DE2050651C3 - Verfahren zum Betrieb einer eine Elektronen emittierende Kathode und eine Hilfselektrode zur Strahlformung aufweisenden Elektronenstrahlerzeugungs-Einrichtung zur Verdampfung und/oder Bearbeitung von Materialien unter Ultrahochvakuum und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Betrieb einer eine Elektronen emittierende Kathode und eine Hilfselektrode zur Strahlformung aufweisenden Elektronenstrahlerzeugungs-Einrichtung zur Verdampfung und/oder Bearbeitung von Materialien unter Ultrahochvakuum und Einrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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