DE1598625A1 - Anordnung zur automatischen Roentgenfluoreszenzanalyse - Google Patents
Anordnung zur automatischen RoentgenfluoreszenzanalyseInfo
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Description
QmM
Lothar Kramer, Jena Den 15« April 1966
Helmut Günther, Jena
Anordnung zur automatischen Röntgenfluoreszenzanalyse
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur automatischen
Röntgenfluoreszenzanalyse.
e»
Es sind verschiedene Typen von RöntgenfluoreszenzanaIyaengerateη
bekannt, die je nach den geforderten Aufgabenbereichen verschieden ausgebildet sind. Bei den
Anordnungen für die automatische Röntgenfluoreszenzspektralanalyse
unterscheidet man in bezug auf ihren Aufbau Einkanal-, Zweikanal- und Mehrkanalgeräte.
Bei Einkanalanordnungen wird die Messung derart durchgeführt, daß Standardprobe und Meßprobe nacheinander,
vorzugsweise unmittelbar an jeder zu messenden Spektrallinie, in den Strahlengang eingeschwenkt werden. Das
zeitliche Nacheinander der Messung der beiden Proben bedeutet eine Fehlerquelle durch zeitliche Veränderungen,
die in Form von netzspannungsseitig bedingten Intensitätsschwankungen der Spektroskopieröntgenröhre oder anderen
apparativen Schwankungen die Genauigkeit dea Meßergebnisses herabsetzen können. Für Routineanalysen ist diese Anordnung
außerdem nachteilig, da die Anzahl der pro Zeiteinheit analysierbaren Proben relativ klein ist.
Die bekannten Zweikanalanordnungen verwenden das sogenannte Monitorprinzip, bei dem die Intensität des
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Kanals j, in dem sich die Meßprobe befindet, automatisch
auf die Intensität eines entweder fest eingestellten Eeferensksnals oder eine8 zweiten dispersive^ und beweglichen
Spektrometerkanals bezogen wird. Im letztgenannten
Pail ist der Monito» physikalisch exakter, da die Bezugnahme
zwischen den Intensitäten jeweils gleicher Spektrallinien erfolgt. Die bisher bekannte Anordnung hat
aber den Nachteil, daß Standardprobe und Meßprobe nicht symmetrisch im Strahlungsfeld der Spektroskopieröntgenröhre
und nicht im gleichen Abstand von deren Austrittsfenster angeordnet sind, so daß sich Inhomogenitäten des
Strahlungsfeldes störend auswirken und außerdem die unterschiedlichen
Abstände und die daraus resultierenden unterschiedlichen primären Anregungsintensitäten berücksichtigt werden müssen. In diesem Falle ist die gleichseitige Messung von Meßprobe und Standardprobe mit unmittelbar
erfolgendem Vergleich der linienintensitäten,
die den Konzentrationen der in den Proben enthaltenen Elemente entsprechen, wobei die somit notwendige Zuhilfenahme
einer vorher aufgestellten Eichkurve entfällt, nicht möglich.
Mehrkanalgeräte enthalten eine bestimmte Anzahl von
im allgemeinen fest eingestellten Spektrometern, die der
Zahl der in einer Meßprobe gleichzeitig nachzuweisenden Elemente entspricht. Da diese Messung gleichzeitig erfolgt,
muß für jedes dieser Spektrometer eine gesonderte
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Nachweiaelektronik vorhanden sein, die eine entapre»
chend großen apparativen Aufwand erfordert. Im praktischen Einsatz haben Mehrkanalgeräte den Machteil, daß
sie je nach Typ überhaupt nur für das einmal eingestellte
oder nur nach zeitaufwendiger Neujustierung für ein anderes Analysenprogramm mit anderen Spektrallinien verwendbar
sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Vermeidung der Nachteile der bekannten Anordnungen eine
Anordnung zur automatischen Rontgenfluoreszenzanalyse zu schaffen, die eine gleichzeitige Messung der Intensität
von bekannter Standardprobe und unbekannter Meßprobe gestattet und dabei die sonst übliche Auswertung über eine
gesondert aufzustellende und regelmäßig zu überprüfende Eichkurve umgeht.
Diese Aufgabe wird durch eine Anordnung zur automatischen Röntgenfluoreszenzanalyse gelöst, die vorteilhafterweise
zwei mechanisch und intensitätsmäßig völlig gleich aufgebaute Spektrometersysterne vom Sequenztyp zum
unmittelbaren Intensitätsvergleich der jeweils gleichen Spektrallinien von Meßprobe und Standardprobe enthält.
Diese Anordnung kann unter Verwendung einer Spektroskopieröntgenröhre aufgebaut werden, wobei sich
in deren Strahlengang Meßprobe und Standardprobe symmetrisch zur Normalen auf das Austrittsfenster und in möglichst
geringem und gleichem Abstand von diesem befinden.
Vorteilhaft ist es, zwei Spektroskopieröntgenröhren
zu verwenden und jedem der beiden Spektrometersysterne je-
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wells eine Röhre zuzuordnen. Unterschiede im Emissionsvermögen der beiden verwendeten Spektroskopieröntgenröhren
werden durch Blendeneinrichtungen, die in beiden Spektrometersystemen vorhanden' sind, ausgeglichen.-
Zur Kompensation primärer Spannungsschwankungen werden die beiden Spektroskopieröntgenröhren vorteilhafterweise
hochspannungsseitig parallel und heizungsseitig in Serie geschaltet. In einer anderen Ausführung kann zusätzlich
das Verhältnis der Anodenströme der beiden Spektroskop!
er öntgenr Öhren zum Zwecke der Intensitätsabgle'iehe
beider Spektrometersysteme verwendet werden» wobei
bei Kochspannungsseitig parallelgeschalteten Spektroskopieröntgenröhren eine elektrische Anordnung für die
Überwachung und Stabilisierung des gewählten Anodenstrom-Verhältnisses
sorgt.
Für Messungen» bei denen ein direkter Vergleich der Intensitäten einer Meß- und einer Standardprobe gewünscht
wird» werden die beiden'Spektrometersysterne vorteilhaft erweise so gekoppelt» daß sie eihe gemeinsame
Antriebsachse besitzen. Andererseits ist eine Entkopplung der beiden Antriebssysteme und unabhängiger Betrieb der
beiden Spektrometer möglich.
Jedes der beiden Spektrometersysteme enthält eine vorzugsweise unabhängig steuerbare Probenwechselvorrichtung
zur Aufnahme mehrerer Proben, wobei die in den Pro= benwechselvorrichtungen enthaltenen Proben für jede
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Spektrallinie nach einem beliebig vorwählbaren Programm in den Strahlengang eingeschwenkt werden können. Vorteilhaft
ist es, eine Automatik zur programmgesteuerten Winkelpositionierung der beiden miteinander gekoppelten
Spektrometersysteme oder jeweils eines oder beider entkoppelter Spektrometersysteme in der Anordnung vorzusehen.
In der Zeichnung sind zwei Ausführungsbeispiele
der erfindungsgemäßen Anordnung dargestellt. Die Darstellungen enthalten nur die für die Funktion eines Röntgenfluoreszenzspektrometers
wichtigsten Bauelemente.
Mg. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Röntgenzweikanalspektrometer unter Verwendung von nur einer Spektroskopieröntgenröhre.
Die von einer Spektroskopieröntgenröhre 1 ausgehende Strahlung trifft auf zwei Proben,
nämlich eine Meß- und eine Standardprobe, die in gleichem und geringem Abstand vom Austrittsfenster der Röhre
i und unter gleichem Winkel zu diesem angeordnet sind. Diese Proben-befinden sich in jeweils einer Probenwechsel
ν or richtung 2 und 3y die zur Aufnahme von mehreren Proben ausgebildet sein können. Diese in den beiden Probenwechselvorrichtungen
enthaltenen Proben können unabhängig voneinander in beliebiger Reihenfolge sowohl von
Hand als auch vollautomatisch nach einem vorgewählten Programm in das Strahlungsfeld der Röhre eingeschwenkt
v/erden.
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Die von den angeregten Proben ausgehende charakteristische Strahlung wird durch jeweils eine Sollerblende
4 und 5 parallelisiert und auf jeweils einen
geeigneten Analysatorkristall 6 und ? geführt, die unter bekannten Bedingungen die Strahlung auf zwei Detektoren
8 und 9 reflektieren. Jedes der beiden Spektrometer
sy sterne kann eine Blendeneinrichtung, beispielsweise
zwischen Probenwechselvorrichtung und Sollerblende angeordnet, zur intensitätsmäßigen Symmetrierung der
beiden Strahlengänge enthalten. Diese Einrichtungen sind in der Zeichnung nicht dargestellt.
Die Antriebsmittel für die beiden Spektrometersysteme, die jeweils für die 2:1-Bedingung zwischen Detektorwinkel und Analysatorkris^ballwinkel sorgen, sind
so ausgebildet, daß sie durch Kopplung und Bildung einer gemeinsamen Antriebsachse einen vollkommen synchronen
Winkeldurchlauf der beiden Spektrometersysteme ermöglichen. Nach Entkopplung ist der unabhängige Betrieb der
beiden Spektrometersysteme möglich.
In Pig. 2 ist ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung dargestellt. Der prinzipielle
Aufbau dieser Anordnung ist der gleiche wie der des Ausführungsbeispiels
nach Pig. 1, mit dem Unterschied, daß diese zweite Anordnung zwei Spektröskopieröntgeiiröhren
enthält.
Diese Anordnung gestattet es, auch große Proben
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im homogenen und intensitätsstarken Bereich des Strahlungsfeldes
und gleichzeitig in möglichst geringem Abstand vom Austrittsfenster jeder Röhre unterzubringen.
Ein. weiterer Vorteil dieser Anordnung ist die Möglichkeit der Schaffung eines größeren Abstandes
zwischen beiden Systemen, der die Unterbringung von Einrichtungen zur Frobenmanipulation bzw. zum vollautomatischen
Probendurchlauf begünstigt. Zur intensitätsmäßigen Symmetrierung beider Spektrometersysteme sind hier ebenfalls
Blendeneinrichtungen und darüber hinaus Maßnahmen elektrischer Art zur Symmetrierung und Stabilisierung
der von den beiden Spektroskopieröntgenröhren abgegebenen Strahlungsintensitäten vorgesehen.
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Claims (10)
1. Anordnung zur automatischen Röntgenfluores- .
zenzanalyse, dadurch gekennzeichnet, daß sie zwei mechanisch
und intensitätsmäßig gleich aufgebaute Spektrometersysteme vom Sequeriztyp zum unmittelbaren Intensitätsvergleich der jeweils gleichen Spektrallinien von
Meßprobe und Standardprobe enthält.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß sie eine Spektroskopieröntgenröhre enthält, in deren Strahlengang Meßprobe und Standardprobe
symmetrisch zur Normalen auf das Austrittsfenster und in
möglichst geringem und gleichem Abstand von diesem angeordnet sind.
3- Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß sie zwei Spektroskopieröntgenröhren enthält, wobei jedem der beiden Spektrometersysteme eine
der beiden Röhren zugeordnet iat.
4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß Blendeneinrichtungen zum ,intensitätsmäßigen Abgleich der beiden Spektrometersysteme vorgesehen
sind.
5. Anordnung nach Anspruch 1 und 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die beiden Spektroskopieröntgen· röhren zur Kompensation primärer SpannungsSchwankungen
hochspannungsseitig parallel und heizungsseitig in Serie
geschaltet sind.
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6. Anordnung nach Anspruch 1 und 3» dadurch gekennzeichnet,
daß Mittel vorgesehen sind, das Verhältnis der Anodenströme der beiden Spektroskopieröntgenröhren
zum Zwecke des Intensitätsabgleiches beider Spektrometer
sy steine zu verwenden, wobei bei hochspannungsseitig parallel geschalteten Spektroskopieröntgenröhren eine
an sich bekannte elektrische Anordnung zur Überwachung und Stabilisierung des gewählten Anodenstromverhältnisses
vorgesehen ist.
7. Anordnung nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet
, daß der Antriebsmechanismus jedes der beiden Spektrometersysteme so aufgebaut ist, daß einerseits
eine exakte Kopplung der beiden Systeme und andererseits eine Entkopplung und unabhängiger Betrieb möglich ist
und daß zu diesem Zwecke die Achsen der beiden Spektrometeraysteme
vorzugsweise fluchten.
8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes der beiden Spektrometersysteme eine vorzugsweise unabhängig steuerbare Probenwechselvorrichtung
zur Aufnahme mehrerer Proben enthält.
9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die in den Probenwechselvorrichtungen enthaltenen Proben für jede Spektrallinie nach einem beliebig
vorwählharen Programm in den Strahlengang einschwenkbar sind.
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10. Anordnung nach Anspruch 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur programmgesteuerten
Winkelpositionierung der beiden miteinander gekoppelten Spektrometersysteme oder jeweils eines oder beider entkoppelter
Spektrometersysteme vorgesehen sind.
Hsch/fcß
- 10 ·
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4226179A1 (de) * | 1992-08-07 | 1994-02-10 | Amtec Analysenmestechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur lang- und kurzzeitiger Veränderungen der Betriebsparameter bei der Schichtanalyse mittels RFA |
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1967
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE4226179A1 (de) * | 1992-08-07 | 1994-02-10 | Amtec Analysenmestechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur lang- und kurzzeitiger Veränderungen der Betriebsparameter bei der Schichtanalyse mittels RFA |
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BE689298A (de) | 1967-05-05 |
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