DE2031811B2 - Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer - Google Patents

Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer

Info

Publication number
DE2031811B2
DE2031811B2 DE2031811A DE2031811A DE2031811B2 DE 2031811 B2 DE2031811 B2 DE 2031811B2 DE 2031811 A DE2031811 A DE 2031811A DE 2031811 A DE2031811 A DE 2031811A DE 2031811 B2 DE2031811 B2 DE 2031811B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
analyzer
ions
distance
intersection
aperture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2031811A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2031811A1 (de
Inventor
Helmut Dr. 8051 Eching Liebl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Original Assignee
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV filed Critical Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority to DE2031811A priority Critical patent/DE2031811B2/de
Priority to US00155061A priority patent/US3761707A/en
Priority to FR7122822A priority patent/FR2099837A5/fr
Priority to LU63411D priority patent/LU63411A1/xx
Priority to BE769073A priority patent/BE769073A/xx
Priority to GB2997971A priority patent/GB1345973A/en
Priority to NL7108831A priority patent/NL7108831A/xx
Publication of DE2031811A1 publication Critical patent/DE2031811A1/de
Publication of DE2031811B2 publication Critical patent/DE2031811B2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/28Static spectrometers
    • H01J49/32Static spectrometers using double focusing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
DE2031811A 1970-06-26 1970-06-26 Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer Withdrawn DE2031811B2 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2031811A DE2031811B2 (de) 1970-06-26 1970-06-26 Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer
US00155061A US3761707A (en) 1970-06-26 1971-06-21 Stigmatically imaging double focusing mass spectrometer
FR7122822A FR2099837A5 (https=) 1970-06-26 1971-06-23
LU63411D LU63411A1 (https=) 1970-06-26 1971-06-24
BE769073A BE769073A (fr) 1970-06-26 1971-06-25 Spectrometre de masse a reproduction anastigmate, avec focalisation en fonction de la direction et de l'energie
GB2997971A GB1345973A (en) 1970-06-26 1971-06-25 Stigmatically imaging mass spectrometer
NL7108831A NL7108831A (https=) 1970-06-26 1971-06-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2031811A DE2031811B2 (de) 1970-06-26 1970-06-26 Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2031811A1 DE2031811A1 (de) 1971-12-30
DE2031811B2 true DE2031811B2 (de) 1980-09-25

Family

ID=5775115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2031811A Withdrawn DE2031811B2 (de) 1970-06-26 1970-06-26 Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3761707A (https=)
BE (1) BE769073A (https=)
DE (1) DE2031811B2 (https=)
FR (1) FR2099837A5 (https=)
GB (1) GB1345973A (https=)
LU (1) LU63411A1 (https=)
NL (1) NL7108831A (https=)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3842269A (en) * 1971-10-05 1974-10-15 Max Planck Gesellschaft Mass spectrometer of high detection efficiency
DE2242987B2 (de) * 1972-09-01 1980-06-12 Gesellschaft Fuer Strahlen- Und Umweltforschung Mbh, 8000 Muenchen Vorrichtung zur Trennung von neutralen Teilchen und schnellen Ionen von langsamen Ionen
DE2340372A1 (de) * 1973-08-09 1975-02-20 Max Planck Gesellschaft Doppelfokussierendes massenspektrometer hoher eingangsapertur
JPS5829577B2 (ja) * 1980-06-13 1983-06-23 日本電子株式会社 二重収束質量分析装置
DE3532698A1 (de) * 1985-09-13 1987-03-26 Zeiss Carl Fa Elektronenenergiefilter vom alpha-typ
DE3532699A1 (de) * 1985-09-13 1987-03-26 Zeiss Carl Fa Elektronenenergiefilter vom omega-typ
US5128543A (en) * 1989-10-23 1992-07-07 Charles Evans & Associates Particle analyzer apparatus and method
US5723862A (en) * 1996-03-04 1998-03-03 Forman; Leon Mass spectrometer utilizing high energy product density permanent magnets
US6184523B1 (en) 1998-07-14 2001-02-06 Board Of Regents Of The University Of Nebraska High resolution charged particle-energy detecting, multiple sequential stage, compact, small diameter, retractable cylindrical mirror analyzer system, and method of use
EP1657736B1 (en) * 2004-11-15 2016-12-14 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH High current density particle beam system

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3517191A (en) * 1965-10-11 1970-06-23 Helmut J Liebl Scanning ion microscope with magnetic sector lens to purify the primary ion beam

Also Published As

Publication number Publication date
GB1345973A (en) 1974-02-06
BE769073A (fr) 1971-11-03
LU63411A1 (https=) 1971-09-24
DE2031811A1 (de) 1971-12-30
NL7108831A (https=) 1971-12-28
US3761707A (en) 1973-09-25
FR2099837A5 (https=) 1972-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69118492T2 (de) Massenspektrometer mit elektrostatischem Energiefilter
DE1539659B2 (de) Stigmatisches abbildungssystem fuer ein doppelfokussierendes massenspektrometer
DE3532699A1 (de) Elektronenenergiefilter vom omega-typ
DE2255302C3 (de) Einrichtung für die Sekundär-Ionen-Massenspektroskopie
DE69117347T2 (de) Energie-Analysatoren für Ladungsträgerpartikel
DE2538123A1 (de) Anordnung zum massenspektrometrischen nachweis von ionen
DE3231036C2 (https=)
DE1937482B2 (de) Mikrostrahlsonde
DE2031811B2 (de) Doppelfokussierendes stigmatisch abbildendes Massenspektrometer
DE1498646A1 (de) Ionen-Mikroanalysator
EP1559126B9 (de) BILDGEBENDER ENERGIEFILTER FüR ELEKTRISCH GELADENE TEILCHEN UND VERWENDUNG DES BILDGEBENDEN ENERGIEFILTERS
DE2458025A1 (de) Vorrichtung fuer massenanalyse und strukturanalyse einer oberflaechenschicht durch ionenstreuung
DE69121463T2 (de) Ionenbündelvorrichtung
DE2705430B2 (de) Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen
DE2162808C3 (de) Einrichtung zum Analysieren der Energieverteilung von Elektronen mit einem Elektronen hoher Energie durchlassenden Kugelgitter-Filter
DE4016138A1 (de) Gleichzeitig erfassendes massenspektrometer
DE2440138A1 (de) Doppelt-fokussierendes massenspektrometer
DE2752933A1 (de) Elektronenmikroskop
DE2103306C3 (de) Einrichtung zum Bestimmen der Energie geladener Teilchen mit zwei zwischen einer Teilchenquelle und einer Teilchennachweiseinrichtung liegenden fokussierenden Elektroden
DE1598657C3 (de) Impulsmassenspektrometer
EP0185789A1 (de) Analysator für geladene Teilchen
DE4341144C2 (de) Energieanalysator für geladene Teilchen
DE1907093C3 (de) Ionenmikroanalysator
DE1539659C3 (de) Stigmatisches Abbildungssystem für ein doppelfokussierendes Massenspektrometer
DE2329190A1 (de) Roentgenspektrometer

Legal Events

Date Code Title Description
8239 Disposal/non-payment of the annual fee