DE2101322A1 - Verfahren zum Herabsetzen bzw zur vollständigen Unterdrückung von Ausdiffu sionserscheinungen bei der Herstellung von epitaktischen Halbleiterschichten - Google Patents

Verfahren zum Herabsetzen bzw zur vollständigen Unterdrückung von Ausdiffu sionserscheinungen bei der Herstellung von epitaktischen Halbleiterschichten

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