DE2117625B2 - Halbleiterkontaktierungsvorrichtung - Google Patents

Halbleiterkontaktierungsvorrichtung

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Description

3. Halbkricerkontaktierungsvorrichtung nach An- Steuerung aufwendig. Außerdem wirkt auf die .P1 -spruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die findlichen Bauelemente die erhöhte Temperatur rel·;,, Brenndüse so angeordnet ist, daß sie bei der Aus- lange ein.
lenkung den Kontaktierungsdraht im oder nahe 25 Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die ■■■.-■ beim Umkehrpunkt des Ausschwenkbereichs trifft kannten Vorrichtungen zu verbessern und die aus
4. Halbleiterkontaktierungsvorrichtung nach DT-OS 2 032 302 bekannte Vorrichtung zu vereii.·'..· einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge- chen. Hierzu wird bei einer Vorrichtung der einga . , kennzeichnet, daß ein Kondensator vorgesehen ist, beschriebenen Art erfindungsgemäß vorgeschlat . der während der Ruhestellung der Brenndüse auf- 30 daß der Magnet ein Drehmagnet ist, dessen Drehad, . geladen wird, daß ein Schalter vorgesehen ist, der zugleich die Halterung für die Brenndüse bildet, υ: ,i bei Betätigung den Kondensator in Reihe zur Dreh- daß eine Rückholfeder vorgesehen ist, die die Brennen magnetenspule schaltet und so die Ausschwenkung se in die Ruhestellung zurückstellt.
der Spule verursacht. Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat den Vorteil,
5. Halbleiterkontaktierungs orrichtung nach An- 35 daß an Stelle des aufwendigen Motors und der L-spruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in Reihe zur zentersteuerung nun nur noch ein einfacher Drehm.; Drehmagnetenspule ein veränderbarer Widerstand gnet benötigt wird, der mit seiner Drehachse zugleich geschaltet ist, der zur Regulierung der Ausschwenk- die Halterung für die Brenndüse bildet. Die Brenndüse geschwindigkeit dient. muß nur noch einen sehr kurzen Weg zurücklegen, der
40 außerdem sehr rasch zurückgelegt wird. Dadurch kanu
der Abbrennvorgang etwa in einem Zehntel der bei
den bekannten Vorrichtungen hierfür benötigten Zeit durchgeführt werden. Es hat sich überraschend gezeigt.
Die Erfindung betrifft eine Halbleiterkontaktierungs- daß die relativ kurze Zeit, während der die Flamme auf vorrichtung mit einer zum Abbrennen des durch eine 45 den Kontakttierungsdraht einwirkt, zum Durchbrennen Kapillare geführten Kontaktierungsdrahtes vorgesehe- des dünnen Drahtes ausreicht. Dies ist besonders dann nen Brenndüse, die an einer durch einen Magneten aus- der Fall, wenn die Brenndüse so angeordnet wird, daß lenkbaren Achse so befestigt ist, daß beim Anziehen sie bei der Auslenkung den Kontaktierungsdraht im des Magnetes die Brenndüse aus der Ruhestellung aus- oder nahe beim Umkehrpunkt des Ausschwenkbegeschwenkt und den im Ausschwenkbereich liegenden 50 reichs trifft. Es hat sich ferner gezeigt daß ein Aus-Kontaktierungsdraht durchtrennt. schwenkbereich von 20 bis 30° ausreichend ist.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der DT-OS Die Erfindung und ihre weitere vorteilhafte Ausge-
032 302 bekannt. Diese Vorrichtung ist jedoch auf- staltung soll im weiteren an Hand eines Ausführungswendig, da der Magnet und die Haltevorrichtung für beispiels noch näher erläutert werden. Die die Brenndüse voneinander getrennt sind. 55' F i g. I zeigt in einer perspektivischen Ansicht die für
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen die Erfindung wesentlichen Teile einer Kontaktierungs- oder integrierten Halbleiterschaltungen werden die vorrichtung, während in der
Halbleiterkörper auf einem metallischen Trägerkörper F i g. 2 die zur Erzeugung der Auslenkung notwendi-
oder auf einem Gehäusesockel befestigt. Danach müs- ge Schaltung dargestellt ist.
sen die einzelnen Elektrodenanschlüsse am Halbleiter- 60 In der F i g. 1 ist ein Drehmagnet 1 dargestellt, der an körper mit zugeordneten Elektrodenzuleitungen auf einem Haltearm 2 befestigt ist. An der Achse 3 des dem Trägerkörper oder am Gehäusesockel elektrisch Drehmagneten ist das Brennerrohr 5 mittels einer Haileitend verbunden werden. Dies geschieht vielfach mit- teklammer 4 befestigt. Das Rohr 5 ist über einen flexitels dünner Zuleitungsdrähte, die am Halbleiterkörper blen Schlauch 6 mit einer Wasserstoffquelle verbunden, und an den Elektrodenzuleitungen mit Hilfe der be- 65 Am anderen Ende des Rohres 5 ist die Brenndüse 7 kannten Thermokompressionstechnik befestigt werden. befestigt, aus der die Flamme 10 austritt Eine zwischen
Zum Kontaktieren wird beispielsweise ein dünner der Halteklammer 4 und dem Haltearm 2 befestigte Draht aus Gold verwendet. Bei einem Verfahren wird Rückholfeder 11 sorgt dafür, daß die Brenndüse bzw.
das Brennrohr nach der Auslenkung wieder in die Ruhestellung zurückgeholt wird. In der Regel wird diese Rückholfeder aber im Drehrnngneien selbst angeordnet sein.
In der F i g, 1 ist die Brenndüse in der Ruhestellung s gestrichelt und in der ausgelenkten Stellung durchgezogen gezeichnet Der Kontaktierungsdraht 12, der vielfach aus einem dünnen Golddraht besteht, ist durch eine Kapillare 8 geführt, deren zugespitztes Ende zum Anpressen des Drahtendes un eine Kontaktfläche verwendet wird. Zum Haltern und Abreißen des Drahtes ist eine Klammer 9 vorgesehen. Der Kontakiierungsdraht weist an seinem freien Ende eine in einem vorangehenden Abbrennvorgang erzeugte Kugel auf, die mit Hilfe der KapHiarenspitze gegen die Kontaktfläche 13 eines Halbleiterkörpers 14 gepreßt wird. Der Halbleiterkörper ist beispielsweise auf einen Kontaktierungsstreifen 15 aufgelötet worden. Nach der Herstellung der Verbindung auf dem Halbleiterkörper wird der Kontaktierungsdraht zu einer zugeordneten Strebe ao 16 des Kontaktierungsstreifens 15 gezogen und mit dieser Strebe gleichfalls durch Thermokompression verbunden. Wenn dieser Kontakt hergestellt ist, wird ein Endschalter betätigt, durch den eine Bewegung der Zange 9 ausgelöst wird durch die der Kontaktiemngs- as draht an der Kontaktstelle auf der Strebe abreißt. Nun muß zur Erzeugung einer Kugel am Drahtende, die eine definierte Größe haben muß, der Draht noch an der dargestellten Stelle durchgebrannt werden. Hierdurch wird am Drahtende eine Kugel angeschmolzen, die verhindert, daß der Draht aus der Kapillare herausgezogen werden kann und die beim nächsten Kontaktierungsvorgang wieder benötigt wird. Zum Durchbrennen des Drahtes wird die Brenndüse in der dargestellten Weise ausgeschwenkt. Sie trifft im oder nahe beim Umkehrpunkt mit der Flamme auf den Kontakti-·- rungsdraht und brennt das untere Ende ab.
In der F i g. 2 zeigt die Schallskizze die zur Auslenkung der Spule benötigten Schaltelemente. Solange die Brenndüse in der Ruhestellung verharrt, wird ein Kondensator C über einen Widerstand Rx und einen Schaltkontakt auf die Versorgungsspannung aufgeladen. Wenn der Endschalter betätigt wird, wird der Kondensator von der Versorgungsspannung abgetrennt und mit der Drehmagnetenspule S in Reihe geschaltet Der Drehmagnet wird durch den von dem sich entladenden Kondensator ausgehenden Strom ausgelenkt. Zum Drehmagneten wird vorzugsweise noch ein veränderbarer Widerstand R2 in Reihe geschaltet, durch dessen Dimensionierung die Auslenkges^hwindigkeit bestimmt bzw. variiert wird.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

der Draht durch eine zugespitzte Kapillare geführt. Patentansprüche: Der Draht wird mit der Kapillarenspitze unter gleich-, nuenwnsprucne. ^.^ Anwcndung von Wärme gegen eine erste Kon-
1. Halbleiterkontaktierungsvorriehtung mit einer taktstelle zur Herstellung l?rvlhf™ ™?γ ™?.'n' Wim Abbrennen des durch eine Kapillare geführten 5 dung gepreßt Danach *W der Draht w einer zwei en Kontaktierungsdrahtes vorgesehenen Brenndüse, Kontaktierungsstele geführt, an Jr er aui d eseibe die an einer durch einen Magneten auslenkbaren Weise befest.gt wird. Der Draht wird dann mit Hilfe Achse so befestigt ist daß beim Anziehen des Ma- einer Brenndüse abgebrannt, wobei am Drahtende eine gneten die Brenndüse aus der Ruhestellung aus- Kugel anschmilzt die verhindert daß der Draht aus der schwenkt und den im Ausschwenkbereich liegenden » Kapillare herausgezogen wird und die aullerdem für Kontaktierungsdraht durchtrennt dadurch ge- den nächsten Kontakuerungsvorgang benotigt w.rd. kennzeichnet, daß der Magnet ein Drehma- Aus diesem Grand wird dieses Verfahren auch als Nagnet ist dessen Drehachse zugleich die Halterung gelkopf oder »nail-head« Kontaktierung bezeichnet, für die Brenndüse bildet und daß eine Rückholfeder Bei dieser bekannten Vorrichtung wird die Brennduvorgesehen ist die die Brenndüse in die Ruhestel- 15 se eines Wasserstoffbrenners von einem Getneuilung zurückstellt Elektromotor über eine Exzentersteuerung in ein.»r
Z Halbleiterkontaktterungsvorrichtung nach An- kreisförmigen Bewegung zu einer Kontaktierung^t.-.ie
spruch 1. dadurch gekennzeichnet daß der Dreh- geführt und brennt hierbei den Kontaktierungsdrah.
magnet so ausgelegt ist daß die Brenndüse beim zwischen der Kontaktfläche und der Kapillare durch
Anziehen des Drehmagneten um 20 bis 30° aus- ao Diese Verfahrensweise dauert relativ lange und ist auf
schwenkt. Grund des erforderlichen Motors und der zugeho:.·,·: ,1
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