DE2131268A1 - Probentisch fuer ein Elektronenmikroskop - Google Patents

Probentisch fuer ein Elektronenmikroskop

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2206542A1 (enrdf_load_stackoverflow) * 1972-11-15 1974-06-07 Thomson Csf

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55104057A (en) * 1979-02-02 1980-08-09 Hitachi Ltd Ion implantation device
JPH01110204A (ja) * 1987-10-23 1989-04-26 Jeol Ltd 電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡
US5179280A (en) * 1990-10-12 1993-01-12 Chi & Associated Inc. Computer control of the electron microscope sample stage
US5481111A (en) * 1994-01-03 1996-01-02 Philips Electronics North America Corporation Electron microscope having a goniometer controlled from the image frame of reference
US20110017922A1 (en) * 2009-07-24 2011-01-27 Omniprobe, Inc. Variable-tilt tem specimen holder for charged-particle beam instruments
JP5581851B2 (ja) * 2009-12-25 2014-09-03 ソニー株式会社 ステージ制御装置、ステージ制御方法、ステージ制御プログラム及び顕微鏡
JP5403560B2 (ja) * 2010-11-17 2014-01-29 コリア ベイシック サイエンス インスティテュート 透過電子顕微鏡の、３方向以上から試片を観察し分析するための３軸駆動が可能な試片ホルダー
USD794816S1 (en) * 2013-10-24 2017-08-15 Hitachi High-Technologies Corporation Sample holder for an electron microscope
JP6622056B2 (ja) * 2015-10-23 2019-12-18 日本電子株式会社 検出装置および荷電粒子線装置
US9739994B1 (en) 2016-12-09 2017-08-22 William A. Loeb Methods and apparatus for reacquiring a target on a microscope slide

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB646019A (en) * 1946-01-05 1950-11-15 Philips Nv Improvements in or relating to electron microscopes
US3240934A (en) * 1962-02-14 1966-03-15 Jeol Ltd Specimen holding device with means to tilt, rotate and shift the specimen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2206542A1 (enrdf_load_stackoverflow) * 1972-11-15 1974-06-07 Thomson Csf

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