DE2254605C3 - Signalspeicherplatte - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Signalspeicherplatte mit einer transparenten Elektrode auf einem Substrat, einer
auf der Elektrode aufgebrachten, Zinkselenid als Hauptbestandteil enthaltenden Zwischenschicht und
einer weiteren, auf der Zwischenschicht aufgebrachten fotoleitenden Schicht, die Tellur enthält.
Eine bekannte Signalspeicherplatte dieser Art (NL-OS 7105 385), zeigt eine amorphe fotoleitende
Schicht, die Arsen, Tellur und Selen enthält. Das Arsen wird zugesetzt, um ein Auskristallisieren des Selens zu
verhindern. Der Zusatz von Tellur soll die Empfindlichkeit im Bereich großer Wellenlängen erhöhen. Die
höchste erreichte Empfindlichkeit einer solchen Signalspeicherplatte beträgt nach den Textangaben das
2,5fache herkömmlicher SbiSa-Signalspeicherplatten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Empfindlichkeit der Signalspeicherplatte gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1 zu erhöhen und zwar über den gesamten Bereich sichtbarer Wellenlängen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die fotoleitende Schicht ω
Zn,Cdi -yTe mit 0
<y< 1
enthält.
Somit kann die Signalspeicherplatte eine fotoleitende Schicht der Zusammensetzung Zn1Cd, _/Te aufweisen. b5
Es handelt sich also um eine polykristalline fotoleitende Schicht aus Zink, Cadmium und Tellur. Um eine gute
Empfindlichkeit über den gesamten Bereich sichtbarer Wellenlängen zu erzielen, ist eine gute und vollständige
Kristallisierung der fotoleitenden Schicht erforderlich. Diese Kristallisierung wird bei der angegebenen
Zusammensetzung der erfindungsgemäßen fololeitenden Schicht mit Zn,Cdi_j,Te notwendig eintreten.
Insoweit bestehen also Unterschiede zur bekannten Signalspeicherplatte nicht nur in der Zusammensetzung,
sondern auch in der Struktur. Dabei beträgt die Empfindlichkeit der erhaltenen fotoleitenden Schicht
bis zum 20fachen derjenigen bei herkömmlichen Signalspeicherplatten mit fotoleitenden Schichten aus
Sb2Ss und ist somit auch derjenigen der aus der oben
abgehandelten Druckschrift bekannten Signalspeicherplatte bis zu nahezu einer Größenordnung überlegen.
Derartige Signalspeicherplatten sind insbesondere für die Verwendung in Bildaufnahmeröhren ausgezeichnet
geeignet
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine Schnittansichi einer Ausführungsform der
Signalspeicherplatte,
F i g. 2 eine grafische Darstellung zum Vergleich der
Empfindlichkeit einer Signalspeicherplatte mit und ohne eingefügter ZnSe-Schicht,
F i g. 3 eine grafische Darstellung der Empfindlichkeit von
ZnSe ZnjCdi-^Te,
F i g. 4 teilweise als Blockschaltung eine Meßeinrichtung,
Fig.5 und Fig.6 grafische Darstellungen der
Abhängigkeit des Dunkelstroms bzw. des lichtelektrischen Stroms von der Zusammensetzung,
F i g. 7 eine grafische Darstellung der Empfindlichkeit für verschiedene Parameter yin der Zusammensetzung
ZnSe -(Zn^Cd, - ,Te)o.95(In3Te3)o.o5.
F i g. 8 eine grafische Darstellung der Empfindlichkeit für verschiedene Parameter Z in der Zusammensetzung
ZnSc-(Zn0JiCd(MTe)2(In2Te3), _z
F i g. 1 zeigt ein Substrat 1 aus Glas, auf dem eine transparente Elektrode 2 beispielsweise aus In2O3 oder
SnO2 ausgebildet ist. Auf der anderen Seite dieser transparenten Elektrode 2 ist eine Zwischenschicht 3
und auf dieser wiederum eine fotoleitende Schicht 4 angeordnet. Das verbotene Band ist im Material der
Zwischenschicht 3 breiter als im Material der fotoleitenden Schicht 4.
Bei der Wahl des Materials für die Zwischenschicht 3 ist zu berücksichtigen, daß erstens die Gitterkonstante,
die Kristallstruktur und der Wärmeausdehungskoeffizient der Zwischenschicht annähernd mit denen der
fotoleitenden Schicht 4 übereinstimmen müssen, und zweiten die Energiebänder der Zwischenschicht 3 und
der fotoleitenden Schicht 4 bei Verbinden dieser Schichten glatt ineinander übergehen müssen. Diese
Bedingungen müssen eingehalten werden, um die lichtelektrische Wandlerleistung zu erhöhen.
Licht mit einer kürzeren Wellenlänge, als dies dem verbotenen Band des Materials der fotoleitenden
Schicht 4 entspricht, wird von dieser Schicht nahe der Oberfläche absorbiert. Hat dieser Bereich nur eine
geringe Kristallgüte und sind in diesem Bereich zahlreiche Rekombinationszentren vorhanden, so wird
die lichtelektrische Wandlerleistung herabgesetzt. Es ist deshalb wichtig, daß die Kristallgüte der Oberfläche der
fotoleitenden Schicht 4 auf der Seite des Lichteintritts
entsprechend hoch ist und Gitterfehler im Oberflächenbereich nicht auftreten.
Praktische Versuche mit Signalspeicherplatten haben ergeben, daß die Energiebandabstände ,ier Zwischenschicht
3 und der fotoleitenden Schicht 4 die untere und die obere Grenzwellenlänge für die Empfindlichkeit
bestimmen.
Fig.2 zeigt das Ergebnis solcher Versuche. Die
fotoleitende Schicht 4 hat dabei die Zusammensetzung
Die gegebenenfalls vorhandene Zwischenschicht 3 bestand aus ZnSe. Kurve I gibt den Fall, bei dem keine
derartige ZnSe-Zwischenschicht 3 vorhanden war, i->
Kurve II den Fall bei Vorliegen einer derartigen ZnSe-Zwischenschicht 3. Aus der Figur kann abgelesen
werden, daß die Verwendung der ZnSe-Zwischen-Echicht
3 zusammen mit der entsprechend zusammengesetzten fotoleitenden Schicht 4 einen er!"eblich besser ji>
über den gesamten Spektralbereich des sichtbaren Lichtes verteilten Verlauf der Empfindlichkeit ergibt. Es
wurde ergänzend festgestellt, daß auch der Dunkelstrom durch die Verwendung der ZnSe-Zwischenschicht
3 verringert wird. :ϊ
Im folgenden soll zunächst die Herstellung der Signalspeicherplatte und die Ermittlung ihrer Kenndaten
erläutert und anschließend auf Ausführungsformen eingegangen werden.
Zunächst werden mehrere Heizkörper in ein Auf- 3» dampfgerät eingebracht. Auf die Heizkörper wird
Aufdampfmaterial wie ZnS, ZnSe, ZnTe, CdTe, In2Te3
oder feste Lösungen dieser Stoffe aufgebracht. Durch entsprechende Regelung der Heizkörpertemperatur
wird eine feste Lösung der verwendeten Stoffe in der gewünschten Zusammensetzung hergestellt. Die Verwendung
mehrerer Heizkörper ermöglicht auch den Aufbau zusammengesetzter Schichten, ohne daß hierzu
der Vakuumzustand verändert werden muß.
Ein Substrat 1 aus Glas mit darauf befindlicher -to
transparenter Elektrode 2 wird auf 100 bis 400° C erhitzt, wodurch sich die feste Lösung der gewünschten
Zusammensetzung abscheidet. Die so erhaltene Anordnung wird zur Fertigstellung der Signalspeicherplatte
für eine Zeit von einigen Minuten bis zu einigen Stunden auf 300 bis 700° C gehalten.
An der fertigen Signalspeicherplatte werden Messungen des Dunkelstroms, des lichtelektrischen Stroms, des
Lichtansprechvc-rmögens und der Empfindlichkeit über
den Bereich des sichtbaren Lichtes wie folgt durchge- 3u
führt:
Die Empfindlichkeit wurde bei der Messung des lichtelektrischen Stroms in Intervallen von 20 nm mit
einem Interferenzfilter und einer Halogenlampe von 3400° K bestimmt. Die durch das Filter auf den
Probekörper auftreffende Lichtmenge wurde mittels einer Thermosäule gemessen. Zur Bestimmung des
Dunkelstroms und des lichtelektrischen Stroms wurde ein handelsübliches Elektrometer verwendet. Das
Lichtansprechvermögen einer Bildaufnahmeröhre un- &o
terscheidet sich grundsätzlich vom fotoleitenden Verhalten der zugehörigen Signalspeicherplatte. Es wurde
deshalb bei seiner Ausmessung eine Ersatzschaltung aufgebaut, für die ein Elektronenstrahl nicht erforderlich
ist und die einem Bildelement der in der Bildaufnahmeröhre von einem Elektronenstrahl abgetasteten
Signalspeicherplatte entspricht.
F i g. 4 zeigt die Vorgangsweise. Eine Fotozelle 5 wird durch einen Lichtimpjlsgeber mit einer Impulsdauer
von 2 μ5 mit 60 Hz an- und ausgeschaltet. Das entspricht
der Abtastung eines Bildelements mit einem Elektronenstrahl von 60 Hz. Aus einer Lichtquelle bestehend
aus einer Halogenlampe von 3400° K wurde das Element mit 0,4 Ix bestrahlt und das, Lichtansprechver ■
mö^en unter Zuhilfenahme eines herkömmlichen fotografischen Verschlusses gemessen. Die Ergebnisse
solcher Messungen stimmen recht gut mit Messungen überein, die mit einer unter Verwendung der Signalspeicherpiatte
aufgebauten Bildaufnahmeröhre durchgeführt werden. Bei den Messungen wurde das prozentuale Ansteigen bzw. Abfallen zu einem Zeitpunkt
ermittelt, der 50 ms nach dem An- bzw. Abschalten des Lichtes lag.
Nach Ermittlung der Kenndaten der Signalspeicherphttte
selbst durch die oben beschriebenen Messungen wurden die Kenndaten der Bildaufnahmeröhre wie folgt
bestimmt: Für die Bestimmung des Dunkelstroms und des lichtelektrischen Stroms wurde während der
Abtastung mit einem Elektronenstrahl eine positive Spannung an dis transparente Elektrode 2 angelegt und
der aus ihr gezogene Signalstrom gemessen. Bezeichnet man weiter als »Verzugsbild« den Betrag des Signalstroms
50 ms nach Abschalten des Lichtes, so kann dieser beispielsweise als Prozentwert angegeben
werden, der den Signalstromabfall kennzeichnet. Als »Nachbild« ist die Tatsache zu bezeichnen, daß auf
einem Bildmonitor das Bild eines Objektes auf einem einheitlichen weißen Hintergrund auch noch eine
gewisse Zeit nach dem Abschalten beobachtet werden kann. Das Nachbild wird nach Aufnahme des Objektes
unter Standardaufnahmebedingungen ermittelt. Es wird ebenfalls als Prozentzahl nach 50 ms festgestellt.
Ausführungsbeispiel 1
Eine Signalspeicherplatte wurde mit einer Zwischenschicht 3 aus ZnSe und einer fotoleitenden Schicht 4 aus
ZnyCdi. ,Te erstellt. Es wurden Versuche durchgeführt,
bei denen der Wert für y variiert wurde. Hierfür wurde ein Substrat 1 aus Glas mit darauf aufgebrachter
elektrisch leitfähiger und transparenter Elektrode 2 auf einer Temperatur von 150 bis 400°C gehalten und im
Verlauf einer Zeitspanne von 5 bis 30 Minuten auf die transparente Elektrode 2 ZnSe in einer Stärke von 0,02
bis 2 μΐη als Zwischenschicht 3 aufgedampft. Während
das Substrat nun für eine Zeitdauer von 5 bis 60 Minuten auf einer Temperatur von 150 bis 300° C gehalten wurde,
wurde auf dieser ZnSe-Zwischenschicht 3 durch Aufdampfen aus zwei Tiegeln, die ZnTe bzw. CdTe
enthielten, eine feste Lösung in Form einer Schicht mit einer Stärke von 1 bis 20 μΐη ausgebildet. Der Wert y
konnte dabei durch entsprechende Temperaturführung der Tiegel derart verändert werden, daß sich auch die
formelmäßige Zusammensetzung der festen Lösung entsprechend verändert hat. Zur Fertigstellung der
Signalspeicherplatte wurde die so erhaltene fotoleitende Schicht 4 auf eine Temperatur von 300 bis 700° C
erhitzt.
F i g. 3 zeigt die erzielte Empfindlichkeit, wobei den drei Kurven I, II bzw. III Parameter y mit dem Wert 1,
0,8 und 0 entsprechen. Zusätzlich ist eine strichlierte Kurve eingetragen, die die Empfindlichkeit einer
Sb2S3-Schicht wiedergibt. Diese ist demnach auf einen Teilbereich des sichtbaren Lichtes beschränkt. Bezüglich
der ausgezogenen Kurven I, II bzw. III ist zu erkennen, daß, die Empfindlichkeit umso weiter gegen
den langwelligen Bereich ausgedehnt wird, je höher der
Cadniiumanteil relativ zum Zinkanteil ist. Der Grund
dafür ist der, daß das verbotene Band umso schmäler wird, je höher der Cadmiumanteil ist. Durch eine
geeignete Wahl des Wertes für den Parameter y ist es daher möglich, eine Signalspeicherplatte mit Empfindlichkeit
im gesamten Bereich des sichtbaren Lichtes
herzustellen.
Mit einer derartigen Signalspeicherplatte ausgestattete einzöllige Bildaufnahmeröhren sind in der unten
stehenden Tabelle 1 mit ihren Kenndaten einem herkömmlichen Vidikon gegenübergestellt, das eine
Sb2S3-Signalspeicherplatte aufweist.
Hmpllndlichkcit (νΛ/lm)
Dunkclslrorn (ηΛ)
Nachleuchtbild
Dunkclslrorn (ηΛ)
Nachleuchtbild
Bildaulnahmcrohre mil crlindungsgemußcr | y = 0.8 | ν - 0 | Herkömmliches |
Signalspeiclierplattc | 380 | 660 | Vidikon |
i' - 1.0 | IS | 25 | |
I 250 | 29 | 19 | 200 |
8 | 20 | ||
30 | 30 |
Aus dieser Tabelle ist zu entnehmen, daß die jo
Empfindlichkeit mit steigendem Cadmiumanteil zunimmt. Das gilt jedoch auch für den Dunkelstrom.
Andererseits ist das Bildnachleuchten umso weniger ausgeprägt, je höher der Cadmiumanteil ist. All dies zen.
weist darauf hin, daß eine Bildaufnahmeröhre mit einer r> Signalspeicherplatte der oben erläuterten Zusammensetzung
eine höhere Empfindlichkeit und einen breiteren Bereich der hohen Empfindlichkeit über der
Wellenlänge aufweist, als das herkömmliche Sb2S3-Vidikon.
Weiter wurde festgestellt, daß nicht nur die jo Empfindlichkeit im Bereich kurzer Wellenlängen
verbessert wird, sondern auch der Bereich ausreichender Empfindlichkeit insgesamt verbreitert und die
Empfindlichkeit selbst verbessert wird, wenn die Zwischenschicht 3 statt aus ZnSe aus einer festen
Lösung von ZnS und ZnSe besteht
Ausführungsbeispiel 2
Hier wird mit einer Signalspeicherplatte eines mit dem Aufbau nach dem Ausführungsbeispiel 1 überein- Aa
stimmenden Aufbaus gearbeitet jedoch ist die fotoleitende Schicht 4 der Zusammensetzung Zn,Cdi - vTe mit
Indium dotiert Bei y=0,8 und einer Änderung des
Indiumdotierungsgrades zwischen lxlO'Vcm3 und
2xl02l/cm3 im ZnojCdoiTe wurden bei Verwendung
einer Zwischenschicht 3 aus ZnSe die in Tabelle 2 aufgeführten Dunkelstromwerte gemessen.
IndiumdotierunH
Dunkelstrom (A/mm')
be; 10 V
be; 10 V
undotiert
2X10ls/cm;
2X10|l7cm:
2 X 10:"/cm:
2X10ls/cm;
2X10|l7cm:
2 X 10:"/cm:
etwa 10 s
etwa 10 q
etwa 10"'
etwa 10 "bis 10 ln
etwa 10 ln
Man erkennt, daß der Dunkelstrom mit steigender Indiumdotierung abnimmt Weiter wurde festgestellt,
daß bei unveränderter Zusammensetzung der festen Lösung mit Zn0.sCd0.2Te auch der Wert der spektralen
Empfindlichkeit nahezu gleich bleibt, während sich der zur Verfugung stehende Empfmdfichkeitsbereich zum
langwelligen Bereich des sichtbaren Lichtes hin ausdehnt, wenn der Indiumdosierungsgrad den Wert
von 1020/cm3 überschreitet. Der Wert der Empfindlichkeit
erhöhte sich hier stark bei weiteren Indiumzusät
Die Kenndaten einer einzölligen Bildaufnahmeröhre mit einer derartigen Signalspeicherplatte sind in Tabelle
3 angegeben.
Tabelle 3 | Empfindlich keil (y-A/lm) |
Dunkelstrom (nA bei 10 V) |
Nachbild (%) |
S I ί |
380 550 1340 3000 |
18 17 12 8 |
29 35 25 29 |
I
ι ι |
|
undotiert 2X101!7cm' 2X1027cm' 2X10;7cm- |
I 5 ί |
|||
Wie aus der Tabelle hervorgeht, steigt die Empfindlichkeit
bei zunehmender Indiumdotierung beträchtlich an, während sich gleichzeitig der Dunkelstrom verringert,
so daß sich das Signalpegel-Störpegel-Verhältnis bei einem Dotierungsgrad von 2 χ 102Vcm3 um eine
volle Größenordnung verbessert Das Bildnachleuchten bleibt hierbei praktisch unverändert
Wie beim Ausführungsbeispiel 1 kann auch hier die Empfindlichkeit für die kurzen Wellenlängen verbessert
werden, wenn die Zwischenschicht 3 statt aus ZnSe eine feste Lösung der Zusammensetzung ZnSxSe] -x darstellt
Die Ausdehnung der praktisch auswertbaren Empfindlichkeit auf der langwelligen Seite des Spektrums läßt
sich durch Änderung der Mengenverhältnisse von Zn und Cd in der fotoleitenden Schicht 4 erreichen.
Bei dem oben beschriebenen Versuch wurde die fotoleitende Schicht 4 in der im Ausführungsbeispiel 1
beschriebenen Art hergestellt Es wurde jedoch zusätzlich Indium durch thermische Diffusion in das
Material eingebracht Der Mengenanteil des Indiums kann durch die in die Verdampfungsvorratsquelle
eingebrachte Menge ausgedrückt werden. Das Ergebnis einer Massenanalyse zeigt jedoch, daß die fotoleitende
Schicht 4 3,2% Indium enthält, falls als Verdampfungsvorratsquelle
eine feste Lösung der Zusammensetzung Zno.8Cdo.2Te mit einem Indiumgehalt von 2 χ KPVcm3
verwendet wird. Wird hingegen eine feste Lösung mit einem Gehalt von 2xlOl9/cm3 Indium benutzt, so
enthält die aufgebrachte Schicht 0,02 Atomprozent Indium.
Ausführungsbeispiel 3
Für den Aufbau der Zwischenschicht 3 und der fotoleitenden Schicht 4 wurden Materialien
(1) ZnSe-(Zn1Cd1 _ Je
Zunächst sei auf Signalspeicherplatten mit einer Zwischenschicht 3 aus ZnSe und mit fotoleitenden
Schichten mit wechselnden Anteilsverhältnissen an Zn und Cd eingegangen. Bei Zugabe jeweils von 5
Prozent In2Te3 wurden Versuche mit sechs Werten
für / durchgeführt, nämlich mit den Werten 0,9, 0,8, 0,75,0,7, 0,5 und 0,3. Die Resultate sind nachstehend
aufgeführt.
Beispiele für das Ansprechvermögen: Anstieg (%)/
Fall (%) bei 0,4 Lux nach 50 ms
verwendet und Versuche durchgeführt, bei denen die Parameter x, /und ζ jeweils gesondert variiert wurden.
Herstellungsverfahren und Aufbau der Signalspeicherplatte entsprechen im übrigen den oben erläuterten
Einzelheiten. Es soll nun auf die Vorteile der einzelnen Ausführungsformen näher eingegangen werden.
20
25
(a) Dunkelstrom. In F i g. 5 ist die Abhängigkeit des Dunkelstroms vom Wert von/veranschaulicht.
Der Darstellung ist zu entnehmen, daß der Dunkelstrom am geringsten ist, wenn y einen
Wert von 0,7 bis 0,8 hat, und daß er bei /-Werten unter 0,7 oder 0,8 steil ansteigt.
(b) Empfindlichkeit. Der /-Wert wirkt sich auf die Empfindlichkeit in der in Fig.6 gezeigten
Weise aus. Wenngleich einzuräumen ist, daß die Empfindlichkeit je nach der Herstellungsmethode
der Signalspeicherplatte unterschiedlich ausfällt, so ist andererseits doch klar, daß sich
die Empfindlichkeit mit abnehmenden /-Werten erhöht.
(c) Spektralempfindlichkeit. Die Spektralempfindlichkeit relativ zur Wellenlänge ist in F i g. 7
dargestellt. Aus dieser Figur geht hervor, daß eine Verringerung des /-Werts eine erhöhte
Spektralempfindlichkeit im langwelligen Gebiet nach sich zieht, während die Spektralempfindlichkeitskurve
über den gesamten Bereich des sichtbaren Lichtes fast flach verläuft
(d) Ansprechvermögen. Die Ergebnisse von Messungen des Ansprechvermögens bei unterschiedlichen
Fotokathodenspannungen und bei Belichtung mit Licht von 0,4 ex sind in Tabelle 4
aufgeführt.
10 Voll | 20 Voll | 30 Voll | 40 Volt | |
y = 0,9 | 67/26 | 78/22 | 80/16 | |
1· = 0,8 | 89/25 | 78/18 | SO/17 | 82/15 |
)' = 0,7 | 86/17 | 81/13 | 85/11 | |
r = 0,5 | 89/11 | 92/10 | ||
ν = 0,3 | 100/13 | 89/12 |
Diese Zahlen lassen ein relativ rasches Ansprechen erkennen. Außerdem geht daraus hervor, daß sich das
Ansprechvermögen mit steigender Fotokathodenspannung und mit abnehmenden /-Werten verbessert.
Durch Abwandlung der Zusammensetzung durch Abänderung des /-Wertes ist es somit möglich, eine
Bildaufnahmeröhre mit den gewünschten Eigenschaften herzustellen. In der nachstehenden Tabelle 5 sind die
Kenndaten von zwei typischen Bildaufnahmeröhren zusammengefaßt, bei denen durch Einhaltung des
Bereichs 0,5</<0,8 eine Ausgeglichenheit hinsichtlich aller in Betracht kommenden Faktoren einschließlich
der Empfindlichkeit, des Dunkelstroms und des Bildnachleuchtens erzielt ist.
0,6
0,7
Empfindlichkeit (y.A/lm) 4000
Dunkelstrom (nA) 5
Verzugsbild (%) 12
Restbild ohne
Nachbild ohne
Auflösung 780
3840
14
ohne
ohne
780
(2) ZnSe-(ZnCeCd0ZTe)2(In2Te3)I -z.
Es wurden Versuche durchgeführt, bei denen der Mengenanteil des In2TeJ abgeändert wurde. Es
wurden Verdampfungsvorratsquellen hergerichtet, die für ζ die Werte 0,95, 0,93, 0,85, 0,7 bzw. 0,5
lieferten und es wurde jeweils eine Signalspeicherplatte mit den oben beschriebenen Aufbau
hergestellt Die Versuchsergebnisse sind in Tabelle 6 zusammengefaßt
ζ = 0,95
ζ = 0,93 ζ = 0,85
ζ = 0,7
Empfindlichkeit (0,36 Ix), A/mnr
Dunkelstrom (A/mm2) bei 30 V
Ansprechvermögen bei 20 V*)
Ansprechvermögen bei 30 V*)
A ns prech vermögen bei 40 V*)
Dunkelstrom (A/mm2) bei 30 V
Ansprechvermögen bei 20 V*)
Ansprechvermögen bei 30 V*)
A ns prech vermögen bei 40 V*)
2,1XlO"9 | 2,2XlO"9 | 2,5XlO"9 |
2X10"10 | 2X10"10 | 5X10"10 |
83/14 | 79/15 | 87/13 |
87/11 | 81/13 | 89/10 |
88/10 | 86/13 | _ |
*) Ansprechvermogen: Anstieg (%)/Fall (%) nach 50 ms.
Ist ζ kleiner als 0,85, so besteht eine Tendenz zur Zunahme des Dunkelstroms, wohingegen dieser nahezu
gleich bleibt, wenn der Wert für ζ zwischen 1 und 0,85 liegt. Die Empfindlichkeit bleibt, wenn der Wert für ζ
zwischen 1 und 0,85 liegt. Die Empfindlichkeit bleibt bei ■>
Werten von ζ zwischen 1 und 0,85 fast unverändert. Das Ansprechvermögen ist bei allen z-Wcrten rasch und
nimmt mit der angelegten Spannung zu. Bei z-Werten unter 0,7 wurde in der fotoleitenden Schicht 4 durch
Röntgenanalyse eine Phase von InjTe3 festgestellt. Beim ι ο
Vorhandensein dieser Phase tritt ein starker Dunkelstrom auf, wodurch das Element als Signalspeicherplatte
einer Bildaufnahmeröhre ungeeignet wird. Die Empfindlichkeit bleibt nahezu unverändert, wenn ζ bei
Werten zwischen 1 und 0,85 liegt, wie dies in Fig.8 ι-3
gezeigt ist.
Aus den obigen Darlegungen geht hervor, daß die beschriebenen Bildaufnahmeröhren eine hohe Empfindlichkeit
haben und die Spektralempfindlichkeitskurve einen nahezu flachen Verlauf im gesamten Spektralbereich
des sichtbaren Lichtes hat, wodurch die Anwendung auf eine Einröhren-Farbbildaufnahmekamera
ermöglicht wird. Daneben ist die Signalspeicherplatte auch als lichteleketrischer Wandler für ein elektronischfotografisches Fotometer und für einen Beleuchtungsmesser geeignet. Die hohe Lichtempfindlichkeit und
gute Gleichmäßigkeit der Empfindlichkeit über den gesamten Spektralbereich des sichtbaren Lichtes ist mit
der Vermeidung von Verzugsbildern, Restbildern und unerwünschten Nachbildern verknüpft.
Mierzu 4 BUiU Zeichnungen
Claims (7)
1. Signalspeicherplatte mit einer transparenten Elektrode auf einem Substrat, einer auf der
Elektrode aufgebrachten, Zinkselenid als Hauptbestandteil enthaltenden Zwischenschicht und einer
weiteren, auf der Zwischenschicht aufgebrachten fotoleitenden Schicht, die Tellur enthält, dadurch
gekennzeichnet, daß die fotoleitende Schicht
Zn1Cd, -^Te mit 0<y<
1
enthält
2. Signalspeicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß gilt 0,5
< y< 0,8.
3. Signalspeicherplatte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in der Zwischenschicht
das Selen teilweise durch Schwefel ersetzt ist.
4. Signalspeicherplatte nach einem der Ansprüche
1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die fotoleitende Schicht zusätzlich mit Indium dotiert ist.
5. Signalspeicherplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehalt des Indium in der
fotoleitenden Schicht 0,02 bis 3,2 Atomprozent beträgt.
6. Signalspeicherplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die fotoleitende Schicht bis zu
30 Moiprozent einer Verbindung von Indium und Tellur enthält
7. Signalspeicherplatte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die fotoleitende Schicht die
Zusammensetzung
(Zno.6Cdo.4Te),(In2Te3)i-,
mit 0,85 < z< 1 aufweist.
mit 0,85 < z< 1 aufweist.
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---|---|---|---|
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