DE2155163C3 - Justiersystem für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronenmikroskope - Google Patents
Justiersystem für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für ElektronenmikroskopeInfo
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Description
"6DaS erfindungsgemäße Justiersystem zeichnet sich
Die Erfindung bezieht sich auf ein Justiersystem für 25 insbesondere: durch,einer,geringerJ^^-*
Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronen- ve™af °hne™ mit permanent magnetisierten
mikroskope, bei dem der Korpuskularstrahl durch J»s»^
Magnetfelder, die von permanent magnetisierbaren Magne,p°l η ζerb g . mechanisch.räumliche
Magnetpolen ausgehen, in kommender Weise beein- f^J^J^Sr Magnetpole erforderlich ist. Die
flußt ist. i _ ■ ,,nr71icehenden magnetisierbaren Kerne der
Bei Elektronenmikroskopen ist es bekannt zur Grojfe ^ der Spulen, mit
seitlichen Ablenkung des Elektronenstrahles und/oder Maenetpole^owie α . f sind sind jewei)s
zur Korrektur eines Linsenfehlers, .. B Astigmatismus, denenj±ese ^™" m"«reh das Feld der Spule
des abbildenden Systems magnetische Ablenkfelder b™se^rtf ^1 ^s zu einer solchen Stärke magneti-
bzw. Quadrupolfelder zu verwenden. Zur Erzeugung 35 "?!«η^'^η kann die dem zur Korrektur erforderli-
dieser Felder sind permanent magnet.s.erte Magnetpole siert werde" ka"n' d'ärkewert entspricht,
verwendet worden, die durch räumliche Verschiebung chg "^"^^S6 d " irHndung besteht
in dem Elektronenmikroskop so lange justiert wurden, Ein ^»"dere k , strah, ät mit s .
bis die erforderliche Ablenkung bzw. bis die erforderh- nsbesondere tu■ eirinJ erfindungsgemäßen
cheKorrekturderLinsenfehlererreichtwordenistivg..40 ^X^^^tLs^L·^
zum Beispiel DT-PS 9 27 525) Hie zugeordnete Spule erfordert, mit dem einerseits die
Diese Art der Justierung ist außerordentlich muhe- J'e.w U/n e d°^Mag^tisierung des Poles erreicht wird und
voll. Hierbei ist insbesondere zu berücksichtigen daß notwendige Magn« verrfachlässigbares Minimum an
bei Korpuskularstrahlgeraten nach längerem Betrieb and.ere™e™a™V erzeu„t wird
häufig gelegentliche Nach- oder Neujust.erungen 45 ^ΐζΖ^ΓκΖ^ eines Magnetpo.es kann
erforderlich sind. Ganz besondere Schwierigkeiten Der niagnetisier e: Wechselstrom in der
ergeben sich mit derartigen Justiersystemen be, ^^s^^h^^^Jl£
Justiersysteme von außen schwer erreichbar sind, um les^wünscht „t dem stem ^ erzeugenden
fe™er^gJerwS!£n £? GB-PS 669268). Diese Fig.! zeigt ein Just.ersystem ,η Aufs.cht, gesehen ,η
Snulen haben den Vorteil daß ihre Wirksamkeit auf 60 Richtung der Strahlachse;
efekSschem We« von außen steuerbar ist, so daß im Fig.2 zeigt eine andere Ausfuhrungsform eines
Bereich de" Korpuskularstrahl* von außen steuerbare Justiersystems m,t besonder geformten Po^ uh
maenetische Korrekturfelder erzeugt werden können. gesehen in Richtung der Achse des Korpuskularstrahles.
Ksondere können ir ^ne-Ebene liegende kreuzwei- Mit 1,2,3 und 4 sind die permanent magnetisierbaren
iitÄSSiSdi durch einfache 65 Kerne der "W*^«™*^^£^
Umkehrung des elektrischen Stromes in mehreren der Be. dieser speziellen Ausfuhrungsform ist jedem Ke η
Spulen in Quadrupolfelder und umgekehrt umgewan- jeweils eine elektrische Spules II, 2, 3 undI 14
delt werden. Diese Justiersysteme mit elektrischen zugeordnet. Die Spulen s.nd in der Form eines Ringes
55
um den jeweiligen Kern des zu bildenden Magnetpoles herumgelegt. Durch einen wenigstens kurzzeitigen
StromfluB durch eine Spule kann der jeweilige Kern auf ein durch die Größe des Stromes vorgebbaren Wert der
Magnetisierung magnetisiert werden. Es bedarf hier keines besonderen Hinweises, daß dabei Erscheinungen
wie Sättigungsmagnetisierung und Abfall auf den Wert der Remanenz zu berücksichtigen sind.
Mit 6 ist ein magnetischer Ringschluß für die Kerne 1 bis 4 bezeichnet. to
Durch die die elektrischen Verbindungsleitungen 7 und 8 bewirkten, aus der Figur zu entnehmenden
Reihenschaltungen von jeweils zwei Spulen 11 und 13 bzw. 12 und 14 kann eine Magnetisierung der
Magnetpole erreicht werden, die zwei sich überlagernde im wesentlichen senkrecht zueinanderstehende Transversalfelder
im Bereich der Achse der Anordnung erzeugt. In der Fig. 1 ist als Beispiel das Feld 16 des
Polpaares mit den Kernen 2 und 4 dargestellt.
Im Bereich der Achse des Korpuskuiarstrahles kann somit ein resultierendes homogenes Feld mit einer
Ablenkrichtung erzeugt werden.
Durch Zusammenschaltung von jeweils zwei einander benachbarten Spulen, z.B. der Spulen 11 und 12
einerseits und der Spulen 13 und 14 andererseits, kann eine Magnetisierung der Magnetpole erreicht werden,
die in der Sirahlachse ein permanentes Quadrupolfeld
erzeugt. Quadrupolfelder werden zur Behebung von Astigmatismus verwendet. Durch eine entsprechende
Zahl von Polen können auch Oktopolfelder erreicht werden.
Wie bereits oben erwähnt kann durch die jeweilige Größe des Stromes in jeder einzelnen Spule eine
voneinander unabhängige Magnetisierung der einzelnen Kerne der Pole erreicht werden. Bei der speziellen
Ausführungiiform nach Fig. 1 mit paarweise hintereinandergeschalteten
Spulen sind dementsprechend die jeweiligen Polpaare voneinander unabhängig magnetisierbar.
F i g. 2 zeigt eine spezielle Ausführungsform mit zwei
einander gegenüberstehenden Kernen 21 und 22 für die Magnetpole. Mit 31 und 32 sind die jeweils zugehörigen,
zur Magnetisierung der Kerne vorgesehenen elektrischen Spulen bezeichnet. Mit 26 ist ein magnetischer
Ringschluß bezeichnet. Die Magnetpole mit den Kernen 21 und 22 haben speziell geformte Polschuhc 121 und
122. Durch entsprechende Formgebung dieser Polschuhe ist es möglich ein Magnetfeld 26 zwischen diesen
Polschuhen zu erzeugen, das über einen größeren Querschnitt im Bereich der Achse der Anordnung und
damit im Bereich der Achse 15 des Elektronenstrahls homogen ist. Die Spulen 31 und 32 sind zum Zwecke der
Magnetisierung bei dieser Ausführungsform durch die Verbindungsleitungen 27 elektrisch hintereinandergeschaltet.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Justiersystem für Korpuskularstrahlgeräte, 8«"f« f" 61^m zu speisen sind. Dies bringt
insbesondere für Elektronenmikroskope, bei dem ?le""„^" hei den bereits oben erwähnten Korpusder
Korpuskularstrahl durch Magnetfelder, die von 5 insbesonoiere oci ^ g |eitung Nachteile, die darin
permanent magnetisierbaren Magnetpolen ausge- kuiars_ιrdl"V~ . . u|sche Wärme, die in normalieitenhen,
in korrigierender Weise beeinflußt ist, da- besteJen. da» die y wird| eine unerWünschte
durchgekennzeichnet, daß in dem Korpus- den ^rekiur^ ^ ^^ bewirkt, an denen die
kularstrahlgerät einem Magnetpol (1, 2,3, 4, 21, 22 Erwärj™ gl\ aufrechterhalten werden müssen,
eine elektrische Spule (U, 12, 13, 14 31, 32) .. «^Temper ^Xg ist es daher einjustiersystem
zugeordnet ist, durch die die permanente Magnet!- AU'8r~ Λα5 kejne gegeneinander mechanisch
sierung dieses Magnetpols durch Stromfluß durch anzug.e.:? J'n Po|Schuhe und keine dauernd fließenden
die Spule steuerbar einstellbar ist. c?S7U seinem Betrieb erfordert.
2. Justiersystem nach Anspruch 1, dadurch ge- Strome^useinem^ ^ ^^ ^ wie ^.^^
kennzeichnet, daß jedem der Magnetpole (1,2,3,4, 15 U1" . „„c i,1<:tiersvstem gelöst, daß erfindungsge-21,22)jeeineSpule(U,12,13,14,31,32)zugeordnet
b«c^
ist. ..ui crchitfprät einem Magnetpol eine elektrische Spule
3. Justiersystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch larstrahlgerat e.nem iviag μ Magnetisie-
gekennzeichnet, daß ein Magnetpol (21, 22) mit J^tes^agnetpoL durch S.romfluß durch die
einem Polschuh (121,122) versehen .st (F. g. 2). 20 rung ™™r™l"nJemar ist. Insbesondere ist jedem
der vorgesehenen Magnetpole je eine Spule zugeord-
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712155163 DE2155163C3 (de) | 1971-11-05 | Justiersystem für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronenmikroskope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712155163 DE2155163C3 (de) | 1971-11-05 | Justiersystem für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronenmikroskope |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2155163A1 DE2155163A1 (de) | 1973-05-10 |
DE2155163B2 DE2155163B2 (de) | 1976-12-02 |
DE2155163C3 true DE2155163C3 (de) | 1977-07-28 |
Family
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