DE2036485C3 - Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung eines von zufälligen oder unregelmäßigen Störungen freien Oberflächenkennwertes - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung eines von zufälligen oder unregelmäßigen Störungen freien Oberflächenkennwertes

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Rainer Dipl.-Phys. Gutsch
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

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