DE2200696A1

DE2200696A1 - Verarbeitungseinrichtung zur Bearbeitung von Werkstuecken mittels Laserstrahlen

Info

Publication number: DE2200696A1
Application number: DE19722200696
Authority: DE
Inventors: Enrique Bernal G
Original assignee: Honeywell Inc
Current assignee: Honeywell Inc
Priority date: 1971-01-11
Filing date: 1972-01-07
Publication date: 1972-07-20
Also published as: FR2173697A1

Description

"Verarbeitungseinrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken

mittels Laserstrahlen"

Die Erfindung betrifft äirie irii't einem Laser zur Erzeugung einer im wesentlichen eine einzige Wellenlänge aufweisenden Strahlung, mit einer zur Verstellung der Lage eines Werkstückes im Strahlengang des Laserstrahles dienenden Verstelleinrichtung sowie mit einer Pokusiereinrichtung zur Bündelung des Laserstrahles auf dem Werkstück versehene Verarbeitungseinrichtung. Derartige Verarbeitungseinrichtungen können für Lfttarbeiten, Schweißarbeiten oder Schneidearbeiten oder andere Verrichtungen eingesetzt werden, bei denen ein Werkstück erhitzt werden muß.

Im Gegensatz zu den früher gebräuchlichen Verarbeitungsmethoden hat die Verarbeitung mittels Laserstrahlen eine Reihe von Vor-

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teilen. Der Laserstrahl kann auf einen besonders kleinen Durchmesser gebündelt werden, so daß mikro-miniaturisierte elektronische und mechanische Teile verschweißt, verlötet oder zerschnitten werden können. Der Laserstrahl kann sehr genau auf eine vorbestimmte Stelle auf dem Werkstück gerichtet werden, so daß die Aufheizung im wesentlichen nur an dieser Stelle geschieht. Die hohe Strahlungsintensität des Laserstrahls macht es möglich, sehr kleine Öffnungen oder Löcher . in Folien aus Metall, Glas oder Keramik einzubringen.

Eine Schwierigkeit bei der Verarbeitung von Werkstücken mittels Wärme ist die Tatsache, daß das Material des Werkstücks seine physikalischen Eigenschaften ändern kann, wenn es genügend lange Hitze ausgesetzt wird. Diese Änderungen können aufgrund von chemischen Reaktionen oder einer Phasenänderung des Materials erfolgen, aus welcher eine Änderung der physikalischen Eigenschaften resultiert. So kann sich beispielsweise eine irreversible Verminderung der Festigkeit des Werkstücks infolge der Phasenänderung ergeben, die durch eine längere Aufheizung des Werkstücks bewirkt wird. Daraus läßt sich entnehmen, daß es zur Erzielung guter Resultate sehr wünschenswert ist, .das Werkstück nicht länger und nicht bei höherer Temperatur als es für die Verarbeitung des Werkstückes notwendig ist, zu erhitzen.

Bei den bekannten mit Hilfe von Lasern arbeitenden Einrichtungen läßt sich keine genaue Steuerung der Werkzeugtemperatur erreichen. Die Verwendung eines Thermopaares zum Messen der Temperatur ist für viele Anwendungsgebiete wegen der Trägheit derartiger Messungen unbefriedigend. Da die Masse des Thermopaares oft mit der des Werkstückes vergleichbar oder sogar größer als diese ist, läßt sich durch eine derartige Temperaturmessung keine zuverlässige Aussage machen.

Bei den meisten mittels Lasern arbeitenden Verarbeitungseinrichtungen wird die Dauer der Heizzeit durch den Laserstrahl

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durch Versuche bestimmt. Die gefundene Heizzeit wird dann für alle gleichartigen Verarbeitungsgänge vorgeschrieben. Der Nachteil einer derartigen Methode besteht darin, daß die von dem Laser abgegebene Leistung sich ändern kann, wodurch die vorgegebene Heizzeit zu lang oder zu kurz bemessen ist. In beiden Fällen wird die Qualität der Verarbeitung nachteilig beeinflußt.

Aufgabe der Erfindung ist es, die oben geschilderten Nachteile der bekannten Verarbeitungseinrichtungen zu vermeiden und eine Verarbeit-ungseinrichtung der eingangs geschilderten Art zu schaffen, welche eine genaue direkte Temperaturmessung eines erhitzten Bereiches des zu messenden Werkstückes erlaubt.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß ein in seiner Empfindlichkeit von der Wellenlänge der empfangenen Strahlung abhängiger Strahlungsdetektor, der der von dem durch den Laserstrahl erhitzten Werkstück abgegebenen Hohlraumstrahlung ausgesetzt ist und ein von der Stärke der Hohlraumstrahlung abhängiges Ausgangssignal abgibt, daß die Abhängigkeit der Empfindlichkeit des Strahlungsdetektors von der Wellenlänge so gewählt ist, daß das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors nicht durch Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahls beeinflußt ist, und daß eine Lasersteuerung zur Steuerung der Leistung des auf das Werkstück auffallenden Laserstrahles in Abhängikeit von dem Ausgangssignal des Strahlungsdetektors vorgesehen ist. Bei einer derartig ausgestalteten Einrichtung wird die Temperatursteuerung des Werkstückes durch die Intensitätsmessung der von dem Werkstück abgegebenen Hohlraum-Strahlung (Strahlung des schwarzen Körpers) erreicht, wobei die Hohlraumstrahlung durch die Erhitzung eines Bereichs des Werkstückes bedingt ist. Die Leistung des auf das Werkstück fallenden Laserstrahles wird in Abhängigkeit von der Intensität der gemessenen Hohlraumstrahlung gesteuert.

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Eine besondere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Verarbeitungseinrichtung läßt sich dadurch erreichen, daß der"Strahlungsdetektor mit einem Filter versehen ist, welches im wesentlichen durchlässig für die vom Werkstück ausgehende Hohlraumstrahlung ist und im wesentlichen undurchlässig für Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahles ist. Durch eine derartige Ausgestaltung des Strahlungs detektors wird bei der Hohlraumstrahlung die vom Werkstück reflektierte Laserstrahlung wirksam unterdrückt, so daß die Laserstrahlung für das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors unbedeutend ist.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Drei Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert; Darin zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispieles der Erfindung,

Fig. 2 für zwei verschiedene Temperaturen die Abhängigkeit der Strahlungsenergie des schwarzen Körpers von der Wellenlänge,

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispieles der Erfindung,

Fig. 4 für zwei Laserstrahlen verschiedener Stärke die Abhängigkeit des Ausgangssignales eines wichtigen Bauteils des Ausführungsbeispiels nach Fig. 3 von der Zeit unri

Fig. 5 in schematischer Darstellung ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem die Stärke des Laserstrahles kontinuierlich entsprechend dem Beheizungsplan eines Werkstückes gesteuert wird.

In Fig. 1 ist eine mit einem Laser versehene Verarbeitungseiprichtung gezeigt, in der ein Laser 10 einen im wesentlichen

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eine einzige Wellenlänge aufweisenden Laserstrahl 11 aussendet. Ein zu verarbeitendes Werkstück 12 ist mittels einer Verstelleinrichtung 13 in den Strahlengang des Laserstrahles 11 gebracht. Eine beispielsweise als Linse ausgestaltete Fokusiereinrichtung 1*1 befindet sich ebenfalls in dem Strahlenweg des Laserstrahles 11 ,um diesen"ⁿeiner 'gewünschten Stelle des Werkstückes zu bündeln. Ein auf bestimmte Wellenlängen ansprechender Strahlungsdetektor 15 ist derart angeordnet, daß er die von dem Werkstück 12 ausgehende Hohlraumstrahlung 16 (Strahlung eines schwarzen Körpers) aufzunehmen in der Lage ist. Der nur auf bestimmte Wellenlängen ansprechende Strahlungsdetektor 15 gibt ein von der Hohlraumstrahlung 16 des Werkstückes 12 abhängiges elektrisches Ausgangssignal ab, wobei der Strahlungsdetektor auf Wellenlängen anspricht, die der erwünschten Erhitzungstemperatur des Werkstückes entsprechen, nicht aber auf Wellenlängen der von dem Laser 10 abgegebenen Strahlung. An den Ausgang des Strahlungsdetektors 15 ist eine das Ausgangssignal des Lasers steuernde Lasersteuerung 17 angeschlossen, die die Stärke des auf das Werkstück auftreffenden Laserstrahles in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal des Strahlungsdetektors 15 festlegt. ,

Bei einer praktisch erprobten Ausführungsform des hier beschriebenen Ausführungsbeispieles wurde ein Kohlendioxyd-(COp)-Laser mit einer Wellenlänge von 10,6 um zur Aufheizung eines Werkstückes auf 900° K verwendet, wobei der Strahlungsdetektor ein Quecksilber-Cadmium-Tellurid (Hg₁ Cd Te)-Detektor der bei einer Wellenlänge von etwa 5 jum eine Spitzen- · empfindlichkeit und bei einer Wellenlänge von 10,6 um eine vernachlässigbar kleine Empfindlichkeit aufwies. Die Lasersteuerung 17 enthielt einen Schalter, der mit dem C0p-Laser derart in Reihe geschaltet war, daß der Laser abgeschaltet wurde, sobald das Ausgangssignal des PIg₁ Cd Te-Detektor einen bestimmten Schwellwert erreichte, wodurch der Laserstrahl von dem Werkstück abgehalten wurde. Der vorbestimmte Schwellwert

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war einem : einer Temperatur von 9OO°K entsprechenden Ausgangssignnl des Detektors 15 zugeordnet.

Die Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Verarbeitungseinrichtung beruht auf der Tatsache, daß die Spitzenwellenlänge X und die Intensität der Hohlraumstrahlung (black body radiation) des Werkstückes von der Temperatur abhängig sind. Fig. 2 zeigt für zwei Temperaturen Tl und T2, von denen T2 ' größer als Tl ist, die Abhängigkeit der Intensität der abgegebenen Hohlraumstrahlung von den Wellenlängen. Es läßt sich aus Fig. 2 entnehmen, daß bei einem Temperaturanstieg die Intensität der Hohlraumstrahlung zunimmt, und die Spitzenwellenlänge \ der Hohlraumstrahlung nach den kürzeren Wellenlängen hin verschoben wird.

Die Spitzenwellenlänge \ ändert sich mit der Temperatur gemäß einer Gleichung pi T = C, Wobei T die Temperatur in Grad Kelvin (⁰K) und C eine Konstante ist. Daher verschiebt sich die Spitzenwellenlänge der Hohlraunjstrahlung nach einer kürzeren Wellenlänge hin, wenn sich die Temperatur erhöht. So hat beispielsweise die Spitzenwellenlänge der Hohlraum-

vO,

strahlung bei Raumtemperatur (300 K) einen Wert von 10m, wahrer

3,5 Mm hat.

während sie bei einer Temperatur T = 900⁰K einen Wert von

Wie weiter oben bereits erwähnt, erhöht sich die Gesamtintensität I der abgegebenen Hohlraumstrahlung ebenfalls mit der Temperatur, und zwar nach folgender Gesetzmäßigkeit:

I =£Γ AT⁴/2χ .,wobei gilt £ = Emissionsvermögen,

(P= Stefan-Boltzmann-Konstante und A = Abstrahlungsflache.

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Daraus ergibt sich, daß sich die Temperatur des Werkstückes durch die Messung der von ihm abgegebenen Hohlraumstrahlung bestimmen läßt. Dies ist allerdings bei gewöhnlichen Strahlungssystemen,bei denen andere Aufhoizeinrichtungen als Laser verwendet werden, deshalb schlecht möglich,weil die breitbandige Infrarotstrahlung durch die Heizquelle sehr viel größer als die von der Hohl raumstrahlung des Werkstücks abgegebene Infrarotstrahlung ist. Der in der erfindungsgemäßen Verarbeitungseinrichtung als Heizquelle verwendete Laser hat nur eine sehr schmalbandige Infrarotstrahlung, wodurch es möglich ist, nur die vob dsm Werkstück abgegebene Hohlraumstrahlung zu messen, was durch einen Strahlungsdetektor geschieht, der nur auf die Hohlraumstrahlung,nicht aber auf die vom Laser abgegebene Strahlung anspricht, da die Empfindlichkeit dieses Detektors wellesLängenabhängig ist und die Wellenlängen der Laserstrahlung und der Hohlraumstrahlung des Werkstücks sich genügend stark voneinander unterscheiden. Der Strahlungsdetektor 15 kann mit einer Detektoreinrichtung versehen sein, deren Eigenschaften derart sind, daß der Teil des elektromagnetischen Spektrums, auf die sie anspricht, die der gewünschten Heiztemperatur entsprechenden Wellenlängen enthält, nicht aber die Wellenlänge der von dem Laser abgegebenen Strahlung. Alternativ kann der Strahlungsdetektor mit einem Filter versehen sein, das die Strahlung herausfiltert, die eine Wellenlänge wie die Strahlung des Lasers 10 aufweist.

Pig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung, welches dem ersten Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ähnlich ist. In Fig. 1 und 3 werden gleichartige Bauelemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Ein Kohlendioxydlaser 20 arbeitet bei einer Wellenlänge von

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10,6 pm und dient als Heizquelle für das Werkstück 12. Der die Strahlung verschiedener Wellenlängen voneinander unterscheidende Strahlungsdetektor 15 ist mit einem Filter 21 versehen, welches im wesentlichen durchlässig für Hohlraumstrahlung (Strahlung des schwarzen Körpers) 16 ist, welche von dem Werkstück 12 ausgeht und welches im wesentlichen undurchlässig für Strahlung mit der Wellenlänge der von dem Laser 20 abgegebenen Strahlung ist. In dem Ausführungsbeispiel iiach F.ig. 3 ist ein mit einem Saphir versehenes Fenster/vorgesehen, welches den Durchgang der eine größere Wellenlänge als 6 um aufweisenden Strahlung verhindert und damit als Filter 21 wirkt.Das Saphirfenster hält damit die gesamte von dem Laser abgegebene Strahlung zurück, welche eine Wellenlänge von etwa 10,6yum aufweist und welche . von dem Werkstück 32 zum Strahlungsdetektor 15 hin reflektiert wird.

Für viele Anwendungsgebiete der vorstehenden Erfindung ist es wünschenswert, den Laserstrahl von dem Werkstück fernhalten zu können, um die Aufheizung des Werkstückes beenden zu können, ohne den Laser erst abschalten zu müssen, da sich bei der Einschaltung des Lasers einige Schwierigkeiten ergeben können. Eine derartige Einrichtung ist in dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 in Form einer einfügbaren Abdeckung 22 vorgesehen, die die Laserstrahlung unterdrückt, ohne den Laser abschalten zu müssen. Die Abdeckung 22 kann beispielsweise aus einem Graphitkörper bestehen, der in den Strahlungsweg des Laserstrahls eingebracht wird, um den Lichtstrahl zu unterbrechen, sobald das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors 15 den vorgegebenen Schwellwert erreicht.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung gegenüber dem Stand der Technik besteht darin, daß die Temperatur

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in dem Bereich, in dem das Werkstück aufgeheizt wird, sich, direkt messen läßt. Das Werkstück wird damit immer auf die gleiche Temperatur aufgeheizt, unabhängig von Änderungen in der Ausgangsleistung des Lasers.

Fig. 4- zeigt für dasAusführungsbeispiel nach Fig. 3 typische Ausgangssignale des Strahlungsdetektors 15 in Abhängigkeit von der Zeit. Die Ausgangssignale werden für Laserstrahl,en unterschiedlicher Leistung P,, und P~ verglichen, wobei P^₁ größer als ?£ ist. Zur Zeit t = O beginnt der Laserstrahl auf das Werkstück aufzutreffen. Bei einer Laserstrahlleistung von P^. wird der Schwellwert nach einer Zeit't,. erreicht· In diesem Moment wird der Laserstrahl von dem Werkstück durch die Abdeckung 22 ferngehalten un-d das Werkstück kühlt sich schnell ab. Wird ein Laserstrahl mit der crgeritngerenLeistung P^ verwendet, so heizt sich das Werkstück langsamer auf und das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors 15 steigt langsamer an. Wie aus Fig, 4 ersichtlich, wird der Schwellwert zu einem Zeitpunkt t_P erreicht, woraufhin der Laserstrahl von dem Werkstück ferngehalten wird. Es muß betont werden, daß, obwohl die Leistung des Laserstrahls sich verändert, das Werkstück immer auf die gleiche Temperatur aufgeheizt wird, die einem bestimmten Schwellwert des Ausgangssignales des Strahlungsdetektors 15 entspricht. Diese sehr genaue Temperatursteuerung erlaubt eine große Reproduzierbarkeit der Verarbeitungszustände.

Fig. 5 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung,bei dem die Leistung des Laserstrahles 11 entsprechend einem vorgegebenen Heizplan zur Aufheizung des Werkstückes 12 kontinuierlich gesteuert wird.

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In dem dritten Ausführungsbeispiel ist die Lasersteuerung 17 entsprechend Fig. 1 mit einem Programmgeber 30, einem Vergleicher 3I und einer Laserstromsteuerung 32 versehen. Der Programmgeber 30 stellt ein elektrisches Signal zur Verfügung, welches sich in Abhängigkeit von der Zeit ändert, so daß sich ein Heizplan für die Aufheizung des Werkstückes 12 ergibt. Der .Vergleicher 3I... vergleicht dasAusgangssignal des Strahlungsdetektors 15 mit dem.elektrischen Signal des Programmgebers 30 und gibt ein weiteres elektrisches Signal ab, welches die Abweichung der Signale des Programmgebers und des Strahlungsdetektors 15 anzeigt. Die LaserStromsteuerung 32 wirkt auf den Laser IO ein, so daß dieser kontinuierlich in seiner Strahlungsleistung des auf das Werkstück 12 fallenden Laserstrahls 11 in Abhängigkeit von dem elektrischen Signal des Vergleichers 31 gesteuert ist.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung des Ausführungsbeispieles nach Fig. 3> bei der der Laser ein Kohlendioxydlaser ist, weist der Vergleicher 31 einen Differentialverstärker und die LaserStromsteuerung 32 eine Triode, wie beispielsweise die unter der Bezeichnung Eimac 3-²^OOZ im Handel erhältliche Triode auf. Die Anoden- und Kathodenelektroden sind in Reihe mit der Gasentladungsröhre des Lasers 10 geschaltet, während die Gitterelektrode der Triode an den Ausgang des DifferentialVerstärkers angeschlossen ist und so ein elektrisches Signal vom Differentialverstärker erhält, welches der Abweichung der von dem Programmgeber 30 und dem Strahlungsdetektor 15 abgegebenen Signale voneinander entspricht.

Obwohl der bei einer Wellenlänge von 10,6 um arbeitende Kohlendioxydlaser besonders als Heizquelle erwähnt wurde, können für viele Ausführungsformen der Erfindung auch

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- li -

Laser verwendet werden, die bei anderen Wellenlängen als "bei 10,6 um arbeiten, ohne daß der Rahmen der Erfindung
verlassen wird. So ■* is.t beispielsweise für gewisse Anwendungsgebiete ein neodym-dotierter Yttrium-Aluminium-Granatlaser ( Ud : IAG)

sehr geeignet,der eine Strahlungswellenlänge von etwa
1,06yum aufweist. Bei Verwendung eines derartigen Lasers kann als Filter für den Strahlungsdetektor 15 ein Germaniumfenster verwendet werden. Bei anderen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung lassen sich Laser verwenden, die. im sichtbaren oder ultravioletten Strahlungsbereich arbeiten.

Patentansprüche

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Claims

Patentansprüche :

l.J Mit einem Laser zur Erzeugung einer im wesentlichen eine einzige Wellenlänge aufweisenden Strahlung, mit' einer zur Verstellung der Lage eines Werkstückes in Strahlengang des Laserstrahles dienenden .Verstelleinrichtung sowie mit einer Fokusiereinrichtung zur Bündelung des Laserstrahles auf dem Werkstück versehene Verarbeitungseinrichtung, dadurch g ekennzeichnet, daß ein in seiner Empfindlichkeit von der Wellenlänge der empfangenen Strahlung (16) abhängiger Strahlungsdetektor (15), der von dem durch den Laserstrahl (11) erhitzten Werkstück (12) abgegebenen Hohlraumstrahlung (16) ausgesetzt ist und ein von der Stärke der Hohlraumstrahlung abhängiges Ausgangssignal abgibt, daß die Abhängigkeit der Empfindlichkeit des Strahlungsdetektors (15) von der Wellenlänge so gewählt ist, daß das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors nicht durch Strahlung mit.der Wellenlänge des Laserstrahles beeinflußt ist und daß eine Lasersteuerung (17) zur Steuerung der Leistung des auf das Werkstück auffallenden Laserstrahles in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal des Strahlungsdetektors vorgesehen ist

2. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennz ei chnet, daß der Strahlungsdetektor (15) mit einem Filter (21) versehen ist, welches im wesentlichen durchlässig für die vom Werkstück (12) ausgehende Hohlraumstrahlung (l6) ist und im wesentlichen undurchlässig für Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahles (11) ist.

3. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a durch gekennzeichnet, daß der Laser (10) ein Kohlendioxydlaser ist, der einen Laserstrahl mit einer Wellenlänge von etwa 10,6 μχα abgibt.

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h. Verarbeitungseinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsdetektor (15) mit einem Saphirfenster (21) versehen ist, welches im wesentlichen durchlässig für die von dem Werkstück (12) abgegebene Hohlraumstrahlung (16) und im wesentlichen undurchlässig für eine Strahlung (11) mit einer Wellenlänge von 10,6yüm ist.

5. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a durch gekennzeichnet, daß der Laser ein neodynium-dotierter Yttrium-Aluminium-Granatlaser ist, der einen Laserstrahl mit einer Wellenlänge von etwa 1,06 yum abgibt.

6. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsdetektor (15) mit einem Germaniumfenster (21) versehen ist, welches im wesentlichen durchlässig für die von dem Werkstück (12) abgegebene Hohlraumstrahlung (16) und im wesentlichen undurchlässig für eine Wellenlänge von l,O6yum ist.

7. Verarbeitungseinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lasersteuerung (17) einem Programmgeber (30) zur Abgabe eines zeitveränderlichen elektrischen Signales, welches dem erwünschten Heizplan für die Aufheizung des Werkstückes entspricht, mit einem Vergleicher (31). zum Vergleich des Ausgangssignales des Strahlungsdetektors:(15) mit dem elektrischen Signal des Programmgebers (30) und zur Abgabe eines die Abweichung dieser beiden Signale anzeigenden weiteren elektrischen Signales und mit einer Laserstromsteuerung (32) versehen ist, welche die Leistung des auf das Werkstück auftreffenden Laserstrahles (11) in Abhängigkeit von dem weiteren elektrischen Signal des Vergleichers (31) kontinuierlich steuert.

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8. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser ein eine Gasentladungsröhre aufweisender Kohlendioxydlaser ist, und daß die Laserstromsteuerung (32) eine Diode aufweist, deren Anoden- und Kathodenelektroden in Reihe mit der Gasentladungsröhre geschaltet sind und deren Gitterelektrode zur Aufnahme des weiteren elektrischen Signales zu dem Vergleicher (31) geführt ist.

9. Verarbeitungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lasersteuerung (17) einen Schalter aufweist, welcher den Laser (10) abschlatet, sobald das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors (15) einen vorgegebenen Schwellwert erreicht.

10. Verarbeitungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lasersteuerung (17) einen zur Einfügung einer Abdeckung (22) in den Strahlengang des Laserstrahles und somit zur Entfernung des Laserstrahles (11) vom Werkstück (12) geeignete Betätigungseinrichtung'.· aufweist, /die den Laserstrahl von dem Werkstück entfernt, sobald das Ausgangssignal des Strahlungsdetektors (15) einen vorgegebenen Sehwellwert erreicht.

11. Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (22) ein Graphitkörper ist.

12. Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes mit einem Laserstrahl, gekennzeichnet durch die Schritte, daß ein Teilgebiet des Werkstückes durch einen Laserstrahl aufgeheizt wird, der im wesentlichen eine einzige relativ große Wellenlänge aufweist,

daß die Intensität der infolge der örtlichen Erhitzung des Werkstückes abgegebenen Hohlraumstrahlung gemessen wird und

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daß die Leistung des Laserstrahles in Abhängigkeit von der Intensität der gemessenen Hohlraumstrahlung gesteuert wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Messung der Intensität der Hohlraumstrahlung Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahles aus der Hohlraumstrahlung des Werkstückes herausgefiltert wird.

IM« Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Steuerung der Leistung des Laserstrahles (11), die durch den Laserstrahl bedingte Aufheizung des Werkstückbereiches beendet wird, sobald die Intensität der gemessenen Hohlraumstrahlung (16) einen vorgegebenen Schwellwert erreicht.

15. Verfahren nach Anspruch 14,dadurch gekennzeichnet, daß die Beendigung der Aufheizung des Werkstückbereiches durch ein Abschalten des Lasers (10) geschieht.

16. Verfahren nach Anspruch IM, dadurch gekennzeichnet, daß die Beendigung der Aufheizung des Werkstückbereiches durch die Unterbrechung des Laserstrahles mittels einer Abdeckung (22) geschieht.

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