DE1936208A1

DE1936208A1 - Vorrichtung zur Auswertung eines elektrischen Signals sowie eine solche Vorrichtung verwendende Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen einer Oberflaeche voneiner bestimmten Form

Info

Publication number: DE1936208A1
Application number: DE19691936208
Authority: DE
Inventors: Whitehouse David John
Original assignee: Rank Organization Ltd
Current assignee: Rank Organization Ltd
Priority date: 1969-05-07
Filing date: 1969-07-16
Publication date: 1970-11-19
Also published as: GB1257356A

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. F. Weickmann, 1936208

Dipl.-Ing. H. Weickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke Dipl.-Ing. F. A.Weickmann, Dipl.-Chem. B, Huber

NÄ ■ ' .

8 MÜNCHEN 86, DEN

POSTFACH 860 820

MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 48 39 21/22

THE RAM ORGANISATION

11 Belgrave Road, London, S.¥.1, England

Vorrichtung zur Auswertung eines elektrischen Signales sowie eine solche Vorrichtung verwendende Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen einer Oberfläche von einer bestimmten E¹O OTl

Die,Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Prüfen des Profils eines Oberflächenabschnitts; sie betrifft insbesondere eine Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen eines Oberflächenabschnitts von einer geschlossenen Grundkurve, wie z.B. von einem Kreis oder von einer Ellipse. Die vorliegende Erfindung stellt eine Verbesserung einer in der deutschen Patentanmeldung P 14 23 594.0 beschriebenen Vorrichtung dar bzw. sie betrifft eine Modifikation einer in dieser Anmeldung .beschriebenen. Vorrichtung.

In der erwähnten Anmeldung ist eine Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen eines Oberflächenabschnitts von einer geschlossenen Grundkurve, wie z.B. einem Kreis oder einer Ellipse, beschrieben. Die betreffende Vorrichtung enthält eine Detektoreinrichtung, die mit der jeweils zu prüfenden Oberfläche

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■zusammenwirkt sowie Einrichtungen, die von der Detektoreinrichtung derart gesteuert werden, daß sie ein zusammengesetztes Wechselstrom- und Gleichstromsignal abgeben, das. charakteristisch ist für die Form der jeweils geprüften Oberfläche. Ferner ist eine Signalableiteinrichtung vorgesehen, die aus dem Ausgangssignal ein Wechselstromsignal ableitet, von welchem solche Oberwellenanteile ausgeschlossen sind, die oberhalb einer gewählten Oberwellenfrequenz liegen. Die in einem derartigen Wechselstromsignal jeweils enthaltenen Wechselstromanteile besitzen die gleiche Amplitude wie die jeweiligen entsprechenden Komponenten in dem Ausgangssignal. Ferner sind Integriereinrichtungen

k vorgesehen, die auf das Ausgangssignal hin über eine oder mehrere vollständige Umläufe der Detektoreinrichtung relativ zu der jeweils geprüften Oberfläche "ein Dauergleichstromsignal abgeben, dessen Höhe gleich dem mittleren Gleichstrompegel des Ausgangssignals ist. Ferner sind Lichtanzeigeeinrichtungen und diesen in genauer Phasenbeziehung das Ausgangssignal und ein Bezugssignal zuführende Einrichtungen vorgesehen. Das Ausgangssignal besteht dabei aus dem abgeleiteten Wechselstromsignal und das Bezugssignal aus dem Dauergleichstromsignal. Durch Überlagerung wird in der Anzeigeeinrichtung eine Kurve gebildet, die der tatsächlichen Form der geprüften Oberfläche in Bezug auf eine Bezugskurve entspricht, von der die Abweichun^nder geprüften

■-. Oberfläche meßbar sind.

Die Bezugskurve wird in der in der genannten Patentanmeldung beschriebenen Vorrichtung dadurch erzeugt, daß ihre Wechsel-.- strom- und Gleichstromsignalkomponenten getrennt gewonnen und, dann kombiniert werden. Die in der betreffenden Patentanmeldung beschriebene Ausblendvorrichtung, mit deren Hilfe das Wechselstromsignal, abgeleitet wird, enthält im wesentlichen eine.Reihe von parallel angeordneten Bandpaßfiltern, die die Gleichstrom-: komponente des Ausgangssignals und ferner die in der Frequenz oberhalb einer bestimmten Harmonischen liegenden Wechselstromkomponenten ausblenden. Jedes Filter dieser Reihe von .Bandpaß--.

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filtern besitzt eine charakteristische Impulswiedergabe das.ist die zeitliche Änderung der Filter-Ausgangsimpulsamplitude in Abhängigkeit von einem auftretenden Eingangsimpuls. Das von der Detektoreinrichtung abgegebene Signal kann als eine Reihe von aufeinanderfolgenden Impulsen mit sich ändernder Amplitude aufgefaßt werden. Das Ausgangssignal des Filters ist zu irgendeinem Augenblick nicht nur das Ergebnis des jeweiligen momentanen FiItereingangssignals, sondern auch das Ergebnis der durch die vorangehenden Bereiche des Filtereingangssignals hervorgerufenen Auswirkungen. Dabei ist der Einfluß oder das relative Gewicht dieser Auswirkungen durch die Fiiter-Impulswiedergabe bestimmt.

Bei Anwendung einer derartigen Reihe von Filtern in einer. Vorrichtung, wie sie in der oben genannten Patentanmeldung beschrieben ist, "beruhigt" sich das Ausgangssignal jedes Filters nach einer Anzahl von Perioden in Bezug auf die relative Drehung zwischen der Detektoreinrichtung und der geprüften Ober-^ fläche. Danach wiederholt sich das Filterausgangssignal in jedem Zyklus völlig. ' ·

Es dürfte somit ersichtlich sein, daß es von Vorteil· ist, ein Filter zu verwenden, das eine kurze Einstellzeit besitzt, jedoch lediglich eine gewünschte Oberwelle überträgt. Die Impulswiedergabe des Filters sollte, um diesen Forderungen zu genügen, im Idealfall die Form einer Einzelperiode der Kosinusform be-sitzen, da das Filter dann ausschließlich die gewünschte Oberwelle übertragen würde, und zwar auf Grund der an sich bekannten 90 -Eigenschaften der Kosinusfunktion. Filter mit Impulswiedergaben in Form einer einzigen KosinusPeriode sind jedoch teuer, weshalb in der Praxis bisher Bandpaßfilter verwendet worden sind, in denen ein Kompromiß zwischen der Selektivität auf der einen Seite und der Einsteligeschwindigkeit auf der anderen Seite eingegangen worden ist.

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Bei der Bezugsfigur, die grundsätzlich von Bedeutung ist, handelt es sich um eine Bezugskürve, für die eine Wechselstrom-Ausblendeinrichtung erforderlich ist, um eine Oberwellen-Wechselstromkomponente, und zwar lediglich die Grundkomponente, zu übertragen. Damit tritt ein einzelnes Filter, das das Grundsignal auszublenden vermag, an die Stelle der Reihe von Filtern.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zu Grunde, einen Weg zu zeigen, wie unter Vermeidung der der vorstehend betrachteten Vorrichtung anhaftenden Nachteile vorgegangen werden kann,.um auf besonders einfache Weise eine Signalanalyse vorzunehmen.

Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe mit Hilfe einer Vorrichtung zur Auswertung eines zyklisch wiederholt auftretenden elektrischen Signales, die erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Tiefpaßfiltereinrichtung vorgesehen ist, die aus dem elektrischen Signal ein Ausgangssignal ableitet, das eine Gleichstromsignalkomponente enthält und in dem Wechselstromsignalkomponenten mit oberhalb einer gewählten Oberwellenfrequenz der Wiederholungsfrequenz des genannten Signals liegenden Frequenzen ausgeschlossen sind, daß die jeweiligen abgeleiteten Wechselstromsignalkomponenten mit nahezu der gleichen Amplitude auftreten wie, die entsprechende Komponenten in dem genannten Signal, daß Integriereinrichtungen vorgesehen sind, die auf das genannte Signal hin ein Gleichstromausgangssignal abgeben, dessen Höhe gleich dem mittleren Gleichstrompegel des genannten Signale ist, jedoch um ein· Größe modifiziert, die gleich der abgeleiteten Gleichstromeignalkoaiponente des Aua~ gangBeignals ist und entgegeageaetstea Vorzeichen wie dleae besitzt, und daß Einrichtungen vorgesehen sind, die die von der FiItereinrichtung und der Integriereinrichtung abgegebenen Ausgängsaignale unter Bildung eine« Beeugasignale algebraisch zusammenfassen.

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0ADORiGiNAL ■ t - · . Λ

Die vorliegende Erfindung stellt insbesondere gegenüber der in'der obengenannten Patentanmeldung beschriebenen Vorrichtung eine Verbesserung dar, und zwar indem sie anstelle einer Bandpaßfiltereinrichtung eine Tiefpaßfiltereinrichtung verwendet. Von Vorteil ist ferner, daß eine neue Ausblendeinrichtung geschaffen ist, die sich durch die Verbindung einer zufriedenstellenden Selektivität für die Unterdrückung höherer Oberwellen und einer schnellen Einstellgeschwindigkeit auszeichnet. .

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann in vorteilhafter Weise in einer Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen eines Oberflächenabschnitts von einer insbesondere durch einen Kreis oder eine Ellipse gebildeten geschlossenen Grundkurve benutzt werden, in der Prüfeinrichtungen, die mit der jeweils geprüften Oberfläche zusammenwirken, Einrichtungen zur Drehung der Prüfeinrichtung relativ zu der zu prüfenden Oberfläche und durch die Prüfeinrichtungen gesteuerte Einrichtungen, die ein der Form des jeweils geprüften Oberflächenbereichs entsprechendes elektrisches Signal abgeben, verwendet werden und die dadurch gekennzeichnet ist, daß die Tiefpaßfiltereinrichtung aus dem genannten elektrischen Signal ein Ausgangssignal ableitet, das eine Gleichstromsignalkomponente enthält und von dem Wechselstromsignalkomponenten mit einer Frequenz oberhalb einer gewählten Harmonischen der Frequenz eier Drehung der Oberfläche rei*tiv au der Detektoreinrichtung ausgenommen sind, daß Einrichtungen vorgesehen sind, die einer Sichtanzeigeeinrichtung in e^kt er! Phasenbeziehung die abgeleiteten Signalkomponenten des genannten Signals und ein durch das Gleichstromausgangs-Signal gebildetes Bezugssignal zuführen, und daß die Anzeigeeinrichtung so ausgelegt ist, daß sie durch Überlagerung -der

ifer zugeführten Signale eine Kurve bildet, die der tatsächlichen form des geprüften Oberflächenbereichs und einer Bezugskurve entspricht, von der die Abweichungen des betreffenden Ober-

feststellbar sind«

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Tiefpaßfiltereinrichtungen mit einer Impulswiedergabe entsprechend einer einzigen genauen kosinusförmigen Form sind im allgemeinen nicht so teuer wie entsprechende Bandpaßfilter, da bei ihnen die Impulswiedergabe frei von Unstetigkeiten in der Amplitude oder Neigung gemacht werden kann, und zwar im Gegensatz zu der einzelnen Kosinusimpulswiedergabe. Damit besitzt die Impulswiedergabe der Filtereinrichtung vorzugsweise die Form eines "herabgesetzten Kosinus" entsprechend dem Ausdruck ί (1-coswt), worin w eine ausgewählte Kreisfrequenz ist. Zumindest ein Teil der Gleichstromkomponente des Eingangssignals wird durch ein derartiges Filter übertragen; die Kompensation dieses Signals erfolgt dabei dadurch, daß das Ausgangssignal der Integriereinrichtung geändert wird.

An Hand von Zeichnungen wird die Erfindung nachstehend näher erläutert. "

Fig. Λ zeigt schematisch eine Vorrichtung gemäß der Erfindung zum Prüfen der Oberflächenform eines Werkstückes. Fig. 2 zeigt in einem Kurvendiagramm die Impulswiedergabe -eines in der Vorrichtung gemäß Fig. 1 verwendeten Filters.

Fig. 1 zeigt schematisch ein Gerät bzw. Instrument zur Messung und Anzeige des "Rundheitsfehlers"⁰ bei einem normalerweise zylindrischen Werkstück W. Dies bedeutet, daß die Abweichung der Form irgendeines Bereichsprofils des Werkstücks von.einem echten Kreis festgestellt wird. Ein Oberflächentaster S ist dabei so angeordnet, daß er um die Achs« E-R einer genauen zylindrischen und konzentrisch gelagerten Spindel X drehbar ist. Biese Spindel X wird mit einer konstanten Winkelgeschwindigkeit w derart gedreht, daß sich der Taster S um das Werkstück W herum bewegt. Der Taster S bildet ein Teil der Oberfläohenprüfeinrichtung, zu der noch ein Wandler T gehört, Per Taster S wird mit· der Oberfläche des Werkstückes in Berührung gehalten. Das •Werkstück W wird seinerseits in einer fasten Iiage gehalten. Der Wandler T, der von irgendeiner geeigneten Art sein kann, gibt

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ein elektrisches Signal ab, das hier als Oberflächensignal s bezeichnet wird. Die Amplitude dieses Oberflächensignals ist zu jedem Augenblick direkt proportional dem Abstand zwischen dem Wandler T und der von dem Taster S berührten Oberfläche des Werkstückes W. Mit anderen Worten ausgedrückt heißt dies, daß das betreffende Signal proportional der jeweiligen Augenblicksverschiebung des Tasters S bei dessen Drehung um das Werkstück W ist. ' '

Das von dem Wandler T abgegebene Oberflächensignal s wird mit Hilfe eines Verstärkers A verstärkt und dann einer Filtereinrichtung F zugeführt. Die Filtereinrichtung F ist durch ein Tiefpaßfilter gebildet, dessen Impulswiedergabe der Form (cos wt - 1) genügt.

Mit Hilfe einer Integrierschaltung I wird das Oberflächensignal integriert, das vom Ausgang des Verstärkers A über einen gesteuerten Schalter V abgegeben wird. Der Schalter V wird von einer bistabilen Schaltung BS her gesteuert, deren Zustand wiederum von Schaltkontakten X- abhängt. Diese Schaltkontakte X* sind so angeordnet, daß sie pro Umdrehung der Spindel X einmal betätigt werden. Zwischen den Schaltkontakten X. und der bistabilen Schaltung BS ist ein Handschalter SW eingefügt. Mit Hilfe einer hier nicht näher dargestellten Rückstell-Steuereinrich-F tung werden der Ausgang und der Eingang der Integrierschaltung I 'über einen Speicherkondensator CL. kurzgeschlossen. Die Integrierschaltung I ist dabei unwirksam, wenn der Handschalter SW in die durch die stark auegezogene Linie angedeutete Lage gebracht ist. Ist der Schalter SV jedoch in seine andere Lage gebracht, wie sie durch die gestrichelte Linie angedeutet ist, so wird der Kurzschluß des Integrators aufgehoben, indem die Eückstell-Steuerung (nicht dargestellt) abgeschaltet und die bistabile Schaltung umgeschaltet wird, wenn die Schaltkontakte X^ Wieder schließen. Dies bewirkt, daß der Schalter V schließt, wodurch

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das von dem Verstärker A abgegebene Oberflächensignal S zu dem Integrator I hin gelangt. Wird der Schalter SW sodann in seine Ausgangslage zurückgestellt, so hört die Integration automatisch auf die Beendigung einer Umdrehung der Spindel X hin auf. Dies bedeutet, daß die bistabile Schaltung BS umschaltet, wenn die Schaltkontakte X^, schließen·

Im Unterschied zu dem betrachteten Fall kann die integration auch über eine gesonderte Anzahl an Drehperiöden vo3?genoffimen werden, indem der Schalter SW in der durch die gestrichelte . Linie angedeuteten Lage gehalten wird«

Das von dem Wandler T abgegebene Oberfläehensignal s kenn als eine Reihe von Fourier-Wechselstromkomponenten angesehen werden, die eine mittlere Gleichstromkomponente und eine dieser überlagerte Grundwelle und Oberwellen der Frequenz w besitzen. Die mittlere Gleichstromkomponente hängt von dem Abstand zwischen dem mittleren Radius des Werkstückes W und der Stellung des Wandlers T ab, in der ein Null-Ausgangssignal aufgezeichnet wird. Die Grundwellenkomponente hängt von dem Grad der Abweichung zwischen der Achse des Werkstückes W und der Achse der Spindel X ab, d.h. von dem Grad der Exzentrizität des Werkstückträgers. Zur ungefähren Zentrierung innerhalb eines in typischer Weise in der Größenordnung von hundertstel Millimetern liegenden Bereiches besitzt die Grundwellenkomponente darüber hinaus lediglich eine bedeutende Amplitude in dem Exaentrizitätssignal; sie stellt damit den Exzentrizitätsausdruck des Oberflächensignals s dar.

Damit die Eiltereinrichtung zum einen eine kurze Einstellzeit besitzt und zum anderen die 90 -Eigenschaft hinsichtlich der, kosinusförmigen Impulswiedergabe beibehält, ist sie so ausgelegt ^ daß sie eine Impulswiedergabe von niedriger Kosinusfor& besitzt, und--.zwar entsprechend der Kurve (cosw t - 1) zwischen t β O und t = 2/T/w . Außerhalb dieser Werte ist der gerade

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gleich Null

genannte Klammerausdruek/(siehe Fig. 2). Eine andere geeignete Form der Impulswiedergabe ist in Fig. 2 durch eine gestrichelte Linie dargestellt; sie entspricht dem Ausdruck (1 - cosw t). Zweckmäßigerweise wird eine 5¹Ut er einrichtung F mit dieser Impulswiedergabe verwendet, da das Fehlen irgendeiner Sprungstelle in der Wiedergabekurve die Verwendung einer Filtereinrichtung ermöglicht, die im Vergleich zu einer Filtereinrichtung mit einer Impulswiedergabe in Form einer einzigen Kosinusperiode billig ist.

Die FiItereinrichtung F bei der vorliegenden Erfindung gibt ein Ausgangs signal ab, das als "Wechselstrom-Auszugsignal¹¹ bezeichnet werden kann und das die unteren Fourier-Frequenzanteile umfaßt, die die Werkstückexzentrizität charakterisieren (das ist im Falle eines zylindrischen Werkstückes die erste Oberwelle). Ferner umfaßt das erwähnte Ausgangssignal eine fehlerhafte Gleichstromkomponente, die im allgemeinen nicht gleich der Gleichstromkomponente des Eingangssignals (s) ist. Das Vorhandensein einer Gleichstromkomponente im Ausgangssignal des Filters dürfte aus der Form der in Fig. 2 dargestellten Impulswiedergabe ersichtlich sein. Dieser Gleichstromanteil bzw. diese Gleichstromkomponente besitzt in diesem Fall ein negatives Vorzeichen.

Um die fehlerhafte Gleichstromkomponente des Filterausgangssignals zu korrigieren, ist die Integrierschaltung I so ausgelegt, daß sie ein mit der Gleichstromkomponente des Oberflächensignals s übereinstimmendes Ausgangssignal abgibt, das um eine Größe geändert ist, die gleich der Gleichstromkomponente des Filterausgangssignals ist jedoch entgegengesetztes Vorzeichen wie diese besitzt. Damit wird in dem Fall, daß die Filterein- richtung F eine negative Impulswiedergabe besitzt, das Ausgangs-• signal der Integrierschaltung um eine Größe erhöht, die gleich der Gleichstromkomponente des Filterausgangssignals ist.

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Während das Signal s in der Integrierschaltung I gemäß Fig.T integriert wird, wird es ferner durch die Filtereinrichtung F geleitet. Eine am Ausgang der FiItereinrichtung F angeordnete Subtrahierschaltung IL faßt das Filter-Eingangssignal s mit dem Filter-Ausgangssignal s^ derart zusammen, daß ein hinsichtlich der Exzentrizität kompensiertes Signal erzeugt wird. Der Subtrahierschaltung B. ist eine zweite Subtrahierschaltung Bp nachgeordnet, die auf die Beendigung der betreffenden einen Umdrehung der Spindel X das in dem Integrator gespeicherte Signal s-j- über die betreffende Periode und das Ausgangs signal der Subtrahierschaltung B. derart zusammenfaßt, daß das gewünschte Ausgangssignal mit einem Nullradius-Ausdruck erhalten wird, d.h. ein Rundheitssignal in Bezug auf den Bezugskreis. Dieses Signal wird dann dem Meßgerät M und einem Blattschreiber CR zugeführt, welchem ferner ein genormtes Gleichstromsignal zugeführt wird, das eine Anzeige mit einem geeigneten Radius bewirkt. Mit Hilfe in der Zeichnung nicht näher dargestellt er Einrichtungen ist die Schaltung Bp von dem Meßgerät M und dem Blattschreiber GR abschaltbar, bis die Spindel X eine vollständige Umdrehung ausgeführt hat.

Im Unterschied zu dem betrachteten Fall kann das Bezugssignal selbst dargestellt werden, indem das Filter-Eingangssignal s von der Subtrahierschaltung B. abgenommen viird.

Die Filtereinrichtung F kann unter Anwendung bekannter Kurvenanpassverfahren realisiert sein, so daß sie jeweils die gewünschte Impulswiedergabe besitzt. Eine Filtereinrichtung F mit einer Impulswiedergabe, die eine dichte Näherung an die in Fig. 2 dargestellte bevorzugte Kurvenform darstellt, kann durch Verwendung eines Filters vom sogenannten Transversaltyp realisiert werden.

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Obwohl die Erfindung vorstehend inabesondere im Hinblick auf die Messung der Rauhigkeit oder Unregelmäßigkeit eines Oberflächenabschnitts in Bezug auf eine geschlossene Grundloirve erläutert worden ist, dürfte sicher einzusehen sein, daß die Erfindung auch ohne weiteres dazu herangezogen werden kann, eine Bezugskurve zu berechnen, die z.B. den "kleinsten Viereck"-Bezugskreis eines grundsätzlich kreisförmigen Oberflächenbereiches darstellt.

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Claims

Patentansprüche

Λ j Vorr-ichtung zur Auswertung eines zyklisch wiederholt auftretenden elektrischen Signales, dadurch gekennzeichnet, daß eine Tiefpaßfiltereinrichtung (F) vorgesehen ist, die aus dem elektrischen Signal ein Ausgangssignal ableitet, das eine Gleichstromsignalkomponente enthält und in dem Wechselstromsignalkomponenten mit oberhalb einer gewählten Oberwellenfrequenz der Wiederholungsfrequenz des genannten Signals liegenden Frequenzen ausgeschlossen sind, daß die jeweiligen abgeleiteten Wechselstromsignalkomponenten mit fe nahezu der gleichen Amplitude auftreten wie die entsprechende Komponenten in dem genannten Signal, daß Integriereinrichtungen (I) vorgesehen sind, die auf das genannte Signal hin ein Gleichstromausgangssignal abgeben, dessen Hohe gleich dem mittleren Gleichstrompegel des genannten Signals ist, jedoch um eine Größe modifiziert, die gleich der abgeleiteten Gleichstromsignalkomponente des Ausgangssignals ist und entgegengesetztesVorzeichen wie diese besitzt, und daß Einrichtungen (B^,Bp) vorgesehen sind, die die von der Filtereinrichtung (F) und der Integriereinrichtung (I) abgegebenen Ausgangssignale unter Bildung eines Bezugssignales algebraisch zusammenfassen.

™ I 21 Vorrichtung zur Messung und Anzeige der Abweichungen eines Oberflächenabschnittes von einer insbesondere durch einen Kreis oder eine Ellipse gebildeten geschlossenen Grundkurve, unter Verwendung von Prüfeinrichtungen, die mit der jeweils geprüften Oberfläche zusammenwirken, Einrichtungen zur Drehung der Prüfeinrichtung relativ zu der zu prüfenden Oberfläche und durch die Prüfeinrichtungen gesteuerte Einrichtungen, die ein der Form des jeweils geprüften Oberflächenbereichs entsprechendes elektrisches Signal abgeben, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Vorrichtung nach Anspruch 1 sowie dadurch, daß die Tiefpaßfiltereinrichtung (P) aus dem genannten elektrischen Signal ein Ausgangs signal ableitet, das ein,e<

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Gleichstromsignalkomponente enthält und von demWechselstromsignalkomponenten mit einer^Frequenz oberhalb einer gewählten Harmonischen der Frequenz der Drehung der Oberfläche (W) relativ zu der Detektoreinrichtung (S) ausgenommen sind, daß Einrichtungen (B.,Bp,C) vorgesehen sind, die einer Sichtanzeigeeinrichtung (M,GR) in exakter Phasenbeziehung die abgeleiteten Signalkomponenten des genannten Signals und ein durch das Gleichstromausgangssignal gebildetes Bezugssignal zuführen, und daß die Anzeigeeinrichtung so ausgelegt ist, daß sie durch Überlagerung der ihr zugeführten Signale eine Kurve bildet, die der tatsächlichen Form des geprüften Oberflächenbereichs und einer Bezugskurve entspricht, von der die Abweichungen des betreffenden Oberflächenbereichs feststellbar sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die !Piefpaßfiltereinrichtung (F) eine Impulswiedergabe entsprechend dem Ausdruck - (1 - coswt) besitzt, wobei w die Kreisfrequenz der Wiederholungsfrequenz des Signals ist.

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