DE2206045A1 - Piezoelektrische Keramikmaterialien - Google Patents
Piezoelektrische KeramikmaterialienInfo
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Description
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka, Japan
Piezoelektrische Keramikmaterialien
Zusammenfassung der Beschreibung:
Die Erfindung betrifft piezoelektrische Keramikmaterialien mit
sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktoren, hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und grossen Beständigkeiten der
piezoelektrischen Konstanten beim sich periodisch wiederholenden mechanischen Druck, wobei diese piezoelektrischen KeraraJtaiaterialien das quarternäre System Pb(Zn, /,Nbp/^)0^-Pb(Mn-, /-,Nb)O
sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktoren, hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und grossen Beständigkeiten der
piezoelektrischen Konstanten beim sich periodisch wiederholenden mechanischen Druck, wobei diese piezoelektrischen KeraraJtaiaterialien das quarternäre System Pb(Zn, /,Nbp/^)0^-Pb(Mn-, /-,Nb)O
PbTiCU-PbZrCU aufweisen.
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Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Keramikmaterialien
und auf aus diesen hergestellte Gegenstände. Im spezielleren betrifft die Erfindung neue ferroelektrische Keramianaterialien, die
polykristalline Aggregate von bestimmten Bestandteilen sind. Diese piezoelektrischen Keramikmaterialien werden dadurch hergestellt,
dass die Keramikmassen nach auf dem Gebiet der Keramik üblichen
Techniken gesintert und die Keramikmaterialien dann duroh Anlegen
Techniken gesintert und die Keramikmaterialien dann duroh Anlegen
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einer Gleichstromspannung zwischen Elektroden unter Verleihung
elektromechanischer Wandlereigenschaften, entsprechend dem bekannten
piezoelektrischen Effekt , polarisiert werden. Die Erfindung erfasst auch das calcinierte Zwischenprodukt aus en
Ausgangsstoffen und die Gegenstände , wie z.B. elektromecnanische
Wandler, die aus der gesinterten Keramik hergestellt worden wind.
Die Verwendung von piezoelektrischen Materialien auf verschiedenen
Wandleranwendungsgebieten zur Erzeugung , Messung und Ilichtungssinnbestimmung
von Ton, Stoss, Schwingung, Druck und zur Hochspannungserzeugung hat in den letzten Jahren in starkem Masse
zugenommen. Wandler sowohl vom Kristall- als auch vom Keramiktyp
sind in weitem Umfang benutzt worden. Wegen der möglichen geringeren Kosten und der einfacheren Verwendung bei der Herstellung
von Keramikmaterialien verschiedener Formen und Grossen und der grösseren Haltbarkeit bei hohen Temperaturen und/oder hohen Feuchtigkeitsgraden
als kristalline Substanzen, wie z.B. aas Rochellesalz usw., haben jedoch piezoelektrische KeramJknaterialien in
letzter Zeit eine führende Verwendung auf verschiedenen Wandleranwendungsgebieten
erlangt.
Die erforderlichen piezoelektrischen Eigenschaften von Keramikmaterialien
ändern sieh offensichtlich je nach der vorgesehenen Anwendung. Z.B. erfordern elektromechanische Wandler, wie z.B.
Tonabnehmer und Mikrophonbauteile, piezoelektrische Keramikmaterialien,
die durch einen im wesentlichen hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und eine im wesentlichen hohe Dielektrizitätskonstante
ausgezeichnet sind. Andererseits ist es auf den Keramikfilter- und piezoelektrischen Wandleranwendungsgebieten
erwünscht, dass die Materialien einen höheren Wert für den mechanischen Qualitätsfaktor und einen hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten
zeigen. Ferner erfordern Keramikmaterialien eine.grosse Beständigkeit hinsichtlich der Dielektrizitätskonstanten
und anderer elektrischer.Eigenschaften.innerhalb grosser
Temperatur- und Zeitspannen. Ausserdem erfordern elektromechanische Wandler, wie z.B. ein keramisches Zündelement,, das zum Zünden
von Gas benutzt wird,, piezoelektrische Keramikmaterialien., die
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durch eine hohe Piezoelektrizität.,, grosse mechanische Festigkeit
und grosse Beständigkeit hinsichtlich der Ausgangsspannung bei
• sich periodisch wiederholender -mechanischer Belastung ausgezeichnet
sind. . -
Als vielversprechende Keramik für diese Anwendungsgebiete ist bis jetzt Bleititanat-Bleizlrkonat in grossem Umfange benutzt worden.
Es ist jedoch schwer, bei den üblichen Bleititanat-Bleizirkonat-Keramikmaterialien
einen sehr hohen mechanischen Qjualitäts faktor zucammen mit einem hohen plansten Kopplungskoeffizienten zu erzielen. Darüberhinaus schwanken die dielektrischen und piezoelektrischen
Eigenschaft en von Bleitltanat-Bleizirkonat-Keramikniateriallen
sehr je nach der benutzten Brenntechnik, was auf ein Verdampfen von PbO zurückzuführen ist* Eine Verbesserung dieser
Faktoren ist durch Einarbeiten verschiedener zusätzlicher Bestandteile in dia Grundkeramikmasse oder durch Einverleiben verschiedener
Komplexverbindungen erreicht worden* So betrifft z.B. die
USA-Patentschrift 2 911 37Ο Bleititanatzirkonatkeramikmaterieöien,
uic mit iJbpOp-, Tap0,- und Y^O, usw. modifiziert sind, und öle
UjA-Patentschrift j5 ^Oj 103 KeramikmaterMien mit dem ternären
.3yüte::i PbZn-, /^Iibg/--0-'"^710^"^21'0^* Diese Keramikmaterialien
zeigen hohe elektromechanische Kopplungskoeffizienten, weisen
jedoch niedrige mechanische Q,ualitätsfaktoren und geringe Beötändigkeiten
hinsichtlieh der piezoelektrischen Konstanten bei mechanischer Belastung auf.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, neue und verbesserte piezoelektrische Keramikmaterialien zur Verfugung zu stellen, die,
ö.ie oben aufgezeigten Probleme überwinden*
"Nach der Erfindung sollen insbesondere verbesserte polykristalline
Kerarniki/iatcrialien geschaffen werden, die durch sehr hohe mechanische
Q,ualitätsfaktoren zusammen mit hohen piezoelektrischen Kopplungskoeffisienten
ausgezeichnet sind.
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BAD ORIGINAL
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Der Erfindung liegt im spezielleren die Aufgabe zugrunde, neue
piezoelektrische Keramikmaterialien zur Verfügung zu stellen, die durch sehr hohe mechanische Qualitätsfaktoren, hohe elektromechanischen
Kopplungskoeffizienten und sehr beständige Dielektrizitätskonstanten innerhalb grossei1 Temperatur-und Zeitspannen
ausgezeichnet sind.
Nach noch einer weiteren Aufgabe soll die Erfindung neue piezoelektrische
Keramikmaterialien schaffen, die durch eine grosse· Beständigkeit hinsichtlich der Ausgangsspannung bei sich periodisch
wiederholendem mechanischem Druck bzw. Schlag auf ein keramisches Zündelement, das zum Zünden von Gas benutzt werden
soll, ausgezeichnet sind.
Nach einer weiteren der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe, sollen
neue piezoelektrische Keramikmaterialien geschaffen worden, uio
euren, eine grossä mechanische Festigkeit ausgezeichnet sind.
Ferner sollen nach der Erfindung neue piezoelektrische Keramikmaterialien
geschaffen werden, von denen bestimmte Eigenschaften verändert werden können, um sie so verschiedenen Anwendungen anzupassen.
Der Erfindung liegt schliesslich noch die Aufgabe zugrunde, verbesserte
elektromechanische Wandler unter Verwendung von elektrostatisch
polarisierten Körpern, die aus den neuen Keramikmaterialien der Erfindung bestehen, als aktive Elemente zu schaffen.
Diese Aufgaben werden gemäss der Erfindung durch Keramikkörper gelöst,
die grundsätzlich in fester Lösung vorliegen, die das quarternäre System Pb(Zn1^Nb2 /00,-Pb(Mn1 /3Nb2/,)0,-PbTiO7-PbZrO, ,
aufweist.
Die Erfindung basiert auf der Feststellung, dass innerhalb bestimmter
einzelner Zusammensetzungsbereiche dieses Systems die Proben sehr hohe mechanische Q,ualitätsfaktoren, hohe mechanische Kopplungs-
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koei'i'idienten und eine trosse Beständigkeit hinsichtlich der piezoelektrischen
Konstanten bei mechanischer Belastung zeigen.
jj:Le K.erainil;:naterialien der Erfindung v/eisen bezüglich der Herstellungsverfahren
und der Anwendung für keramische Wandler zahlreiche Vorteile auf. Es ist bekannt, dass das Verdampfen von PbO während
u es Brennens ein Problem darstellt, dein man beim ο intern von Bleiverbindungen,
wie z.B. Bleititanatzirkone.t,-begegnet. Die Materialien
ο.er ürfindung weisen nach dem Brennen eine kleinere Menge
an veruarnjjftem Blei auf als die üblichen Bleititanatzirkonate.
Das qut.rternäre System kann ohne PbO-Atmosphäre gebrannt werden.
Ein gut gesinterter Körper mit der erfindungsgemässen Zusammensetzung
kann durch Brennen dor oben beschriebenen Materialien in einem Kc-ramiktiegel, der mit einem aus AlgO^-Keramikrnaterialien
hergestellten Keramlkdeckel bedeckt ist, erhalten werden» Eine
hohe ointerdichte 1st zur Erzielung einer Beständigkeit gegenüber
Feuchtigkeit und einer hohen piezoelektrischen Ansprechbarkeit erwünscht, wenn der gesinterte Körper als Resonator und für andere
Anwendungen benutzt wird.
Einige Materialien mit Zusammensetzungen,die innerhalb des quarternärc-n
Systems Pb(Zn1 /,,Nb2/^)O7-Pb(Mn1/,Nb2/v)0?-PbTi0,-PbZr0?
liegen, zeigen keine hohe Piezoelektrizität und viele dieser Materialien sind nur in einem geringen Masse elektromechanisch
Viirksam. Die Erfindung betrifft nur Materialien mit Zusammensetzungen
gernäss der Formel Pb(Zn-, /-^Nb2Ä^A^tol/'5Nb2/^BTiCZrD°V
worin die Bereiche für A, B, C und D 0^A ^"0,50, 0<B ^0,50,
0,25 "5 C*5o,625, 0,125 ^" D-^ 0,625 entsprechen und A + B + C +
D - 1 sind, und die eine pisoelektrische Ansprechbarkeit von
geeigneter Grosse aufweisen.
Die Materialien der Erfindung können nach zahlreichen bekannten Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien hergestellt
werden. Nach einem bevorzugten Verfahren, das nachfolgend ausführ-,
licher beschrieben wird, 1st jedoch die Verwendung von PbO oder ;
Pb,.0^, ZnO, MnO2, Nb2O1-., TiO2. und ZrO0 als Ausgangsmaterialien
vorgesehen,
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BAD ORIGINAL
2206Ü45
Die Ausgangsmaterialien, und zwar Bleioxid (PbO), Zinkoxid (ZnO),
Manganoxid (MnO2), Niobpentoxid (Nb2O ), Titandioxid (TiO,,) und
Zlrkondioxid (ZrO2), alle von relativ reinem Reinheitsgrad (z.B.-vom
Reinheitsgrad "chemisch rein"), wurden in einer mit Kautschuk ausgekleideten Kugelmühle innig mit destilliertem 'Jasser verflacht,
Beim Vermählen des G'emischs muss sorgfältig drauf geachtet vrerden,
dass eine Verunreinigung, die auf einen Abrieb der hahlkugeln oder -steine zurückzuführen ist, vermieden wird. Dieses kann
verhütet werden, indem die Anteile von den Ausgangsstoffen so geändert werden, dass eine Verunreinigung kompensiert wird.
Nach dem Nassvermahlen wurde das Gemisch getrocknet und verflocht,
um ein möglichst homogenes Gemisch zu erzielen. Danach wurde das Gemisch in geeigneter Weise zu den gewünschten Formen unter einen
Druck von 400 kg/cm geformt. Das zusammengedrückte Material wurde dann durch öalcinieren bei einer Temperatur von etwa 550° C für
etwa 2 Stunden einer Vorreaktion unterworfen.
Nach dem Calcinieren wurde das umgesetzte Material abkühlen gelassen
und dann zu einer kleinen Teilchengrösse nass vermählen, ,/iederum
muss wie oben dafür gesorgt werden, dass eine Verunreinigung durch einen Abrieb der Mahlkugeln oder -steine vermieden wird.
Je nach Wahl und den gewünschten Formen kann das Material zu einem zum Verpressen, Schlammvergiessen oder Stranggiessen je nach dem
Einzelfall geeigneten Gemisch oder Schlamm nach auf dem Gebiet der Keramik üblichen Formgebungsverfahren ausgebildet v/erden. Das Gemisch
wurde dann zu Scheiben mit einem Durchmesser von 20 mm und einer Dicke von 2 mm mit einem Druck von 700 kg/cm zusammengepresst.
Die zusammengepressten Scheiben wurden 45 Minuten lang
bei 1200 bis 1280° C gebrannt. Gemäss der Erfindung ist es nicht
erforderlich, die Masse in einer PbO-Atmosphäre zu brennen. Ausserdem
ist es nicht erforderlich, einen besonderen Temperaturgradienten In dem Brennofen einzuhalten, wie es bei den bisherigen Verfahren
erforderlich war. So können gemäss der Erfindung gleich-
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BAD ORIGINAL
- 1 - .M 3086
massige und ausgzeichnete piezoelektrische Keramikprodukte einfach
durch blosses Bedecken der Proben mit einem Aluminiumoxid-.tiegel während des Brennens erhalten werden.
Die gesinterten Keramikmaterialien wurden auf beiden Seiten bis zu einer Dicke von 1 ram geschliffen. Die geschliffenen Scheibenoborflüchen
wurden dann mit Silberfarbe überzogen und unter Bildung von oilberelektroden gebrannt. Schliesslich wurden die
öcheiben polarisiert, während sie in ein Bad aus Siliconöl von
100 bis I500 C eintauchten. Ein Spannungsgradient- einer Gleichstromspannung
von 3 bis 4 kV je mm wurde eine Stunde lang aufrechterhalten,
und die Geheibe wurde auf Raumtemperatur in j50
Minuten feldgekühlt»
Die piezoelektrischen und dielektrischen Eigenschaften der polarisierten
Proben wurden dann bei 20 C bei einer relativen Feuchtigkeit
von 50 .0 und bei einer Frequenz von 1 kHz gemessen. Beispiele
für spezielle Keraiailzmaterialien der Erfindung werden mit verschiedenen
sachdienlichen elektromechanischen Eigenschaften, dielektrischen
Eigenschaften und mechanischen Eigenschaften in der Tabelle I angegeben.
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BAD ORrGINAL
Tabell
Beispiel Nr.
Materialzusammensetzungen Dielektrizi- Planarer Mechani- Biegetätskonstante
Kopplungs- scher festig-
koeffizient Qualitäts- keit
faktor
(kg/cm )
S -τ. c
1050
o,Cc
2010
1290
10,C
O CO CO
cd 4 Pb(Znl/3Nb2/,
« TiO,38ZrO,37
920
ii4o
1030
ii4o
1030
0,59
0,63
0,59
0,63
0,59
1910
2410
1970
1310
1390
1320
J,D
11,9
9,8
C-T.C. ist die Änderung der Dielektriztitäskonstanten in dem Bereich 20 bis 70° C.
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Der Tabelle I ist zu entnehmen, dass alle beispielhaften Materialien
mit aen angegebenen Zusammensetzungen durch sehr hohe mechanische
Qualitätsfaktoren und hohe planare Kopplungskoeffizienten
ausgezeichnet sind,wobei alle diese Eigenschaften für die Verwendung
von piezoelektrischen Keramikmaterialien auf dem Gebiet der Keramikfilter, piezoelektrischen Wandler und Ultraschallwandler
von Bedeutung sind. Aus der Tabelle I ist ersichtlich.,
dass die Materialien gemäss der !Erfindung grosse mechanische Festigkeiten und geringe Änderungen der Dielektrizitätskonstanten
mit der Temperatur zeigen.
Diese Eigenschaften sind für die Verwendung von piezoelektrischen Materialien auf dem Gebiet der piezoelektrischen Wandler und Filter
usw. von Bedeutung. Der Ausdruck piezoelektrischer Wandler
wird hier zur Bezeichnung eines Geräts zum Übertragen von passiver elektrischer Energie oder eines Wandlers verwendet, das bzw. der
aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften des Materials, aus dem es bzw, er konstruiert worden 1st, eine Wandlung oder Umformung
von Spannung, Strom oder Impedanz zu erreichen vermag. Für eine solche Anwendung der Keramikmaterialien ist es erwünscht, dass
die ' piezoelektrischen Materialien eine' sehr beständige Dielektrizitätskonstante
innerhalb eines grossen Temperaturbereiches aufweisen
und sehr hohe mechanische Qualitätsfaktoren sowie hohe
elektromechanische Kopplungskoeffizienten zeigen, damit die piezoelektrischen
Wandler, die in Fernsehanlagen usw. benutzt werden, in bezug auf die Ausgangsspannung und den Ausgangsstrom eine hohe
Beständigkeit mit der Temperatur zeigen, Auf diesen Anwendungsgebieten für die Keramikmaterialien ist es vorteilhaft, wenn die
piezoelektrischen Keramikmaterialien eine grosse mechanische Festigkeit zeigen, damit derartige Erzeugnisse, in denen die Kerarnikmaterialien
verwendet werden, über grosse Zeitspannen hinwe^g und bei grosser mechanischer Beanspruchung betriebssicher und zuver- ■
lässig sind. ■
209841/0998
2206Q45
- ίο - ' M 3036 Beispiel 2
Das zu einer Reaktion gebrachte Pulver, das auf die gleiche './eise
ν/ie in dem Beispiel 1 hergestellt worden war, wurde zu säulenförmigen
Stäben mit einem Durchmesser von 10 mm und einer Lunge von 20 mm mit einem Druck von 700 kg/cm zusammengepreßt. Die
zusammengepressten säulenförmigen Stäbe wurden 45 Minuten lanjj
bei 1200 bis 1280° C gebrannt. Die gesinterten Keramikmaterialien wurden unter Bildung von- säulenförmigen Stäben mit einem
Durchmesser von 7 mm und einer Lunge von 15 mm geschliffen.
Bside Seiten der geschliffenen Stäbe wurden dann mit Silberfarbe
überzogen und unter Bildung von Silberelektrooen gebrannt. Die
Stäbe wurden polarisiert, während sie in ein Bad aus Siliconöl
von 100 bis I50 C eintauchten. Ein Spannungsgradient einer Gleichstroms
pannung von 2 bis 3 kV je mm wurde 30Minuten lang aufrechterhalten.
Beispiele für spezielle Keramikmaterialien der Erfindung und sachdienliche elektromechanische Eigenschaften werden in ^r
Tabelle II"angegeben. Der Tabelle II ist zu entnehmen, dass -.,1Ie
beispielhaften Materialien der Erfindung rait den angegebenen Zusammensetzungen
durch eine grosse Beständigkeithinslchtlich aer
Piezoelektrizitätskonstanten beim sich periodisch wiederholender, mechanischen Druck bzw. Schlag ausgezeichnet sind. Di.e Kerar-ikliiaterialien
der Erfindung zeigen ausseruem eine grosse Beständigkeit
hinsichtlich der Ausgangsspannung beim sicL periodisch
wiederholenden mechanischen Druck bzw. Schlag auf ein keramisches
Zündelement, das zum Zünden von Gas benutzt wird. Das Beispiel Nr. ο 1st ein Material mit herkömmlicher Zusammensetzung.
Diese Eigenschaft ist für die Verwendung von piezoelektrischen
Keramikmaterialien als keramische Zündstäbe usw. von Bedeutung.
Die Piezoelektrizitätskonstante nach Druck wurde nach 10' mechanischen
Drücken b-^/. Schlügen mit ainem Lruok von 40G kg/cm ^e-
209841/0998
BAD ORIGINAL
- 11 - M 3086
Lie .".n.'arunt; dor Ausgangespannung In der Tabelle II zeigt die
iiiiUcirung uo-r ,ais gangs spannung ueskeramischen Zündsystems mit
' CiSiTi Material der Erfindung zwischen der Aus gangs spannung vor
■ ■ 4
einer; Druck und der Auo^angcpannung nach 3 x 10 mechanischen
Draelren bzvj. Schlägen r.ilt einem .,ruck, der eine Aus gangs spannung
von I^ 1:7 erzeugt (al.- Aurrangepunkt des periodisch wiederholten
209841/0998 BAD 0RK3INftL
Beispiel
Tabelle II
Materialzusammensetzungen Piezoelektrische Konstante ,xio-5 , V-m/N '
Änderung der Ausgangsspannung
vor Druck
nach Druck
ho
ο |
7 |
co | |
00 | |
ο 8 Pb0 rür0 ,Tin
0,
O,54 28,9
28,5 23,0
27,5
26,5 19,2
1,4
15,3
M 5086
Getestete Proben wurden nach dem in dem Beispiel I beschriebenen'
Verfahren hergestellt. Die piezoelektrischen, dielektrischen und
mechanischen Eigenschaften der Proben wurden nach der gleichen Methode wie in dem Beispiel I gemessen. Die gemessenen Eigenschaften
der Proben werden in der Tabelle III angegeben.
Der Tabelle III ist zu entnehmen, dass gernäss der Erfindung die
piezoelektrischen und dielektrischen Eigenschaften der Keramikmaterialien durch Wahl der genauen Zusammensetzung geregelt
werden können, um sie so verschiedenen Anwendungen anzupassen, und dass alle beispielhaften Materialien mit Zusammensetzungen
gernäss der Erfindung durch einen sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktor
und eine grosse mechanische Festigkeit ausgezeichnet sind. Daher sind die piezoelektrischen Keramikmaterialien der
Erfindung für die Anwendung als elektromeohanische Wandlerelemente, wie z.B. als keramische Filter usw., geeignet.
20 98A1/099 8
Tabelle III
Beispiel Nr.
Materialzusammensetzungen Dielektrizi- planarer mechanischer Biegetätskonstante
Kopplungs- Qualitäts- festigkoeffizient
faktor keit
1P
(kg/cm )
215°
1320
O CO OO
10 Pb(Znl/;5Nb2/5)0i05(ltol/3Nb2/3)0i50Ti0j25- S5O 0,I5
1940
1280 ,
O CO CD
11
12 I9Q
430
0,30 2970
0,29
1370
1320
14 470
690
0,21 2340
0,37 3020
1290
1350
- 15 - .M 3086
Ausser den vorstehend: gezeigten überlegenen Eigenschaften führen
die Materialien mit den Zusammensetzungen gemäss der Erfindung zu
■Keramikmaterialien mit guter physikalischer Qualität und guter Polarisierbarkeit. Aus den vorstehenden Angaben ist zu ersehen,
dass das quarternäre Sjrstem Pb(Zn1 /^Nb2 ,J)0^-Pb(Mn-. /^Nbp , )0 PbTiO,-PbZrO^
ai^ezeichnete piezoelektrische Keramikkörper bildet,
Es ist ersichtlich, dass die Ausgangsmaterialien, die nach der Erfindung zu verwenden sind, nicht auf die in den obigen Beispielen
benutzten beschränkt sind. Anstelle der in den obigen Beispielen benutzten Ausgangsmaterialien können.solche Oxide
verwendet v/erden, die bei erhöhten Temperaturen leicht unter Bildung von Materialien mit den erforderlichen Zusammensetzungen
zersetzt werden.
Obwohl die zur Zeit bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung
beschrieben worden sind, können im Rahmen der Erfindung verschiedene
Änderungen und Abwandlungen vorgenommen werden.
- Patentansprüche -
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Claims (5)
1. Piezoelektrisches Keramikmaterial, bestehend im wesentlichen
aus einem Material gemäss der Formel
worin die Bereiche für A, B. G und D O«<
A - 0,50, 0-^B "5 0,50 0,25 "^C- 0,625, 0,125 "*? D "**? 0,625
entsprechen und A + B + C + D - 1 sind.
2. Elektromechariisches Wandlerelement, enthaltend ein Kerar.-iiImmaterial
nach Anspruch 1.
ß. Piezoelektrisches Keramikmaterial, bestehend im wesentlichen
aus einem Material gemäss der Formel
4. Elektromeciianisches Wandlerelement, enthaltend ein Keramikmaterial
nach Anspruch ^.
5. Verfahren zur Herstellung des Keramikmaterials nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man PbO, ZnO, MnO.,, Nb .0. ,
TiO und ZrO0 innig nassvermischt, das erhaltene Gemiccl·
trocknet, zu einer bestimmten Form verpresst und durch CaIci-
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- 17 - M 3086
nieren bei etwa 85O C 2 Stunden lang vorreagieren lässt,~
das calcinierte Geraisch abkühlt und zu einer kleineren
Teilchengrösse vermahlt, das feinteilige Gemisch formt und das geformte Gemisch bei 1200 bis 1280° C 45 Minuten lang brennt.
Teilchengrösse vermahlt, das feinteilige Gemisch formt und das geformte Gemisch bei 1200 bis 1280° C 45 Minuten lang brennt.
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP46005478A JPS517317B1 (de) | 1971-02-08 | 1971-02-08 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE2206045B2 DE2206045B2 (de) | 1977-11-17 |
DE2206045C3 DE2206045C3 (de) | 1979-09-20 |
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ID=11612342
Family Applications (1)
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DE2206045A Expired DE2206045C3 (de) | 1971-02-08 | 1972-02-04 | Piezoelektrische Keramik |
Country Status (7)
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JP (1) | JPS517317B1 (de) |
CA (1) | CA997552A (de) |
DE (1) | DE2206045C3 (de) |
FR (1) | FR2124539B1 (de) |
GB (1) | GB1376013A (de) |
IT (1) | IT962069B (de) |
NL (1) | NL7201652A (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1971-02-08 JP JP46005478A patent/JPS517317B1/ja active Pending
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- 1972-02-04 IT IT48136/72A patent/IT962069B/it active
- 1972-02-04 DE DE2206045A patent/DE2206045C3/de not_active Expired
- 1972-02-07 FR FR7204016A patent/FR2124539B1/fr not_active Expired
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- 1972-02-08 GB GB577972A patent/GB1376013A/en not_active Expired
Also Published As
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DE2206045B2 (de) | 1977-11-17 |
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NL7201652A (de) | 1972-08-10 |
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IT962069B (it) | 1973-12-20 |
FR2124539B1 (de) | 1974-12-13 |
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GB1376013A (en) | 1974-12-04 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |