DE2243985C3 - Objektiv, welches zwei zu einem in der Blendenebene liegenden Punkt symmetrische Linsengruppen aufweist, welche nach Art eines modifizierten GauO-Objektivs aufgebaut sind - Google Patents
Objektiv, welches zwei zu einem in der Blendenebene liegenden Punkt symmetrische Linsengruppen aufweist, welche nach Art eines modifizierten GauO-Objektivs aufgebaut sindInfo
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Description
Die Erfindung be/ichl sich auf ein Objektiv, welches
zwei /u einem in der Blendenebene liegenden Punkt symmetrische Linsengruppen aufweist, welche nach
Art eines moditiziertcn Gauß-Objektivs aufgebaut sind.
Aus der LS-PS 35 04 961 isl ein Objektiv dieser
Art für die Fotografie, die Mikrofotografie. Bildwandler
und dergleichen bekannt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
ein Objektiv dieser Art für 1 : 1-Vergrößerungen anzugeben, das auch bei großen Bildfeldern eine
gleichmäßige Bildschärfe über das gesamte Bildfeld gewährleistet und einen relativ kompakten Aufbau be-
Diese Aufgabe wird durch Ausbildung des Objektivs der eingangs genannten Art mit Konstruktionsdaten
gemäß der im Kennzeichen der Patentansprüche aufgeführten Dater.'.abellen gelöst.
Bei der Entwicklung der erfindungsgemäßen Objektive wurde die Einhaltung der folgenden Bedingungen
als wichtig erkannt:
(1! 0.25 / - r, <
(2) 0.08/ < d- +
(2) 0.08/ < d- +
•3» 2·«
< /,«7 ·
(41 0.5 ·- /^- /-15) -0.35 f < r-
(41 0.5 ·- /^- /-15) -0.35 f < r-
r, < 0.41 /.
dH + d9
<
' 4.3.
< 1.8.
0.21/.
Darin bezeichnen / die Gesamtbrennweite des to Objektivs. /I23 die- Brennweite der ersten bis dritten
Linse. /i5ft- die Brennweite der vierten bis siebten
Linse, r,. r2 ... γ1λ den Krümmungsradius der Linsenoberflächen
in der Reihenfolge von dem Punkt aus gesehen, dj. d2 . . . dn die Dicken der Linsen bzw. Luft- f>5
abstände zwischen den Linsen.
I m allgemeinen ist eine optische Anordnung, bei der
die Oberflächen r, und r-, der ersten Linse konkav zum
Symmetriepunkt sind, vorteilhaft für die Korrektur des Astigmatismus. Gemäß der Erfindung sind sie
jedoch konvex in bezug auf diesen Punkt, da r,
> 0 und r, > 0. wie sich aus Bedingung (I) ergibt. Diese Bedingung (I) resultiert daraus, daß der Korrektur der
sphärischen Aberration und der außcraxialen sagittalen
Längsaberration Priorität gegeben ist. wobei zusätzlich die Bedingung (2) vorgesehen ist. Mit der Bedingung
(I). mit der r, und r2 zwischen 0.25 und 0.41 f
eingeschränkt sind, wobei das Verhältnis r, < r, aufrechterhalten
wird, kann die sphärische Aberration genügend korrigiert werden. Mit dieser Korrektur ist
die außeraxiale sagittale Längsaberration weitgehend für die Randzone des Bildfeldes kompensiert. Diese
weitgehende Kompensation der außeraxialcn sagittalen
Aberration für die Randzone des Bildfeldes wird durch die Bedingung (2) gegeben. Insbesondere ergibt
sich aus der Tatsache, daß die Kompensatior der außeraxialen sagittalen Längsaberration ungenügend
wird, wenn dn + ds 4- dg über 0,08/ ansteigt, daß
dann die weitgehend kompensierte sphärische Aberration nach Bedingung (1) verlorengeht, so daß ein
zufriedenstellender Ausgleich erzielt werden kann. Wenn jedoch d-, + ds + dq den oberen Grenzwert von
0,21 / überschreitet, wird die außeraxiale sagittale Längsaberration äußerst stark, so daß sie nicht mehl
durch die Bedingung (1) kompensiert werden kann Daher ist es notwendig, 0,2 / als obere Grenze der Bedingung
(2) zu nehmen.
Wie bereits erwähnt, ist r, > 0 und r2
> 0 wie in Bedingung (1) nicht erwünscht in bezug auf die Auswirkungen
auf den Astigmatismus. Wenn jedoch / = 236 mm und /' = 38 mm (Y = Biluhöhe), kann
der halbe Bildfeldwinkel o> verhältnismäßig klein gehalten werden, so daß er bei ungefähr Ψ liegt. Wenn
man dann noch das Verhältnis der Gesamtbrennweiu
/ur Brennweite /12, der eisten bis dritten linse grollet
als 2.S wählt, kann jedes Ansteigen des Astigmatismus
in dieser Linscngr.ippc verhindert werden. Auf diese
Weise können die unerwünschten Effekte auf den Astigmatismus, die auf die Bedingung (I) mil r,
> O und /·, > O zurückzuführen sind, auf ein Minimum
hcrabg:..-fitzt werden. Mit dem Anwachsen auf /,2,//
wird die rnlfcrnung der Oberfläche r,4 der Kndlinsc
von der Brennebene vergrößert, was die Möglichkeit nimmt, das Linsensystem kompakt auszubilden. Daher
ist es notwendig, die obere Grenze von 4.3 für il2\lI
als Bedingung (3) vorzusehen.
Die Bedingung (4) dient dazu, der Kompaktheit des Objeklivs und der Korrektur des Astigmatismus den
Vorzug zu geben, insbesondere der Bildfcklkrümmung in einer Sagittalebcnc. Wenn /45h7/ / kleiner als 1.8 ist.
ist die Entfernung der Endlinscnobcrfläehe r,4 von der
paktc Linsenanordnung mit zufriedenstellender Korrektur
der Bildfcldkrümnnmg in einer Sagiltalebenc /u erzielen. Wenn jedoch Z45,,-,// von 1.8 an reduziert
wird, wird die Kompensation der Bildfeldkrümmung
in einer Mcridialebenc zunehmend unbefriedigender. Demgemäß wird die Bildfeldkrümmung in einer
Mcridionalcbcne durch die Bedingung (5) korrigiert,
d. h. dadurch, daß r, kleiner als —0.1 f ist. Glücklicherweise
hat eine Änderung in r-, einen außerordentlich
kleinen Effekt aufdie Bildfeldkrümmung in einer Sagiltalebenc im Verhältnis zu ihrem Effekt auf
die B'dfeldkrümmung in einer Meridionalcbcnc. Daher hat die Bedingung (5) nur geringe Auswirkung
aufdie zufriedenstellend korrigierte Bildfeldkrümmung in einer Sagittalebcne nach Bedingung (4). Wenn
jedoch /■- < -0.35/ ist. ist die Bildfcldkrümmung in einer Sagittalebcne zu stark, um durch die Bedingung
(4) korrigiert zu werden. Die unlcre Grenze von 0.5 in der Bedingung (4) ist daher vorgesehen, um die
Bildfcldkrümmung in einer Meridionalcbcne durch die Bedingung (5) genügend korrigieren z.u können.
Eine kompaktere Linsenanordnung und eine noch bessere Korrektur der Bildfcldkriimmung in sagittalcn
und mcridionalcn Ebenen können durch Einschränkung der erwähnten Bedingungen (4) und (5) durch die
folgenden Bedingungen:
(4Ί 0.8 <- £,,„-//■ - 1.2.
(5'| 0.27 / < r, - -0.15 /
(5'| 0.27 / < r, - -0.15 /
erzielt werden.
Auch wenn man /„ > 0.2 f wählt, ist es möglich,
eine bessere Korrektur der Bildfcldkrümmung in einer mcridionalcn Ebene unter dem breiten Bereich
der Bedingungen (4) und (5) zu erzielen. Weiterhin
mtin lupnn
l.inscnanordnung in dem breiten Bereich der Bedingung
(4) erhallen.
Die erfindungsgemäßen Objektive werden nun anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
I·' i g. I eine schcmalischc Schnittansicht durch ein
Objektiv nach der Erfindung.
F i g. 2A. 2B. 2C Korrckturkurvcn für das erste
Objektiv.
F i g. 3A. 3 B. 3C Korrckturkurvcn für das zweite
Objektiv.
F i g. 4A. 4 B. 4C Korrekturkurven für das dritte
Objektiv.
Fig. 5Λ, 5B, 5C Korrekturkurven für das vierte
Objektiv.
Das Objektiv I weist die nachstehend in Tabelle I aufgerührten numerischen Daten auf:
r, = 88,806
r, = 70,027
r2 = 87.545
r4 = r
r, = 154,095
r„ = 60,898
r- = -52,226
r8 = 2274,1
r9 = 703,982
r10= -77,022
r„ = -539,635
rI2 = -129,486
rI3 = -807,087
r14 = χ
S1 = 5,34
</, = 11,78
d2 = 3,76 n, = 1,67321 .·, = 38,25
d3 = 18,07
rf4 = 2,47 /i2 = 1.69312 .·2 = 55,33
d5 = 14,07
d6 = 21,79 /i3 = 1,64058 r3 = 46,93
d-, = 10,58
ds = 5,01 n4 = 1,6596 r4 = 35,37
dq = 18,71
dl0 = 0,14 n5 = 1,62799 rs = 56,36
du = 18,21
d!2 = 5,0 /I6 = 1,62731 ,-6 = 54,95
J13 = 16,65
/ = 236,046 = 1,62731 νΊ = 56.36
Das Objektiv 2 weist die nachstehend
numerischen Daten auf:
numerischen Daten auf:
in Tnbell·· 2 aufiiefiihrtcn
tabelle | 89.288 | «Ί | X1 --- | 5.27 | - 1.67321 | ι·, = 38.25 |
'Ί = | 70.202 | ''2 | = 11.82 | »1 = | ||
C2 = | 87,951 | = 3.76 | - 1.69312 | V1 - 55.33 | ||
'/4 | ||||||
i'\ = | - 18.1« | "2 ' | ||||
155.575 | «'s | - 2.64 | =- 1,64058 | r, . 46.93 | ||
'4 | ||||||
/·. -- | 61.19 | <Ί, | = 14.19 | ».\ -- | ||
'7, = | -52,KW | (i-, | = 21.8 | - i ,h59fi | 1., - 35.37 | |
C? — | 2814.075 | «Ή | = Μι.» | "4 | ||
''s = | 745.881 | <'■) | = 5,19 | --- 1.62731 | .-., - 56.36 | |
'••1 = | - 76.778 | 'Ίο | = 18.23 | »5 '- | ||
'Ίο = | -528.197 | ,/n | 0.14 | -■■- 1.62799 | rh = 5 4.95 | |
'ι ι = | -127.861 | </,, | 18.14 | |||
Cp — | 799.931 | «Ί.ι | -= 5.01 | = 1.62731 | 1^ = 56.36 | |
I \ \ —- | weist | = 16.64 | lh = | in I abelle | 3 aufgeführten | |
Objektiv 3 | ./' - 236.081 | |||||
} j_J ^ | die nachstehend | |||||
Das | ||||||
numerischen Daten auf: Tabelle 3
.V1 = 5.25
c, =■■ | 89.741 | -r. | Ux = | 11.84 | "1 = | 1.67321 | 1I = | 38.25 |
Ci = | 70.363 | ,/, = | 3.75 | |||||
ΓΛ = | 88.288 | ,/., = | 18,26 | "2 = | 1.69312 | ;12 = | 55.33 | |
'/4 = | 2,73 | |||||||
r4 = | ||||||||
r5 = | I 56.598 | J5 = | 14.19 | II, - | 1,64058 | ' .1 | 46.93 | |
'"h = | 61.507 | <k = | 21.74 | |||||
T1 = | -51,959 | (I1 = | 10,09 | H4 = | 1,6596 | r4 = | 35.37 | |
's = | 3422.314 | <'a = | 5,26 | |||||
^q = | 779,819 | J, = | 17,89 | "5 = | 1.62731 | ''5 = | 56.36 | |
Ua = | -76.497 | 'Ίο = | 0,14 | |||||
Γ|1 = | - 507,938 | (/,, = | 18,11 | "6 = | 1,63695 | 53.2 | ||
r,2 = | -126,679 | (In = | 5,03 | |||||
»"13 = | 812,955 | it., = | 16,63 | "7 = | 1,62731 | V1 = | 56,36 | |
ΓΙ4 = | f = 235.921 | |||||||
11
Das Objektiv 4 weist die nachstehend in Tabelle 4 aufgefüluten
numerischen Daten auf:
r, = 90.351
c, = 70.007
c, = 70.007
89.237
/·, = 159.88
c6 = 61.998
/% = -51.412
''s = ■'
c9 = 918.473
r„, = 74.405
,-,, = -464,138
/·,, = - I 25.008
C11 = 733.772
.V1 = 5.21
J1 = 12,49 /ι, = 1.67321 .·, = 38,25
J2 = 3,75
(/., = 18,87 /I2 = 1.69312 ι·2 = 55,33
</4 = 3.41
ι/, = 14.88 /ι, =- 1,64058 r, = 46,93
(/„ = 22,3«
(ΙΊ = 9,4 /I4 = 1.6596 i4 = 35,37
</h = 5-4
</., = 17.2 /i5 = 1,62731 ι·5 = 56,36
dln = 0,14
</,, = 18.06 /I6 = 1.63147 ,„ = 54.0
i/,2 = 5.42
</,., = 16.93 /I7 = 1.62731
/ = 236.242
.·, = 56.36
Darin bezeichnen S1 die Entfernung vom Synimetriepunkl
zur Oberfläche der ersten Linse, /·,. r, . . . cl4
die Krümmungsradien der Linsenoberflächen. </,.(/, ... (Z1, die Dicke der Linsen bzw. Zwischenräume
zwischen den Linsen. »,. /1, ... /1- die Brechungsindizes
der Linsen für die g-Linie (435.8 ^m).
r,. r2 ... i7 die Abbe-Zahlen der einzelnen Linsen.
/ die Gesamtbrennweitc des Objektivs. /,,, die Brennweite
der Linsen I bis 3 und /456, die Brennweite der
vierten bis siebten Linse.
In den Tabellen I 4 sind alle Längenmaße in mm angegeben.
Die in den Fig. 2Λ ... 5C gezeigten Korrekturkurven
wurden mit der Vergrößerung - 1 χ und mit der numerischen Apertur N. A. = 0.125 (die effektive
A" relative Apertur betrug I :4) erhalten. Y ist die Bildhöhe
in mm. und B ist ein Maß für die Höhe, in der
außeraxiale Strahlen die Punktebene schneiden.
Wie sich aus den Zeichnungen ergibt, sind c\t erfindungsgemäßen
Objektive für 1 : 1-Kopien kompakt -I^ im Aufbau und hervorragend bezüglich der verschiedenen
Aberrationen wie der sphärischen Aberration, dem Astigmatismus, der außeraxialen meridionalen
Queraberration und der außeraxialen sagiltalcn
Längsaberration korrigiert und sind die Abbiiso dungseigenschaften gleichmäßig über das gesamte
Bildfeld auch bei einem großen Bildfelddurchmesser.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
-
22 43 985 / 37,622 I r4 = oo r9 = 65,282 = 100 die Dicken Linsen für / 37,821 ier Linsen 2 durch die nachstehend in Ta- ■■, = 38,25 i·, = 38,25 X bzw. Luftabstände zwischen den Linsen 2' der Linsen belle Γ aufgeführten numerischen Daten: Patentansprüche: 29,667 J r5 = (j r10 = 25,799 4 = 4,991 die Brechungsindizes der 29,736 , H1, H2 . . ./I7 zierten Gauß-Objektivs aufgebaut sind, g ekenn- I. Objektiv, welehes zwe zu einem in der Blen- J Tabelle die g-Linie 45 zeichnet S1 = 2,262 5 denebene liegenden Punkt symmetrische Linsen- s 37,088 t r6 = 1 rn = - -22,125 d2 = 1,593 37,255 '2 = 55,33 p2 = 55,33 1 gruppen aufweist, welche nach Art eines modifi- r\ = = 100 π, = 1,67321 I Tabelle Γ f ] »Ί2 = 963,414 d3 = 7,655 j
irl = 65,899 J1 - 5.007 p, = 46,93 V
1 r, =r13 = ~ 298,239 J4 - 1,046 v3 = 46,93 ί r3 = 25,919 J2 = 1,593 H2 = 1,69312 I r2 = r14 = ■* -32,630 J5 = 5,961 ! Darin bezeichnen S1 die r4 = / - 22,073 J, = 7,701 p4 = 35.37 ! »3 = -228,614 J6 = 9,231 r5 = J4 = 1,118 ι·* = 35,37 I 1191,996 H3 = 1,64058 - 54,856 J7 = 4,482 »■ft = J5 = 6,011 315,943 .·, = 56,36 -34 ,919 J8 = 2,122 Γη = J6 - 9,234 rs = 56,36 H4 = 1,6596 J9 = 7,926 rH = J7 = 4,401 Entfernunj. J10 = 0,059 rq = (Ix = 2,198 •■β = 54,95 H5 = 1,62799 J11 = 7,715 <L - 7,722 J12 = 2,118 P7 = 56,36 H6 = 1,62731 J13 = 7,054 P2 ... P7 die Abbe-Zahlen der ein- und / die Ge&amtbrennwcite des vom Sym- 4C metriepunkt zur Oberfläche der ersten Linse. H7 = 1,62731 nach dem Oberbegriff des An- r,, r2 ... r14 die Krümmungsradien < Spruchs 1, gekennzeichnet durch die nachstehend oberflächen, J1, d2 ... J13 (435,8 μτη), vf. in Tabelle 2' aufgeführten numerischen Daten: zclncn Linsen Objektivs. S1 - 2,232 2. Objektiv /ι, = 1,67321 /I2 = 1,69312 /ι., = 1,64058 /I4 = 1,6596 /ι, = 1,62731 Fortsetzung
r,o= -32,522
r„ = -223,735
r,,= -54,160
r,3 = 338,838
r14 = χdi0 = 0,059rf,, = 7,684an = 2,122rf,3 = 7,048Darin bezeichnen S1 die Entfernung vom Symmetriepunkt zur Oberfläche der eisten Linse, r,,r2 ... rl4 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen, rf,, rf, ... rf13 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen den Linsen, π,, π,- ·. /I7 die Brechungsindizes der Linsen für die g-LinieTabelle 3' J 38,039 X 66,377 ' = 100 »Ί = 29,825 26,071 J1 = 5,019 37,423 -22,02.4 rf2 = 1,590 f\ ^= 1450,619 rfj = 7J40 Γι ^ 330,542 u4 = 1,157 Γκ ^ -32,425 rfs = 6,015 r6 = -215,300 d6 = 9,215 ^ = -53,696 rf7 = 4,277 r8 = 344,588 rf8 = 2,230 r9 = rfq = 7,583 r10 = (Z1n - 0,059 rII = </„ = 7,676 rI2 = i/12 = 2,132 rf,, = 7,049 r,4 = xDarin bezeichnen S1 die Entfernung vom Symmetrippunkt zur Oberfläche der ersten Linse, r,, r, ... rl4 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen. ί/|,ί/2 . . . ί/,.1 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstande zwischen den Linsen./I1,/ι,... /I7 die Brcchungsindizcs der Linsen für die g-LinieTabelle 4'r\ - ri =
r, =/' = 10038,245
29,634Cl1 =37,774cl2 = 15.287 .587 = 7.988 = 1.443 n6 = 1,62799 v6 = 54,95ηΊ = 1,62731 M7 = 56,36(435,8 jj.m), ι·,, ι·, ... i'7 die Abbe-Zahlen der einzelnen Linsen und / die Gesamtbrennweite des Objektivs.3. Objektiv nach dem Oberbegriff des Anspruchs I, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 3' aufgeführten numerischen Daten:S, = 2,225-»τ, = 1,67321 .-, = 38,25n2 = 1,69312 ι·2 = 55,33= 1,64058 y} = 46,93(i4 = 1,6596 i4 - 35,37= 1,62731 ι·5 = 56,36= 1,63695= 53,2/I7 = 1,62731 ι·7 = 56,36(435,8 jj.m), ι·,, I2 ... ι·7 die Abbe-Zahlen der einzelnen Linsen und / die Gesamtbrennweite des Objektivs.Ι. Objektiv nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 4 aufgerührten numerischeil Daten:S1 = 2,205»ι, = 1,67321 ,·, = 38,25H2 = 1,69312 ι·2 = 55,33rs = 67.673 lU = 6,299 η, = 1.64058 r, = 46.93 r* = 26.243 '/„ = 9.473 r- = -21.762 </- = 3.979 ih = 1.6596 n = 35.37 <k = 2.286 rs rq = 388.785 7.281 H5 = 1.62731 .·, = 56.36 T1n = -31.495 'A» = 0.059 »M = -196.467 7.645 »i6 = 1,63147 ■·„ = 54,0 r,2 = -52.915 Ά 2 = 2.294 ,/,., = 7.166 /I7 = 1.62731 56.36 '"l.l ~* ...Π.«!2 Darin bezeichnen S1 die Entfernung vom Symmetriepunkt zur Oberfläche der ersten Linse, r,. r, . . . T14 die Krümmungsradien der Linsen- 2s oberflächen. dt.d2 . . ,/,, die Dicken der Linsen bzw. Luft;ibstände/wischen den Linsen. It1Ji2 ... (N die Brechiingsindizcs der Linsen für die g-l.inic (435.8 im), τ,, ι·, ... r- die Abbe-Zahlen der einzelnen Linsen und / die Gcsamlbrcnnweite des Objektivs.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS53131622A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-16 | Mikio Oda | Car cooler device |
JP4811623B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2011-11-09 | 株式会社ニコン | 投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置 |
DE102017106837B4 (de) * | 2017-03-30 | 2023-02-23 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Linsensystem für ein Makroobjektiv für den industriellen Einsatz bei der Qualitätssicherung im Produktionsprozess, Makroobjektiv sowie System |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1286645A (en) * | 1968-12-04 | 1972-08-23 | Asahi Optical Co Ltd | Lens system |
US3685884A (en) * | 1971-01-29 | 1972-08-22 | Olympus Optical Co | 1 x objective for projection printing |
-
1971
- 1971-09-08 JP JP46068855A patent/JPS5030452B2/ja not_active Expired
-
1972
- 1972-09-07 US US00286947A patent/US3814505A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-09-07 DE DE2243985A patent/DE2243985C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS4834530A (de) | 1973-05-19 |
US3814505A (en) | 1974-06-04 |
DE2243985B2 (de) | 1977-08-11 |
JPS5030452B2 (de) | 1975-10-01 |
DE2243985A1 (de) | 1973-03-15 |
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