DE2214204C3 - Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation - Google Patents
Reaktor zur kontinuierlichen PolymerisationInfo
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Description
Es ist ein Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation (GB-PS 8 75 853) bekannt, der einen Schneckenextruder
mit einer Vakuumzone zur Entfernung von flüchtigen Komponenten aus der Reaktionszone darstellt
oder eine Kette von solchen Extrudern enthält. Der Reaktor weist mehrere Temperaturbereiche auf,
die in der Länge der Schnecke angeordnet sind. Der Stoff wird in einem solchen Reaktor durch die Pumpenwirkung
des Schraubengewindes der Schnecke bewegt. Der zu polymerisierende Stoff wird dem Reaktor in
Form eines Monomeren oder eines Vorpolymerisats durch die Beschickungsöffnung zugeführt. Indem sich
der Stoff als eine Schicht durch die Nuten des Schraubengewindes der Schnecke über alle Temperaturbereiche
verschiebt, erreicht er den erforderlichen Umwandlungsgrad, wonach er in Form einer Polymerisations-
schmelze die Vakuumzone passiert, in der die flüchtigen
Komponenten aus der Schmelze entfernt werden, und durch ein Formwerkzeug in Form eines endlosen
Profilerzeugnisses extrudiert wird.
Die Reaktoren vom Typ eines Schneckenextruders
40, weisen eine Reihe von Nachteilen auf.
Die Verweilzeit des Stoffs in der Polymerisationszone des Reaktors muß genügend groß sein, insbesondere,
wenn die Polymerisation bis zu den höchsten Umwandlungsgraden vorgenommen wird; das Pumpvermögen
eines Einschnecken- und mehr noch eines Mehrschneckenextruders ist relativ hoch, deshalb muß
man mit einer geringen Zahl von Schneckenzügen arbeiten, um eine erforderliche Verweilzeit des zu polymerisierenden
Stoffs im Reaktor zu gewährleisten.
Aus diesem Grunde ist es nicht immer möglich, das maximale Pumpvermögen der Schnecken auszunutzen
und eine optimale Leistung des Reaktors zu sichern.
Reaktoren vom Einschneckentyp werden am häufigsten bei Polymerisationen bis zu 60- bis 80prozentigen
Umwandlung verwendet, weil in den letzten Stadien der Umwandlung die Polymerisationsreaktion verzögert
wird. Zur Durchführung einer vollständigen Polymerisation wäre es in diesem Fall notwendig, die Abmessungen
des Reaktors bis zu unzulässigen Abmessungen zu erhöhen oder dessen Leistung in erheblichem
Maße zu verhindern.
Außerdem besieht beim Reaktor vom Einschneckentyp die Gefahr, daß der zu polymerisierende Stoff an
der Fläche der Schnecke anhaftet, was zu einer Verminderung der Leistung des Reaktors und zu einer Störung
seines Normalbetriebs führen kann.
Um in den Reaktoren vom Schneckentyp die notwendigen Bedingungen für die Entfernung von flüchti-
gen Komponenten aus der Masse des zu polymerisie- ?ehden Stoffs zu schaffen, wird in der Zone der Entfer
J,ung von flüchtigen Komponenten d:e Tiefe des
Schneckengewindes größer ausgeführt und die Gewindesteigung im Vergleich zu den verangehenden und
darauffolgenden Zonen vergrößert; dadurch füllt der Stoff an diesem Schneckenabschnitt nicht den gesamten
freien Raum der Gewindenuien aus.
Dadurch *<ird eine Verminderung des Drucks und
der Dichte des Stoffs in der Zone der Entfernung von flüchtigen Komponenten erreicht.
Da der unter Vakuum zu setzende Stoff, beispielsweise
Polymethylmethacryiat, eine hohe Viskosität auf weist, bildet sich bei der Entwicklung von flüchtigen
Komponenten ein Schaum, der allmählich die Öffnungel·
verstopft, durch welche die Vakuumzone des Reaktors mit der Masse des zu verarbeitende Stoffs verbunden
ist.
Aus diesem Grunde kann der Reaktor mit einem solchen Vakuum-System nicht für längere Zeit wirksam
betrieben werden.
Ei, ist auch ein Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation
(SU-PS 1 47 170) bekannt, bei dem zur Erhöhung der Intensität des Polymerisationsprozesses durch
die Vergrößerung der Wärmeübertragungsfläche, bezogen auf die Volumeneinheit des zu polymerisierenden
Stoffs, im Gehäuse angeordnete und an der gemeinsamen Antriebswelle befestigte drehbare Scheiben
verwendet werden, die mit Hohlräumen für den umlaufenden Wärmeträger versehen sind. Für den Transport
des zu polymerisierenden Stoffs durch den Reaktor und Zur Änderung der Verweilzeit des Stoffs im Reaktor ist
eine regelbare Zahnrad-Austragvorrichtung verwendet worden, die am Austritt aus dem Reaktor angeordnet
ist Zur gleichmäßigen Verteilung des zu polymerisierenden Stoffs in den Hohlräumen zwischen den drehbaren
Scheiben ist in jeder Scheibe eine Öffnung in Form eines Sektors vorgesehen, wobei diese Öffnungen
in benachbarten Scheiben unter einer Winkelverschiebung von 180° angeordnet sind. Zur Verbesserung
der Wärmeübertragung von der Reaktionsmasse zum Wärmeträger sind zwischen den drehbaren Scheiben
feststehende Kratzer angeordnet, die die Bildung einer Kruste an der Objrfläche dieser Scheiben verhindern.
Der zu polymerisierende Stoff, der dem Reaktor zugeführt wird, verschiebt sich aufeinanderfolgend zwischen
allen drehbaren Scheiben längs den Wärmeaustauschflächen und tritt durch die Austragvorrichtung
aus dem Reaktor heraus. Dabei wird während des Durchtritts des Stoffs durch den Reaktor die Polymerisationsreaktion
bis zur notwendigen Umwandlungsstufe durchgeführt.
Dieser Reaktor weist jedoch eine Reihe von Nachteilen auf. Der zu polymerisierende Stofi kann sich in
diesem Reaktor nur durch die Einwirkung der Schwerkraft oder durch den Außendruck verschieben. Bei der
Blockpolymerisation von, beispielsweise. Styrol oder Methylmethacrylat, weis,t das Reaktionsmedium in den
letzten Stadien der Umwandlung eine hohe Viskosität auf, was die Verschiebung dieses Reaktionsmediums in
einem solchen Reaktor erheblich erschwert.
Außerdem findet in dem oben beschriebenen Reaktor keine intensive Durchmischung des Stoffs durch
den Schub statt; deshalb ist die Temperatur eines Reaktionsmediums mit hoher Viskosität in einem solchen
Reaktor wesentlich ungleichmäßiger als beispielsweise in einem Reaktor vom Typ des Schneckenextruders.
obwohl der Reaktor des oben beschriebenen Typs eine einfachere Konstruktion aufweist, und eine Anlage zur
kontinuierlichen Polymerisation, die auf der Grundlage eines solchen Reaktors gebaut worden ist, bedeutend
ger.ngere Abmessungen besitzen kann, als die auf der
Grundlage von anderen bekannten Reaktoren gebauten Anlagen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation zu schaffen,
der verhältnismäßig geringe Abmessungen aufweist, eine hohe Leistung pro Volumeneinheit der Ausrüstung
gewährleistet, einen zuverlässigen Transport des Stoffs durch den Reaktor sichert sowie die Herstellung
eines Polymerisats mit konstanten Qualitätsdaten ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch einen Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation, der in einem Gehäuse angeordnete
und an einer gemeinsamen Antriebswelle übereinander befestigte bewegliche Scheiben mit dazwischen
angeordneten Abstandhülsen, welche mit Hohlräumen für den umlaufenden Wärmeträger versehen
sind, sowie eine Einrichtung zur Verschiebung des zu verarbeitenden Stoffs durch den Reaktor und zur
gleichmäßigen Verteilung des Stoffs zwischen den Scheiben enthält, gelöst, welcher dadurch gekennzeichnet
ist. daß die Einrichtung zur Verschiebung und zur gleichmäßigen Verteilung des Stoffs feststehende
Scheiben, die zwischen den beweglichen Scheiben angeordnet sind, sowie in Rillen der feststehenden Scheiben
untergebrachte Schnecken aufweist, die mit spiralförmigen Nuten des Gewindes in Eingriff treten, das an
ebenen Seitenflächen der beweglichen Scheiben ausgebildet ist, wobei die spiralförmigen Nuten abwechselnd
miteinander durch die Spalte, welche zwischen den feststehenden Scheiben und den zylindrischen Außenflächen
der Abstandhülsen vorgesehen sind, und die Spalte, welche zwischen dem Gehäuse des Reaktors
und den zylindrischen Außenflächen der beweglichen Scheiben bestehen, in Verbindung kommen, und mindestens
eine der feststehenden Scheiben mit einer Einrichtung zur Entfernung von flüchtigen Komponenten
aus der Masse des zu verarbeitenden Stoffs versehen ist.
Vorzugsweise ist die zylindrische Außenfläche der beweglichen Scheibe in bezug auf deren Drehachse exzentrisch
ausgeführt und im Reaktorgehäuse ein Kratzer befestigt, der über deren gesamte Höhe an die zylindrische
Außenfläche der beweglichen Scheibe angedrückt wird.
Die zylindrische Außenfläche der Abstandhülse ist vorzugsweise in bezug auf deren Drehachse exzentrisch
ausgeführt und an der feststehenden Scheibe ein Kratzer befestigt, der über deren gesamte Höhe an die
zylindrische Außenfläche der Abstandhülse angedrückt wird.
Man kann die zylindrische innenfläche des Gehäuses in bezug auf die Drehachse der beweglichen Scheibe
exzentrisch ausführen und an der zylindrischen Außenfläche der beweglichen Scheibe einen Kratzer befestigen,
der über die gesamte Höhe des Spaltes /wischen dem Gehäuse und der zylindrischen Außenfläche der
beweglichen Scheibe an die zylindrische Innenfläche des Gehäuses angedrückt v, ird.
Man kann ferner die zylindrische Innenfläche der feststehenden Scheibe in bezug auf die Drehachse der
Abstandhülse exzentrisch ausführen und an der zylindrischen Außenfläche der Abstandhülsc einen Kratzer
befestigen, der über deren gesamte Höhe an die zylindrische Innenfläche der feststehenden Scheibe auge-
drückt wird.
Es ist wünschenswert, daß die Einrichtung zur Entfernung von flüchtigen Komponenten aus der Masse
des zu verarbeitenden Stoffs eine Vakuumkammer enthält, die in einer der feststehenden Scheiben angeordnet
ist und mit der Masse des zu verarbeitenden Stoffs durch mindestens ein in der feststehenden Scheibe vorgesehenes
Loch in Verbindung steht, das die Form eines radial ausgerichteten Schlitzes mit Abschrägungen
aufweist, die an Kanten vorgesehen sind, welche der beweglichen Scheibe an der Seite derselben Zugekehrt
sind, an der sich der zu verarbeitende Stoff in spiralförmig ausgebildeten Nuten des Gewindes von
der Zentralzone des Reaktors in der Richtung zu dessen Randzone verschiebt.
Im crfindungsgemäßen Reaktor wird die Polymerisationsreaktion
mit einer verhältnismäßig hohen Geschwindigkeit und bei optimaler Temperatur bis zu den
verschiedenen Umwandlungsgraden in einer dünnen Schicht des zu polymerisierenden Stoffs unter intensivem
Durchmischen durchgeführt, das durch die Einwirkung der beim Schub zwischen den in bezug zueinander
zu bewegenden Flächen entstehenden Viskosität gesichert wird, wodurch ein guler Temperaturausgleich
des Reaktionsmediums gewährleistet wird.
Der erfindungsgemäße Reaktor weist entfaltete Wärmeaustauschflächen auf, die, bezogen auf die Volumeneinheit
des zu polymerisierenden Stoffs, im Vergleich zu bekannten Reaktoren bedeutend größer sind.
Im Reaktor wird ein Anhaften des zu polymerisierenden Stoffs an die Wärmeaustauschflächen verhindert,
was einen hohen Koeffizienten der Wärmeabgabe von dem Reaktionsmedium zu dem Wärmeträger gewährleistet
und eine leichte Steuerung der Temperaturführung der Polymerisationsreaktion ermöglicht. Der
Reaktor sichert eine wirksame Entfernung des restlichen Monomeren und der anderen flüchtigen Substanzen,
was dadurch erreicht wird, daß der zu polymerisierende Stoff in Form einer dünnen Schicht durch die
Zone des verminderten Drucks bei einer verhältnismäßig hohen Temperatur durchgelassen wird. Der Reaktor
weist verhältnismäßig geringe Abmessungen auf. Zur anschaulichen Erläuterung des letztgenannten Vorteils
kann man den erfindungsgemäßen Reaktor mit dem Reaktor vom Typ des Schneckenextruders vergleichen,
in dem die Polymerisationsbedingungen den Polymerisationsbedingungen des erfindungsgemäßen
Reaktors ähnlich sind.
Wenn man die Polymerisation bis zu hohen Umwandlungsgraden führen und dabei eine genügend
hohe Leistung, bezogen auf die Volumeneinheit der Ausrüstung, gewährleisten will, muß man eine Kette
der Reaktoren vom Typ eines Schneckenextruders verwenden.
Als Vergleich kann man einen Extruder mit einem Schneckendurchmesser von 90 mm betrachten, der gewöhnlich
zur Herstellung von Profilerzeugnissen mit besonders breiten Abmessungen verwendet wird und
ein standardisiertes Verhältnis zwischen den Schnekkcnmaßen aufweist (die lunge des Gewindeteils ist
gleich dem 17fachen Durchmesser, die Gewindesteigung ist gleich dem Schneckendurchmesser).
Bei diesem Vergleich muß man berücksichtigen, daß die Verwcilzeit des zu polymerisierenden Stoffs in den
zu vergleichenden Reaktoren unter sonst gleichen Bedingungen von der Gesamtlänge der Nuten der
Schnecke abhängig ist.
Im crfindungsgcmäßen Reaktor ist die Nut an ebenen
Flächen der beweglichen Scheiben längs einer spiralförmigen Linie geschnitten.
Die Nut mit einer solchen Länge und mit solchen Profilmaßen wie bei der zu vergleichenden Schnecke
mit einem Durchmesser von 90 mm kann man an beiden Seitenflächen einer beweglichen Scheibe mit einem
Durchmesser von unter 600 mm schneiden.
Auf einer Länge, die gleich dem 17faehen Schnekkendurchmesser ist, kann man eine solche Anzahl von
ίο beweglichen Schnecken unterbringen, daß die Gesamtlänge
der Nuten dieser Schnecken die Gesamtlänge der Nuten der zu vergleichenden Schnecke mindestens um
das 5fache übersteigt. Man kann also auf dieser Länge einen Reaktor unterbringen, der die gleiche Leistung
wie eine Reihe hintereinandergeschalteter Reaktoren vom Typ des Schneckenextruders hat, wenn man dabei
als Basis für den Vergleich die Länge der Strecke nimmt, die der zu polymerisierende Stoff im Reaktor
zurücklegt. Auf diese Weise beansprucht die Anlage mit dem erfindungsgemäßen Reaktor weniger Raum
als eine Anlage mit hintereinandergeschalteten Reaktoren.
An Hand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele wird die Erfindung näher erläutert. Es
zeigt
F i g. 1 einen Längsschnitt durch den einen Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation,
F i g. 2 den Schnitt U-II der F i g. 1,
F i g. 3 den Schnitt IH-IlI der F i g. 2.
F i g. 4 den Schnitt IV-IV der F ig. 1,
F i g. 5 den Schnitt V-V der F i g. 4 und
F i g. b eine schematische Darstellung einer linienförmigen Anordnung des erfindungsgemäßen Reaktors zur Herstellung von Längspolymererzeugnissen.
Der Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation enthält übereinander angeordnete feststehende Scheiben 1. 2, 3 und 4 (F i g. 1. 2), in denen Hohlräume für den umlaufenden Wärmeträger vorgesehen sind. Zwischen den feststehenden Scheiben 1.2,3,4 sind Ringe 5 angeordnet, die zusammen mit den feststehenden Scheiben 1,2,3 und 4 das Reaktorgehäuse bilden.
F i g. 2 den Schnitt U-II der F i g. 1,
F i g. 3 den Schnitt IH-IlI der F i g. 2.
F i g. 4 den Schnitt IV-IV der F ig. 1,
F i g. 5 den Schnitt V-V der F i g. 4 und
F i g. b eine schematische Darstellung einer linienförmigen Anordnung des erfindungsgemäßen Reaktors zur Herstellung von Längspolymererzeugnissen.
Der Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation enthält übereinander angeordnete feststehende Scheiben 1. 2, 3 und 4 (F i g. 1. 2), in denen Hohlräume für den umlaufenden Wärmeträger vorgesehen sind. Zwischen den feststehenden Scheiben 1.2,3,4 sind Ringe 5 angeordnet, die zusammen mit den feststehenden Scheiben 1,2,3 und 4 das Reaktorgehäuse bilden.
Im Zwischenraum zwischen den feststehenden Scheiben 1. 2, 3 und 4 befinden sich auf eine Antriebshohlwelle
6 aufgesetzte bewegliche Scheiben 7, die unter Beibehaltung eines minimalen Spalts zwischen den ebenen
Flächen der feststehenden Scheiben 1, 2, 3 und A angeordnet sind. Zwischen den beweglichen Scheiben 7
befinden sich an der Antriebswelle 6 Abslandhülsen 8 während am Ende der Antriebswelle 6 eine kurz«
Schnecke 9 angeordnet ist. Die beweglichen Scheibei 7, die Abstandhülsen 8 und die Schnecke 9 sind an dei
Antriebswelle 6 mittels eines Stopfens 10 befestigt. Ii
die beiden ebenen Seitenflächen der beweglichei Scheiben 7 ist eine spiralförmige Nut 11 (F i g. 1, 3) mi
S5 einem trapezförmigen Profil geschnitten. Die in beidi Seitenflächen der beweglichen Scheiben 7 geschnitten!
spiralförmige Nut 11 ist, von seiten des Schneidens ge
sehen, nach einer Seite ausgerichtet.
Die eine bewegliche Scheibe (F i g. 1) mit den an die ser anliegenden Flächen der feststehenden Scheibe
bildet einen Reaktorabschnitt. Der gesamte Reakto besteht aus mehreren Abschnitten gleicher Konstruli
tion.
Zwischen der zylindrischen Außenfläche der bewej
liehen Scheiben 7 und der zylindrischen Innenfläche de
Ringe 5 sind Spalte für den Durchgang des Stoffs at dem oberen Teil des Abschnitts des Reaktors, d. h„ at
dem Spalt zwischen den ebenen Flächen der bcwcgl
chen Scheibe und der darüber angeordneten beweglichen Scheibe, in den unteren Teil des Abschnitts, d. h,
in den Spalt zwischen den ebenen Rächen der beweglichen Scheibe und der darunter angeordneten beweglichen
Scheibe, vorgesehen.
Zwischen der zylindrischen Außenfläche der Abstandhülsen
8 und der zylindrischen Innenfläche der feststehenden Scheiben 2 und 3 besteht ein Spalt für
den Durchgang des Stoffs aus einem Reaktorabschnitt in den anderen.
Die zylindrischen Außenflächen der beweglichen Scheiben 7 sind glatt ausgeführt, wobei diese zylindrischen
Flächen in bezug auf die Drehachse der Antriebswelle 6 exzentrisch ausgebildet sind, an welcher
die beweglichen Scheiben 7 angeordnet sind.
Die Größe dieser Exzentrizität ist gleich der Hälfte des Unterschieds zwischen dem Durchmesser der zy:
lindrischen Innenfläche des Rings 5 und dem Durchmesser der beweglichen Scheibe 7. Die Ausrichtung
dieser Verschiebung ist in jedem Reaktorabschnitt verschieden.
Auf diese Weise wird zwischen dem Reaktorgehäuse und der zylindrischen Außenfläche der beweglichen
Scheibe 7 ein Ringspalt 12 (F i g. 3) mit veränderlichem Querschnitt gebildet. An der zylindrischen Innenfläche
des Rings 5 ist in einer besonderen Auskehlung ein Kratzer 13 angeordnet, der eine Platte aus einem elastischen
Werkstoff darstellt- Die Abmessungen der Auskehlung entsprechen den Abmessungen des Kratzers
13. Der Kratzer 13 wird über deren gesamte Höhe an die zylindrische Außenfläche der beweglichen Scheibe
angedrückt.
Die zylindrische Außenfläche der Abstandhülse 8 ist glatt und in bezug auf die Drehachse der Antriebswelle
6 exzentrisch ausgeführt. In der feststehenden Scheibe
3 ist in der Auskehlung ein Kratzer 14 befestigt, der über deren gesamte Höhe an die zylindrische Außenfläche
der Abstandhülse angedrückt wird.
Gemäß einem anderen nicht dargestellten Ausführungsbeispiel kann der Durchgang zwischen den benachbarten
Reaktorabschnitten sowie zwischen der oberen und der unteren Abschnittshälfte wie folgt ausgeführt
werden.
Die zylindrischen Außenflächen der bewegliehen
Scheiben 7 und der Abstandhülsen 8 sind in bezug auf die Drehachse der Antriebswelle 6 konzentrisch ausgeführt,
während die zylindrischen Innenflächen der Ringe 5 (F i g. 1) und der feststehenden Scheiben 3 in bezug
auf die Drehachse der Antriebswelle 6 exzentrisch ausgebildet sind. In diesem Fall sollen die Kratzer an
beweglichen Scheiben 7 und Abstandhülsen 8 in speziell dafür ausgeführten Auskehlungen befestigt werden.
An der oberen feststehenden Scheibe 1 sind Beschikkungsöffnungen 15 und 16 vorgesehen. Falls notwendig
können die Beschickungsöffnungen in einer beliebigen Reaktorsektion angeordnet werden.
In den beweglichen Scheiben 7 sind Hohlräume 17 für den umlaufenden Wärmeträger vorgesehen. Der
Wärmeträger wird dem Hohlraum 17 durch die Antriebshohlwelle 6 über eine Verteilungsvorrichtung 18
zugeführt.
In den Rillen der feststehenden Scheiben sind Schnecken 19 (F i g. 2) angeordnet. Das Schraubengewinde
jeder dieser Schnecken kommt unter Beibehaltung eines minimalen Spalts mit dem entsprechenden
spiralförmigen Gewinde der beweglichen Scheibe 7 (F i ε. 2, 3) in Eingriff, wobei das Profil des Schraubengewindes
der Schnecken 19 rechtwinklig ist. während die Gewindesteigung der Schnecke 19 und die Gewindesteigung
der beweglichen Scheibe 7 gleich sind. Die Drehrichtung der Schnecke 19 und die Ausrichtung des
Gewindes dieser Schnecke können linksläufig und rechtsläufig sein. In beiden Fällen begünstigt die durch
die Schnecke 19 zu bewirkende Bewegung des Stoffs die Verschiebung dieses Stoffs, die durch das spiralförmige
Gewinde der beweglichen Scheibe 7 hervorgerufen wird, wobei das durch die Schnecke 19 zu bewegende
Stoffvolumen von dem Verhältnis zwischen den Profilmaßen der Gewindenuten der Schnecke 19 und
Profilmaßen des Gewindes der beweglichen Scheibe 7 sowie vom Durchmesser der Schnecke 19 abhängig ist.
Die Welle 6 und die Schnecke 19 werden von der gemeinsamen, nicht dargestellten Welle angetrieben.
Bei einer Umdrehung der beweglichen Scheibe 7 führt die Schnecke 19 eine Umdrehung um die eigene Achse
aus, wenn die bewegliche Scheibe und die Schnecke die gleiche Zahl von Gewindegängen haben. Wenn beispielsweise
mit der beweglichen Scheibe 7 eine Schnekke mit doppeltem Gewinde in Eingriff steht, so ist deren
Umdrehungszahl dementsprechend um das zweifache geringer.
Da die spiralförmige Nut 11 der beweglichen Scheibe ein trapezförmiges und die Nut der Schnecke 19 ein
rechtwinkliges Profil haben, ragt der Kamm des Gewindes der Scheibe 19 in die spiralförmige Nut 11 des
Gewindes der beweglichen Scheibe 7 unter Beibehaltung eines minimalen Spalts in bezug auf alle drei Seitenflächen
der spiralförmigen Nut 11 der beweglichen Scheibe 7 hinein.
Da der Kamm des Gewindes der Schnecke 19 in der spiralförmigen Nut 11 der beweglichen Scheibe 7 unter
einem Winkel angeordnet ist, kann er den Querschnitt der spiralförmigen Nut 11 der beweglichen Scheibe 7
nicht ganz überdecken (F i g. 3), wodurch der Übergang des zu verarbeitenden Stoffs, der sich durch die spiralförmigen
Nuten 11 verschiebt, durch die Nuten des Gewindes der Schnecke 19 an der anderen Seite derselben
ermöglicht wird.
Der Durchgangsquerschnitt, der diesen Übergang ermöglicht,
vergrößert sich mit der Zunahme des Neigungwinkels des Gewindes der Schnecke 19. während
der Widerstand gegen den Übergang des Stoffs durcr die Nuten der Schnecke 19 von diesem Durchgangs
querschnitt sowie von der Drehrichtung der Schnecke 19 abhängig ist.
Die feststehenden Scheiben 1, 2, 3 und 4 und di( Schnecken 19. welche nach der oben dargelegten Me
thode angeordnet worden sind, arbeiten mit den spiral förmigen Nuten 11 zusammen und bilden eine Einrich
tung zur Bewegung des zu verarbeitenden Stoffs durcl den Reaktor sowie zur gleichmäßigen Verteilung de
Stoffs zwischen den Scheiben 7.
In der feststehenden Scheibe 3 (F i g. 1) ist eine Va
kuumkammer 20 vorgesehen, die mit einer nicht darge stellten Vakuumleitung in Verbindung steht. Die Vaku
umkammer 20 steht durch die Löcher 21 (F i g. 1 und A mii der Masse des zu verarbeitenden Stoffs in Vcrbir
dung, der sich in der spiralförmigen Nut 11 der beweg
liehen Scheibe 7 befindet.
Eine zweckmäßige Form der Löcher 21, die an ihre Kanten an der Seite der beweglichen Scheibe 7 At
schrägungen 22 (F i g. 5) aufweisen (die Drehrichtun der beweglichen Scheibe 7 ist mit einem Pfeil angegi
ben), sowie deren radiale Anordnung in bezug auf di Drehachse der beweglichen Scheibe 7 gemäß F i g.
>c η/οι ο
vermindern die Wahrscheinlichkeit des Eindringens zu verarbeitenden Stoffs in die Vakuumkammer 20
(F i g. 1) und vergrößern die Fläche des Stoffs, von der die flüchtigen Komponenten entfernt werden, was eine
zuverlässige Entfernung von flüchtigen Substanzen aus der Masse des zu verarbeitenden Stoffs gewährleistet.
In dem mit einer Vakuumkammer 20 versehenen Reaktorabschnitt sind die Bedingungen für die Verschiebung
des zu verarbeitenden Stoffs durch das spiralförmige Gewinde der beweglichen Scheibe 7
schlechter, als in den anderen Reaktorabschnitten, weil hier Löcher 21 von besonderer Form vorhanden sind;
deshalb soll die Schnecke 19, die in diesem Abschnitt angeordnet ist, im Vergleich zu den in den übrigen
Reaktorabschnitten angeordneten Schnecken 19 einen größeren Durchmesser aufweisen.
Falls notwendig können statt eines mehrere Abschnitte zum Entfernen von flüchtigen Substanzen aus
dem zu verarbeitenden Stoff verwendet werden.
Der untere Teil des Reaktors, der mit einer kurzen Schnecke 9 versehen ist, dient als Auspreßzone; die
Konstruktion dieser Zone ist ähnlich der Konstruktion der entsprechenden Zone eines gewöhnlichen Schnekkenextruders,
und sie umfaßt ein Formwerkzeug 23.
Die Umfangsgeschwindigkeit verschiedener Punkte der beweglichen Scheiben 7 ist unterschiedlich. Dies
beeinflußt die volumetrische Geschwindigkeit der Bewegung des zu verarbeitenden Stoffs durch die spiralförmigen
Nuten 11 dieser Scheiben, was zur Bildung von Gasblasen durch Kochen des Monomeren führen
kann. Das betrifft hauptsächlich die oberen Seitenflächen der beweglichen Scheiben 7, wo sich der Stoff in
der Richtung von der Achse des Reaktors zu dessen Randzone bewegt. Ein Ausgleich der volumetrischen
Geschwindigkeiten des zu verarbeitenden Stoffs, dessen Viskosität mit der Steigerung der Umwandlungsstufe zunimmt, im Reaktor wird durch die Änderung
der Profilmaße der spiralförmigen Nuten 11, der Zahl der Gewindegänge der Schnecken 19 und der beweglichen
Scheiben 9, des Durchmessers und der Drehrichtung der Schnecken 19 sowie durch die Verwendung
von verschiedenen, oben beschriebenen Ausführungsbeispielen der Konstruktion, die den Durchgang des
Stoffs aus der oberen Hälfte in die untere Hälfte des Reaktorabschnitts gewährleisten, erreicht.
In den Reaktorabschnitten, in denen die flüchtigen Substanzen entfernt werden, werden mit Hilfe von diesen
Maßnahmen eine Verminderung der Dichte sowie eine Verminderung des Drucks des zu verarbeitenden
Stoffs erreicht, was für ein wirksames Entfernen von flüchtigen Komponenten erforderlich ist.
Im Durchschnitt sollen die Nuten der Gewinde mit einer möglichst geringen Tiefe geschnitten werden, um
die Wärmeabfuhr von der exothermen Polymerisationsreaktion aus dem Reaktionsmedium zu erleichtern.
Bei der Wahl der Nuttiefe wird auch der Einfluß der Nuttiefe auf die Leistung des Reaktors berücksichtigt.
Der erfindungsgemäße Reaktor umfaßt mindestens vier Temperaturbereiche, die mit einem in den Hohlräumen
der feststehenden Scheiben 1, 2, 3 und 4 sowie der beweglichen Scheiben 7 umlaufenden Wärmeträger
versorgt werden.
Der in Richtung von den Beschickungsöffnungen 15 und 16 zum Formwerkzeug 23 gesehen erste Temperaturbereich
sichert das Anwärmen des zu verarbeitenden Stoffs bis zu einer Temperatur, die für das Einleiten
der Polymerisationsreaktion erforderlich ist.
Der zweite Temperaturbereich ist zur Abführung der Wärme, die sich bei der exothermen Polymerisationsreaktion
entwickelt, bestimmt, und er dient zur Aufrechterhaltung des vorgegebenen Temperaturniveaus dss
Reaktionsmediums.
Der dritte Temperaturbereich ist die Zone, in der aus der Polymerisatschmelze restliches Monomeres und
andere flüchtige Substanzen entfernt werden.
In der vierten Zone des Reaktors werden entsprechend
Druck, Temperatur oder Viskosität der Polyme-
risatschmelze auf einem Niveau gehalten, das Hie erforderlichen Bedingungen Tür das Formen des Li/eugnisses
gewährleistet.
Der Betrieb des erfindungsgemäßen Reaktors wird durch Hilfsvorrichtungen gesichert. Zu diesen gehören:
!5 eine Vorrichtung zur Vorbereitung des Monomeren
und zu dessen Zuführung in den Reaktor, die aus Behältern 24 und 25 (F i g. 6) für Monomeres oder aus Vorpolymerisationsanlagen
besteht, die zur Herstellung eines teilweisen polymerisierten Monomeren bestimmt
sind; eine Kühlvorrichtung 26 und eine Aufnahme- und Ziehvorrichtung 27, die beide den bei der kontinuierlichen
Herstellung von Profilerzeugnissen nach dem Warmspritzverfahren anzuwendenden Vorrichtungen
ähnlich sind, sowie eine Dosierpumpe 28.
Der erfindungsgemäße Reaktor arbeitet folgendermaßen: Der vorbereitete Stoff wird einer der Beschikkungsöffnungen
des Reaktors 27 in Form eines Monomeren oder eines teilweise polymerisierten Monomeren
mittels einer Dosierpumpe 28 oder unter der Ein-
wirkung des Inertgases aus den Behältern 24 und 25 zugeführt Falls notwendig, können verschiedene Hilfskomponenten
in Form einer Monomerlösung einer anderen Beschickungsöffnung des Reaktors 27 zugeführt
werden.
Der zu verarbeitende Stoff, welcher durch die Beschickungsöffnungen
15 und 16 (F i g. 1) zugeführt wird, gelangt in den Zwischenraum zwischen den beweglichen
Scheiben 7 und den feststehenden Wänden des Reaktorgehäuses und wird unter der Einwirkung des
40. spiralförmigen Gewindes der beweglichen Scheiben 7 und des Schraubengewindes der Schnecken 19 (F i g- 2)
in radialer Richtung von der Zentralachse des Reaktors zu dessen Randzone über die obere Seitenfläche der
beweglichen Scheibe 7 verschoben; dann gelangt der
« zu verarbeitende Stoff durch den Spalt 12 zwischen
dem Reaktorgehäuse und der zylindrischen Außenfläche der beweglichen Scheibe 7 an die untere Seitenfläche
der beweglichen Scheibe 7 und bewegt sich durch die spiralförmigen Nuten 11 des Gewindes über die un-
tere Seitenfläche der beweglichen Scheibe 7 zum Reaktorzentrum.
Weiter verschiebt sich der Stoff aus dem oberen Keaktorabschnitt in den unteren Reaktorabschnitt
ourch den Spalt zwischen der zylindrischen Innenfläche
An π f enden Scheibe 3 und der zylindrischen
Auuenflache der Abstandhülse 8. Es ist darauf hinzuweisen
daß der in den spiralförmigen Nuten 11 des
Oewindes der beweglichen Scheibe 7 befindliche Stoff
to hpl d.ie u Elnw'*ung der zwischen dem Stoff und den
«λ J „Μ*'ε ""beweglichen Reaktorflächen ent-
!Lκ!ί" " R r?lb"ngskräfte verschoben wird, während
sich der otoif in dem Teil der beweglichen Scheibe 7.
ί[ηΤ* a" der Stelle der Verzahnung mit der
NuS 5e u ]KgU durch dessen Verdrängung aus den
ίΪΓ i**^«*«« Scheiben 7 mittels der Gewindekamme
der Schnecken 19 verschiebt, wobei ein bevon der Viskosität des Stoffs abhängiger
"1 gegen den Übergang des Stoffs durch die
Nuten der Schnecke 19 an der anderen Seite derselben besteht.
Dadurch sind die Bedingungen für die Bewegung des Stoffs im Reaktor in einem geringeren Grad von den
zwischen dem Stoff und den beweglichen sowie unbcweglichen Rcaktorflächen entstehenden Reibungskräften
abhängig. Das ist besonders wichtig, wenn man berücksichtigt, daß die Polymerisationsreaktion in einem
Medium mit zunehmender Viskosität stattfindet.
Auf diese Weise verschiebt sich der zu verarbeitende
Stoff bei der Drehung der Antriebswelle 6 in der Richtung
von oben nach unten aufeinanderfolgend durch alle Reaktorabschnittc.
Das wirksame Durchmischen, welches durch den Schub der drehbaren beweglichen Scheiben 7 und den
Reaktorwänden hervorgerufen wird, sichert eine gute Verteilung .der getrennt eingeführten Komponenten
und ein schnelles Anwärmen des Stoffs, in der Richtung von den Reaktorwänden, bis zur Temperatur des Einleitens
der Polymerisationsreaktion im ersten Tempcraturbereich des Reaktors. Die Polymerisationsgeschwindigkeit
ist in verschiedenen Umwandlungsbcreichen unterschiedlich; deshalb soll der zweite Temperaturbereich
des Reaktors eine solche Anzahl von Abschnitten umfassen, die eine optimale Temperatur des
Reaktionsmediums bei verschiedenen Umwandlungsgraden sichern und dadurch die gesamte Geschwindigkeit
der Polymerisationsreaktion erhöht.
In dem zweiten Temperaturbereich des Reaktors wird die bei der exothermen Polymtrisationsreaktion
entstehende Wärme aus dem Reaktionsmedium abgeführt. Da sich der zu verarbeitende Stoff in Form einer
dünnen Schicht unter den Bedingungen des Schubs zwischen den sich zueinander einander bewegenden Wänden
befindet, hinter denen der Wärmeträger umläuft, werden eine leichte Steuerung der Reaktion und die
Durchführung der Polymerisation bei verhältnismäßig höheren Temperaturen möglich, ohne daß dabei die
Gefahr einer Überhitzung des Stoffs von innen besieht. Das betrifft insbesondere die Reaktorabschnitte, in denen
die Polymerisation bis zu höheren Umwandlungsgradcn durchgeführt wird und das Reaktionsmedium
eine hohe Viskosität aufweist.
In den letzten Umwandlungsstadien ist die Reaktionsgeschwindigkeit
geringer; folglich ist auch die Wärmemenge geringer, die aus dem Reaktionsmedium
abzuführen ist. Deshalb können iri den letzten beweglichen Scheiben 7 des zweiten Temperaturbereichs des
Reaktors die Hohlräume für den umlaufenden Wärmeträger fehlen.
In den Reaktorzonen, in denen sich der Stoff in Form eines unvollständigen polymerisierten Monomeren befindet,
wird das Anhaften des Stoffs in den Nuten der genannten Gewinde dadurch unmöglich gemacht, daß
das Gewinde der Schnecken 19 mit dem Gewinde der beweglichen Scheiben 7 unter Beibehaltung eines minimalen
Spalts in Eingriff steht, wodurch deren gegenseitigc Säuberung von dem anhaftendem Stoff verwirklicht
wird.
An den Stellen des Übergangs des Stoffs aus der oberen Hälfte des Reaktorabschnitts in die untere Hälfte
desselben wird die Bildung einer Kruste aus dem anhaftenden Stoff dadurch verhindert, daß von der
Oberfläche des Reaktorgehäuses der Stoff durch die zylindrische Außenfläche der beweglichen Scheibe 7
und von der zylindrischen Außenfläche der beweglichen Scheibe 7 durch den Kratzer 13 (F i g. 7) gesäubert
wird.
Auf ähnliche Weise wird mittels des Kratzers 14 und der Abstandshülse 8 die Säuberung der Reaktorflächen
an den Stellen des Übergangs zwischen den benachbarten Abschnitten vorgenommen.
Bei der Drehung der beweglichen Scheiben 7 w ird der an den Stellen des Übergangs zwischen der oberen
und der unteren Hälfte des Abschnitts befindliche Stoff in den keilförmigen Teil des Ringspalts 12 mitgerissen,
wo er einer intensiven Einwirkung der Schubkräfte ausgesetzt wird. Dies kann als Mittel zur Änderung des
Molekulargewichts des zu polymerisierenden Stoffs durch die mechanische Destruktion dienen.
Aus dem zweiten Temperaturbereich des Reaktors gelangt der zu verarbeitende Stoff in Form einer Polymerschmelze
mit einer relativ hohen Viskosität in die Zone, in der das restliche Monomere und die anderen
flüchtigen Substanzen entfernt werden. Da die Polymerisatschmcl/e
eine hohe Viskosität aufweist, entsteht bei deren Bewegung über die obere Seitenfläche der
beweglichen Scheibe 7 ein hoher Widerstand gegen den Übergang des Stoffs durch die Nuten der Schnecke
19 an der anderen Seite derselben.
Aus diesem Grunde sowie auch dadurch, daß sich in diesem Temperaturbereich des Reaktors der Stoff in
der Richtung von der Reaktorachse zu der Seite der Steigerung der volumetrischcn Geschwindigkeit verschiebt,
und durch die Bewegung des Stoffs mittels der Schnecke 19, die sich in diesem Reaktorbereich befindet,
wird an der oberen Seitenfläche der beweglichen Scheibe 7 ein Bereich des verminderten Drucks gebildet,
in dem mit dem Stoff nicht der ganze freie Rauir der spiralförmigen Nuten 11 gefüllt wird.
Die Löcher 21 (Fig. 1). durch welche die Vakuum
kammer 20 mit der Masse des zu verarbeitenden Stoff; in Verbindung steht, sind über dem Bereich der oberer
Seitenfläche der beweglichen Scheibe 7 angeordnet, wc die Zone des verminderten Drucks gebildet wird. Dei
Reaktorabschnitt, in dem sich die Zone zur Entfernung der flüchtigen Komponenten befindet, ist von oben unc
von unten durch Abschnitte begrenzt, wo die Verdich
tung des Stoffs verwirklicht wird, wodurch der vermin
derte Druck nur in der Zone der Entfernung der fluch
tigen Komponenten aufrechterhalten wird.
Der Innenraum der beweglichen Scheibe 7 weist ir
diesem Reaktorabschnitt eine gesonderte Einiaßleitunj (nicht dargestellt) für den Wärmeträger auf.
All das schafft günstige Voraussetzungen für die Ent fcrnung des restlichen Polymerisats und der anderer
flüchtigen Substanzen aus der Polymerisatschmelze.
Aus der Zone zur Entfernung der flüchtigen Kompo nenten wird der Stoff in Form einer Polymerisat
schmelze der Auspreßzone des Reaktors zugeführt, ii der die erforderliche Temperatur. Viskosität und Drucl
erzeugt werden, und durch das Formwerkzeug 23 ii Form eines endlosen Profilerzeugnisses extrudiert.
Der erfindungsgemäße Reaktor ist zu einer kontinu ierlichen Polymerisation des Monomeren in Verbin
dung mit einem Formwerkzeug bestimmt und kann zu Herstellung von Profilerzeugnissen, wie Rohre. Bändci
Stäbe aus Polymerisatschmelze nach einem kontinuier liehen Verfahren verwendet werden.
Der erfindungsgemäßc Reaktor ohne Vakuumkam mer kann zur kontinuierlichen Herstellung eines Vor
Polymerisats mit einem hohen Umwandlungsgrad ver wendet werden, um dieses Vorpolymerisat unmiitclba
einem gewöhnlichen Schneckenextruder mit Vakuum zone zur Herstellung von polymeren Profilerzeugnis
sen zuführen zu können.
Reaktor, der, ";vie oben beschrieben, aus Aben mit einer Vakuumkammer besteht, kann für
irchfiihrung der Polykondensationsreaktion vert werden,
erfindungsgemäße Reaktor kann auch als kontinuierlicher Mischer zur Aufbereitung von hochviskosen Zusammensetzungen aus puiverförmigen und flüssigen Komponenten, z. B. zur Aufbereitung von pastenanigen Mischungen auf der Grundlage von Polyvinylchlorid, verwendet werden.
erfindungsgemäße Reaktor kann auch als kontinuierlicher Mischer zur Aufbereitung von hochviskosen Zusammensetzungen aus puiverförmigen und flüssigen Komponenten, z. B. zur Aufbereitung von pastenanigen Mischungen auf der Grundlage von Polyvinylchlorid, verwendet werden.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation, der in einem Gehäuse angeordnete und an einer gemeinsamen
Antriebswelle übereinander befestigte bewegliche Scheiben mit dazwischen angeordneten
Abstandhülsen, welche mit Hohlräumen für den umlaufenden Wärmeträger versehen sind, sowie eine
Einrichtung zur Verschiebung des zu verarbeitenden Stoffs durch den Reaktor und zur gleichmäßigen
Verteilung des Stoffs zwischen'den genannten Scheiben enthält, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtung zur Verschiebung des zu verarbeitenden Stoffs durch den Reaktor und zur
gleichmäßigen Verteilung des Stoffs zwischen den Scheiben feststehende Scheiben (1, 2, 3, 4), die zwischen
den beweglichen Scheiben (7) angeordnet sind, sowie in Rillen der feststehenden Scheiben (2,
3) untergebrachte Schnecken aufweist, die mit spiralförmigen Nuten (11) des Gewindes in Eingriff
kommen, das an den ebenen Seitenflächen der beweglichen Scheiben (7) ausgebildet ist, wobei die
spiralförmigen Nuten (11) abwechselnd miteinander durch die Spalte, welche zwischen den feststehenden
Scheiben (2, 3) und den zylindrischen Außenflächen der Abstandhülsen (8) vorgesehen sind, und
die Spalte, welche zwischen dem Gehäuse des Reaktors und den zylindrischen Außenflächen der
beweglichen Scheiben (7) bestehen, in Verbindung kommen, und mindestens eine der feststehenden
Scheiben (2) oder (3) mit einer Einrichtung zur Entfernung von flüchtigen Komponenten aus der Masse
des zu verarbeitenden Stoffs versehen ist.
2. Reaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrische Außenflache der beweglichen
Scheibe (7) in bezug auf deren Drehachse exzentrisch ausgeführt ist und im Reaktorgehäuse
ein Kratzer (13) befestigt ist, der über deren gesamte Höhe an die zylindrische Außenfläche der beweglichen
Scheibe (7) angedrückt wird.
3. Reaktor nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrische Außenfläche der
Abstandhülse (8) in bezug auf deren Drehachse exzentrisch ausgeführt ist und an der feststehenden
Scheibe (2, 3) ein Kratzer (14) befestigt ist, der über deren gesamte Höhe an die zylindrische Außenfläche
der Abstandhülse (8) angedrückt wird.
4. Reaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrische Innenfläche des Gehäuses
in bezug auf die Drehachse der beweglichen Scheibe (7) exzentrisch ausgeführt ist und an der
zylindrischen Außenfläche der beweglichen Scheibe (7\ ein Kratzer befestigt ist, der über die gesamte
Höhe des Spaltes zwischen dem Gehäuse und der zylindrischen Außenfläche der beweglichen Scheibe
(7) an die zylindrische Innenfläche des Gehäuses angedrückt wird.
5. Reaktor nach Anspruch 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrische Innenfläche der
feststehenden Scheibe (3) in bezug auf die Drehachse der Abstandhülse (8) exzentrisch ausgeführt ist
und an der zylindrischen Außenfläche der Abstandhülse (8) ein Kratzer befestigt ist, der über deren
gesamte Höhe an die zylindrische Innenfläche der feststehenden Scheibe (3) angedrückt wird.
6. Reaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Ent-
fernung von flüchtigen Komponenten aus der Masse des zu verarbeitenden Stoffs eine Vakuumkammer
(20) enthält, die in einer der feststehenden Scheiben (3) angeordnet ist und mit der Masse des
zu verarbeitenden Stoffs durch mindesiens ein in der feststehenden Scheibe (3) vorgesehenes Loch
(21) in Verbindung steht, das die Form eines radial ausgerichteten Schlitzes mit Abschrägungen (22)
aufweist, die an Kanten vorgesehen sind, welche der beweglichen Scheibe (7) an der Seite derselben zugekehrt
sind, an der sich der zu verarbeitende Stoff in spiralförmig ausgebildeten Nuten (11) des Gewindes
von der Zentralzone des Reaktors in der Richtung zu dessen R.sndzone verschiebt.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2214204A DE2214204C3 (de) | 1972-03-23 | 1972-03-23 | Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation |
JP3353972A JPS5318554B2 (de) | 1972-03-23 | 1972-04-05 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE2214204A DE2214204C3 (de) | 1972-03-23 | 1972-03-23 | Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation |
JP3353972A JPS5318554B2 (de) | 1972-03-23 | 1972-04-05 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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DE2214204A1 DE2214204A1 (de) | 1973-10-04 |
DE2214204B2 DE2214204B2 (de) | 1975-04-17 |
DE2214204C3 true DE2214204C3 (de) | 1975-12-11 |
Family
ID=25762941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2214204A Expired DE2214204C3 (de) | 1972-03-23 | 1972-03-23 | Reaktor zur kontinuierlichen Polymerisation |
Country Status (2)
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DE (1) | DE2214204C3 (de) |
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JPS55151328A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-25 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for fabricating hydrogen-containing amorphous semiconductor film |
JPS5939927U (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-14 | 株式会社日立国際電気 | 薄膜生成装置の基板加熱装置 |
JPS6027123A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光プラズマ気相反応法 |
US4550684A (en) * | 1983-08-11 | 1985-11-05 | Genus, Inc. | Cooled optical window for semiconductor wafer heating |
JPH0766910B2 (ja) * | 1984-07-26 | 1995-07-19 | 新技術事業団 | 半導体単結晶成長装置 |
JPS6311669A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-19 | Ulvac Corp | Cvd法 |
JPS6311668A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-19 | Ulvac Corp | Cvd法 |
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1972
- 1972-03-23 DE DE2214204A patent/DE2214204C3/de not_active Expired
- 1972-04-05 JP JP3353972A patent/JPS5318554B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE2214204A1 (de) | 1973-10-04 |
JPS499589A (de) | 1974-01-28 |
DE2214204B2 (de) | 1975-04-17 |
JPS5318554B2 (de) | 1978-06-15 |
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