DE2247368A1 - Verfahren zum ausbessern defekter filmmuster - Google Patents
Verfahren zum ausbessern defekter filmmusterInfo
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| US18773971A | 1971-10-08 | 1971-10-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=22690259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19722247368 Pending DE2247368A1 (de) | 1971-10-08 | 1972-09-27 | Verfahren zum ausbessern defekter filmmuster |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| DE (1) | DE2247368A1 (cs) |
| GB (1) | GB1345093A (cs) |
| IT (1) | IT967781B (cs) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0036310A3 (en) * | 1980-03-14 | 1981-12-30 | Fujitsu Limited | Method and apparatus for amending a photomask |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5632777B2 (cs) * | 1974-05-10 | 1981-07-30 | ||
| JPS599942A (ja) * | 1982-07-08 | 1984-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 配線パタ−ン形成法 |
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1972
- 1972-09-22 IT IT29575/72A patent/IT967781B/it active
- 1972-09-27 DE DE19722247368 patent/DE2247368A1/de active Pending
- 1972-09-29 GB GB4496972A patent/GB1345093A/en not_active Expired
- 1972-10-07 JP JP47101040A patent/JPS4847284A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0036310A3 (en) * | 1980-03-14 | 1981-12-30 | Fujitsu Limited | Method and apparatus for amending a photomask |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS4847284A (cs) | 1973-07-05 |
| IT967781B (it) | 1974-03-11 |
| GB1345093A (en) | 1974-01-30 |
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