DE2237722A1 - Pneumatische positionsmessvorrichtung - Google Patents

Pneumatische positionsmessvorrichtung

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DE2237722A1
DE2237722A1 DE19722237722 DE2237722A DE2237722A1 DE 2237722 A1 DE2237722 A1 DE 2237722A1 DE 19722237722 DE19722237722 DE 19722237722 DE 2237722 A DE2237722 A DE 2237722A DE 2237722 A1 DE2237722 A1 DE 2237722A1
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00Measuring arrangements characterised by the use of fluids

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Description

  • Pneumatische Positionsmeßvorrichtung Die Erfindung betrifft eine Pneumatische Positionsmeßvorrichtung, bei der die Relativlage eines verschiebbaren Positionsgebers durch die Messung des Druckes in zwei Bohrungen erfolgt, die an verschiedenen Stellen entlang der Verschieberichtung des Positionsgebers angeordnet sind, und der Positionsgeber bezüglich einer senkrecht zur Verschieberichtung liegenden Ebene derart symmetrisch ausgebildet ist, daß in einer definierte Stellung desselben vor den beiden Öffnungen in diesen gleiche Drücke entstehen, die bei einer Verschiebung des Positionsgebers ungleich verändert werden, so daß in den Bohrungen dann eine Druckdifferenz entsteht.
  • Derartige Pneumatische Positionsmeßvorrichtungen sind bekannt (Lotze, Wa, eingereitetechnik, 17. Jg., Heft Bild 1). Aus beiden Bohrungen tritt dabei Strömungsmittel aus und trifft auf die beiden jeweils gegenüberliegenden Bereiche des Positionsgebers auf, die als Prallfläche wirken. In einer definierten Stellung ist die Rückwirkung, die durch das Auftreffen der aus den Austrittsöffnungen der Bohrungen austretenden Strömung auf die Prallflächen in den Bohrungen entsteht, in beiden Bohrungen gleich, so daßkeine Druckdifferenz auftritt. Auf diese Weise kann eine bestinQte Relativlage des Pcsitionsgebers gegenüber den beiden Bohrungen festgestellt werden. Der Positionsgeber wird dabei, wie auch bei anderen ächlichen Systemen (Sharp et al., A Fluidic Absolute Measuring System, Instrument Practice, Januar 1968, S. 43, Fig. 1) durch Nocken gebildet.
  • Der erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine pneumatische Positionsmeßvorrichtung zu schaffen, bei der ein wesentlich genauerer Abgleich, insbesondere aber ein genauerer Symmetrieabgleich möglich ist.
  • Erfindungsgemäß ist eine Pneumatische Positionsmeßvorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gekennzeichnet, daß durch die als Sonden ausgebildeten Bohrungen (Sondenbohrungen) die Druckverhälnisse einer Strömung abgetastet werden, die d t).LL'h Austreten eines Strömungsmittels aus einer zwischen den Sondenbohrungen senkrecht zur Verschieberichtung angeordneten Düse ensteht.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden an@h@@ der beigefügten Figuren eläutert. Es stellen dar: Fig. 1 eine schematische darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung; Fig. 2 eine schematische darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung; Fig. 3 eine Darstellung der Abhangigkeit der Differenz des Druckes in den Sondenbohrungen von einer Verschiebung des Positionsgeber bei einer Anordnung nach Fig. 1 Fig. 4a eine Darstellung der Abhängigkeit der Differenz des Druckes in den Sotldenbohrungen von einer Verschiebung des Positionsgebers bei einer Anordnung nach Fig. 2, bei der die Breite des Nockens gleich dem Abstand der beiden Sondenbohrungen voneinander ist; Fig. 4b eine Darstellung der abhängigkeit der Differenz des Druckes in den zondenbohrungen von eine Verschiebung des Positionsgebers bei einer Anordnung nach Fig. 2, bei der die Breite des Nockens größer als der Abstand der Sondenbohrungen voneinander ist.
  • )3i deI Ausführungsbeispiel der Erfindung nach. Fig. 1 ist in einem block 1 eine Düse 2 vorgesehen, durch deren hustrittsöffnung 3 Strömungsmittel austritt, das ihr über die Strömungs mittelzuführung A, in der ein Speisedruck Ps herrscht, zugeführt wird.
  • Die aus der Austrittsöffnung 3 der Düse 2 austretende Strömung trifft auf die Prallplatte 5, die in Kichtung des pfeiles s verschiebbar int und in der in Fig. 1 gezeigten Stellung derart gegenüber der Austrittsöffnung 3 angeordnet ist,daß die Achse der Diese 2 in einer Symmetrieebene der Prallplatte 5 liegt.
  • Links und rechts von der Düse 2 sind in dem Block 1 zwei Sondenbohrungen 6 und 7 vorgesehen. Ihr Abstand gegenüber der Achse der Düse 2 ist gleich.
  • Tritt nun Strömungsmittel aus der Düse 2 aus und auf die Prallplatte 5 auf, und ist ferner die Prallplatte 5 gegenüber der Düse 2 so angeordnet, daß die Achse der Düse 2 in eine Symmetrieebene der Prallplatte 5 fällt, dann wird die aus der Düse 2 austretende Strömung gleichmäßig nach beiden Seiten umgelenkt und es entsteht iln Bereich der beiden Sondenbohrungen 6 und 7 ein Unterdruck, der - infolge der vorausgesetzten Symmetrie der Prallplatte im Verhältnis zu der auf sie auftreffenden Strömung - gleich ist.
  • Die Sondenbohrungen 6 und 7 sind mi-t Leitungen 11 und 12 verbunden, die ihrerseits mit Zuleitungen 9 und 10 verbunden sind, zwischen denen ein Druckmeßgerat 8 vorgesehen ist, das den Unterschied #p der Drücke in den Zuleitungen 9 und 10 mißt. In der soeben beschriebenen symmetrischen Stellung der Prallplatte 5 gegenüber der Düse 2 wird also eine Druckdifferenz von #p = 0 angezeigt.
  • Verschiebt man nun die Prallplatte 5 in Richtung des Pfeiles , so fällt die Achse der Düse 2 nicht mehr in die Symetrieebene der Prallplatte 5 und demzufolge sind die Strömungverhältnisse an den Bereichen des Blockes 1, an denen die Sondenbohrungen 6 und 7 austreten, nicht ehr gleich, so daß auch die durch sie abgetasteten Druckverhältnisse ungleich sind. Degemäß bildet sich in den Leitungen 11 und 12 ein unterschiedlicher Unterdruck aus, , der dann entsprechend durch das Druckmeßgerat 8 angezeigt wird. Der von Druckmeßgerät 8 angezeigte Druck #p ist somit ein Maß für die Verschiebung der prallplatte 5 entlang der Richtung des pfeiles s aus einer genau definierten Stellung Dic Sondenbohrungen 6 und 7 dienen dazu, den sich vor ihren Austrittsöffnungen gegenüber der Prallplatte 5 ausbildenden Unterdruck in der durch den Austritt von Strömungsmittel aus der Düe 2 entstandenen Strömung zu messen.
  • Stehen die beiden Sondenbohrungen 6 und 7 mit einem abgeschlossenen Volumen in Verbindung, so entstehen um den Bereich ihrer Austrittsöffnungen Wirbelablösungen, d.h. der Unetrdruck fällt zunächst exponentiell ab und steigt dann schlagartig - bei einer Wirbelablösung - wieder an; dieser Vorgang wiederholt sich.
  • dann fortlaufend; die Prequenz dieser Schwingung hängt neben einer Reihe von anderen Parametern (z.B. an die Sondenbohrungen angeschlossenes Volumen) u.a. von der Geometrie ab, in der sich die Strömung vor der Austrittsöffnung der Sondenbohrungen ausbilden kann. Das bedeutet bei der in fig. 1 gegebenen Geometrie der Prallplatte 5, daiä die Frequenz von der Stellring der Prallplatte 5 in Richtung des pfeiles s abhängt. Bei genau symmetrischer Ausbildung der Düse 2 und der Sondenbohrungen 6 und 7 könnte also ein Symmetrieagbleich und damit die Feststellung einer definierten ßteluung der prallplatte 5 in der oben erwähnten Weise durch einen Vorgleich von Frequenz und Phase der aich in den Sondenbohrungen 6 und 7 und dem ihnen angeschlossenen Volumen ausbildenden Druckschwingung erfolgen. Diese Methode stößt jedoch auf schwierige fertigungstechnische Probleme.
  • Verbindet man hingegen das Volumen der beiden Sondenbohrungen 6 und 7 rDit der Atmosphäre, so entsteht durch den Unterdruck in ihnen eine Saugströmung. Schaltet man nun in die Leitungen 11 und 12 Vordrosseln 13 und 14 ein, und greift hinter ihnen (in Richtung der Saugströmung) den statischen Wanddruck ab, so zeigt das Druckmeßgerät die Differenz #p der statischen Wanddrücke. Die Empfindlichkeit der Anordnung hängt in Wesentdichen von den Geometrien der Sondenbohrungen 6 und 7 einer-Vordrosseln 13 und 14 seits und der andererseits und ihrem Verhältnis zueinander ab. Der an den Druckteilern 15 und 16 abgegriffene Druck, der über die Zuleitungen 9 und 10 dem Druckmeßgerät 8 zugeführt wird, kann dadurch vergrößert werden, daß der Druckteiler mit Überdruck anstatt mit Unterdruck betrieben wird. Die Vordrosseln 13 und 14 sind dann an eine Druckquelle 17 angeschlossen.
  • Anstelle der Prallplatte 5 kann auch ein Zylinder vor der Düse 2 und den Sondenbohrungen 6 und 7 angeordnet sein, dessen achse senkrecht zur Achse der Düsenbohrung 2 verläuft, so daß symmetrische Strömungsverhältnisse vor den Sondenbohrungen 6 und 7 und damit eine Anzeige #p = 0 entsteht, wenn die Achse der Düse 2 und eines davor angeordneten Zylinders in einer Ebene liegen. Wichtig dafür, daß jede Verschiebung der Prallplatte 5 in Richtung des Pfeiles 6 ZU einer Änderung der Druckdifferenz #p führt, ist, daß sich die Geometrie des Raumes zwischen Prallplatte 5 und der Stirnfläche des Blockes 1, in den die Düse 2 und die Sondenbohrungen 6 und 7 münden, in dem sich die Strömung ausbildet, mit der Verschiebung der Prallplatte 5 in Hichtung des Pfeiles B ändert, wie da bei de in Fig.5 gezeigzen, leicht gekrümmten Oberfläche der Prallplatte 5 der Fail istJ Die Prallplatte 5 kann also auch beispielsweise durch ein Dachkantprisma mit sehr kleinen Neigungen ersetzt werden.
  • Die Prallplatte 5 in der Anordnung nach pig. 1 ist unter den dargestellten Voraussetzungen ein Positionsgeber, bei dem jeder Position eine bestimmte Durckdifferenz #p entspricht.
  • Der Positionsgeber kann auch, wie in Fig.2, durch einen entlang der Richtung des pfeiles 5 verschiebbaren Nocken 18 gebildet werden. Einen besonders genauen Abgleich erhält man, wenn die Breite 3 des Nockens gleich dem Abstand der beid; Sondenbohrungen 6 und 7 voneinander ist.
  • Die Genauigkeit der Feststellung des Symmetrieabgleichs kann durch die Wahl des Speisedruckes Ps, sowie durch die Verhält nis der Sondenbohrungen zu der Bohrung der Düse 2 in weiten Bereichen Variiert werden. In Versuchen wurden Empfindlichkeiten von 70 bis 80 000 mm WS/mm erzielt. Bei eirer Ableseunsicherheit von + 1 mm WS entspricht das einer Einfangunsicherheit von ca. 0,01 µm. Die Reproduzierbarkeit liegt in derselben Größenordnung. Die Anordnung und ihr Betrieb ist mit einer geringen Umkehrspannung behaftet, die aber nur zun Teil auf strömungsdynamischen Effekten beruht. Bei Versuchen wurde eine Umkehrspanne von 65##0,1 µm erzielt.
  • Gegenüber geringen Spaltänderungen, also Änderungen des Abstandes h (vgl. Fig.1 und Fig.2) zwischen der Stirnfläche des Blockes 1 und der Prallplatte 5 bzw. den Nocken 18 ist düs System bein Symmetrieeinfang unempfindlich.
  • Die günstigsten Ergebnisse worden bei sehr kleinem Abstand h = 10 bis 30 µm erzielt. Durch die kleinen Unsymmetrieen im Aufbau wandert der Punkt, für den der Nullabgleich erfolgt, abhängig von Speisedruck Ps und Abstand h aus. Man kann die Fehler jedoch vernachlässigbar klein halten, wenn der Sueisedruck Ps geregelt wird.
  • Die Fig.3, 4a und 4b zeigen die Kennlinien, d.h. die Abhängigkeit des am Druckmeßgerät 8 gemessenen Druckunterschiedes #p (mm WS) von der Verschiebung der Positionsgeber entlang der Richtung des Pfeiles s (µm). Als Parameter sind verschiedene Speisedrücke Ps eingezeichnet. Fig.3 zeigt die Kennlinie einer Anordnung nach Fig.1. Fig.4a zeigt die Kennlinie einer Anordnung nach Fig.2, d.h. einer Anordnung, bei der die Breite des Spalten B gleich dem Abstand der Sondenbohrungen 6 und 7 ist. Fig.4b zeigt die Kennlinie einer Anordnung nach Fig.2, bei der die Breite E des Nockens 18 größer als der Abstand der beiden Sondenbohrungen ist.
  • Für die erfindungsgemäße Positionsmeßvorrichtung ergeben sich eine Reihe von Anwendungsmöglichkeiten. Sie stellt einen berührungslosen Fühler dar, der einerseits zur Positionierung eingesetzt werden kann, um Bauteile, so z.B. Werkstückträger nach einer an diesem Bauteil anzubringenden Marke sehr genau zu positionieren. Dieselbe Anwendungsmöglichkeit ergibt sich im Prinzip beim Einsatz in Meßvorrichtungen, bei denen z.B.
  • zylindrische Teile relativ zu einem Meßfühler ausgerichtet werden müssen, In diesen Fall kann der eigentliche Meßfühler direkt von der Düse 2 dargestellt werden. Perner eignet sich die beschriebene pneumatische Positionsmeßvorrichtung zum Einfangen vor Marken oder Nocken, die als Maßverkörperung auf einem Maßstab angebracht sind. Der lineare Zusammenhang zwischien dem Druck dp und der Verschiebung des Nockens kann dabei gleichzeitig zur Interpolation von Zwischenwerten herangezogen werden Ferner läßt sich die erfindungsgemäße Positionsmeßvorrichtung als analoger Wegaufnehmer mit fluidischem Ausgangssignal einsetzen. Eine zylindrische Prallplatte bzw. ein Dachkantprisma oder auch der Nocken werden dabei mit einer spielfreien Lagerung, so etwa durch Plattfedern, senkrecht zur achse der Düse geführt. Die Prallplatte wird dann mit einem mechanischen Taster versehen.
  • Wird eine ebene oder prismatische Prallplatte unter der Düse 2 schief angestellt, so wird in den beiden Sondenbohrungen ebenfalls ein Differenzdruck abgegriffen. Liegt die Drehachse der Prallplatte in einer Ebene mit der Achse der Düse 2, so ist eine solche Anordnung geeignet, kleine Winkeländerungen sehr genau aufzulösen. Die prallplatte selber kann nun auf einen mechanischen Winkeltaster bzw. in vertikaler Anordnung auf ein Pendel aufgesetzt werden. Der Fühler läßt sich derart als Meßgrößenumformer in einen Winkeltaster bzw. einer pneumatischen Libelle einsetzen.
  • patentansprüche

Claims (13)

  1. Patentansprüche 1) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung, bei der die Relativlage eines verschiebbaren Positionsgebers durch die Mee-Sung des Druckes in Zwei Bohrungen erfolgt, die all verschiedenen Stellen entlang der Verschieberichtung de Positionsgebers angeordnet sind, und der Positionsgeber bezüglich einer senkrecht zur Verschieberichtung liegenden Ebene derart symmetrisch ausgebildet ist, daß in einer definierten Stellung desselben vor den beiden Öffnungen der. beiden Bohrungen gleiche Drücke entstehen,- die bei einer Verschiebung des Positionsgebers ungleich verändert werden so dad in den Bohrungen eine Druckdifferenz entsteht, dadurch gekennzeichnet, daß durch die als Sonden ausgebildeten Bohrungen (6,7) (Sondenbohrungen) die Druckverhältnisse einer Strömung abgetastet werden, die durch Austreten eines Strömungsmittels aus einer zwischen den Sondenbohrungen (6,7) senkrecht zur Vershieberichtung (s) angeordneten Düse (2) entsteht.
  2. 2) Pneu: tische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Positionsgeber (5,18) über den gesamten in der definierten stellung zwischen den Sondenbohrungen (6,7) liegenden Bereich als Prallfläche ausgebildet ist.
  3. 3) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der einem Druckdifferenz-Meßgerät (8) zugefiihrte Druck in den Sondenbohrungen (6, 7) ün eine, Druckteiler (15, 16) abgegriffen wird, der durch die Verbindung der Sondenbohrungen (6, 7) mit eier Vordrossel (13, 14) gebildet wird.
  4. 4) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekemnzeichnet, dab die Eingänge der den Sondenbohrungen (6,7) vorgeschalteten Vordrosseln (13,14) mit einer Quelle (17) eines unter Druck stehenden Ilediums verbunden sind.
  5. 5) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß der Positionsgeber durch eine prlllplatte (5) gebildet wird, deren Oberfläche beiderseits einer Liymmetrieebene, aie parallel zur Achse der Düse (2) verläuft, symmetrisch geneigt ist.
  6. 6) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß daß der Positionsgeber durch einen Zylinder gebildet wird, dessen Achse senkrecht zur Achse der Düse (2) verläuft.
  7. 7) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Positionsgeber durch einen nocken (18) gebildet wird.
  8. 8) Pneumatische Positionsmeßvorrichtune, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite (B) des NOckens (18) gleich dem Abstand der Sondenbohrungen (6, 7) voneinander ist.
  9. 9) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Positionsgeber bezüglich einer Achse rotationssymmetrisch ausgebildet ist, die senkrecht zur Richtung (s) der Verschiebung des Positionsgebers verluft.
  10. 10) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der Speisedruck (Ps) der Düse (2) geregelt wird.
  11. 11) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung, bei der die Relativlage eines Positionsgebers durch die Messung des Durckes in zwei Bohrungen erfolgt, die an verschiedenen Stellen gegenüber dem Positionsgeber angeordnet sind, und der Positionsgeber derart symmetrisch ausgebildet ist, daß in einer definierten Stellung desselben vor den beiden Offnungen der beiden Bohrngen gleiche Drücke entstehen, so daß eine Veränderung der Lage des Positionsgebers die Drücke ungleich verändert und dadurch in den Bohrungen eine Drückedifferenz entsteht, dadurch gekennzeichnet, daß durch die als Sonden ausgebildeten Bohrungen (6, 7) (sondenbohrungen) die Druckverhältnisse einer Strömung abgetastet werden, die durch Austreten eines Strömungsmittels aus einer zwischen den Sondenbohrungen (6,7) angeordneten Düse entsteht.
  12. 12) Pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Positionsgeber senkrecht zur Achse der Düse (2) durch eine Lagerung geführt und zum Zwecke der analogen Wegaufnahme mit einem Taster versehen ist.
  13. 13) pneumatische Positionsmeßvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der positionsgeber um eine achse drehbar gelagert ist, die mit der Achse der Düse (2) eine Ebene bildet.
    L e e r s e i t e
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4724701A (en) * 1987-02-11 1988-02-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Fluidic displacement sensor with linear output
WO2005057243A1 (en) * 2003-12-12 2005-06-23 Glaxo Group Limited Object detection system, method and tool

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4724701A (en) * 1987-02-11 1988-02-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Fluidic displacement sensor with linear output
WO2005057243A1 (en) * 2003-12-12 2005-06-23 Glaxo Group Limited Object detection system, method and tool

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