DE2050653C3 - Verfahren zum Betrieb einer Halogennachweisdiode und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer Halogennachweisdiode und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

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Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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Description

·· temperatur fast auf den Wert Null zurückgehen oder thode der Heizstrom-Konstanthaltung erreicht wird,
j auf ein Mehrfaches des ursprünglichen Wertes an- 55 jedoch eine über längere Zeit konstante Grundemis-
,1 steigen. Während der Zeit, während welcher kein sion bzw. Röhrenempfindlichkeit nicht sichergestellt
J oder ein zu geringer lonenstrom fließt, ist die Diode werden kann.
unempfindlich gegenüber Halogen, dagegen führt ein Das Verfahren zum Betrieb einer Halogennach-
längerer Betrieb bei zu hohem lonenstrom zu einer weisdiode ist nun erfindungsgemäß dadurch gekennstarken Verkürzung der Lebensdauer der Nachweis- 60 zeichnet, daß die Regelung der Hetzleistung in Abdiode. Es ist also eine häufige Kontrolle des Grund- hängigkeit vom lonenstrom durch die Diode derart ionenstroms erforderlich, um sicher zu sein, daß die erfolgt, daß Ionenstromänderungen entgegengewirkt Diode meßbereit ist, d. h. auf etwa eintreffendes, ha- wird.
logenhaltiges Gas ansprechen wird und gleichzeitig Es wird also die Heizleistung laufend so eingere-
nicht überlastet wird. Unter halogenhaltigen! Gas 65 gelt, daß der lonenstrom durch die Diode einen anwerden hier Gase und Dämpfe, welche Halogen- nähernd konstanten Wert beibehält. Dabei wird die atome enthalten, verstanden. Anodenheizleistung verringert, wenn der lonenstrom
Der beschriebene Nachteil ist um so ausgeprägter, z. B. infolge AuftrefTens von Halogen auf die Anode
3 ' 4
zunimmt, dagegen wird sie vergrößert, wenn der oder linear arbeitenden Meßverstärker 2 verstärkt lonenstrom abnimmt. Durch diese Maßnahme wird und an einem Anzeigeinstrument 3 abgelpsen wird die Änü-Timg des lonenstroms innerhalb einer kur- oder akustisch durch ein Gerät 4 angezeigt wird, zen Einregelungszeit mehr oder weniger rückgängig Gleichzeitig speist das genannte Signal einen Regelgemacht. 5 verstärker 5, der seinerseits ein Stellglied 6 beein-Zum Nachweis halogenhaltigen Gases dient vor- flußt, derart, daß der von einer Stromversorgung 7 teilhafterweise die lonenstromspitze, die vorüberge- gelieferte Heizstrom für die Anode der Halogeonachhend bis zum Wirksamwerden der beschriebenen Re- weisdiode 1 selbsttätig verringert bzw. vergrößert gelung auftritt, wenn Halogen auf die Anode der wird, wenn der lonenstrom durch die genannte Diode auftrifft. io Diode einen einstellbaren Sollwert über- bzw. unter-
Die Anordnung zur Durchführung des Verfahrens schreitet.
kennzeichnet sich erfindungsgemäß dadurch, daß die Beispielsweise wird auf einen Sollwert von 5 Mi-Regeleinrichtung vom lonenstrom durch die Diode kroampere eingestellt. Sobald infolge einer Schwanbeaufschlagt ist. kung oder infolge von Halogeneinvvirkung der Ionen-Wenn, wie häufig bei der Lecksuche, lediglich 15 strom durch die Diode sich ändert, gibt der Regelnachgewiesen werden soli, ob ein Leck bestimmter verstärker ein Signal an das Stellglied, welches der Mindestgröße vorhanden ist, kann der Meßverstärker Änderung entgegenwirkt. Die Zeitkonstante des Re mit einem Diskriminator ausgerüstet werden, so daß gelkreises wird zwcckmäßtgerweise so gewählt, daß die Anzeigevorrichtung nur dann anspricht und dns die hei Einwirkung von Halogen während der Finre-I.eck anzeigt, wenn die genannte lonenstromspit/e 20 gelungszeit auftretende lonr .Stromspitze bequem gebei Einströmung von halogenhaltigen Gas in den messen oder registriert werder kann, wogegen die Diodenraum einen vorgewählten Schwellenwert verhähnismäßigtangsamen Schwankungen des Grundüberschreitet. Es kann auch die Regelgröße selbst. ionenstromcs keinen meßbaren Ausschlag ergeben,
also der lonenstrom, als Meßgröße verwendet wer- Die Erfahrung hat gezeigt, daß mit dem beschrieden. 25 K'nen neuen Verfahren die eingangs erwähnte Auf-Die Zeichnung zeigt schematisch ein Ausführungs- gäbe der Erfindung in vollem Umfange gelöst wird, beispiel einer Anordnung, mit der die Erfindung aus- Γ.-ν erfindungsgemäße Verfahren kann nicht nur zur geübt werden kann. Lecksuche verwendet werden, sondern immer einge- i bezeichnet eine Haiogennachweisdiode, deren Si- setzt werden, wenn halogenhaltige Gase oder gnal — der lonenstrom — durch einen logarithmisch 30 Dämpfe nachgewiesen werden sollen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

1 2 ie empfindlicher eine Halogennachwdsdiode ist Patentansprüche- bedeutet, daß der Effekt um so störender .st, ,e k ei· r P ' ncr die Gaseinströmung ist, die nachgewiesen werden
1. Verfahren zum Betrieb einer Halogennach- soll. Dazu kommt, daß nicht nur der Grundionenweisdiode mit einer beheizbaren, bei Auftreffen 5 strom an sich schwankt, sondern daß nach E.nw.rvon hatogenhaltigem Gas Ionen emittierenden kung von halogCThaltigem Gas die Ancjfcdw NachAnode, wobei die Heizleistung zur Beheizung der weisdiode für eme glimmte tot »vergifw- ist.
j Anode laufend eingeregelt wird, d a d u r c h g e - d. h. auf eine nachfolgende Halogenanuirkung nur
k e η η ζ e i c h η e ι, daß die Regelung der Heiz- vermindert oder überhaupt nicht mehr ans.-intht Um leistung in Abhängigkeit vom lonenstrom durch w diese »Vergiftung« zu beseitigen mußte die Nachdie Diode derart erfolgt, daß lonenstromände- weisdiode nach jeder stärkeren Halogeneinwirkung rungen entgegengewirkt wird. mit halogenfreiem Gas durchspult werden, was um-
2. Verfahren nach Patentanspruch 1, dadurch ständlich und zeitraubend war.
gekennzeichnet, daß die lonenstromspitze, Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die be
welche bei Einwirkung halogenhaltigen Gases auf 15 schriebenen Nachteile zu mindern und ein Verfahren die Anode der Nachweisdiode auftritt, geraessen zum Betrieb einer Halogennachweisdiode mit einer wird. beheizbaren, bei Auftreffen von halogenhaltigen! Ga?
3. Anordnung zur Durchführung des Verfall- Fönen emittierenden Anode, wobei .üe !feizleistung rens nach Patentanspruch 1, welche eine Halo- zur Beheizung der Anode laufend eingeregelt wird, gennachweisdiode, einen Meßverstärker, ein An- 20 anzugeben, welches insbesondere eine häufige konzeigegerät und ein Stromversorgungsgerät zur trolle des Grundionenstroms überflüssig macht und elektrischen Beheizung der Anode der Nachweis- die sogenannte Vergiftung wesentlich verringert. Wie diode aufweist, und wobei eine Regeleinrichtung sich gezeigt hat, kann nach der Erfindung auch die zur automatischen Regelung der der Anode züge- GröKe der Halogeneinwirkung quantitativ genauer führten Heizleistung vorgesehen ist, dadurch ge- 25 bestimmt werden als bisher. Darüber hinaus wurde kennzeichnet, daß die Regeleinrichtung (5) vom gefunden, daß roit dem neuen Verfahren eine Ver-Ionenstrom durch die Diode (1) beaufschlagt ist. längerung der Lebensdauer der Nachweisdiode
(Ionenquelle) erzielt wird.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur
30 Durchführung des Verfahrens, weiche eine Halogennachweisdiode, einen Meßverstärker, ein Anzeigegerät und ein Stromversorgungsgerät zur elektrischen Beheizung der Anode der Nachweisdiode aufweist,
Die vorliegende Erfindung findet in erster Linie und wobei eine Regeleinrichtung zur automatischen Anwendung zur Feststellung von Undichtigkeiten 35 Regelung der der Anode zugeführten Heizleistung von Behälterwandungen, wobei auf der einen Seite vorgesehen ist. Bisher wurden, wie erwähnt, häufig der zu prüfenden Behälterwand eine ein halogcnhal- Einrichtungen verwendet, mit denen die Halogentiges Gas enthaltende Atmosphäre hergestellt wird nachweisdiode periodisch mil einem halogenfreien und auf der anderen Seite das Hindurchtreten dieses Gas, z. B. mit frischer Luft, bespült werden konnte. Gases durch eine etwaige Undichtigkeit der Wand 40 Der nach dem Bespülen gemessene neue Grundiomit Hilfe einer Diode mit einer bei Anwesenheit nenstrom diente dann als Ausgangspunkt für die foleines halogenhaltigen Gases Ionen emittierenden be- gende Feststellung einer halogenhaltigen Gaseinströheizten Anode nachgewiesen wird. Derartige Dioden mung. Um einen möglichst gleichbleibenden Grund- : und deren Verwendung sind bekannt und z. B. in der ioncnstrom zu erhalten, wurden auch s-Jion Einschweizerischen Patentschrift 269 214 beschrieben 45 richtungen zur Konstanthaltung der /\;iodenheizlei-. worden. stung vorgesehen. Auch Einrichtungen, bei denen die
Ein sehr störender Nachteil dieser sogenannten Temperatur der Anode mit Hilfe von Temperatur-Halogennachweisdioden besteht darin, daß der fühlern laufend gemessen und die Heizleistung dann Grundionenstrom, d. h. der lonenstrom, der beim Be- entsprechend eingeregelt wurde, um eine möglichst trieb durch die Diode fließt, wenn kein Halogen auf 5" konstante Anodentemperatur und damit einen kondie beheizte Anode auftrifft, starken Schwankungen stanten Grundionenstrom zu erhalten, sind schon beunterliegt. Aus nicht näher bekannten Gründen kann kanntgeworden. Es hat sich aber gezeigt, daß damit ; er z. B. trotz anscheinend gleichbleibender Anoden- wohl eine gewisse Verbesserung gegenüber der Me-
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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977