DE2054096A1 - Gasentladungsrohr, insbesondere fur Gaslaser - Google Patents

Gasentladungsrohr, insbesondere fur Gaslaser

Info

Publication number
DE2054096A1
DE2054096A1 DE19702054096 DE2054096A DE2054096A1 DE 2054096 A1 DE2054096 A1 DE 2054096A1 DE 19702054096 DE19702054096 DE 19702054096 DE 2054096 A DE2054096 A DE 2054096A DE 2054096 A1 DE2054096 A1 DE 2054096A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas
tube
pipe
pressure
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19702054096
Other languages
English (en)
Inventor
Marshall Peter Bethesda TuIm, Md (V St A ), Schwartz, Josef, Haifa (Israe!) P
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HYDRONAUTICS
Original Assignee
HYDRONAUTICS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HYDRONAUTICS filed Critical HYDRONAUTICS
Publication of DE2054096A1 publication Critical patent/DE2054096A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

  • Gasentladungsrohr, insbesondere für Gaslaser Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrlchtung zur Erhöhung der Arbeitsleistung von Gasentladungsrohren, insbesondere, wenn sie als elektrisch erregte Gaslaser verr wendet werden.
  • Obwohl die Erfindung ganz allgemein bei.Gasentladungsrohren angewendet werden kann, soll sie vorwiegend im Zusammenhang mit einem elektrisch angeregten Gaslaser beschieben werden.
  • Bis Jetzt ist in den üblichen elektrisoh angeregten Gas las ern die Gas strömung laminar, und relativ niedrige Gasdrücke werden benutzt, um die richtigen Laserbedingungen zu erzeugen. Die durch die Entladung erzeugten Ladungsträger diffundieren durch das Gas zu den festen Wänden des Rohres und rekombinieren dort. Für eine stationäre Entladung muß die Rate der Ion-Blektron-Paarbildung gleioLl ihrer Diffusionsrate zur Röhrenwand sein, und die Rate der Ladungsbildung und Ladungsdiffusion hängt vom Spannungsabfall und vom Röhrendruck ab.
  • Infolgedessen muß die elektrische Spannung am Rohr für Jeden gegebenen Druck so eingestellt werden, daß die Rate der Ladungsbildung gleich der Rate der Ladungsdiffusion ist, um einen stationären Betrieb zu unterhalten. Der erforderliche Spannungsabfall an einem Entladungsrohr gegebenen Durchmessers verhält sich ungefähr wie die Quadratwurzel des Gasdruckes im Rohr innerhalb eines ziemlich großen Gasdruokbereiehes.
  • Der Laserbetrieb wird erreicht, wenn die Gasmoleküle in einer genügend hohen Rate auf ein spezifisches Energieniveau angeregt werden, um eine Besetzungsumkehr zu erzeugen, wobei sie von diesem Energieniveau sich abregen und ein Strahlungsquant emittieren. Die Anregung der Laserstrahlung abgebenden aktiven Gasmoleküle auf ihr richtiges Energieniveau hängt kritisch von der Energie der Ladungsträger im Entladungsrohr ab, da die Anregung vor allem durch Stöße mit den Ladungsträgern vorgenommen wird. Daher müssen zur Brzeugung der richtigen Laserbedingungen die Ladungsträger, insbesondere die freien Nlektronen, eine bestimmte Energie innerhalb eines kleinen Bereichs aufweisen.
  • AuBerdem ist die Energie der Elektronen in einem Bntladungsrohr proportional dem Verhältnis von Entladungsspannung und Gasdruck. Aufgrund der erörterten Bedingungen arbeitet das Gas im Entladungsrohr nur dann im Las erbetrieb, wenn das Verhältnis von Entladungsspannung und Gasdruok innerhalb eines kleinen Intervalls gehalten wird. Es ist daher ersichtlich, daß insoweit, als die Sntladungsspannung eine Funktion des Gasdruckes ist, das spezifische Verhältnis von Spannung zu Druck nur innerhalb eines sehr kleinen Druckintervalls erzielt werden kann, wobei ein optimaler Laserbetrieb für einen einzigen Druck erreicht wird. Die gegenwärtig verwendeten Drücke liegen im Bereich von 10 bis 20 Torr, und die Diohte des Lasermediums ist wie die Ausgangsleistung relativ niedrig. Ein typischer C02-Laser hat eine Ausgangsleistung von bis zu 100 W/m Rohrlänge.
  • Es ist bereits bekannt, daß die Ausgangsleistung durch Erhöhung der Dichte oder Masse des Gases im Rohr erhöht werden kann. Versuche in dieser Riohtung durch Erhöhung des Rohrdurchmessers sind Jedoch fehlgeschlagen, da der Druck bei steigendem Durchmesser sinkt. Die Gasmasse kann auch durch Verlängerung des Rohres erhöht werden. So soll mindestens ein Laser mit einer Länge von 100 m und einer Ausgangsleistung von 2 - 8 kW gebaut worden sei, Es ersteht sich, daß ein derartiger Laser aufgrund seiner Größe und Kosten nicht verwertbar ist.fur gewerbliche Zwecke.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren anzugeben, durch das die bisherige gegenseitige Abhängigkeit von Rohrdurchmesser, -spannung und Druck als festen Parameter beseitigt wird, so daß nur der Rohrdurchmesser als fester Parameter bleibt. Anders ausgedrückt, es sollen Betriebsbedingungen geschaffen werden, bei denen ein elektrisch angeregter Gaslaser im Laserbetrieb bei wesentlich hbherem Druck betrieben werden kann, so daß einerseits die Ausgangsleistung des Laserrohrs mit.
  • gegebenen Durchmesser ohne Erhöhung seiner Länge vergrößert wird und andererseits ein großer Bereich von Ausgar,gs.eSstungen mit demselben Rohr ermöglicht wird.
  • Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß eine Turbulenzströmung im Rohr erzeugt wird, um das konvektive seitliche Durohmischen der Gasmoleküle senkrecht zur mittleren Fluidrichtung zu erhöhen und so einen Betrag zu erreichen, der gleich oder größer als der Betrag bei Laminarströmung ist.
  • Nach Erreichen des seitlichen Durchmischens werden die Spannung und der Druck unabhängig voneinander, so daß eine Erhöhung des Druckes und/oder der Spannung, ferner eine Erhöhung der Masse und eine Zunahme der Ausgangsleistung ermöglicht werden.
  • Durch das turbulente konvektive seitliche Durchmischen wird die Kopplung von Druck und Spannung aufgehoben, so daß Druck und Spannung unabhängig variierbare Parameter werden.
  • Dadurch wird es möglich, das richtige Verhältnis von Spannung zu Druck zur Einstellung des Laserbetriebs durch Variieren des Drucks, der Spannung oder beider Parameter für ein Rohr gegebenen Durchmessers zu bestimmen, was innerhalb eines großen Bereichs vorgenommen werden kann. Infolgedessen können geeignete Entladungsbedingungen für Laserbetrieb bei bedeutend höheren Drücken und damit auch höheren Gasdichten als bisher erzielt werden.
  • Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert.
  • Es zeigen: Fig. 1 schematisch einen elektrisch angeregten Gaslaser mit Einweg-Absaugbetrieb; Fig. 2 ein Diagramm, das die Erhöhung der Ausgangslei Stlltlg durch die erfindungsgemäße Lehre angibt; Fig. 3 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines elektrisch angeregten Gaslasers; und Fig. 4 einen Schnitt 4-4 nach Fig. 3.
  • Da die Bauelemente der gezeigten Vorrichtungen für sich bekannt sind, brauchen sie nicht in allen Einzelheiten beschrieben zu werden. In Fig. 1 hat das Entladungsrohr 10 einen Durchmesser von 2,5 cm und eine Länge von 30 cm oder einem Mehrfachen davon. Für praktischeAnwendungen ist in Ansehung von Größe und Kosten eine relativ kurze Rohrlänge wünschenswert, so daß eine Länge von etwa 1 m das wünschenswerte Maximum darstellt.
  • Er£indungsgemäß wird Turbulenz im Rohr 10 erzeugt, indem Gas unter Druck aus einer Kammer 12 über ein Absperrorgan 13 in das Einlaß ende des Rohres 10 eingespeist und aus diesem über das Auslaßende durch eine Pumpe 14 abgesaugt wird.
  • Wie bereits erwähnt wurde, soll die Turbulenz im Rohr ein konvektives seitliches Durchmischen des Gases bewirken, das mindestens doppelt so groß wie das durch natürliches Mischen erreichte ist. Die Größe der Turbulenz und des konvektiven seitlichen Durchmischens hängen von der Reynolds-Zahl ab. Bekanntlich errechnet sich die Reynolds-Zahl durch Multiplikation der Fluidgeschwindigkeit mit dem Rohrdurchmesser und Division durch die kinematische Viskosität oder Zähigkeit des Fluids. Eine Reynolds-Zahl von etwa 2000 bildet die untere Grenze der gewünschten Turbulenz, darüber steigen mit zunehmender Reynolds-Zahl die Turbulenz und der seitliche Transport ungefähr proportional zur Fluidgeschwindigkeit.
  • Der tatsächliche quantitative Einfluß der Turbulenz auf die Laserausgangsleistung hängt auch von den Eigenschaften des verwendeten Gases ab, insbesondere vom Verhältnis der kinematischen Viskosität des Gases zu seinem ambipolaren Diffusionskoeffizienten, wobei dieses Verhältnis gewöhnlich Schmidt-Zahl genannt wird. Der Einfluß der Turbulenz auf die Laserausgangsleistung nimmt zu, wenn die Schmidt-Zahl infolge des verwendeten Gases oder Gemisches ansteigt. Die Schmidt-Zahl für die meisten Gase und Gasgemische ist größer als 0,1 und typisch größenordnungsmäßig 1.
  • Obwohl die Rate der Ladungsbildung immer eine Funktion des Gasdruckes und der Entladungsspannung bleibt, hängt erfindungsgemäß die Rate des Ladungsträgertransports zur Rohrwand von der Turbulenz ab und ist daher nicht mehr nur durch den Druck und die Entladungsspannung bestimmt. Obwohl das Gleichgewicht zwischen der Rate der Ladungstrkgerbildung und der Transportrate zur Wand für stationären Betrieb aufrecht erhalten werden muß, kann erfindungsgemäß, da der seitliche Transport durch die Turbulenzströmung bestimmt wird, die Ladungsbildung bestimmt werden, indem der Gasdruck die Entladungsspannung oder beide Größen, und zwar unabhängig voneinander, variiert werden. Auf diese Weise wird die gegenseitige Abhängigkeit von Gasdruck und Entladungsspannung beseitigt, so daß der Rohrdurchmesser der einzige feste Parameter ist.
  • Zum Beispiel kann der Gasdruck im Rohr festgelegt werden, während die Entladungsspannung variiert wird, und die Entladung durch geeignete Einstellung der Oasgesohwindigkeit im Rohr aufreohterhalten werden, nämlich durch Steuerung der Intensität der Turbulenz. Umgekehrt kann die Entladungsspannung vorgegeben werden, während der Gasdruck variiert und die Entladung durch Einstellung der Gasgeschwindigkeit unterhalten wird.
  • Um den Laserbetrieb einzustellen, wird die Rate des Ladungsträgertransports zu den Wänden über die Intensität der Turbulenz durch Anderung der Gasgeschwindigkeit gesteuert, während die Rate der Ladungsbildung gesteuert wird, indem sowohl der Gasdruck als auch die Entladuiigsspannung proportional zueinander variiert werden, so daß ihr Verhältnis, das die Elektronenenergien im Rohr bestimmt, auf einem festen Wert gehalten wird, der die gevmnscllten Laserbedingungen gewährleistet. Die Erhöhung der Entladungsspannung erhöht die Eingangsleistung des Rohres, die Rate der Ladungsbildung und den seitlichen Ladungsträgertl7ansport im Rohr und damit sowohl die Anregungsrate der neutralen Moleküle als auch die Zahl der Laserstrahlung emittierenden aktiven Moleküle. Die Erhöhung des Gasdruckes bewirkt eine Zunahme der Gesamtdichte des Gases im Rohr und damit auch der Konzentration der Laserstrahlung emittierenden aktiven Moleküle, die alle zu einer Erhöhung der Laserausgangsleistung beitragen. Die Ausgangsleistung eines Rohres mit gegebenem Durchmesser wird nur durch die Grenze der Turbulenzintensität begrenzt, die in einem Rohr dieses Durchmessers erhalten werden kann.
  • Das in der Vorrichtung von Fig. I verwendete Gas kann z.B. ein Gemisch von He, N2 und C02 mit einer Schmidt-zz von etwa I sein. Wie bereits erwähnt wurde, wird das Gas hunter Druck aus der Kammer 12 in das Einlaßende des Ilollrs 10 eingespeist und durch die Pumpe 14 am Auslaßende abgesaugt.
  • Der gewünschte Druckabfall im Rohr sollte groß genug sein, um eine Gasgeschwindigkeit von 150 - 180 m/sec und eine Turbulenz mit einer Reynolds-Zahl von etwa 5000 zu ergeben.
  • Zur elektrischen Anregung ist das Entladungsrohr mit mindestens zwei Paaren von Elektroden 15 versehen, die in Längsrichtung des Rohres voneinander getrennt und an eine geeignete Stromversorgung 16 angeschlossen sind. Zum optischen Oszillator oder Resonator gehören Spiegel 17, die in der Nähe von Rohrfenstern angeordnet sind sowie axial mit dem Entladungsrohr und der Gasströmung fluchten, so daß der optische Resonanzraum gebildet wird.
  • Durch Einstellen der Pumpe 34 und des Absperrventils bzw. Druckreglers 13 können der Gasdruck und die Gasgeschwindigkeit durch das Rohr gesteuert werden. Beim Betrieb sollte anfangs eine Glimmentladung im Rohr 10 bei einem Gasdruck erzeugt werden, der optimale Laserbedingungen und optimale Ausgangsleistung bei Laminarströmung ergibt. Danach wird der Strömungsdurchsatz durch das Rohr bei diesem Druck allmählich erhöht, bis eine genügend hohe Geschwindigkeit und damit Reynolds-Zahl Turbulenz erzeugt. Bei weiterer Erhöhung der Gasgeschwindigkeit und der Reynolds-Zahl steigen der Spannungsabfall im Entladungsrohr an, und die Intensität der Laserstrahlung nimmt vorübergehend ab. Der Gasdurchsatz sollte Setzt über den Wert hinaus erhöht werden, bei dem die Turbulenz erreicht wurde, jedoch vor Erreichen der Schallgeschwindigkeit. Die Gasgeschwindigkeit sollte jetzt konstant gehalten und der Gasdruck allmählich erhöht werden, wonach die Laserstrahlungsintensität zunimmt, ulld die Einstell Ungell köniien fortgesetzt werden, bis die gewünschte Ausgatirsleistung oder der optimale Wert erreicht wird.
  • In Fig. 2 ist die Erhöhung der Laserleistung zu sehen, die auf einem K-E-Logarithmen-Papier (359-112) aufgetragen ist, von dem nur die Hauptlinien gezeigt sind. Die Abszisse PO stellt die optimale Laserausgangsleistung für Laminarströmvglg dar, wobei die Zahlenwerte auf der Abszisse die Reynolds-Zahl Re angeben. Die Ordinate gibt die Ausgangs-Leistung für Turbulenzst rörnung an, wobei die Vollinlenkurve rür Gas mit einer Schmidt-Zahl von 1 und die Strichlinienkurve für Gas mit einer Scmidt-Zahl von 0,1 gilt.
  • Der Ubergangspunkt von Laminar- zur Turbulenzströmung findet bei Re = 2000 statt, und es ist deutlich ersichtlich, daß sowohl für ein Gas mit der Schmidt-Zahl 1 als auch 0,1 eine Erhöhung der Ausgangsleistung erzielt wird.
  • Die Erhöhung der Ausgangsleistung für ein Gas mit der Schmidt-Zahl 1 ist jedoch wesentlich größer. Es ist ferner zu entnehmen, daß die Ausgangsleistung für ein Rohr gegebenen Durchmessers sich über einen großen Bereich erstreckt und, wie bereits gesagt wurde, nur durch die Grenze der Turbulenz begrenzt ist, die in einem Rohr gegebenen Durchmessers erzeugt werden kann.
  • Obwohl Fig. 1 ein selbstoszillierendes Laserrohr zeigt, sind die vorstehenden Uberlegungen auch für ein verstärkendes Laserrohr anwendbar. Die einzigen notwendigen Anderungen bestehen im Entfernen der Spiegel 17, für die ein außen erzeugter Laserstrahl vorzusehen ist, der an einem Ende des Rohres auf der optischen Achse eintritt und am anderen Ende mit erhöhter Leistung austritt.
  • Das in Fig. 3 und 4 abgebildete Ausführungsbeispiel ist eine Vorrichtung mit geschlossenem, im wesentlichen rechteckigen Kreis, in den Gas aus einem Vorratsbehälter 12 über ein Absperrorgan 13 wie in Fig. 1 eingespeist wird.
  • Die Vorrichtung hat ein querverlaufendes Rohr 20, so daß die Gasströmung senkrecht zur optischen Achse und Entladung 21 gerichtet ist0 Der Kreis 26 ist gasdicht, und geeignete Leitbleche 28 sind an Jeder Krümmung angeordnet, um die Strömung zu führen, wobei der obere Abschnitt sich zum Rohr verJüngt, um Diffusoren 30 zu ergeben.
  • Der Kreis hat ferner einen Wärmetauscher 32, einen Kompressor 33 und einen Regenerator 34, wobei die Gasströmung im Uhrzeigersinn von Fig. 3 strömt.
  • Planare Elektroden 37 (vgl. Fig. 4) sind an eine Stromversorgung 38 angeschlossen, und Spiegel 39 vervollständigen den optischen Resonanzraum. Falls vorgezogen wird, die Richtung des Entladungsstroms mit dem optischen Weg zusammenfallen zu lassen, anstatt senkrecht dazu vorzusehen, müssen die planaren Elektroden 37 entfernt und dafür Elektroden 37a verwendet werden, wie in Striablinie in Fig. 4 angedeutet ist.
  • Die Größe der Vorrichtung hängt von der gewünschten Ausgangsleistung ab, wobei das Laserrohr in der gezeigten Vorrichtung eine seitliche Abmessung von 5 cm und eine Länge von 30 cm hat. Die Gesamtlänge der Vorrichtung beträgt etwa 1,8 - 2,4 m.
  • Diese Vorrichtung ist besonders vorteilhaft, weil das Gas umläuft und nur verlorengegangenes Gas ersetzt werden muß, während bei einer Vorrichtung gemäß Fig. 1 mit Abpumpbetrieb das gesamte Entladungsgas entweder verlorengeht oder erneut komprimiert und gespeichert werden muß.
  • Beim Betrieb wird die Vorrichtung mit einelll Gas auf den gewiinschten Eingangsdruck gefüllt, und nach Umlnuf der Gases verringert der Wärmetauscher 32 die Temperatur auf Umgebungsraumtemperatur, wonach das Gas erneut auf den Eingangsdruck durch einen Kompressor 33 komprimiert wird.
  • Ein Regenerator 34 bringt die "verwendeten" Molelsiile auf ihr Grundniveau zurück, so daß sie für eine Anregung verfügbar sind und beim nächsten Durchströmen des Elstladungsrohrs Laserstrahlen emittieren. "Verwendete" Moleküle sind diejenigen Moleküle, die auf ein hohes Energieniveau im Entladungsrohr angeregt wurden, einen Teil dieser Energie in Form von einem Strahlungsquant (Laserstralllungsqlrallt) emittierten und dadurch auf ein Zwischenenergieniveau gebracht wurden, von dem sie nicht einfach erneut angeregt werden können. Der Regenerator 34 besteht im Normalfall aus Gittern von katalytischem Platin, Wenn der Regenerator nach wiederholten Umläufen des Gases keine volle 300%-Regeneration der verwendeten Moleküle bewirken kann, kann ein Teil des im Kreis umlaufenden Gases, z.B. 10%, kontinuierlich durch eine Hilfspumpe 14 wie in Fig. 1 abgesaugt werden, und dieser Anteil kann aus dem Vorratsbehälter frischen Gases ersetzt werden.
  • Der Betrieb des Laserrohrs von Fig. 3 und die E3nstellung der optimalen Betriebsbedingungen werden wie für das Ausführungsbeispiel von Fig. 1 beschrieben vorgenommerr.
  • Es ist ersichtlich, daß mit Erhöhung der Laminarströmung die Entfernung der "verwendeten" Moleküle wie der Laserwirkungsgrad erhöht wird. Es soll jedoch darauf hingewiesen werden, daß eine Erhöhung der Entladungseingangsleistung~nicht erzielt werden kann, bevor Turbulenzströmung erreicht ist.
  • Turbulenzströmung gewährleistet außer den erwähnten Ergebnissen zusätzlich ein sorgfältiges Durchmischen der verwendeten Gasarten, verbessert die Kühlung des Gases und erlaubt daher die Verwendung höherer Entladungsströme im Entladungsrohr, was zur Erhöhung der Ausgangsleistung beiträgt.

Claims (16)

  1. Patentansprüche
    w) ß erfahren zur Erhöhung der Ausgangsleistung eines elektrisch angeregten Gaslaserrohrs, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß man das Gas turbulent durch das Rohr strömen läßt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Reynolds-Zahl größer als 2000 ist.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung der Turbulenz die Strömungsgeschwindigkeit variiert wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß man zunächst das Gas durch das Rohr bei niedriger Geschwindigkeit laminar strömen läßt, daß der Druck im Rohr bei der niedrigen Strömungsgeschwindigkeit eingestellt wird, daß dann die Geschwindigkeit i Rohr bei dem eingestellten Wert so lange erhöht wird, bis Turbulenzströmung auftritt, und daß dann der Druck im Rohr erhöht wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck im Rohr variiert wird, um die Masse des Laser gases zu variieren.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas unter Druck in das Einlaßende des Rohrs eingespeist wird, daß ein unter dem Einlaßdruck liegender Druck am Auslaßende des Rohrs eingestellt wird, um Turbulenzströmung im Rohr zu erzeugen, und daß das Gas vom Auslaßende des Rohrs zum Einlaßende des Rohrs unter Abkühlen und Komprimieren zurückgewälzt wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß während des Zurückwälzens des Gases die Moleküle, die vorher Laserstrahlung emittiert haben, regeneriert werden.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des am Auslaßende des Rohrs abgesaugten Gases vor dem Rückwälzen abgeleitet wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas unter Druck in das Einlaßende des Rohrs mit einer solchen Geschwindigkeit eingespeist wird, daß Turbulenzströmung erzeugt wird, und daß das Gas vom Auslaßende des Rohrs zum Einlaßende des Rohrs unter Kühlen und Komprimieren zurückgewälzt wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß während des Rückwälzens die Moleküle, die vorher Laser strahlung emittiert haben, regeneriert werden.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des Gases abgeleitet wird.
  12. 12. Elektrisch angeregte Gasentladungsvorrichtung mit einem Rohr, gekennzeichnet durch eine Druckgasquelle, durch eine Einrichtung zur Einspeisung des Druckgases in das Einlaßende des Entladungsrohrs (20), durch einen Rückwälzkreis (26), der das Auslaßende des Rohrs mit dessen Einlaßende verbindet, durch eine Elnrichtung (32) im Rückwälzkreis zum Kühlen des Gases und durch eine Einrichtung (33) im Rückwälzkreis zum erneuten Komprimieren und Umwälzen des Gases (Fig. 3).
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch einen Molekülregenerator (34) im Rückwälzkreis.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Ableitung eines Teils des Gases aus dem Rückwälzkreis.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch an den entgegengesetzten Enden des Rohres (20) angeordnete Fenster und Spiegel (39) (Fig. 4).
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch Fenster an den entgegengesetzten Enden des Rohrs (20) und einen damit flucht enden Strahlgenerator außerhalb des Rohrs (Fig. 3).
    L e e r s e i t e
DE19702054096 1969-11-03 1970-11-03 Gasentladungsrohr, insbesondere fur Gaslaser Pending DE2054096A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US87314469A 1969-11-03 1969-11-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2054096A1 true DE2054096A1 (de) 1971-05-27

Family

ID=25361055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702054096 Pending DE2054096A1 (de) 1969-11-03 1970-11-03 Gasentladungsrohr, insbesondere fur Gaslaser

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2054096A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2320081A1 (de) * 1972-04-20 1973-11-08 Comp Generale Electricite Laser-generator mit gasfoermigem fluss
DE2442291A1 (de) * 1973-09-06 1975-03-13 Comp Generale Electricite Gasstrom-laseroszillator
EP0001032A1 (de) * 1977-08-18 1979-03-07 ELTRO GmbH Gesellschaft für Strahlungstechnik Gaslaser mit transversaler Anregung
EP0011679A2 (de) * 1977-11-30 1980-06-11 ELTRO GmbH Gesellschaft für Strahlungstechnik Gaslaser mit transversaler Anregung
DE2423946A1 (de) * 1973-05-17 1986-06-05 Compagnie Générale d'Electricité, Paris Gasstrom-lasergenerator

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2320081A1 (de) * 1972-04-20 1973-11-08 Comp Generale Electricite Laser-generator mit gasfoermigem fluss
DE2423946A1 (de) * 1973-05-17 1986-06-05 Compagnie Générale d'Electricité, Paris Gasstrom-lasergenerator
DE2442291A1 (de) * 1973-09-06 1975-03-13 Comp Generale Electricite Gasstrom-laseroszillator
EP0001032A1 (de) * 1977-08-18 1979-03-07 ELTRO GmbH Gesellschaft für Strahlungstechnik Gaslaser mit transversaler Anregung
EP0011679A2 (de) * 1977-11-30 1980-06-11 ELTRO GmbH Gesellschaft für Strahlungstechnik Gaslaser mit transversaler Anregung
EP0011679A3 (en) * 1977-11-30 1981-07-15 Eltro Gmbh Gesellschaft Fur Strahlungstechnik Transversely excited gas laser

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69832714T2 (de) Elektromagnetische energieverteilung bei elektromagnetisch induziertem schneiden
DE60038418T2 (de) Automatisches Fluorkonzentration-Steuersystem für Excimerlaser
DE69504407T2 (de) Laser mit hoher Wiederholfrequenz für den mittleren Infrarotbereich
DE3486133T2 (de) Vorionisierung eines Gaslasers mittels Koronaentladung.
DE69729588T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von extrem-ultraviolettlicht für die verwendung in der fotolitographie
EP0407495A1 (de) Anordnung zur bestrahlung von laufenden flüssigkeiten und/oder gasen mit ultraviolett.
DE1803269A1 (de) Optischer Sender oder Verstaerker mit gasfoermigem stimulierbarem Medium
DE1960776C3 (de) Passiver Güteschalter
DE2842049A1 (de) Laser
DE1280443B (de) Gas-Laser
DE2557949A1 (de) Laser-impuls-verstaerker
DE2546511A1 (de) Hochleistungs-gaslaser
DE2054096A1 (de) Gasentladungsrohr, insbesondere fur Gaslaser
DE2120230A1 (de) Laser für die Erzeugung einer kohärenten Infrarot-Strahlung
DE4417468A1 (de) Gaslaser
EP1525646B1 (de) Gasentladungslaser
DE2356124C2 (de) Verfahren zum Betreiben eines Gaslasers mit in einem geschlossenen Kreislauf strömenden Gas
DE3234412A1 (de) Gastransportlaser mit induzierter stroemung
DE2546415A1 (de) Verfahren zur herstellung eines laserfaehigen gasgemisches
DE3643735C2 (de)
DE2855078A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur photoanregung
DE2442325A1 (de) Querstromkuevette fuer fluessigkeits-, dampf- oder gaslaser
DE2812438B2 (de) Optisch gepumpte Laseranordnung
DE2848063A1 (de) Fluid-laser
DE1764189A1 (de) Gaslaser mit stabilisiertem Gasdruck