anderen Wechselstromwiderständen besteht. Zu dem einen Kondensator Hegt parallel eine Serienschaltung, die aus dem Normalkondensator und einer Gleichrichteranordnung besteht, parallel zurt. zweiten Kondensator liegt der abzugleichende Kondensator und ebenfalls wieder eine Gleichrichteranordnung, An Stelle des Bezugskondensators und des zu messenden Kondensators können auch andere unbekannte Wechselstromwiderstände verwendet werden. Die Gleichrichter besitzen bei dieser bekannten Schaltung gleiche Kennlinien und sind mit gleichen ohmschen Nebenschlußwiderständen überbrückt. Die Schaltung enthalt insgesamt zwei
Gleichrichter, die gegeneinander geschaltet sind. Wenn nun bei dieser bekannten Schaltung die Bezugsimpedanz und zu messende Impedanz gleich groß sind, so sind auch die Wechselspannungen an den Gleichrichtern gleich groß, so daß infolgedessen auch die in ent- s gegengesetzter Richtung durch die Widerstände fließenden Richtströme gleich groß sind. Die an den Widerständen entstehenden Gleichspannungen verlaufen jedoch entgegengerichtet, so daß ein zu diesen beiden Widerständen parallelgeschaltetes Gleichstrominstrument in diesem Fall stromlos bleibt. Um von dem Gleichstrominstrument den Wechselstrom fernzuhalten, muß in Reihe zu diesem eine Drosselspule geschaltet werden.
Weicht nun der Kapazitätswert des zu messendem Kondensators von dem Kapazitätswert des Vergleichskondensators ab, dann entstehen an den Gleichrichtern verschiedene Wechselspannungen, die verschieden große Richtströme und damit verschieden große Gleichspannungen an den Widerständen zur Folge haben. Diese Gleichspannungen heben sich dann nicht mehr auf, und es fließt ein Gleichstrom durch das Gleichstrominstrument. In jedem FaIc muß jedoch immer eine Halbwelle der Erregerspannung durch beide Kondensatoren hindurch, damit der gesamte Stromkreis geschlossen wird. Dies bedeutet jedoch, daß der Stromfluß durch jeweils einen der Widerstände mit vom Widerstandswert des jeweils gegenüberliegenden Kondensators mit beeinflußt wird, also beispielsweise die durch den oberen Gleichrichter hindurchgelangende Halbwelle der Erregerspannung, die bere'ts einen Kondensator passiert hat, auch zwangläufig durch den anderen Kondensator hindurch muß, um wieder zur Wechselstromquelle zurückzugelangen (deutsche Piaientschrift641 523).
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, die Schaltung der eingangs definierten Art insbesondere hinsichtlich der Empfindlichkeit und Genauigkeit der Messung bzw. Anzeige zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die zu messende Impedanz und die Bezugsimpedanz an ihrem einen Anschluß uisammengeschallet sind, daß entweder die Bezugsimpedanz und die zu messende Impedanz oder die weiteren Impedanzen aus Gleichstrom abblockenden impedanzen bestehen, daß die Mittel zum Erzeugen des Signals immer nur die eine Halbwelle entsprechend der einen Polarität der Erregergröße vom zweiten Anschluß der Bezugsimpedanz zum zweiten Anschluß einer der zwei weiteren Impedanzen bzw. vom zweiten Anschluß der zu messenden Impedanz zum zweiten Anschluß der anderen der zwei weiteren Impedanzen überträgt, jedoc1.: iti<mer die andere Halbwelle entsprechend der anderen Polarität der Erregergröße zum zweiten Anschluß der Bezugsimpedanz zum zweiten Anschluß der anderen SS der zwei weiteren Impedanzen bzw. vom zweiten Anschluß der zu messenden Impedanz zum zweiten Anschluß der einen der zwei weiteren Impedanzen überträgt.
Erfindungsgemäß wird also im Gegensatz zu dem Bekannten die jeweilige Halbwelle nur immer durch eine der Impedanzen geleitet, also entweder durch die Bezugsimpedanz oder durch die zu messende Impedanz, jedoch gelangt eine Halbwelle niemals gleichzeitig durch beide Impedanzen.
Dies bedeutet jedoch, daß bei der Schaltung nach der vorliegenden £t*indung der Strom der jeweiligen Halbwelle immer nur durch den Impedanzwert einer der beiden Impedanzen verändert wird, jedoch niemals von beiden Impedanzen. Da es sich jedoch immer um zwei Halbwellen, der positiven und der negativen Halbwelle handelt, ergibt sich bei der Scnaltung nach der Erfindung eine sehr viel größere Empfindlichkeit der Anzeige als bei der bekannten Schaltung, woraus sich jedoch auch die Tatsache ergibt, daß die Schaltung nach der vorliegenden Erfindung genauer arbeitet
Im einzelnen kann die Erfindung dadurch elite "orteilhafte Weiterbildung erfahren, daß die Anzeigeeinrichtung aus einem Tiefpaßfilter, um das Signal zu filtern, und einem Anzeigegerät besteht, am das Signal nach Passieren des Tiefpaßfilters anzuzeigen.
Um die Schaltung auch bei einer sehr schwachen Erregerspannung voll betriebsfähig zu machen, kann eine Einrichtung zum Verstärken der Differenz zwischen den Signalen vorgesehen sein, die an den zweiten Anschlüssen der zwei weiteren Impedanzen entstehen. Zweckmäßig besitzt die erste und die zweite der weiteren Impedanzen einen wesentlich kleineren Impedanzwert als die Bezugsimpedanz und die zu messende Impedanz, wobei das mcmvotane elektrische Potential über der Bezugsimpedanz und der zu messenden Impedanz nahezu gleich ist.
Eine besonders günstige und genaue Messung läßt sich auch dadurch erzielen, daß die erste und die zweite der weiteren Impedanzen mit der Bezugsimpedanz und der zu messenden Impedanz auf die Frequenz der Erregergröße der Quelle abgestimmt sind.
Eine besonders vorteilhaft Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um eine der Erregergröße in der ersten der weiteren Impedanzen entgegengesetzte Größe zu induzieren, die von der Erregung in der zweiten der weiteren Impedanzen abhängig ist, und um eine der Erregergröße in der zweiten der weiteren Impedanzen entgegengesetzte Größe zu induzieren, die von der Erregung in der ersten der weiteren Impedanzen abhängig ist.
Eine besonders einfache Ausführuwgsform der Erfindung besteht darin, daß die Mittel zum Erzeugen des Signals aus vier in Reihe geschalteten angepaßten Halbleiterdioden bestehen, die so geschaltet sind, daß sie in gleicher Richtung leiten >jnd mit der ersten und der zweiten der weiteren Impedanzen eine elektrische Verbindung an gegenüberliegenden Punkten zwischen den Dioden in dem Leitungspfad aufweisen und ebenso mit der Bezugsimpedanz und der zu messenden Impedanz jeweils elektrischen Kontakt an zwei gegenüberliegenden Verbindungspunkten zwischen den Dioden in dem Lei'ungspfad haben.
Gemäß einer noch weiteren Ausführungsform kann jede Diode in dem Leitungspfad eine mit ihr in Reihe geschaltete impedanz aufweisen, die jeweils zwischen den Verbindungspunkten mit der nächsten der Dioden in den Leitungspfad geschaltet Lt
Um zu verhindern, daß der Meßstrom durch Leckström ~ nachteilig beeinflußt wird, kann es schließlich zweckmäßig sein, die zu messende Impedanz und die Bezugsimpedanz von einer elektrischen Abschirmvorrichtung zu umgeben.
Im folgenden wird die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 ein Schaltschema teilweise als Blockschaltbild und teilweise als Stromlaufplan einer bevorzugten Aus* führungsform nach der Erfindung, und
F i g. 2 ein Schaltschema teilweise als Blockschaltbild und teilweise als Stromlauf plan einer anderen ög
22 68
chen Ausführungsform des Gegenstandes von F i g. 1.
Das in F i g. 1 gezeigte bevorzugte Ausführungsbeispiel enthält einen Oszillator 12, der eine Wechselstromquelle darstellt und dessen hochliegender Ausgang mit der einen Seite eines ersten und eines zweiten Gleichspannung abblockenden Impedanzzweiges 14 und 16 elektrisch verbunden ist. Eine Diodenmatrix 18 besteht aus vier in Reihe geschalteten angepaßten Halbletterdioden 20. die einen geschlossenen Stromkreis bilden, wobei alle Dioden für eine Leitung in glei- eher Richtung ausgerichtet geschalte! sind. Die erste und die zweite Impedanz 14 und 16 sind elektrisch mit der Matrix 18 an gegenüberliegenden Verbindungspunkten 22 und 24 zwischen den Dioden 20 verbunden. Die verbleibenden Verbindungspunkte 26 und 28 der Diodenmatrix 18 sind elektrisch mit einem Anschluß einer variablen zu messenden Impedanz und einer Bezugsimpedanz 30 und 32 verbunden. Die anderen Anschlüsse der impedanzen 30 und 32 sind nach Masse geführt, und zwar einem Punkt, der auch gemeinsam von der niedrig liegenden Seite des Oszillators !2 zusammengeschaltet ist.
Die Verbindungspunkte 22 und 24 sind elektrisch in Kontakt mit der einen Seite von Induktivitäten 34 und 36. wobei der andere Anschluß derselben elektrisch Ober Gleichstrommeßgeräte 38 und 40 nach Masse geführt sind und elektrisch mit den Eingiingen eines Differenzverstärkers 42 verbunden sind.
Die Impedanzen 14. 16. 30, und 32 können dominierend ohmschen, induktiven oder kapazitiven Charakter haben, und zwar bei der Frequenz der Quelle 12. solange die Impedanzen 14 und 16 einen gleichspannungsmäßig offenen Kreis aufweisen. Von besonderem Interesse ist der Fall, bei welchem diese Impedanzen alle kapazitiv sind, und insbesondere der Fall, bei dem die Impedanzen 14 und 16 wesentlich kleiner sind als die Impedanzen 30 und 32 In diesem Fall sind die momentanen Spannungen über den Impedanzen 30 und 32 nahezu gleich, so daß nur eine geringe Strombelastung an der Schaltung durch Streukapazitäten zwischen den Verbindungspunkten 26 und 28 auftritt, wobei diese Kapazitäten typisch dicht beieinander angeordnete Kapazitätsabtast- und Abgleichelektroden einer kapazitiven Meßsonde sein können. Dieses Merkmal gestattet ebenso einen linearen Betrieb dieser Schaltung, wenn die Impedanzen 30 und 32 wesentlich voneinander abweichen.
Der durrn die Impedanzen 30 und 32 fließende Strom ist proportional zum Wert dieser Impedanzen. Da (Se Diodenmatrix 18 den Strom von den Verbindungspunkten 22 und 24 zu den Impedanzen 30 und 32 leitet, was von der Polarität des Stromes abhängig ist, so fließt die eine Halbwelle des Stromes am Verbindungspunkt 22 durch eine der Impedanzen 30 und 3Z und die andere Halbwelle fließt über die andere Impedanz. Gleichzeitig fließt der Strom am Verbindungspunkt 24 durch die Impedanz 30 oder 32 in umgekehrter Richtung, und dort, wo die Impedanzen 30 und 32 ungleich sind, weisen die Stromhalbwellen entgegengesetzter Polarität an jedem Verbindungspunkt 22 und 24 eine unterschiedliche Größe auf. wobei dieser Größenunterschied die Differenz zwischen den Impedanzwerten der Impedanzen 30 und 32 kennzeichnet Die Differenz in den Stromhalbwellen an den Verbindungspunkten 22 und 24 fuhrt zu einem Ladungsaufbau an den Impedanzzweigen 14 und 16. dieser Gleichspannungsaufbau wird jedoch über die Elemente 34 und 36 zu den Meßgeräten 38 und 40 und/oder Verstärker 42 geshun tet. Der Gleichspannungsmitlelwert oder der Strom halbwellenunterschied an den Verbindungspunkten Z und 24, der von Null auf einen Betrag abweicht, wel eher die Differenz zwischen den Impedanzen 30 und 3, wiedergibt, stellt die Ausgango«nzeige oder das Aus gangssignal der Schaltung dar.
Dieser Gleichspannungsmittelwert an den Verbin dungspunkten 22 und 24 ist klein, verglichen mit dei Wechselstromkomponente an diesen Punkten. Da jedoch nur die Stromunterschiede und nicht die gesamter Schaltungsströme durch die Meßgeräte 38 und 40 oder den Verstärker 42 fließen, können die Filterelemente 34 und 36 dazu verwendet werden. Wechselströme hoher Frequenz zu sperren, während die Gleichstromkomponente zu den Meßgeräten 38 und 40 oder dem Verstärker 42 gelangt. Die Elemente 34 und 36 können Induktivitäten mit ziemlich großem (mpedanzwert bei der Frequenz der Quelle 12 oder irgendein Tiefpaßfilter sein.
Die Filterelemente 34 und 36 können an die Verbindungspunkte 26 und 28 ebenso angeschlossen werden, sie erzeugen jedoch eine Streuimpedanzbelastung.
Die Diodenmatrix 18 sieht eine Gleichrichtung vor. so daß das interessierende Signal an den Verbindungspunkten 22 und 24 ein Gleichstromsignal ist. Nichtsdestoweniger fließt der gesamte Strom durch die Dioden 20. und die Spannungslast der Schaltung stellt sicher, udß diese Dioden voll leitend werden und daß deren Nichtlinearitäten eine\i minimalen Einfluß auf die Linearität des Ausgangssignals ausüben. Wenn man Dioden 20 mit gleichem Kennlinienverlauf verwendet und diese in gleicher Umgebung mit gleichen Bedingungen hält, so wirken sich durch Störeinflüsse hervorgerufene Änderungen bei allen Dioden in gleicher Weise aus. so daß keine Fehlergrößen an den Verbindungspunkten 22 und 24 in Erscheinung treten können.
Eine nützliche, jedoch stark beeinträchtigte Ausfüh rungsform läßt sich bei der Schaltung von F i g. I errei chen. wenn eine der Impedanzen 30 und 32 zusammen mit den zwei an diese angeschlossenen Dioden weggelassen wird.
Eine Verbesserung der vorher geschilderten Schal tungen läßt sich verwirklichen durch Verwendung einer Schutzeinrichtung 45. die zumindest teilweise die Impe danzen 30 (und 32). die durch die Quelle 12 gespeist werden, einschließt oder umgibt. Wenr die Impedanzen 14 (und/oder 16) klein sind, verglichen mit den Impedanzen 30 und 32, so hält die Schutzvorrichtung 45 Magnetfelder von der Meß- und Bezugsimpedanz fern, und die Beeinflussung durch Streukapazitäten wird minima! gehalten.
Die Impedanzen 14 und 16 können einen Impedanzwert bei der Frequenz der Quelle 12 aufweisen, der ziemlich nahe gleich dem Impedanzwert der Impedanzen 30 und 32 ist In diesem Fall erzeugen die ungleichen Ströme durch die Impedanzen 14 und 16. wenn die Impedanzen 30 und 32 ungleich sind oder unsymmetrisch sind, sowohl einen Gleichstrom als auch eh? Gieichstrompotentialsignal an den Verbindungspunkten 22 und 24. Der dynamische Bereich der Schaltung kann ebenso dadurch erhöht werden, indem man weitere Dioden oder Impedanzen 44 in Reihe mit jeder Diode 20 in der Matrix 18 schaltet
In F i g. 1 können die Impedanzen 14 und 16 mit den Impedanzen 30 und 32 auf die Frequenz der Queue 12 abgestimmt sein. Die Impedanzen 14 und 16 können bei dieser Frequenz induktiv sein, während die Impedanzen 30 und 32 kapazitiv sind. Bei
Fall wird die Empfindlichkeit der Schaltung wesentlich erhöht, es wird jedoch dabei ebenso das momentane Potential zwischen den Verbindungspunkten 26 und 28 gezwungen, sich mit den Impedanzen 30 und 32 zu ändern.
In Fig1.2 ist eine abgewandelte Ausführungsform gezeigt, wobei die Quelle 12 eine Seite von wechselseitig gekoppelten Induktivitäten 46 und 48 an Stelle der Elemente 14 und 16 speist. Die Kopplung zwischen den Induktivitäten 46 und 48 induziert eine Spannung in jeder Induktivität 46 und 48, die der Spannung entgegengesetzt ist, die in der Induktivität selbst induziert wird. Die anderen Seiten der Induktivitäten 46 und 48 sind elektrisch mit den Verbindungspunkten 50 und 52 einer Diodenmatrix 54 verbunden, die die gleiche ist wie die Matrix 18, mit der Ausnahme, daß zusätzliche, in Reihe geschaltete Elemente 44 vorgesehen sind, wie dies zuvor erwähnt wurde. Diese Elemente 44 sind für den Betrieb der Schaltung gemäß F i g. 2 jedoch nicht erforderlich. Die verbleibenden zwei Verbindungspunkte 56 und 58 sind elektrisch mit einem veränderbaren Kondensator 60 und einem Kondensator 62 verbunden.
deren anderer Anschluß geerdet ist. Die Induktivitätet 64 und 66 zweigen von den Verbindungspunkten 5( und 52 ab unf führen jeweils zu Meßgeräten 68 und 70. Die wechselseitig gekoppelten Induktivitäten weisen unter den Bedingungen, bei denen die Kopplung en; ist, gleich große Eigeninduktivitäten auf, und die Impe danzen der Kondensatoren 60 und 62 sind nominel gleich, wodurch der Spannungsabfall über den Indukti vitäten 46 und 48 nahezu Null wird, so daß die momen
ίο tanen Potentiale an den Verbindungspunkten 50 und 5'. nahezu gleich sind und die Empfindlichkeit oder An Sprechempfindlichkeit der Schaltung erhöht wird. Die se enge Gleichheit wird durch Veränderungen in den Kondensator 60 gestört, jedoch wird die Ansprechemp
is findlichkeit der Schaltung aufrechterhalten.
Obwohl der Gegenstand der Erfindung an Hand voi verschiedenen Ausführungsformen beschrieben wurde ist es für den Fachmann offensichtlich, daß eine Reih« von Abwandlungen und Änderungen vorgenommer werden können, ohne dabei den Rahmen der vorliegen den Erfindung zu verlassen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

  1. Patentansprüche:
    U Schaltung zum Vergleichen der Werte zweier Impedanzen einer zu messenden Impedanz und einer Bezugsimpedanz, die von einer Wechselstrom- Erregerquelle gespeist werden, mit zwei weiteren an einem ersten Anschluß miteinander verbundenen Impedanzen, deren zweiter Anschluß zu der Meß- und Bezugsimpedanz fuhrt und wenigstens zwei der Impedanzen aus Gleichstrom abblokkenden Impedanzen bestehen, weiter mit Mitteln zum Erzeugen eines Signals, welches der Differenz zwischen der ersten und «weiten Impedanz entspricht und mit einer Einrichtung zum Anzeigen der Impedanzdifferenz zwischen der Bezugsimpedan^ und der zu messenden Impedanz, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messende Impedanz (30; 60) und die Bezugsimpedanz (32; 62) an ihrem einen Anschluß zusammengeschaltet sind, daß entweder die Bezugsimpedanz (32; 62) und die zu messende lrop-edanz (30; 60) oder die weiteren Impedanzen (14, 16; 46, 48) aus Gleichstrom abblockenden Impedanzen bestehen, daß die Mittel (18,20; 54, 44, 20) zum Erzeugen des Signals immer nur die eine Halbwelle entsprechend der einen Polarität der Erregergröße vom zweiten Anschluß (28; 58) der Bezugsimpedanz (32; 62; zum zweiten Anschluß (22; 50) einer (14; 46) der zwei weiteren Impedanzen bzw. vom zweiten Anschluß (26; 56) der zu messenden Impedanz (30; 60) zum zweiten Anschluß (24; 52) der anderen (16; 48) der zwei weiteren Impedanzen überträgt, jedoch immer die andere Halbwelle entsprechend der anderen Polarität der Erregergröße vom zweite« Ai Schluß (28; 58) der Bezugsirnpedanz (32; 62) zum zweiten Anschluß (24; 52) der anderen (16; 48) der zwei weiteren Impedanzen bzw. vom zweiten Anschluß (24; 56) der zu messenden Impedanz (30; 60) zum zweiten Anschluß (22; 50) der einen (14; 46) der zwei weiteren Impedanzen überträgt
  2. 2. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeeinrichtung aus e«nem Tiefpaßfilter (34, 36), um das Signal zu filtern, und einem Anzeigegerät (40, 38) besteht, um das Signal nach Passieren des Tiefpaßfilters anzuzeigen.
  3. 3. Schaltung nach Anspruch I, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (42) zum Verstärken der Differenz zwischen den Signalen, die an den zweiten Anschlüssen der zwei weiteren Impedanzen (14,16; #6,48) entstehen.
  4. 4. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite der weiteren Impedanzen (14,16; 46,48) einen wesentlich kleineren Irnpedanzwert aufweisen als die Bezugsimpedanz (32) und die zu messende Impedanz (30), wobei das momentane elektrische Potential über der Be jtugsirnpedanz (32) und der zumessenden Impedanz (30) nahezu gleich ist.
  5. 5. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet» daß die erste und die zweite der weiteren Impedanzen (14,16-, 46,48) mit der Bezugsimpedanz (32) und der zu messenden Impedanz (30) auf die Frequenz der Erregergröße der Quelle (12) abgestimmt sind 6S
  6. 6. Schattung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (46,48) vorgesehen isU UiIt eine der Erregergröße in der ersten (46) der weiteren Impedanzen entgegengesetzte Größe zu induzieren, die von der Erregung in der zweiten (48) der weiteren Impedanzen abhängig ist, und um eine der Erregergröße in der zweiten (48) der weiteren Impedanzen entgegengesetzte Größe zu induzieren, die von der Erregung in der ersten (46) der weiteren Impedanzen abhängig ist,
  7. 7 Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (13) zum Erzeugen des Signals aus vier in Reihe geschalteten angepaßten Halbleiterdioden (20) bestehen, die so geschaltet sind daß sie in gleicher Richtung leiten und mit der ersten und der zweiten (14.16) der weiteren Impedanzen eine elektrische Verbindung an gegenüberliegenden Punkten (26, 28) zwischen den Dioden (20) in dem Leitungspfad aufweisen und ebenso mit der Bezugsimpedanz (32) und der zu messenden Impedanz (30) jeweils elektrischen Kontakt an zwei gegenüberliegenden Verbindungspunkten (22, 24) zwischen den Dioden (20) in dem Leitungspfad haben.
  8. S. Schaltung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß jede Diode (20) in dem Leitungspfad eine mit ihr in Reihe geschaltete Impedanz (44) aufweist, die jeweils zwischen den Verbindungspunkten mit der nächsten der Dioden in den Leitungspfad geschaltet ist.
  9. 9. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messende Impedanz (30) und die Bezugsimpedanz (32) von einer elektrischen Abschirmvorrichtung (45) umgeben sind.
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IT (1) IT973955B (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3986109A (en) * 1975-01-29 1976-10-12 Ade Corporation Self-calibrating dimension gauge
US4502147A (en) * 1982-08-09 1985-02-26 Charles Lescrenier Means for visually indicating an X-ray field
US4538069A (en) * 1983-10-28 1985-08-27 Control Data Corporation Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus
US4931962A (en) * 1988-05-13 1990-06-05 Ade Corporation Fixture and nonrepeatable error compensation system
US5102280A (en) * 1989-03-07 1992-04-07 Ade Corporation Robot prealigner
US4958129A (en) * 1989-03-07 1990-09-18 Ade Corporation Prealigner probe
US4918376A (en) * 1989-03-07 1990-04-17 Ade Corporation A.C. capacitive gauging system
US5099386A (en) * 1990-09-20 1992-03-24 General Scanning, Inc. Variable-capacitance position transducing
US5537109A (en) * 1993-05-28 1996-07-16 General Scanning, Inc. Capacitive transducing with feedback
US5376890A (en) * 1993-06-10 1994-12-27 Memc Electronic Materials, Inc. Capacitive distance measuring apparatus having liquid ground contact

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3012192A (en) * 1961-12-05 Electric system
US3111845A (en) * 1958-10-15 1963-11-26 Simmonds Precision Products Pick-off transformer for measuring dielectric material
US3424977A (en) * 1966-05-04 1969-01-28 Human Resources Foundation Capacitive device responsive to water vapor content of a gas including insulated conductive wire electrodes forming a grid
US3497801A (en) * 1967-02-23 1970-02-24 Schwien Eng Inc System for determining the difference in capacitance of two capacitors
US3577072A (en) * 1968-11-19 1971-05-04 Hewlett Packard Co Bridge circuit for differentially measuring capacitance
US3639832A (en) * 1969-12-11 1972-02-01 Ema Dorries Gmbh Electrical bridge apparatus for and method of measuring mechanical forces by magnetoelastic members
US3688190A (en) * 1970-09-25 1972-08-29 Beckman Instruments Inc Differential capacitance circuitry for differential pressure measuring instruments

Also Published As

Publication number Publication date
US3775678A (en) 1973-11-27
GB1395208A (en) 1975-05-21
JPS5457068U (de) 1979-04-20
FR2162631B1 (de) 1980-04-18
CA961926A (en) 1975-01-28
IT973955B (it) 1974-06-10
JPS4866469A (de) 1973-09-12
FR2162631A1 (de) 1973-07-20
DE2258690A1 (de) 1973-06-14
DE2258690C3 (de) 1975-09-04

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