DE2032590C2 - Verfahren zur schrittweise wiederholten Bestrahlung eines für eine Bestrahlung durch Elektronen empfindlichen Materials auf einem Halbleiterplättchen, in dem Halbleiterbauelemente hergestellt werden sollen, mit einem Elektronenstrahl - Google Patents

Verfahren zur schrittweise wiederholten Bestrahlung eines für eine Bestrahlung durch Elektronen empfindlichen Materials auf einem Halbleiterplättchen, in dem Halbleiterbauelemente hergestellt werden sollen, mit einem Elektronenstrahl

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    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
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DE19702032590 1969-07-03 1970-07-01 Verfahren zur schrittweise wiederholten Bestrahlung eines für eine Bestrahlung durch Elektronen empfindlichen Materials auf einem Halbleiterplättchen, in dem Halbleiterbauelemente hergestellt werden sollen, mit einem Elektronenstrahl Expired DE2032590C2 (de)

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DE2032590A1 (de) 1971-01-21
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