DE20304601U1 - Vorrichtung zum Transport von flexiblem Flachmaterial, insbesondere Leiterplatten - Google Patents

Vorrichtung zum Transport von flexiblem Flachmaterial, insbesondere Leiterplatten

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Claims (10)

1. Vorrichtung zum Transport von flexiblem platten- bzw. blattförmi­ gem Flachmaterialien (12), insbesondere von Leiterplatten, in Be­ handlungseinrichtungen (11), insbesondere zur Nassbehandlung durch Aufsprühen mit einer Behandlungsflüssigkeit, mit Trans­ portmitteln (19), die das Flachmaterial (12) parallel zu an beiden Seiten in Transportrichtung (14) verlaufenden Seitenrändern mit Transportelementen erfassen und in der Transportrichtung (14) längs einer Transportbahn (46) transportieren, wobei die Trans­ portmittel (19) zur Aufbringung einer das Flachmaterial (12) ver­ steifenden, im wesentlichen quer zur Transportrichtung (14) ge­ richteten Zugspannung ausgebildet sind, und wobei eines der Transportelemente (19) zum gegenüber der Horizontalen um ei­ nen Neigungswinkel (β) seitlich geneigten Transport des Flachma­ terials (12) tiefer angeordnet ist als das andere Transportelement (19).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportelemente (19) Rollenbahnen (17, 18) mit Rollenpaaren (20, 21) enthalten, die auf den einander quer zur Transportrich­ tung gegenüberliegenden Randbereichen (16) abrollbare Kontakt­ flächen aufweisen, die das Flachmaterial (12) von beiden Flach­ seiten her unter einem Kontaktdruck kontaktieren, wobei die Rol­ len (20, 21) Achsen (22) aufweisen, die unter einem Anstellwinkel (α) gegenüber der Senkrechten (35) zur Transportrichtung in (14) angestellt sind, und wobei in Transportrichtung (14) aufeinander­ folgender Rollenpaare (20, 21) im wesentlichen in dem parallel zur Transportrichtung verlaufenden Randbereichs des Flachmaterials laufen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollenpaare (20, 21) in Transportrichtung (14) hinterein­ ander, jedoch winkelmäßig angestellt, angeordnet sind, wobei der Anstellwinkel (α) vorzugsweise eine Größe von 0,1° bis 2°, insbe­ sondere 0,5°, hat.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Anbringung einer Zugspannung auf das Flachmaterial (12) die Winkelabweichung (α) derart ist, dass die Abrollrichtung (36) der Rollen (20, 21) gegenüber der Transport­ richtung (14) nach außen gerichtet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportmittel (19) beidseitig der Transportbahn (46) je eine Rollenbahn 17, 18) zumindest teilweise angetriebener, unter Kontaktdruck zusammenwirkender Rollen­ paare (20, 21) aufweisen, deren sie tragende Wellen (23, 24) mit einer Abstands-Verstelleinrichtung (40) zur vorzugsweise entge­ gengesetzt synchronen Einstellung des Abstandes der beidseiti­ gen Rollenbahnen (17, 18) voneinander verbunden sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstands-Verstelleinrichtung (40) eine die die Rollen tra­ genden Wellen (23, 24) führende, im wesentlichen quer zur Transportrichtung verschiebbare Traverse (25; 47) aufweist, wobei vorzugsweise wenigstens angetriebene Wellen (23, 24) der Rollen (20, 21) längenveränderlich sind und je Seite von einem gemein­ samen Antriebsstrang (31) angetrieben sind und/oder die Wellen (23, 24) in zwei gegeneinander verschiebbaren Traversen (25, 27; 47) geführt sind, von denen eine verschiebbar ist und die Wellen (23, 24) radial und auch axial führt, wobei entweder die den Rollen am nächsten liegende Traverse (25) verschiebbar ist und bei ihrer Verschiebung ihr Abstand zu den Rollen (20, 21) im wesentlichen gleich bleibt oder die verschiebbare Traverse (47) von den Rollen entfernter liegt und die Wellen (23, 24b) durch die feste Traverse (25) hindurch längsverschiebbar sind.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb jedes Rollenpaars (20, 21) von einem für alle Rollenpaare einer Seite gemeinsamen Antriebs­ strang (31), wie einer Kegelräder (29) aufweisenden Synchronwel­ le, einem Riemen- oder Kettenantrieb, angetrieben ist, wobei die Wellen (23, 24) beider Rollen (20, 21) eines Rollenpaares gegen­ läufig synchron angetrieben sind, vorzugsweise durch einen Syn­ chronradsatz (28) von einem gemeinsamen Antrieb (31) aus oder nur eine Rolle (21) eines Rollenpaares (20, 21) von ihrer Welle (24a, 24b) her angetrieben ist und die andere Rolle (20) durch Reibschluss über das Flachmaterial (12) von der direkt angetrie­ benen Rolle (21) des Paares her angetrieben ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anstellwinkel (α) und/oder der Nei­ gungswinkel (β) einstellbar ist, vorzugsweise für alle Rollen (20, 21) einer Rollenbahn (17, 18) und insbesondere für beide Rollen­ bahnen, gemeinsam.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zu beiden Seiten der Transportbahn (46) über Leitungen (63) mit Behandlungsflüssigkeit versorgte, ent­ sprechend dem Neigungswinkel (β) angeordnete Sprühdüsen (62) vorgesehen sind.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Neigungswinkel (β) zwischen 3° und 45°, vor­ zugsweise 5° bis 12° beträgt.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004056404A1 (de) * 2004-11-23 2006-05-24 Dürr Systems GmbH Trockner
DE102007063202A1 (de) * 2007-12-19 2009-06-25 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Silizium-Wafern
WO2010121815A1 (de) * 2009-04-22 2010-10-28 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren, haltemittel, vorrichtung und system zum transportieren eines flächigen behandlungsgutes und be- oder entladeeinrichtung
US7959770B2 (en) 2004-12-22 2011-06-14 Durr Systems Gmbh Electrocoating plant
US8268150B2 (en) 2006-11-23 2012-09-18 Durr Systems Gmbh Workpiece carrier for conveying a workpiece to be painted
US8732980B2 (en) 2006-06-30 2014-05-27 Dürr Systems GmbH Drier module for a drier
CN115044949A (zh) * 2022-06-09 2022-09-13 合肥工业大学 一种改性有机防腐涂层的制备装置及方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104282598A (zh) * 2014-09-23 2015-01-14 安徽省大富光电科技有限公司 蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备及方法
CN104766820B (zh) * 2015-04-27 2018-07-10 深圳市华星光电技术有限公司 柔性显示装置的制造方法
CN109725497A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 运动台移动机构、运动台系统与光刻装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004056404A1 (de) * 2004-11-23 2006-05-24 Dürr Systems GmbH Trockner
US7600329B2 (en) 2004-11-23 2009-10-13 Durr Systems Gmbh Drier
DE102004056404B4 (de) * 2004-11-23 2019-05-09 Dürr Systems Ag Trockner
US7959770B2 (en) 2004-12-22 2011-06-14 Durr Systems Gmbh Electrocoating plant
US8732980B2 (en) 2006-06-30 2014-05-27 Dürr Systems GmbH Drier module for a drier
US8268150B2 (en) 2006-11-23 2012-09-18 Durr Systems Gmbh Workpiece carrier for conveying a workpiece to be painted
DE102007063202A1 (de) * 2007-12-19 2009-06-25 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Silizium-Wafern
US8623232B2 (en) 2007-12-19 2014-01-07 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Method and device for treating silicon wafers
KR101278869B1 (ko) * 2009-04-22 2013-07-01 아토테크 도이칠란드 게엠베하 취급될 플랫 재료를 운반하는 방법, 유지 수단, 장치 및 시스템 및 로딩 또는 언로딩 장치
JP2012522389A (ja) * 2009-04-22 2012-09-20 アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー 処理に供する平坦な材料を移送するための方法、保持手段、装置およびシステム、および積み込みまたは積み降ろし装置
CN102405691A (zh) * 2009-04-22 2012-04-04 埃托特克德国有限公司 用于输送待处理的扁平材料的方法、保持装置、设备和系统以及装载或卸载设备
CN102405691B (zh) * 2009-04-22 2015-11-25 埃托特克德国有限公司 用于输送待处理的扁平材料的方法、保持装置、设备和系统以及装载或卸载设备
US9380708B2 (en) 2009-04-22 2016-06-28 Atotech Deutschland Gmbh Method, holding means, apparatus and system for transporting a flat material to be treated and loading or unloading apparatus
WO2010121815A1 (de) * 2009-04-22 2010-10-28 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren, haltemittel, vorrichtung und system zum transportieren eines flächigen behandlungsgutes und be- oder entladeeinrichtung
CN115044949A (zh) * 2022-06-09 2022-09-13 合肥工业大学 一种改性有机防腐涂层的制备装置及方法
CN115044949B (zh) * 2022-06-09 2023-10-20 合肥工业大学 一种改性有机防腐涂层的制备装置及方法

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TW200426095A (en) 2004-12-01
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