DE2105003B2 - Verfahren zum ueberziehen von koerpern mit isolierenden stoffen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Über- Das Hexafluorpropylen wird in den Reaktionsraum

ziehen von Körpern mit isolierenden Stoffen, bei dem gasförmig eingebracht. Dieser Stoff liegt nämlich bei

der zu überziehende Körper, insbesondere im Durch- 25 Raumtemperatur als Gas vor. Das Einbringen des

laufverf; hren. der Wirkung einer durch Wechsel- Hexafluorpropylengases in den Reaktionsraum kann

spannung erzeugten elektrischen Entladung in An- über Ventile besser gesteuert werden als das Einbringen

Wesenheit polymerisierbarer gas- oder dampfförmiger flüssiger Stoffe. Hexafluo^rpropylen ist ungiftig und

Fluorkohlenstoffe in einem Reaktionsraum ausgesetzt kann in Druckflaschen bei Raumtemperatur transpor-

wird, welche unter dem Einfluß dieser Entladung poly- 30 tiert werden.

mere bzw. hochmolekulare Verbindungen bilden, bei Die erfindungsgemäß hergestellten Schichten zeich-

dem in unmittelbarer Nähe jeder von zwei gegenüber- nen sich durch eine besonders geringe Wasscraufnahme,

liegenden Entladungselektroden je ein zu überziehender einen niedrigen Verlustfaktor (-'3 ■ 10~³ bei IkHz)

Körp-r vorbeigeführt wird. und hohe Flexibilität aus. Es ist auch eine einwandfreie

Aus der USA.-Patentschrift 3 068 510 ist ein der- 35 Beschichtung von Körpern mit verhältnismäßig dicken

artiges Verfahren bekannt. Dort wird jedoch stets ein Isolierschichten (etwa 1 μΐη) möglich. Die erfindungs-

Stoffgemi'ch in den Reaktioiuraum gebracht, welches gemäßen Polymerisationsschichten weisen eine hohe

vorzugsweise durch Zersetzung von Polytetrafluor- Dauertemperaturbeständigkeit (mindestens 150 C)

äthylen erhalten wird. Dadurch ergeben sich Schichten und Unbrennbarkeit auf.

mit relativ geringer mechanischer Festigkeit; dazu ist 40 Die Verwendungsmöglichkeiten der erfindungsdas monomere Fluoräthyien hochexplosiv, so daß es gemäßen Isolierstoffschichten sind vielfältig. Sie könnicht ohne weiteres gereinigt und in Vorrat gehalten nen zur Isolierung von Drahtspeichern zur Passiviewerden kann. Außerdem muß das Polytetrafluor- rung von Halbleiteroberflächen und zu Isolierzwecken äthylen einer aufwendigen Temperung unterzogen in integrierten Schaltungen verwendet werden. Außerwerden, damit sich einigermaßen feste Schichten bilden. 45 dem kann man Speicherelemente oder sonstige eiek-

Die Aufgabe ύ·-τ vorliegenden Erfindung besteht in Irische Bauelemente mit den erfindungsgemäßen Über-

der Herstellung dünner organischer Isolierstoffschich- zügen versehen,

ten mit g>:ten dielektrischen Eigenschaften bei geringer Besonders eignen sich die erfindungsgemäßen Uber-

Feuchteempfindlichkeit, insbesondere für den Einsatz züge als Kondensatordielektrikum. Auch die Verwen-

als Kondensatordielektrikum, mit einfachen techni- 5° dung als Dielektrikum in regenerierenden Kondensa-

schen Mitteln. toren ist wegen der ausgezeichneten Regeneriereigen-

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge- schäften vollfluorierter Kunststoffe möglich,

löst, daß in dem Reaktionsraum gasförmiges Hexa- In einem Rezipienten befinden sich bei einem be-

fluorpropylen (CF₂ = CFCF₃) eingebracht wird. stimmten Druck, beispielsweise zwischen 0,1 und

Das erfindungsgemäße Verfahren bietet Vorteile, da 55 3 Torr, die Monomere, aus denen die Polymerisations-

sich porenfreie Isolierstoffschichten äußerst geringer schichten durch Glimmentladung hergestellt werden

Dicke (etwa 50 nm) erzielen lassen. Isolierstoffschich- sollen.

ten, welche erfindungsgemäß aus diesem Stoff herge- Bei der Beschichtung von metallisierten Kunstoffstellt s'nd, zeigen nicht die bekannten Nachteile der folien wendet man Frequenzen der Wechselspannung gemäß dem Stand der Technik angewandten per- 60 von 100 kHz bis 10 MHz an, damit die zwischen der fluorierten Kunststoffe, insbesondere nicht die Fließ- Elektrodenoberfläche und der Metallisierung liegende, neigung bei erhöhter Temperatur. Die erfindungs- von der Kunststoffolie herrührende Kapazität übergemäßen Isolierstoffschichten sii.d vielmehr form- wunden wird. Bei der Beschichtung von Metallfolien stabil, und die daraus hergestellten Körper widerstehen genügen Frequenzen der Wechselspannung von 50 Hz der Einwirkung äußerer Kräfte. 65 bis 500 kHz.

Claims (2)

Patentansprüche · Der Serm8e Verlustfaktor von erfindungsgemäß her- H ' gestellten Polymerisationsschichteri aus Hexafluor-

1. Verfahren zum Überziehen von Körpern mit propylen beträgt etwa 1 · 10~³ bei 1 kHz und 25°C. isolierenden Stoffen, bei dem der zu überziehende Dies ergibt sich daraus, daß in der Glimmentladung Körper, insbesondere im Durchlaufverfahren, der 5 fast ausschließlich ein Aufbrechen der Doppelbindun-Wirkung einer durch Wechselspannung erzeugten gen mit anschließender Polymerisation erfolgt:
elektrischen Entladung in Anwesenheit polymeri-

sierbarer gas- oder dampfförmiger Fluorkohlenstoffe ausgesetzt wird, weiche unter dem Einfluß

dieser Entladung polymere bzw. hochmolekulare io ' _ I ' I I

Verbindungen bilden, bei dem in unmittelbarer S l"⁵" ^c V^- γ γ

Nähe jeder von zwei gegenüberliegenden Entla- FF FFFF

dungselektroden je ein zu überziehender Körper

vorbeigeführt wird, dadurch gekenn- Beim erfindungsgemäßen Verfahren tritt eine Quer-

zeichnet, daß in den Reaktionsraum gas- 15 vernetzung auf. Die Quervernetzung ist durch ein Ab-

förmiges Hexafluorpropylen eingebracht wird. trennen von CF^-Gruppen und nachfolgender Bildung

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- von Seitenkelten erklärbar. Infolge Fehlens atomarer zeichnet, daß das Hexafluorpropylen bei Raum- und niedrigmolekulare- Crackprodukte und daraus temperatur eingebracht wird. resultierender stabil: Zusammensetzung des Reak-

20 tionsgases: ir>d die Glimm- und Abscheidebedingungen

gut überschaubar. Die Glimmentladung erfolgt nur im

Bereich der maximalen Feldstärke.