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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung nach dem Oberbegriff
des Anspruchs 1, vorzugsweise auf eine mehrstufige Turbomolekularpumpe
für Massenanalysatoren mit Hochvakuum und Ultrahochvakuum
(UHV). Insbesondere geht es um Anwendungen in Verbindung mit elektrostatischen
Analysatoren oder Ionenfallen. Andere Arten von Analysatoren sind
ebenfalls verwendbar. Grundsätzlich geht es um Besonderheiten
des Vakuumsystems, aus dem effizient abgepumpt wird unter Verwendung von
mehrstufigen Pumpen. Hierzu zählt auch ein erfindungsgemäßes
Verfahren zum Evakuieren. Bevorzugte aber nicht ausschließliche
Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung sind Laser, Röntgenfluoreszenz-Spektroskopie,
(Röntgen-)Photoelektronenspektroskopie (XPS, PES), Interferometer,
Waferbeschichtung, Sputtern, Dampfbeschichtung (physical vapour
deposition), Teilchenbeschleuniger.
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Hintergrund der Erfindung
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Die
Anwendung mehrstufiger Pumpen ist weit verbreitet, insbesondere
in Verbindung mit Massenspektrometern, wegen der Möglichkeit
Kosten, Größe und Komplexität der Anlage insgesamt
zu reduzieren und zwar ohne Gefährdung der hohen Vakuumpumpleistung.
Für gewöhnlich sind das beste Vakuum und Saugvermögen
an einem Einlass vorhanden, während nachgeordnete Einlässe
ein Vakuum bereitstellen, welches zwischen dem besten Vakuum und
dem Außendruck liegt. Zwei besonders bedeutende Bauarten
sind bekannt:
- – Mehrfach-Einlass-Pumpe
mit mehreren Stufen (multi-port split-flow pump), wie in der US 6,464,451 und EP 0 603 694 offenbart,
wobei jeder Einlass seine eigene Vakuumdichtung gegen Atmosphärendruck
aufweist.
- – Mehrfach-Einlass-Pumpe mit mehreren Stufen (multi-port
split-flow pump), wie in der US 6,464,451 und EP 0 603 694 offenbart,
wobei jeder Einlass seine eigene Vakuumdichtung gegen Atmosphärendruck
aufweist.
- – Mehrstufige Pumpen mit Einschub (cartridge split-flow
pump), wie in der EP 1 422 423 und EP 1 090 231 offenbart,
wobei die Pumpe in einer geeigneten Struktur angeordnet und mit
dieser in ein Gehäuse eingesetzt ist. Typischerweise ist
dabei nur der Auslass nahe dem Pumpenausgang mit einer Dichtung
gegen Atmosphärendruck versehen, während andere
Auslässe nur gegeneinander abgedichtet sind.
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Beide
Ansätze verursachen Probleme, sobald ein Ultrahochvakuum
(UHV) erreicht werden soll, an einem Einlass der Pumpe oder an zwei
Vakuumeinlässen. Da UHV üblicherweise Conflat
(oder andere metallische) Dichtungen erfordert, kann es schwierig
sein, dies in einer Pumpe mit mehreren Einlässen zu realisieren,
insbesondere soweit zwei Vakuum-Einlässe an UHV liegen
sollen. Die metallischen Dichtungen erfordern höchste Genauigkeit
in der Anordnung der Dichtflächen. Soweit mehrere Einlässe
mit metallischen Dichtungen vorgesehen sind, müssen diese
passgenau aufeinander abgestimmt sein. Mit einer in einem Einschub
angeordneten Pumpe muss das Ausheizen zum Erreichen der UHV-Bedingungen
bei wesentlich geringeren Temperaturen durchgeführt werden
um eine Beschädigung der Lager (des Pumpenrotors) zu vermeiden.
Mit der Erfindung sollen die beschriebenen Probleme überwunden
werden.
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Beschreibung der Erfindung
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Eine
erfindungsgemäße Lösung ergibt sich aus
den Merkmalen des Anspruchs 1 und aus den weiteren Ansprüchen.
Vorgeschlagen wird insbesondere eine Modifizierung des Pumpengehäuses
(mit mehr als einem Saugeinlass) derart, dass der Pumpeneinlass
mit dem niedrigsten Druck nicht gegen Atmosphärendruck
abgedichtet ist und dass vorzugsweise nur der äußerste
Pumpeneinlass eine Abdichtung gegenüber dem Atmosphärendruck
aufweist, während jeder nachfolgende (UHV) Einlass nur
von Bereichen umgeben ist, aus welchen über einen vorangehenden
Einlass abgepumpt wird. Zusätzlich kann jeder nachfolgende
(UHV) Einlass vom vorangehenden Einlass oder dem entsprechenden
Bereich durch eine Metall-zu-Metall-Dichtung getrennt sein, welche
keine wesentliche plastische Deformation des metallischen Dichtmaterials
mit sich bringt. Ein wesentliches Merkmal der Erfindung ist demnach eine ”Vakuum-in-Vakuum”-Anordnung
mit nur einer Stufe mit relativ höherem Druck, die eine
Abdichtung gegenüber der Atmosphäre erfordert,
während die übrigen Stufen vorzugsweise gegeneinander
abgedichtet sind.
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Die
Lösung stellt einen integrierten Ansatz für die
Konstruktion von Pumpe und Vakuumsystem dar, unter Berücksichtigung
der besonderen Anforderungen an die Abdichtung und an die geometrischen Verhältnisse.
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Bevorzugte Ausführungsform
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Eine
bevorzugte Ausführungsform (siehe auch 1)
verwendet eine standardmäßige Turbomolekularpumpe,
die in ein modifiziertes Gehäuse eingesetzt ist. Für
typische massenspektrometrische Anwendungen kann zwischen Dichtungsflächen
ein Dichtspalt von bis zu 100 microns (1 micron = 10–6 m) bei
einer Spalttiefe von 10 mm oder mehr, oder eine Spaltweite von < 50 microns und
eine Spalttiefe von etwa 5 mm, etc., aufweisen. Ein Leitwert (total
residual leakage conductivity) von etwa 10%–50% des Leitwerts
zwischen den Druckstufen im Rezipienten, also typischerweise < 0,1 bis 0,3 Liter
pro Sekunde in den UHV-Einlass ist normalerweise hinnehmbar.
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Zur
Vereinfachung der Herstellung kann das Gehäuse aus einigen
konzentrischen Teilen gebildet sein, welche vor der endgültigen
Bearbeitung ineinander gepresst werden.
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Zur
Verminderung der Erwärmung der Lager während des
Ausheizens kann das Gehäuse der Turbopumpe aus Edelstahl
bzw. rostfreiem Stahl (stainless steel) hergestellt sein, in derselben
Weise wie dies für UHV-Pumpen üblich ist. Im Vergleich
zu anderen Metallen hat rostfreier Stahl eine geringe thermische
Leitfähigkeit.
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In
der Praxis ist das neue System nur ein anderes Gehäuse
für eine ansonsten ”normale” Pumpe mit
Kanälen, welche die höheren Druckstufen mit der Anschlussfläche
verbinden.
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In
der bevorzugten Ausführungsform sind verschiedene Vakuumstufen
umeinander herum angeordnet, mit Bereichen höheren Drucks
um Bereiche niedrigeren Drucks herum. Dabei ist die Oberseite der
Pumpe zugänglich, wenn der Pumpenteil vom Vakuum-System
getrennt wird (die meisten Pumpen erfordern einen Zugang zum oberen
Lager aus Wartungsgründen). Die Teile können natürlich
auch in geometrisch anderer Anordnung vorgesehen sein als in dem
bevorzugten Ausführungsbeispiel.
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Viele
Möglichkeiten bestehen für die Abdichtung der
verschiedenen Oberflächen. Grundsätzlich ist es
wichtig zu erkennen, dass mit einer geeigneten Anordnung nur der äußerste
und dem höchsten Druck unterliegende Bereich eine komprimierbare oder
deformierbare Dichtung benötigt. Die Abdichtung zwischen
den einzelnen (differenziellen) Druckstufen unterliegt wesentlich
geringeren Anforderungen, da die Leckrate dort vom Molekularstrom
abhängt und nicht vom viskosen Strom. Anforderungen an
die maximal zulässige ”Leck-Oberfläche” (leck surface)
zwischen den verschiedenen Stufen können leicht ermittelt
werden durch die effektive Pumpgeschwindigkeit der Pumpe.
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Optional
kann die äußerste Dichtung gebildet sein aus:
Allen Arten von Elastomeren, einschließlich Viton, konventionelle
Metalldichtungen sind nicht erforderlich aber möglich.
Außerdem sind viele Polymere wie Teflon, Kel-F etc. möglich.
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Eine
komprimierbare äußere Dichtung hat den Vorteil,
dass ein guter Kontakt mit den inneren Dichtflächen leichter
erzielbar ist.
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Optionen
für die inneren Abdichtungen:
- – Sofern
gewünscht, können die internen Leckraten vermindert
werden durch Verwendung deformierbarer Werkstoffe, wie Teflon, Kel-F
oder Weichmetalle.
- – Die Länge des effektiven Leckspalts (leak
channel) zwischen den Stufen kann erhöht werden. In der
Figur ist eine zylindrische Stufe vorgesehen, die um den UHV-Einlass
herum hervorsteht (erfordert eine passende Ausnehmung auf Seiten des Rezipienten).
Flache Dichtungen können ebenfalls verwendet werden (so
wie zwischen der äußeren Stufe und der hierzu
benachbarten Stufe), vorzugsweise mit polierten Metalloberflächen.
- – Ein federndes Metallblatt kann durch Punktschweißen
an der flachen Oberfläche befestigt werden, um einen schmalen
Spalt ohne größere Anforderungen an die Toleranz
sicherzustellen.
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Eine
weitere bevorzugte Ausführungsform wird weiter unten im
Zusammenhang mit 2 erläutert. Dort ist
ein Orbitrap-Gehäuse (Orbitrap = eingetragene Marke der
Thermo Finnigan LLC, San Jose, California, USA, Bezeichnung für
ein spezielles Massenspektrometer) aus rostfreiem Stahl (stainless steel)
innerhalb einer Kammer aus Aluminium angeordnet. Das Gehäuse
kann auf flexiblen Halterungen ruhen, welche üblicherweise
die Unterseite des Orbitrap-Gehäuses beaufschlagen, damit
dieses um einen kleinen Betrag unter der Unterseite der Kammer hervorragt
(vorzugsweise 0,1 bis 0,2 mm). Wenn das Pumpengehäuse von
unten her gehalten ist und evakuiert wird, wird das Orbitrap-Gehäuse
für eine diesem Betrag entsprechende Aufwärtsbewegung
beaufschlagt bis zu einem zuverlässigen Fläche-an-Fläche-Kontakt
zwischen den Metalloberflächen. Dies bewirkt eine gute
Abdichtung zwischen den Oberflächen und ermöglicht
relativ kurze Leck-Pfade (ca. 2 bis 5 mm).
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Da
das rostfreie Orbitrap-Gehäuse mit der Aluminiumkammer
nur über dünne Rippen in Verbindung steht, wirken
letztere als Wärmebarrieren. Dies ermöglicht eine
Erwärmung des Gehäuses bis über 100C° bis
150°C (oder 200°C oder mehr), während das
Aluminiumgehäuse unter 50C° bis 60°C
bleibt. Naturgemäß ist vorzugsweise nur der Wärmepfad zur
Kammer aus schlechter wärmeleitendem Werkstoff wie rostfreiem
Stahl gefertigt, während das Orbitrap-Gehäuse
im Übrigen aus Aluminium bestehen kann. Falls das Pumpen-Gehäuse
ebenfalls aus rostfreiem Stahl gefertigt ist, kann sein von Rotoren
abgewandter Teil erwärmt werden bis über 80C° bis 100°C,
während Rotoren und Lager unter 50C° bis 60°C
bleiben.
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Vorteile der Erfindung
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- – Mehrfacheinlässe können
konzentrisch gefertigt werden, nur die äußerste
Dichtung ist ein Elastomer, nicht jedoch die Dichtungen im UHV.
- – UHV-Abdichtung ist erzielbar durch differenzielles
Pumpen von potenziellen Lecks unter Verwendung vorangehender Einlässe.
Dies ist besonders ökonomisch, wenn im Rezipienten ohnehin
verschiedene Druckstufen vorhanden sind.
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Für
Massenspektrometer-Anwendungen können die erforderlichen
Leckraten erzielt werden durch Verwendung von Metall-zu-Metall-Dichtungen, welche
Rest-Leckströme zulassen und die ohne plastische Deformation
entsprechender Metalle wirksam sind. Dies ermöglicht einen
einfachen und schnellen Austausch der Pumpen.
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Die
Abwesenheit plastischer Deformation von Metallen im Bereich der
Vakuumdichtungen bedeutet, dass die Vakuumkammer selbst aus weicherem
Material gefertigt sein kann, z. B. Aluminium oder sogar ein Werkstoffverbund
mit Metall nur im UHV-Bereich und im Übrigen aus Polymeren.
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Die
Anordnung erlaubt eine einfache Wartung und einen Austausch der
Pumpe bei Fehlfunktion oder in regelmäßigen Abständen.
Eine einfach gestaltete ”Anschlussfläche” (maintain
surface) mit moderaten Anforderungen an die Ebenheit ist vorgesehen.
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Verminderte
Anforderungen an die mechanische Präzision sind möglich
im Vergleich zu einer ”Einschub”-Ausführung
(
EP 1 422 423 ).
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Weitere
Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den übrigen Ansprüchen
und aus der weiteren Beschreibung. Vorteilhafte Ausführungsformen der
Erfindung werden nachfolgend anhand von Zeichnungen näher
erläutert.
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1 zeigt
eine Prinzipskizze (zum Teil als Querschnitt) eines Analysators
mit Vakuumpumpe, wobei eine Pumpe über mehrere Druckstufen
aus mehreren Kammern absaugt;
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2 zeigt
eine Vakuumpumpe, die mehrere Druckstufen aufweist, aber nur aus
einer Kammer absaugt,
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3 eine
Prinzipskizze analog 1,
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4a eine
Prinzipskizze ähnlich 2, nämlich
eine alternative Ausbildung der Vakuumpumpe gemäß 3 aber
mit einer um 90° verdrehten Anordnung zum Anschluss an
ein Analysator-Gehäuse,
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4b eine
Stirnansicht der Vakuumpumpe gemäß 4a.
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Ein
Massenspektrometer 10 weist in 1 einen
Analysator 11 nach Art einer elektrostatischen Falle mit
hyperlogarithmischem Feld und eine an den Analysator 11 angeschlossene
Vakuumpumpe 12 auf, deren Motorachse etwa parallel zum
in den Analysator 11 eintretenden Ionenstrom ist. Die Vakuumpumpe 12 ist
mehrstufig ausgeführt mit drei Saugeinlässen 13, 14, 15.
Am Saugeinlass 13 liegt ein Unterdruck von etwa 10–10 mbar an, an den Saugeinlässen 14, 15 etwa
10–8 mbar und 10–7 mbar.
Die Druckverhältnisse an den Saugeinlässen 13 und 14 werden hier
als Ultrahochvakuum (UHV) bezeichnet.
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Der
Analysator 11 ist innerhalb einer inneren Vakuumkammer 16 angeordnet,
die an den Saugeinlass 13 angeschlossen ist. Entsprechend
sind an die Saugeinlässe 14, 15 Vakuumkammern 17, 18 angeschlossen.
Diese umgeben die innere Vakuumkammer 16. Außerdem
umgibt die äußere Vakuumkammer 18 die
mittlere Vakuumkammer 17. ”Umgeben” bedeutet
in diesem Fall, dass die innere Vakuumkammer 16 im Bereich
des Übergangs zur Vakuumpumpe 12 gegen die mittlere
Vakuumkammer 17 abdichtet. Ein entsprechender umlaufender
Dichtspalt ist mit der Ziffer 19 bezeichnet. Analog ist
ein umlaufender Dichtspalt 20 zwischen der mittleren Vakuumkammer 17 und
der äußeren Vakuumkammer 18 vorgesehen.
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Schließlich
weist die äußere Vakuumkammer 18 einen äußeren
umlaufenden Dichtspalt 21 auf, in den hier ein Dichtmittel
aus komprimierbarem oder verformbarem Material eingesetzt ist, vorzugsweise ein
polymerischer Dichtring. Die umlaufenden Dichtspalte 19, 20 sind
hier ohne zusätzliches Dichtmittel dargestellt. Vorzugsweise
sind aber die Dichtspalte 19, 20 zur Vergrößerung
der wirksamen Weglänge abgewinkelt oder gekrümmt.
Ziel ist eine große Weglänge s im Verhältnis
zur möglichst kleinen Querschnittsfläche A des
jeweiligen Dichtspalts 19, 20.
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Im
Betrieb werden die drei Vakuumkammern 16, 17, 18 durch
die mehrstufige Pumpe 12 zeitgleich abgepumpt. Dabei ist
nur die äußere Vakuumkammer 18 gegen
Atmosphärendruck abgedichtet. Demgegenüber sind
die Druckdifferenzen zwischen den Vakuumkammern 16 und 17 einerseits
und 17 und 18 andererseits nur noch gering. Auch
liegt entlang der Dichtspalte 19, 20 nur noch
molekulare Strömung an, so dass der Leitwert typischerweise
um Größenordnungen kleiner als bei einer viskosen
Strömung ist. Ein wesentlicher Vorteil dieser Anordnung
ist, dass die Abdichtung gegenüber dem Außendruck
(Atmosphärendruck) am Dichtspalt 21 nicht 100%ig
sein muss. Eine kleine Leckrate kann in Kauf genommen werden, soweit
sie nicht größer ist oder sogar nur unerheblich
ist gegenüber den beispielsweise dem Ionentransport dienenden Öffnungen,
insbesondere Blenden, zwischen den Druckstufen des Rezipienten.
Die Leckgasmenge wird in einer der Vakuumkammern 16, 17, 18 abgesaugt.
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Üblicherweise
ist die Vakuumpumpe 12 vom Massenspektrometer 10 zu
Wartungszwecken abnehmbar. Entsprechend müssen die Dichtflächen
im Bereich der umlaufenden Dichtspalte 19, 20, 21 mit hoher
Genauigkeit gefertigt sein. In der erfindungsgemäßen
Anordnung sind die Anforderungen an die genannte Genauigkeit geringer,
da nur eine komprimierbare Dichtung (entlang des Dichtspalts 21)
vorgesehen ist und diese außerdem nicht gegenüber dem
niedrigsten Druck abdichten muss. Hinsichtlich der weiteren Dichtspalte 19, 20 genügt
es, wenn diese ein kleines Verhältnis von Querschnittsfläche
A zur Weglänge s aufweisen.
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In
der inneren Vakuumkammer 16 mit dem Analysator 11 ist
optional eine Heizeinrichtung 22 angeordnet zum Ausheizen
der Vakuumkammer. Dies erleichtert und beschleunigt den Evakuierungsvorgang.
Die dabei auftretende Wärme kann unter anderem die nicht
näher gezeigte Lagerung eines Rotors der Vakuumpumpe 12 sowie
einen Antriebsmotor 23 hiefür beschädigen.
Dies wird vermieden durch die erfindungsgemäße
Anordnung. Die Vakuumkammern 16 und 18 sind thermisch
gegeneinander isoliert durch die mittlere Vakuumkammer 17,
so dass zumindest im Bereich des Saugeinlasses 15 beim Ausheizen
der Vakuumkammer 16 eine deutlich niedrigere Temperatur
herrscht als am Saugeinlass 13. Entsprechend werden der
Antriebsmotor 23 und die benachbarten Lager nicht erwärmt.
Mechanische Verbindungen 24, 25, etwa zum gegenseitigen
Abstützen und Abstand halten, sind aus möglichst schlecht
wärmeleitendem Material gefertigt. Vorzugsweise handelt
es sich um Werkstoffe, die schlechter wärmeleitend sind
als die Wandungen der jeweils benachbarten Vakuumkammern 16 bis 18.
Zusätzlich oder alternativ zur reinen Werkstoffauswahl
kann der Wärmewiderstand auch durch Dimensionierung erhöht
werden, etwa durch abschnittsweise nur sehr schmale Verbindungsstege.
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Dem
Analysator 11 vorgeordnet sind Ionenoptiken 26, 27, 28 in
den genannten Vakuumkammern 16 bis 18. Der äußeren
Vakuumkammer 18 ist optional eine Vorkammer 29 mit
Ionenoptik 30 und eigener Pumpe 31 vorgeordnet.
Dabei ist die Vorkammer 29 gegenüber dem System
im Übrigen, insbesondere gegenüber der äußeren Vakuumkammer 18 abgedichtet
vorzugsweise mit einer Kompressionsdichtung 32, z. B. einem
O-Ring aus Viton.
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Optional
ist weiterhin ein Chromatograph 33 vorgesehen, aus dem über
eine Zuleitung 34 eine geeignete Substanz in eine Ionenquelle 35 gelangt.
Die dort gebildeten Ionen treten über einen Spalt 36 in
die Vorkammer 29 und entsprechende weitere Spalte in die
genannten Vakuumkammern 16 bis 18 ein.
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Ein
Auslass 37 der Vakuumpumpe 12 nahe dem Antriebsmotor 23 kann
an eine Vorpumpe 38 angeschlossen sein.
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Die
außerhalb der inneren Vakuumkammer 16 angeordneten
Vakuumkammern 17, 18 können um die innere
Vakuumkammer 16 vollständig umlaufend ausgebildet
sein oder aber nur teilweise umlaufend (auch unterschiedlich von
Kammer 17 zu Kammer 18), so dass zum Teil nur
Vertiefungen in den Dichtflächen vorhanden sind, siehe
Ziffern 39, 40 in 3 und 4. Optional hat das in 1 gezeigte Pumpengehäuse
eine zusätzliche Öffnung, die einen einfachen,
direkten Zugang zu einem dem Rezipienten zugewandten Rotorlager
ermöglicht, und die vorzugsweise mit einer Rotorachse fluchtet.
Hiefür kann ein einfacher Flansch vorgesehen sein, an den
auch optional ein Druckmessgerät angeschlossen sein kann.
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In
der Ausführungsform gemäß 2 ist
die Vakuumpumpe 12 nur an die eine Vakuumkammer 16 angeschlossen.
Die weiteren Vakuumkammern werden entweder getrennt evakuiert oder
sind bei dieser Ausführungsform nicht vorhanden. Gleichwohl sind
zwei Druckstufen gebildet, nämlich eine innere Druckstufe
am Saugeinlass 13 und eine äußere Druckstufe
mit dem Saugeinlass 15, über den hier nur eine
umlaufende Hilfskammer 41 evakuiert wird. Die Hilfskammer 41 hat
hier nur die Funktion einer Differenzdruckstufe und zum Absaugen
der über den Dichtspalt 21 eintretenden Moleküle.
Ebenso wie in 1 ist auch in 2 im
Dichtspalt 21 eine Dichtung aus komprimierbarem oder verformbarem
Material eingelegt. Die Dichtfläche auf Seiten des Rezipienten
kann eine ebene Fläche sein, nur mit Ausnehmungen oder
Halterungen für Befestigungsmittel sofern erforderlich.
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3 zeigt
eine leichte Abwandlung gegenüber 1. Ein Gehäuse 42 der
Vakuumpumpe 12 ist an ein den Analysator 11 und
die Vakuumkammern 16, 17, 18 umgebendes
Gehäuse 43 analog 1 angeschlossen.
Dabei ist eine Antriebsachse der Vakuumpumpe 12 etwa senkrecht
zu einer Hauptachse der Verbindung zwischen Saugeinlass 13 und
Vakuumkammer 16 ausgerichtet.
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Das
Gehäuse 42 der Vakuumpumpe besteht vorzugsweise
aus rostfreiem Stahl, während das Gehäuse 43 der
Kammer 18 aus Aluminium gefertigt sein kann. Demgegenüber
sind den Kammern 17, 16 zugeordnete Gehäuse 44, 45 wiederum
vorzugsweise aus rostfreiem Stahl gefertigt.
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Die
Kammer 17 ist in 3 – anders
als in 1 – nicht U-förmig um die Kammer 16 herumgeführt,
sondern umschließt die Kammer 16 nur ringförmig.
Entsprechend bilden die Gehäuse 44, 45 in 3 oberhalb
des Analysators 11 eine gemeinsame Gehäusewandung.
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Zwischen
dem Gehäuse 44 und dem äußeren
Gehäuse 43 ist die auch in 1 gezeigte
mechanische Verbindung vorgesehen. Die Verbindung ist so ausgeführt,
dass nur eine möglichst geringe Wärmeleitung vom
Gehäuse 44 zum Gehäuse 43 möglich
ist.
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In 4a ist
eine Abwandlung der Vakuumpumpe gemäß 3 dargestellt,
nämlich mit einer Ausrichtung der Motorachse parallel zur
Richtung der Gasströmung zwischen dem Analysator und der Pumpe 12 bzw.
zwischen der Vakuumkammer 16 und dem Saugeinlass 13.
Dies ermöglicht den kürzesten Abstand zwischen
Rotor und Rezipienten und damit die beste effektive Saugleistung.
Zur Verdeutlichung zeigt die 4b eine
Stirnansicht der 4a.
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- 10
- Massenspektrometer
- 11
- Analysator
- 12
- Vakuumpumpe
- 13
- Saugeinlass
- 14
- Saugeinlass
- 15
- Saugeinlass
- 16
- Vakuumkammer
- 17
- Vakuumkammer
- 18
- Vakuumkammer
- 19
- umlaufender
Dichtspalt
- 20
- umlaufender
Dichtspalt
- 21
- umlaufender
Dichtspalt
- 22
- Heizeinrichtung
- 23
- Antriebsmotor
- 24
- mechanische
Verbindungen
- 25
- mechanische
Verbindungen
- 26
- Ionenoptik
- 27
- Ionenoptik
- 28
- Ionenoptik
- 29
- Vorkammer
- 30
- Ionenoptik
- 31
- Vorpumpe
- 32
- Dichtung
- 33
- Chromatograph
- 34
- Zuleitung
- 35
- Ionenquelle
- 36
- Spalt
- 37
- Auslass
- 38
- Vorpumpe
- 39
- Vertiefung
- 40
- Vertiefung
- 41
- Hilfskammer
- 42
- Gehäuse
der Vakuumpumpe
- 43
- Gehäuse
der Kammer 18
- 44
- Gehäuse
der Kammer 17
- 45
- Gehäuse
der Kammer 16
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 6464451 [0002, 0002]
- - EP 0603694 [0002, 0002]
- - EP 1422423 [0002, 0020]
- - EP 1090231 [0002]