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Die Erfindung betrifft einen Kalibrierstandard zur Verwendung in Röntgenfluoreszenz-Analysegeräten nach Anspruch 1 sowie eine Verwendung eines solchen Kalibrierstandards in einem Röntgenfluoreszenz-Analysegerät nach Anspruch 16.
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Röntgenfluoreszenz-Analysegeräte sind in der Technik bekannt und werden beispielsweise in der Schmuckbranche verwendet, wo sie dazu dienen, die Elementzusammensetzung von fertigen Schmuckstücken oder von Rohmaterial zu bestimmen. Ein solches Röntgenfluoreszenz-Analysegerät arbeitet wie folgt: Ein anregender Röntgenstrahl (selten auch ein Elektronenstrahl) wird auf die Oberfläche des zu untersuchenden Gegenstandes gerichtet, welcher daraufhin charakteristische Röntgenfluoreszenzstrahlung aussendet. Das ermittelte Spektrum besteht in erster Linie aus Kα- und Kβ-Linien der vorhandenen Elemente, wobei die Lage der jeweiligen Linien charakteristisch für jeweils ein Element ist. Somit lässt sich durch Vergleich der Intensitäten der einzelnen Linien auf die prozentuale Elementarzusammensetzung schließen.
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Um die Genauigkeit einer Messung zu verbessern, ist es bekannt, vor der Messung das Röntgenfluoreszenz-Analysegerät mittels eines Kalibrierstandards zu kalibrieren. Der jeweils vor einer Messung verwendete Kalibrierstandard enthält eine Kalibrierprobe, welche eine ähnliche, jedoch genau bekannte Elementarzusammensetzung enthält wie der zu messende Gegenstand. Es ist deshalb notwendig, einen Satz solcher Kalibrierstandards mit unterschiedlichen Kalibrierproben vorzuhalten.
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Es sind Kalibrierstandards bekannt geworden, bei denen die Kalibrierprobe zu einem dünnen Blech gewalzt ist, welches auf einen Träger aufgebracht ist. Der Träger dient dann zumeist auch dazu, die notwendigen Daten, wie beispielsweise die Zusammensetzung der Kalibrierprobe zu vermerken.
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Da sich herausgestellt hat, dass bei Kalibrierstandards, bei denen die Kalibrierprobe zu einem dünnen Blech ausgewalzt ist, die Legierungshomogenität innerhalb der Kalibrierprobe häufig nicht ausreichend konstant ist, schlägt die gattungsbildende
20 2007 000 756 U1 einen Kalibrierstandard vor, welcher eine Probenaufnahme aufweist, von dessen Oberfläche sich eine Bohrung erstreckt, in welcher die Kalibrierprobe aufgenommen, nämlich verklebt und/oder verklemmt ist. Hierbei ist die Kalibrierprobe vorzugsweise ein Drahtabschnitt. Es kann somit leicht erreicht werden, dass die Fläche der Kalibrierprobe in der gleichen Größenordnung wie die Querschnittsfläche des anregenden Röntgenstrahles ist, so dass wiederum Inhomogenitätseffekte nur eine untergeordnete Rolle spielen. Weiterhin hat sich herausgestellt, dass Drähte über ihren Querschnitt zumeist ohnehin recht homogen sind.
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Der in der
DE 20 2007 000 756 U1 vorgeschlagene Kalibrierstandard funktioniert grundsätzlich sehr gut, hat jedoch den Nachteil, dass für jede gewünschte Legierung ein Draht gezogen werden muss, um die entsprechende Kalibrierprobe zu erhalten.
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Hiervon ausgehend stellt sich die vorliegende Erfindung die Aufgabe, einen gattungsgemäßen Kalibrierstandard dahingehend weiterzubilden, dass die Herstellung der Kalibrierprobe vereinfacht wird und eine noch höhere Messgenauigkeit erzielt werden kann.
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Diese Aufgabe wird durch eine Kalibrierprobe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Eine erfindungsgemäße Verwendung eines solchen Kalibrierstandards in einem Röntgenfluoreszenz-Analysegerät ist in Anspruch 16 angegeben.
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Erfindungsgemäß ist der Probenhalter beweglich angeordnet – in der Regel an einem Basiselement – und die Kalibrierprobe weist wenigstens zwei Elemente auf.
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Hierbei kann der Probenhalter insbesondere drehbeweglich – also um eine Achse rotierbar – oder in wenigstens einer Richtung linear beweglich angeordnet sein. Der Antrieb des Probenhalters erfolgt bevorzugt mittels eines Elektromotors.
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Bei bisherigen Kalibrierstandards muss jeweils eine Kalibrierprobe hergestellt werden, welche die gewünschte Legierung möglichst homogen aufweist. Die Kalibrierung erfolgt hierbei bei einer feststehenden Kalibrierprobe. Erfindungsgemäß wird die Kalibrierprobe in mehrere Elemente aufgeteilt, wobei jedes Element insbesondere ein reines Metall, also keine Legierung, sein kann. Solche Reinmetalle sind leicht erhältlich und weisen einen sehr hohen Reinheitsgehalt von in der Regel weit über 99% auf. Durch die erfindungsgemäße Anordnung der Elemente der Kalibrierprobe auf einem beweglichen Probenhalter wird die gewünschte Legierung durch zeitliche Integration simuliert: Über die Dauer der Kalibration werden wenigstens zwei unterschiedliche Elemente der Kalibrierprobe am Ort des Messflecks des Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts positioniert. Die Gesamt-Verweildauer jedes Reinmetalls am Ort des Messflecks im Verhältnis zur Gesamtzeit der Kalibrierung ist proportional zum Anteil dieses Metalls in der simulierten Legierung. Als einfaches Beispiel sei hier folgendes genannt: Trifft der Messfleck zu 90% der Zeit ein Element oder mehrere Elemente aus reinem Gold und zu 10% der Zeit ein Element oder mehrere Elemente aus reinem Silber, so wird eine Legierung aus 90% Gold und 10% Silber simuliert.
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In einer ersten bevorzugten Ausführungsform ist der Probenhalter um eine Achse drehbar gelagert und die Kalibrierprobe weist wenigstens zwei Elemente auf, welche auf einem zu dieser Achse rotationssymmetrischen Kreis angeordnet sind oder auf diesem Kreis angeordnet werden können.
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Der Kalibrierstandard wird derart im Röntgenfluoreszenz-Analysegerät positioniert, dass der Kreis, auf welchem die Elemente der Kalibrierprobe angeordnet sind, auf dem Messfleck des Röntgenfluoreszenz-Analysegerätes liegt. Wird nun der Probenhalter in gleichmäßige Rotation versetzt, so überstreicht dieser Messfleck bei Rotation des Probenhalters die einzelnen Elemente der Kalibrierprobe. Da das Referenzspektrum zeitintegral aufgenommen wird, wird ein Referenzspektrum erzeugt, welches einer Legierung der Elemente der Kalibrierprobe entspricht. Dies sei an folgendem Beispiel erläutert: Sofern alle Elemente der Kalibrierprobe eine gleich große und gleich geformte Oberfläche aufweisen (dies ist natürlich bevorzugt) und bestehen 90% der Elemente aus reinem Gold und 10% der Elemente aus reinem Silber, so „sieht” das Röntgenfluoreszenz-Analysegerät zu 90% der Zeit reines Gold und zu 10% der Zeit reines Silber. Durch die zeitliche Integration des Messsignales entsteht somit ein Referenzspektrum, welches 90% Gold und 10% Silber aufweist, also einer Legierung mit 90% Gold und 10% Silber entspricht.
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In der Praxis dauert eine Kalibration mehrere Minuten und es ist leicht möglich, den Probenhalter mit mehreren Hundert Umdrehungen pro Minute drehen zu lassen, so dass jedes Element der Kalibrierprobe mehrere Hundert Mal vom Messfleck überstrichen wird, was zu einer sehr guten Statistik führt und den weiteren Vorteil hat, dass Oberflächenverschmutzungen herausgemittelt werden.
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In einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der ersten Ausführungsform sind die Elemente der Kalibrierprobe aneinanderstoßende Kreissegmente, so dass der Messfleck des Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts immer ein Element der Kalibrierprobe „sieht”. Dies ist messtechnisch ideal, da ohne mathematische Korrektur sofort das korrekte Kalibrierspektrum erzeugt wird. Nachteilig ist, dass die Herstellung der Elemente der Kalibrierprobe und deren Anordnung im Probenhalter relativ aufwendig ist.
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In einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die Elemente der Kalibrierprobe Zylinder, so dass ihre Oberflächen Kreise sind. Solche Elemente sind einfacher herzustellen, der Nachteil ist hier, dass der Messfleck auch Flächen überstreicht, welche frei von einem Element der Kalibrierprobe sind. Aus diesem Grund ist eine mathematische Korrektur des Messspektrums notwendig. Da sich die Gesamtfläche, welche vom Messfleck überstrichen wird und welche nicht zur Kalibrierprobe gehört, im Verhältnis zur Gesamtfläche der überstrichenen Kalibrierprobe jedoch mathematisch exakt bestimmen lässt (es handelt sich hier lediglich um ein geometrisches Problem) ist auch diese Ausführungsform praxistauglich.
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In beiden eben erwähnten Ausführungsbeispielen können die Elemente der Kalibrierprobe fest am Probenhalter befestigt sein oder sie können lösbar (d. h. austauschbar) am Probenhalter befestigt sein. Dies hat insbesondere den Vorteil, dass der Anwender sich aus einem „Baukasten” mit entsprechenden Elementen seine passende Kalibrierprobe selbst zusammenstellen kann. In diesem Fall weist der Probenhalter vorzugsweise wenigstens eine entsprechende Ausnehmung, in welche die Elemente eingesetzt werden, auf. Dies kann entweder eine durchgehende, ringförmige Nut oder eine Vielzahl von Bohrungen sein.
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Alternativ zur oben beschriebenen Drehung des Probenhalters mit konstanter Rotationsgeschwindigkeit ist es auch möglich, einen Schrittmotor oder einen Servomotor vorzusehen und während der Kalibrierung jedes für die Kalibrierung notwendige Element durch die Drehung des Probenhalters um einen entsprechenden Winkel in die Position des Messflecks zu bringen und dort für eine vorbestimmt Zeit zu belassen. Hierdurch ist es möglich, mit einem nur wenige Elemente aufweisenden Probenhalter eine große Anzahl unterschiedlicher Legierungen zu simulieren.
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Aus dieser Überlegung ergibt sich die zweite Ausführungsform der Erfindung: Hier ist der Probenhalter nicht um eine Achse drehbar, sondern in wenigstens einer Richtung linear beweglich angeordnet, wobei der Antrieb vorzugsweise ebenfalls durch einen Schrittmotor oder einen Servomotor erfolgt. Dieser kann hierbei ein Linearmotor sein.
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Da ein Röntgenfluoreszenz-Analysegerät bei Betrieb natürlich geschlossen sein muss und im Inneren eines solchen Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts in der Regel keine Stromversorgung vorgesehen ist, ist es zu bevorzugen, dass der Kalibrierstandard als autarkes Gerät mit eigener Stromversorgung ausgebildet ist.
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Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die Figuren näher erläutert. Hierbei zeigen:
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1 einen Kalibrierstandard und die wesentlichen Elemente eines Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts in einem stark schematisierten Querschnitt,
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2 eine Draufsicht aus Ebene A auf den Kalibrierstandard aus 1,
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3 eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Kalibrierstandards in einer der 2 entsprechenden Darstellung,
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4 einen Kalibriestandard, welcher ähnlich aufgebaut ist, wie der in 2 gezeigte Kalibrierstandard, wobei der Probenhalter jedoch von einem Schritt- oder Servomotor angetrieben wird, in einer der 2 entsprechenden Darstellung,
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5–7 den Kalibrierstandard aus 4 in unterschiedlichen Winkelstellungen des Probenhalters,
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8 eine zweite Ausführungsform der Erfindung und
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9 ein zweites Ausführungsbeispiel der zweiten Ausführungsform.
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Mit Bezug auf die 1 und 2 wird zunächst eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Kalibrierstandards beschrieben. Hierbei ist die 2 eine Draufsicht auf den Kalibrierstandard aus 1 aus Richtung A-A und die 1 ist ein Schnitt entlang der Ebene B-B in 2.
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In 1 sind schematisch die zwei wesentlichen Elemente eines Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts gezeigt, nämlich eine Röntgenquelle 30 und ein Röntgenfluoreszenz-Detektor 34. Statt einer Röntgenquelle 30 könnte auch ein Elektronenstrahlerzeuger zur Fluoreszenzanregung dienen. Der von der Röntgenquelle 30 erzeugte Röntgenstrahl 36 wird von einem Kollimator 32 kollimiert und trifft auf die zur Röntgenquelle weisende Oberfläche des Kalibrierstandards 10, wo er einen Messfleck M erzeugt. Ein Teil der vom Messfleck M emittierten Röntgenfluoreszenzstrahlung gelangt zum Röntgenfluoreszenz-Detektor 34, welcher mit einer nicht dargestellten Messelektronik verbunden ist, die aus dem Signal des Röntgenfluoreszenz-Detektors 34 in gewohnter Art und Weise ein Spektrum erzeugt.
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Der Kalibrierstandard 10 ist wie folgt aufgebaut: Über eine Antriebswelle 16, welche konzentrisch zur Achse R ist, ist ein scheibenförmiger Probenhalter 12 mit einem Basiselement 18 verbunden. Im Basiselement 18 ist ein Elektromotor 20 angeordnet, welcher den scheibenförmigen Probenhalter 12 um die Achse R in Rotation versetzen kann. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Antriebswelle 16 die Welle des Elektromotors 20, d. h. es erfolgt ein direkter Antrieb des scheibenförmigen Probenhalters 12 durch den Antriebsmotor. Dies ist jedoch nicht zwingend, es wäre beispielsweise ebenso möglich, den Probenhalter 12 über einen Riemen (ähnliche einem riemengetriebenen Plattenteller) anzutreiben. Im Basiselement 18 ist weiterhin eine interne Stromversorgung 22, beispielsweise in Form eines Batteriefachs oder eines Akkumulators, vorgesehen.
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Die dem Basiselement 18 abgewandte, d. h. im Betriebszustand der Röntgenquelle 30 zugewandte Oberfläche des scheibenförmigen Probenhalters 12 weist eine kreisscheibenförmige Ringnut auf, deren Ringachse die Achse R ist. In dieser Ringnut sind Elemente der Kalibrierprobe, im gezeigten Ausführungsbeispiel zwölf Stück, angeordnet, welche die Bezugszeichen 14a bis 14l tragen und auf einem Kreis K, dessen Mittelpunkt der Schnittpunkt der Achse R mit dem scheibenförmigen Probenhalter 12 ist, liegen. Diese Elemente haben jeweils die Form eines Kreisringabschnittes. Vorzugsweise sind sämtliche Elemente gleich groß und stoßen vorzugsweise bündig an ihre beiden Nachbarn, so dass die Kalibrierprobe, welche aus den (hier zwölf) Elementen 14a–l besteht, ein geschlossener Kreisring ist. Die Elemente müssen nicht fest mit dem scheibenförmigen Probenhalter 12 verbunden sein, so dass sie in diesem Fall ausgewechselt werden können. Die Breite der Elemente ist so gewählt, dass sie deutlich größer als der Durchmesser des Messfleckes M sind, so dass der Messfleck M unabhängig von der Drehstellung des scheibenförmigen Probenhalters stets auf der Kalibrierprobe auftrifft. Dies ist in 2 deutlich zu sehen.
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Vorzugsweise besteht jedes Element aus einem reinen Metall, insbesondere aus Gold, Silber, Kupfer, Platin und anderen üblichen Legierungsmetallen.
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Zur Durchführung der Kalibrierung wird der Kalibrierstandard entsprechend der in 1 gezeigten Position in das Röntgenfluoreszenz-Analysegerät eingebracht und der Motor 20 eingeschaltet, so dass sich der scheibenförmige Probenhalter um die Achse R mit konstanter Rotationsgeschwindigkeit dreht und (bei Betrieb des Röntgenfluoreszenz-Analysegerätes) der Messfleck die aus den Elementen 12a bis 12l zusammengesetzte Kalibrierprobe überstreicht. Es wird eine Kalibrierzeit eingestellt, welche einem Vielfachen (in der Regel einem Vielhundert- oder Vieltausendfachen) der Umdrehung des scheibenförmigen Probenhalters 12 während der Kalibrierzeit entspricht, so dass, wie dies oben erläutert wurde, ein zeitintegriertes Spektrum der Kalibrierprobe erzeugt wird.
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Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind nur zwölf Elemente der Kalibrierprobe vorgesehen, so dass sich der Gehalt der hierdurch simulierten Legierung nur in Schritten von rund 8,3% einstellen lässt. Dies ist für die Praxis in der Regel zu grob, d. h. in der Praxis müssen in der Regel mehr Elemente (also kleinere) eingesetzt werden, dies ist jedoch hier der Übersichtlichkeit halber und da es zum Erläutern des Funktionsprinzips nicht notwendig, nicht dargestellt. Würde man im gezeigten Ausführungsbeispiel zehn der Elemente aus reinem Gold wählen, eines aus Kupfer und eines aus Silber, so würde hiermit eine Legierung mit folgenden Gewichtsanteilen simuliert werden: 83,333 Prozent Gold, 8,333 Prozent Kupfer, 8,333 Prozent Silber.
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Die 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel in einer der 2 entsprechenden Darstellung. Hier sind die Elemente 14 (aufgrund der Vielzahl der Elemente in diesem Ausführungsbeispiel hat hier nicht jedes Element ein eigenes Bezugszeichen erhalten) der Kalibrierprobe flache Zylinder, welche in Bohrungen im scheibenförmigen Probenhalter 12 eingesetzt werden. Diese Bohrungen (und somit auch die Elemente) liegen auf dem Kreis K (gestrichelte Linie), dessen Mittelpunkt auch hier der Schnittpunkt der Achse R mit der Oberfläche des Probenhalters ist. Hier ist die Herstellung der Elemente der Kalibrierprobe recht einfach. Allerdings ist beim Einsatz eines solchen Kalibrierstandards aus den oben erwähnten Gründen eine mathematische Korrektur des gemessenen Spektrums notwendig. Auch hier können die Elemente auswechselbar im scheibenförmigen Probenhalter angeordnet sein.
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Eine bevorzugte Anzahl von Elementen ist 50; in diesem Fall kann der simulierte Legierungsgehalt in 2%-Schritten eingestellt werden.
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Insbesondere beim zweiten Ausführungsbeispiel besteht der Probenhalter vorzugsweise aus einem Material, welches vom Detektor des Röntgenfluoreszenz-Analysegeräts aufgrund seiner leichten Atome nicht gesehen wird, also insbesondere aus Holz, Kunststoff, Karbon, Magnesium oder Aluminium.
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Es sei nochmals klargestellt, dass die Achse R und der Kreis K geometrische Elemente, keine körperlichen Bauelemente sind.
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Bei den bisher beschriebenen Ausführungsbeispielen dreht sich der Probenhalter 12 während der Kalibration mit konstanter Rotationsgeschwindigkeit. Dies hat den Vorteil, dass der Kalibrierstandard keine Regelung und auch keine Schnittstelle zum Röntgenfluoreszenz-Messgerät benötigt. Zwingend ist dies jedoch nicht, wie nachfolgend mit Bezug auf die 4 bis 7 erläutert wird:
Der Kalibrierstandard der 4 ist grundsätzlich so aufgebaut wie der der 2, mit dem Unterschied, dass der Elektromotor (welcher in 4 nicht dargestellt ist; der grundsätzliche Aufbau kann jedoch genauso sein wie in 1 gezeigt) ein Servomotor oder ein Schrittmotor ist. Somit kann jeder Punkt auf dem Kreis K gezielt angefahren werden. Dies erfordert zwar einen größeren regelungstechnischen Aufwand und einen aufwendigeren Motor 20, hat jedoch den Vorteil, dass mit sehr wenigen Elementen eine Vielzahl von unterschiedlichen Legierungen simuliert werden kann. Dies wird nachfolgend am gezeigten Beispiel, bei welchem der Kalibrierstandard 10 nur drei Elemente 14a bis 14c der Kalibrierprobe aufweist, erläutert. Es ist jedoch klar, dass die Kalibrierstandards mit einem solchen Schrittmotor nicht auf drei Elemente beschränkt sind, grundsätzlich können sogar nur zwei Elemente vorhanden sein oder natürlich auch mehr als drei.
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Im nachfolgend erläuterten Beispiel sei die erste Kalibrierprobe 14a Gold, die zweite Kalibrierprobe 14b Silber und die dritte Kalibrierprobe 14c sei Kupfer, wobei diese Metalle wie in den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen Reinmetalle seien. Zur Erläuterung wird folgendes Beispiel angegeben: Die Kalibrierzeit soll 100 s betragen und es soll eine Legierung mit 85% Gold, 10% Silber und 5% Kupfer simuliert werden. Um dies zu erreichen, wird der Schritt- oder Servomotor so angetrieben, dass der Messfleck M 85 s auf dem ersten Element 14a liegt, 10 s auf dem zweiten Element 14b und 5 s auf dem dritten Element 14c. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die Messung so beginnt, dass sich der Messfleck M zunächst auf dem ersten Element 14a befindet und zwar nahe der Grenze zwischen erstem und drittem Element 14a, 14c, wie dies in 5 gezeigt ist. Der Probenhalter 12 wird nun durch den Elektromotor ab Beginn der Messung sehr langsam angetrieben, nämlich derart, dass sich der Messfleck M nach Ablauf von 85 s immer noch auf dem ersten Element 14a befindet, jedoch nahe der Grenze zum zweiten Element 14b (6). Nach Ablauf der 85 s wird der Probenhalter 12 vom Elektromotor 20 kurz sprungartig angetrieben, so dass der Messfleck M innerhalb einer sehr kurzen Zeit vom ersten Element 14a zum zweiten Element 14b springt (7). Nun wird der Probenhalter 12 vom Elektromotor wieder langsam angetrieben (jedoch schneller als beim Überstreichen des ersten Elementes 14a), so dass der Messfleck M sich nach Ablauf von 10 s immer noch auf dem zweiten Element 14b, jedoch nahe zur Grenze zum dritten Element 14c befindet und der Messfleck M dann wieder durch eine schnelle Drehung nach Ablauf der weiteren 10 s zum dritten Element 14c gelangt, wo er noch für 5 weitere Sekunden verbleibt. Man sieht, dass mit dem selben Kalibriestandard jede Gold-Silber-, Gold-Kupfer-, Silber-Kupfer- und Gold-Silber-Kupfer-Legierung mit beliebigem Mischungsverhältnis simuliert werden kann.
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Beim gezeigten konkreten Ausführungsbeispiel erfolgt noch eine örtliche Mittelung über die relativ ausgedehnten Elemente 14a bis 14c, dies ist jedoch nicht unbedingt zwingend, grundsätzlich könnten die einzelnen Elemente hier auch nur im Wesentlichen die Größe des Messfleckes haben.
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Zur Durchführung von Kalibrierungen, bei denen sich der Probenhalter nicht kontinuierlich bewegt, wie dies eben beschrieben ist, ist es nicht notwendig, dass der Probenhalter eine kreisförmige Bewegung durchführt, insbesondere ist auch eine Linearbewegung möglich, wie dies nun mit Bezug auf die 8a bis 8c erläutert wird, welche eine zweite Ausführungsform der Erfindung zeigen. Hier ist der Probenhalter 12 linear beweglich am Basiselement 18 angeordnet und kann durch einen Stell-, Servo- oder Linearmotor linear bezüglich des Basiselementes verschoben werden. Im gezeigten konkreten Ausführungsbeispiel ist die Funktion im Prinzip wie eben beschrieben, mit dem Unterschied, dass keine Rotations-, sondern eine Linearbewegung durchgeführt wird. Der Verfahrensablauf ist ansonsten identisch zu dem eben beschriebenen, so dass auf diesen hiermit Bezug genommen wird. Auch hier ist es möglich, dass die Elemente im Wesentlichen nur die Größe des Messfleckes M haben.
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In einer Erweiterung der eben beschriebenen zweiten Ausführungsform ist es sogar möglich, den Probenhalter 12 mittels eines X-Y-Tisches in zwei Richtungen beweglich am Basiselement 18 anzuordnen (hier sind natürlich zwei voneinander unabhängige Stellmotoren notwendig), dies ist in 9 schematisch dargestellt, in welcher als Ausführungsbeispiel vier Elemente 14a–d der Kalibrierprobe vorgesehen sind.
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Bezugszeichenliste
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- 10
- Kalibrierstandard
- 12
- Probenhalter
- 14; 14a–l
- Element der Kalibrierprobe
- 16
- Antriebswelle
- 18
- Basiselement
- 20
- Elektromotor
- 22
- interne Stromversorgung
- 30
- Röntgenquelle
- 32
- Kollimator
- 34
- Röntgenfluoreszenz-Detektor
- K
- Kreis
- M
- Messfleck
- R
- Achse
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 202007000756 U1 [0005, 0006]