DE2251110A1 - Magnetischer fuehler mit einem parametrisch erregten zweiten harmonischen oszillator - Google Patents

Description

DIPL.-ING. KLAUS BEHN DIPL.-PHYS. ROBERT MÜNZHUBER ^v 2251110

PATENTANWÄLTE

8 MÖNCHEN 22 WIDENMAYERSTRASSE 6 TEL. (0811) 22 25 30-29 5192

18. Oktober 197? -

A 287 72 HD/De

Firma KOKUSAI DENSHIN DENlJA KABUSHIKI KAISHA, 9A/25,-Kasumlgaseki-Bldg., 2-5* 3"*Chome, Kasumigaseki, Chiyoda-Ku

Tokyo-To, Japan

Magnetischer Fühler mit einem parametrisch erregten zweiten harmonischen Oszillator

Die Erfindung bezieht sich auf einen magnetischen Fühler, der einen parametrisch erregten zweiten harmonischen Oszillator mit einem magnetischen Drahtteil enthält, der eine auf einem Leiter aufgebrachte magnetische Schicht besitzt, wobei durch einen Wechsel in der Schwingphase des zweiten harmonischen Oszillators ein kleines magnetisches Feld ermittelt wird.

Herkömmliche magnetische Fühler jenes Typs.» wie sie etwa in dem japanischen Patent Nr* 10031/1970 dargelegt

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sind, besitzen den Nachteil, daß aufgrund ihre¹=; Aufbauen eine schmale Htrahlcharakteristik der Empfindlichkeit schwer zu erhalten i^r*t.

Die Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, einen magnetischen Fühler mit einem parametrisch erregten zv/eiten harmonischen Oszillator zu schaffen, der eine äui3er^r:t schmale Empfindlichkeits-Charakteristik liefert.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein magnetischer Fühler mit einem parametrisch erregten zweiten harmonischen Oszillator geschaffen wird, in dem mindestens ein induktives Element aus einem magnetischen Drcthtteil mit einer auf einem Leiter aufgebrachten magnetischen Schicht und einer darum führenden Wicklung vorgesehen ist, in dem ein Kondensator mit der Wicklung parallel verbunden ist und einen Resonanzkreis bildet, und in dem ein Erreger-V^rechselstrom an den magnetischen Drahtteil angelegt wird, um eine zweite harmonische Schwingung des Erregerstroms im Resonanzkreis herzustellen, wobei ein sehr kleines magnetisches Feld dadurch ermittelt wird» daß ein Wechsel in der Phase der zweiten harmonischen Schwingung in Übereinstimmung mit der Richtung eines äußeren Magnetischen Feldes benützt wird.

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Gemäß dem Grundgedanken dieser Erfindung werden mindestens drei induktive Elemente verwendet, von denen jedes aus einem magnetischen Drahtteil und einer Wicklung besteht, wobei eines dieser drei induktiven Elemente ein Hauptelement ist und die übrigen um das Hauptelement angeordneten Hilfselemente sind, und wobei die V/icklungen der Elemente derart in Serie miteinander verbunden sind, daß, wenn an den magnetischen Teilen die gleiche Erregungsspannung angelegt wird, ein von einem durch die Wicklung des Hauptelementes fließenden zweiten harmonischen Strom erzeugtes magnetisches Feld die entgegengesetzte Richtung besitzt wie ein von dem durch die Wicklung eines jeden Hilfselementes fließenden zweiten harmonischen Strom erzeugtes magnetisches Feld, wodurch in bezug auf den Kopfteil des einen Endes des Hauptelementes eine äußerst scharfe Empfindlichkeits-Charakteristik gegenüber einem äußeren magnetischen Feld hergestellt wird.

Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1; den Aufbau eines herkömmlichen parametrischen magnetischen Fühler·-;; .

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Fig. 2: den Aufbau eines herkömmlichen parametrischen magnetischen Fühlers eines besonders charakteristischen Typs, mit dem der Einfluß eines äußeren gleichförmigen magnetischen Feldes vermieden wird;

Fig. 3Λ, Beispiele dieser Erfindung und die dazugehörigen "5B^JA,4B Kurven der magnetischen Empfindlichkeitsveru. 'JC: teilung;

Fig. 5A andere Beispiele dieser Erfindung, die in Form bis 5G, eines entsprechenden Moduls aufgebaut sind; und 6a bisGC
und 7

Flg. 8: ein Diagramm der experimentell ermittelten Charakteristik-Kurven der magnetischen Empfiridlichkeitsverteilung von parametri^chen magnetischen Fühlern dieser Erfindung hzv/. herkömmlicher Art.

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Um den Unterschied zwischen den herkömmlichen Vorrichtungen und dieser Erfindung genauer beschreiben zu können, v/erden als erstes-die herkömmlichen Vorrichtungen beschrieben.

Eine herkömmliche Vorrichtung dieser Art ist so.

es

aufgebaut, wie\in. den Figuren 1 oder 2 gezeigt ist.

Figur 1 stellt einen magnetischen Fühler vom Einzeltyp dar (dieser bezieht sich auf das japanische Patent Έτ. 10031/1970). Mit 3 ist ein magnetischer Di?ahtteil bezeichnet, der eine magnetische Schicht trägt, die in einer solchen Weise auf einem leiter aufgebracht·ist, daß eine Sichtung der leichten Magnetisierung in der Umfangsrichtung liegt. Bei 4- Ist eine Schwingungswickliang dargestellt, die um den Magnetisierungsteil 3 gewickelt ist. " .

Der Magnetisierungsteil 3 und die Wicklung 4- bilden ein induktives Element L. Die Bezugszeichen 1 und 1a bezeichnen die Anschlüsse für die Erregung, an die eine Erregungsspannung e_f der Frequenz jf angelegt wird, 2 und 2a die Ausgangsanschlüsse,und das Bezugszeichen C bezeichnet einen mit der Wicklung 4 parallel verbundenen Kondensator. Das induktive Element L und der Kondensator C stellen einen Resonanzkreis der Frequenz 2i? dar. Demgemäß wird, wenn der Resonanzkreis zwischen den Eingangsanschlüssen 1 und 1_a mit der Err egungs spannung e_f erregt v/ird,

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-■', vii s c lie π den Aiinganpr.an.schlür>sen 2 und 2a eine zv/ribc harmonische Spannung e^r "erger.tellt. In dienen Falle hängt die Or::illntion8phnr>e der opannung Op_r vor: rl or Fiichtunr dec magnetischen Flucses in I.agretfeld aäi>, v;enr: die Gtilrke des Kagnefcfeld.es (z.B. ein F.afnetfelc¹ eines Hafnetisierers M). das auf einen, einer, der beiden Enden dec r-iar netisierungsteilen 5 bilderden Topf Π wirkt, über einen bestimmten Wert liefet. Die Kurve für die Empfindlichkeitsverteilung des mafnetischen Fühlers besitzt in diesem falle eine Dipol-Form, wie in Figur 1 bei 5 angedeutet ist, der Kürze halber wird aber nur der halbe Kreis ausserhalb des Kopfes H (rechts der Linie Y-Ya) betrachtet.

Figur 2 zeigt den Aufbau eines magnetischen Fühlers eines anderen Typs, der ein induktives Element verwendet, das wie im Falle des Beispieles der Figur 1 aus magnetischen Drahtteilen 3 und 3a, und einer Wicklung 4 besteht. Die Kurve der Empfindlichkeitsverteilung dieses magnetischen Fühlers ist wie in Falle des Beispieles der Figur 1 rechts der Linie Y-Ya_- im wesentlichen halbkreisförmig, wie bei 9 und 9a in Figur 2 angedeutet ist, aber bei einem Punkt 10 zwischen den beiden magnetischen Teilen 3 und 3a, halten sich die Wirkungen der magnetische¹. Teile 3 und 3ϋ das Gleichgewicht und die Empfindlichkeit wird unendlich klein.

Wenn z.B. in den Bereich 9 die Schwingungsphase von "0" nach ¹V' umkehrt, kehrt im Bereich 9a, die Phase

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von V" nach "0" um. Das in Figur 1 dargestellte Schwingungselement vom Einzeltyp irrt dem Einfluß eines äußeren gleichmäßigen magnetischen Feldes unterworfen, wogegen . das Schwingungselement der Figur 2 den Einfluß des äußeren, gleichmäßigen magnetischen Feldes vermeiden kann. Jedes der .Schwingungselemente hat jedoch den Nachteil, daß en schwierig ist damit eine -schmale Meßstrahl-Charakteristik zu erhalten.

Figur J)A zeigt ein Beispiel dieser Erfindung, das drei induktive Elemente verwendet (die anschließend als Elemente bezeichnet werden): Das mittlere ist ein Hauptelement und die anderen sind Hilfselemente, wobei die Elemente in einer zweidimensionalen Ebene liegen, und die Hilfselemente durch eine geeignete Entfernung (D) vom Hauptelement 9 getrennt sind und ein Ende des Hauptelementes als Kopf H benützt wird. In diesem Falle ist die um das Hauptelement 9 führende Wicklung so nah wie möglich am Kopf H angebracht, und die Wicklungen der Hilfselemente 10 und 11 in einer geeigneten Entfernung (d) vom Kopf H des Hauptelementes 9 angelegt. Die V.'icklungen diener Elemente sind in Serie geschaltet, so daß dar von einem durch das Hauptelement 9 hindurchfließenden Strom erzeugte magnetische Feld entgegengesetzt ist den magnetischen Feldern in den Hilfselementen 10 und 11, und ein Kondensator C irt mit dem in Reihe geschalteten Wicklungen parallel verbunden, wodurch ein Schwingkreis

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entsteht. Die Richtung des Erregungsstromes ist nicht "begrenzt, aber es wird eine Verengung der Strahlenbreite bewirkt wenn die magnetischen Drahtteile der entsprechenden Elemente in Serie derart miteinander verbunden sind, daß der in dem magnetischen Drahtteil dea Hauptelementes 9 fließende Erregungsstrom dem in den magnetischen Drahtteilen der Hilfselemente 10 und 11 fließenden Strömen entgegengerichtet ist. Es wird bevorzugt die Windungszahl der Wicklungen eines jjeden Elementes derart zu wählen, daß die Summe der Windungszahlen der Hilfselementwicklungen gleich der Windungszahl des Hauptelementes ist.

Es werden verschiedene Anordnungen betrachtet, bei denen die Erregungsspannung e* an das die entsprechenden Elemente darstellenden magnetischen Drahtteile angelegt wird. Es ist z.B. möglich, die Spannung an den parallel miteinander verbundenen magnetischen Drahtteilen so anzulegen, wie es in Figur JB dargestellt ist.

Wenn die Erregungsspannung"_;eψ zwischen den beiden An-

in

Schlüssen 1 und 1ja angelegt wird, wird in dem/ solcher Art aufgebauten magnetischen Fühler die zweite harmonische Spannung e^f zwischen den Ausgangsanschlüssen 2 und 2a in der gleichen Weise erzeugt wie in den oben beschriebenen früheren magnetischen Fühlern. Unter solchen Bedingungcm worden in jedem Element durch die zweite harmonische

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Spannung e~r. ein zweites harmonisches Feld und durch das zweite harmonische magnetische Feld ein inneres gleichgerichtetes magnetisches Feld erzeugt, wobei aber das innere gleichgerichtete magnetische Feld des Hauptelementes 9 dem inneren gleichgerichteten magnetischen Feld der Hilfselemente 10 und 11 entgegengerichtettist.-Wenn der Magnetisierer M in die Nachbarschaft des Kopfes H gebracht wird und das von dem Magnetisierer M erzeugte Feld groß und der Eichtung des inneren gleichgerichteten magnetischen Feldes des Hauptelements 9 entgegengerichtet nat, kehrt sich die Phase der zuvor erwähnten zweiten harmonischen Spannung von "O" nach ¹¹Tr" oder entgegengesetzt um und das innere gleichgerichtete magnetische Feld kehrt sich auch in entsprechender Weise um. Als Wirkung der Umkehrung der Schwingphase der zweiten harmonischen Spannung und des inneren gleichgerichteten magnetischen Feldes im Hauptelement 9 tritt auch in den Hilfselement en 10 und 11 eine Umkehrung ein. Es ist wünschenswert, daß die Schwingphsse der zweiten harmonischen Spannung in jedem Element in ihre ursprüngliche Form zurückverwandelt wird, wenn der Magnetisierer M vom Kopf H wegbewegt wird. Vorrichtungen für die Rückverwandlung der Schwingphase können z.B. derart aufgebaut sein, daß ein kleiner Magnet an dem dem Kopf H entgegengesetzten Ende des Hauptelementes 9 befestigt ist.oder daß eine weitere Wicklung um das Häuptel ement 9 geführt und mit einem sehr kleinen Gleichstrom versorgt wird.

-IG-

Wenn der Magnetisierer M von Kopf II weg- und zum Hilfselement 10 bewegt wird, besitzen die in dem Hauptelement 9 und dem Hilfselement 10 errichteten iriagnetischen Felder die gleichen Richtungen, aber die Stärke des Feldes im Element 9 ist niedrig während die Stärke des Feldes im Element 10 groß ist. In diesem Fall kann die SchwingpEnase umgekehrt werden, da das innere gleichgeriehtefce magnetische Feld und das magnetische Feld des Magnetisierers M im Element 10 entgegengesetzte Richtungen besitzen, und

in

falls das magnetische Feld des Magnetisieren Mi geeigneter Weise größer ist als das innere Feld der zweiten harmonischen Spannung. Auf diese Weise wirkt die magnetische Kraft des riagnetisierers M am Hauptelement 9 und an den Hilfselementen 10 und 11 in entgegengesetzten Richtungen, so daß zwischen den Elementen 9 und 10 oder 9 und 11 ein Funkt besteht, an dem die magnetische Kraft des Magnetisiererr M, die am Hauptelement 9 angelegt ist und zur Umkehr der Schwingphar.o beiträgt, mit jener magnetischen Kraft im Gleichgewicht steht, die an den Hilfselementen 10 oder 11 angelegt int-und zur Aufrechterhaltung der Schwingphase beträgt. Da diser Funkt von dar Größe der magnetischen Kraft des Hagnetisierers M unabhängig int, kann die Richtungscharakterintik der Kurve der Empfindlichkeitsverteilung durch Verkleinerung des Abctandes (D) zwischen dem Hauptelement 9 und den Hilfselementen 10 und 11 eingeengt werden. Wird z.B. der Durchmesser des magnetischen Drahtteiles des Hauptelementes 9 zu 0,5 mm gewählt und die

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Abstände (D) zwischen dem Hauptelement 9 und den Hilfselementen 10 und 11 so weit wie möglich verkleinert, so kann die Kurve der Empfindlichkeitsverteilung äußerst eng gemacht werden.

Figur 4A zeigt ein weiteres Beispiel, in dem der zweidimensionale Aufbau der Figuren JA oder JB zu einem dreidimensionalen Aufbau erweitert ist. Die Arbeitsweise ist bei diesem Beispiel die gleiche wie jene im Falle der Figuren JA oder JB und die ermittelte Verteilungskurve läßt sich in einer kubischen Form darstellen, wie etwa in Figur 4B gezeigt ist. Figur 4C stellt die Anordnung der entsprechenden Elemente dar, wie sie aus einer Richtung Z, d.h. aus der Richtung des Kopfes des Hauptelementes gesehen werden. Figur 4A zeigt ein Beispiel, in dem 4 Hilfselemente symmetrisch um das Hauptelement 9 angeordnet sind, wobei aber die Anzahl der Hilfselemente nicht speziell auf vier begrenzt ist, sondern wie in Figur JA oder JB gezeigt ist auch zwei betragen kann oder größer als zwei sein kann. Es ist zu diesem Zweck ausreichend, wenn die Hilfselemente entlang eines um das Hauptelement führenden Zylinderumfanges angeordnet sind und ihre magnetischen Drahtteile und Wicklungen derart verbunden sind, wie in Verbindung mit den Figuren JA, JB, 4A, 4B und 4C- zuvor beschrieben wurde.

Um ο .ine noch spitzere Richtungscharakteristik des

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magnetischen Fühlern der Figuren 3A.oder 3B su schaffen, ist an der entgegengesetzten Seite des Kopfes II ein magnetisches Glied 20, wie etwa ein Ferrit; vorgesehen, wie gezeigt ist, um mir die magnetischen Wege der entsprechenden Elemente abzukürzen und sie als Wege .für den Erregungsstrom zwischen den Element en abzusondern wodurch der «in Kopf H des \Hauptelementes 9 eintretende magnetische Fluß veranlaßt wird durch die kurzgeschlossene Strecke 20 hindurchzuführen und durch eine Anzahl von Ililfselementen 10, 11 zum Kopf H zurückzukehren, ohne daß zwischen dem Kopf des Hauptelementes und dem entgegengesetzten Ende ein Verlust auftritt, wodurch die Bichtungscharakteristik des magnetischen Fühlers verbessert wird.

Die Figuren 5A bis ^>G zeigen ein weiteres Beispiel, in dem der in Figur 4A gezeigte dreidimensionale magnetische Fühler in Form eines Moduls aufgebaut ist. Wie in Figur 5A gezeigt ist, sind z.B. die Elemente 23 und 24 auf der Oberseite einer Unterlage 30 an Kupferplättchen 25 befestigt, die am Randteil der Unterlage angebracht sind, an dessen Unterseite die Elemente 11 ähnlich befertigt sind. Wie in Figur 53 dargestellt ist, sind dagegen die Elemente 10 und 9 an den Kupferfolien 25 auf beiden Seiten der Unterlage 5Λ angebracht* Anschließend werden Ήο Unterlagen zu einem einheitlichen Aufbau, wie in Figur ^D gezeigt ist4 zusammengesetzt, wobei Zwischenstützen 26 zwischen den Unterlagen angeordnet werden. Die

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Figuren 5B₅ 5E, und die Figuren 5Ö, 5^ (alle im Querschnitt gezeigt) stellen Beispiele mit einem ähnlichen Aufbau wie in den Figuren 5A,'5D dar^die hinsichtlich der Anordnung auf jeder einzelnen Unterlage von dem obigen Beispiel abweichen aber im Endaufbau damit genau übereinstimmen.

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Die Figuren 6A, OB und 6C zeigen ein weiteres Beispiel, in dem der magnetische Fühler der Figur ^A unter der Benützung der in den Figuren 5A bi^c 5G gezeigten Modulunterlage aufgebaut ist. Nactvdem die Elemente auf einer Seite der Unterlagen 30 und 31 befestigt worden sind, wie in den Figuren 5A und 6B dargestellt ist und in den Figuren 5A bis 5G oben beschrieben wurde, werden die beiden Unterlagen zusammengefügt, wobei sie mit Hilfe ihrer Ausschnitte 28 miteinander verbunden werden, wie in der Figur 6c gezeigt ist.

Figur 7 zeigt ein weiteres Beispiel, in dem ein magnetischer Fühler, ähnlich, dem der Figuren 6A, 6B und 6C, unter Verwendung einer hohlen viereckigen Unterlage 29 aufgebaut ist, bei der die induktiven Hilfselemente und das Hauptelement an der Außenseite bzw. Innenseite gehalten werden.

Mit solch einem Modulaufbau kann der magnetische Fühler auch bequem in einer würfelförmigen Form aufgebaut werden.

Wie oben beschrieben wurde,kann in dem zum Schmalstrahltyp gehörenden magnetischen Fühler dieser Erfindung die dem Magnetismus ermittelnde Verteilungskurve äußerst spitz gemacht werden und eine hohe Auflösung erreicht werden, indem die Entfernung D zwischen dem Hauptelement,

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das als Kopf für die Ermittlung der magnetischen Information dient, und jedem.der Hilfselemente, und die Entfernung d. zwischen dem Wicklungsende de~ Hauptelementes und jenem der Hilfselemente geeignet gewählt wird. Der magnetische Fühler dieser Erfindung kann deshalb magnetische Signale großer Stärke unterscheiden, besitzt kleine Abmessungen und große Zuverlässigkeit und kann daher äußerst v/irksam für industrielle Zwecke eingesetzt werden.

Das Diagramm der Figur 8 zeigt die den Magnetismus ermittelnde Verteilungskurve II des in Figur 1 gezeigten bisher verwendeten Fühlers vom Einzeltyp und die Verteilungskurve I des in den Figuren J>k oder 3B dargestellten magnetischen Fühlers dieser Erfindung, wobei die Verteilungskurven für den Fall D=I mm und d=l,5 mm gemessen wurden, und man erkennt aus dem Diagramm, daß sich der zum Schmalstrahltyp gehörende Aufbau außerordentlich abhebt. Bei der in den Figuren J>A oder 3B gezeigten Form vom Schmalptrahltyp ist die ermittelnde Auflösung hoch in der Richtung der Linie Y-Ya aber nicht zu hoch in der Richtung der Achaai X-Xa (siehe Figuren *»A, 4E und 4C), die zu Y-Ya rechtwinkelig sind. Die Benützung eines solchen Aufbaus, wie er in der Figur ÜA gezeigt ist, macht dann die ermittelnde Verteilungskurve in der Richtung der Achsen X-Xa

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spitz und schafft einen magnetischen Fühler, der eine spitze ermittelnde Verteilungskurve in allen 3 Dimensionen besitzt.

Der magnetische Fühler dieser Erfindung dient als hochempfindlicher Kopf für die Ermittlung des Magnetismus, der eine hohe Auflösung besitzt, wenn er aura Lesen von magnetischen Aufzeichnungen benutzt wird.

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Claims (5)

1. PATENTANSPRÜCHE

   ( 1») Magnetischer Fühler mit einem parametrisch erregten zweiten harmonischen Oszillator, in dem mindestens ein induktives Element aus einem magnetischen Drahtteil, das eine auf einem Leiter aufgebrachte magnetische Schicht besitzt, und einer um das Drahtteil führende Wicklung besteht, in dem ein Kondensator mit der Wicklung parallel verbunden ist und einen Resonanzkreis bildet, und in dem ein Erreger-Wechselstrom an dem magnetischen Drahtteil angelegt wird und eine zweite harmonische Schwingung des Erregerstroms im Resonanzkreis hergestellt wird, wobei ein sehr kleines magnetisches Feld dadurch ermittelt wird, daß ein Wechsel in der Phase der zweiten harmonischen Schwingung gemäß der Richtung eines äußeren magnetischen Feldes benützt wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens drei induktive Elemente (9, 10, 11) verwendet, werden, von denen jedes aus einem magnetischen Drahtteil und einer

   • Wicklung besteht, daß eines dieser Elemente ein Hauptelement (9) ist und die übrigen um das Hauptelement (9) angeordnete Hilfselemente (10,11) sind, daß die Wicklungen der Elemente derart in Serie miteinander verbunden sind,

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   daß, wenn an don magnetischen Teilen die gleiche Erregun^sspannung (e„) angelegt wird, ein von einem durch die Wicklung des Hauptelements (9) fließenden zweiten harmonischen .Strome erzeugtes magnetisches Feld die entgegengenetzte Richtung besitzt wie ein von dem durch die Wicklung eines jeden Hilfselementes (10,11) fließenden zweiten harmonischen Stromes erzeugtes magnetisches Feld, wodurch in Bezug auf den Kopfteil des einen Endes des Hauptelements (9) eine äußerst scharfe Empfindlichkeitscharakteristik gegenüber einem äußeren magnetischen Feld hergestellt wird.
2. 2. Magnetischer Fühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch 3 induktive Elemente (9*10*11)» deren magnetische Drahtteile in gleichen Abständen parallel angeordnet und in Serie miteinander verbunden sind, und wobei das mittlere (9) der induktiven Elemente (9»10,11) das Hauptelement darstellt. (Figur
3. 3. Magnetischer Fühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch 3 induktive Elemente (9,10,11), deren magnetische Drahtteile in gleichen Abständen parallel angeordnet und miteinander parallel verbunden sind, und wobei das mittlere (9) der induktiven Elemente (9,10,11) das Hauptelement darstellt. (Figur 3B)

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   §AD OFUGIM'V!...

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4. 4. Magnetischer Fühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch 5 induktive Elemente (9,10,11,15,16), wobei die magnetischen Drahtteile von vier dieser fünf induktiven Elemente entlang den Kantenlinien eines regelmäßigen rechtwinkeligen Körpers parallel angeordnet sind, während der magnetische Drahtteil eines dieser fünf induktiven Elemente entlang der Mittelachse des regelmäßigen rechtwinkeligen Körpers angeordnet ist. (Figur 4A, 4B, 4-C).
5. 5. Magnetischer Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Drahtteile auf mindestens einer Unterlage eines Mikromoduls (30*31, 29) angeordnet sind. (Figur 6A-6C, Figur 7).(Figur 5A-5G)

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   .ORIGINAL INSPECTED