DE202006001235U1 - Reinigungsgerät für optische Gegenstände - Google Patents

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

Ein Reinigungsgerät für optische Gegenstände, bestehend aus:
einem oben offenen Hohlzyliner;
einer Welle mit axialen Zähnen;
einem Halter, der sich innerhalb des Hohlzylinders befindet und mit dem oberen Ende der besagten Welle fest verbunden ist, so daß er zusammen mit der Welle rotiert, wobei der Halter eine Anzahl nach oben zeigende Haltestäbe hat, auf denen das zu reinigende Objekt abgelegt werden kann;
einem oberen Sitz und einem oberen Paßstück, die fest mit der Unterseite des Hohlzylinders verbunden sind und deren zentrale Bohrungen so ausgerichtet sind, daß die besagte Welle hindurchgehen kann;
einem unteren Sitz und einem unteren Paßstück in einem angemessenen Abstand von oberem Sitz und oberem Paßstück, deren zentrale Bohrungen ebenfalls auf die Aufnahme der Welle ausgerichtet sind und die die Höhenlage der Welle einstellen;
einer Wellenhülse unterhalb von oberem Sitz und oberem Paßstück und oberhalb von unterem Sitz und unterem Paßstück, durch...

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • (a) Bereich der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft ein Reinigungsgerät für optische Gegenstände im Allgemeinen und im speziellen ein Reinigungsgerät, das Zentrifugalkräfte ausnützt, um Partikel und Chemikalienreste von optischen Gegenständen zu entfernen.
  • (b) Beschreibung des derzeitigen Standes der Technik
  • Seit Flüssigkristallanzeigen (LCD) zur vorherrschenden Lösung wurden, ist auch der Bedarf an qualitativ hochwertigen Hilfsmitteln, wie Diffusionsfilmen und Prismenfilmen stark gestiegen und es wurde eine große Zahl Herstellungstechniken wie z.B. Tintensprühverfahren oder Rolle-zu-Rolle Druck entwickelt.
  • Bei nahezu allen dieser Verfahren tritt ein Reinigungsschritt auf, bei dem Partikel und Chemikalienreste von der Produktoberfläche entfernt werden. Vollständige Reinigung ist dabei Voraussetzung für eine hohe Produktqualität. Die entsprechenden Reinigungsgeräte nutzen im allgemeinen Detergentien und Fliehkräfte, dabei treten jedoch häufig nach einiger Zeit Probleme durch Unwuchten auf, die in Extremfällen zur Beschädigung des zu reinigenden Gegenstandes führen können. Außerdem fehlt den meisten der einschlägigen Geräte eine Hebevorrichtung für die zu reinigenden Gegenstände.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Hauptziel der Erfindung ist ein Reinigungsgerät, mit dem Partikel und Chemikalienreste von den Oberflächen optischer Gegenstände entfernt werden können. Dazu wird ein Antrieb benötigt, der das zu reinigende Objekt in schnelle Rotation versetzt und ein Vorschub, der es zu Beginn und am Ende des Reinigungsprozesses in eine geeignete Position bringt.
  • Zum Antrieb gehören Verstellmöglichkeiten, mit denen das Objekt so positioniert werden kann, daß auch bei hoher Rotationsgeschwindigkeit keine Instabilitäten auftreten.
  • Der Vorschub sorgt dafür, daß am Ende des Reinigungsprozesses möglichst wenig manuelle Tätigkeit, die das Objekt erneut kontaminieren könnte, nötig ist.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 Perspektivische Darstellung einer Ausführung der vorliegenden Erfindung
  • 2 Perspektivische Explosionsdarstellung der verschiedenen Komponenten des Reinigungsgeräts für optische Gegenstände aus 1
  • 3 Das Reinigungsgerät für optische Gegenstände aus 1 von der Seite gesehen
  • 4 Ausschnittvergrößerung aus 3
  • 5 Schnitt durch Welle und Wellenlager des Reinigungsgeräts für optische Gegenstände aus 1
  • 6 Das Reinigungsgerät für optische Gegenstände aus 1 von oben gesehen
  • 7 Senkrechte Bewegung der Welle des Reinigungsgeräts für optische Gegenstände aus 1
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführung
  • Wie aus 1 bis 3 hervorgeht besteht eine Ausführung der vorliegenden Erfindung hauptsächlich aus einem nach oben offenen Hohlzylinder (1), einem X-förmigen Halter (2), einer Wellenhülse (3), einem unteren und einem oberen Paßstück (4), einem oberen Sitz (5), einem unteren Sitz (6), einem Antrieb (7), einer Welle (8) und einem Vorschub (9). Der X-förmige Halter (2) mit den Armen (21) ist fest mit dem oberen Ende der Welle (8) verbunden, so daß er von dieser in Rotation versetzt werden kann. Am äußeren Ende der Arme (21) sind senkrecht nach oben gehende Haltestäbe (22), an deren oberem Ende sich jeweils eine säure- und laugenfeste Plastikkappe (221) befindet, auf die das zu reinigende Objekt gelegt wird.
  • Aus 6 geht hervor, daß sich während des Reinigungsprozesses der Halter (2) innerhalb des Hohlzylinders (1) befindet. Direkt unter dem Mittelpunkt des Zylinderbodens ist der obere Sitz (5) fest mit der Unterseite des Hohlzylinders (1) verbunden. Das obere Paßstück (4) ist wiederum fest mit der Unterseite des oberen Sitzes (5) verbunden. Die Mittelllöcher von Paßstück (4) und oberem Sitz (5) sind aufeinander ausgerichtet und nehmen die Welle (8) auf. Zwischen oberem Paßstück (4) und unterem Sitz (6) befindet sich die Wellenhülse (3), die eine Anzahl axiale Zähne (31) entlang des Umfangs hat, die mit den Zähnen eines Zahnriemens (71), der zum Antrieb (7) gehört, übereinstimmen. Wie aus 5 hervorgeht befinden sich in der Innenwand der Wellenhülse (3) Nuten (32), die zu den Federn (81) auf der Außenseite der Welle (8) passen. Es wird also vom Zahnriemen (71) die Wellenhülse (3) und von dieser wiederum die Welle (8) und damit im Endeffekt auch der Halter (2) in Rotation versetzt.
  • Aus 4 sieht man, daß der untere Sitz unterhalb der Wellenhülse (3) und das untere Paßstück (4) innerhalb des unteren Sitzes (6) angeordnet ist. Das untere und das obere Paßstück (4) dienen dazu, die vertikale Lage der Welle (8) und damit die Höhenlage des Halters (2) einzustellen.
  • 3 zeigt, daß das untere Ende der Welle (8) über ein Lager (92) mit einem Arm (91) der zu einem Vorschub (9) gehört, verbunden ist. Die Rotation der Welle (8) wird daher von dem Arm (91) und dem Vorschub (9) nicht beeinträchtigt. Der Arm (91) ist mit einem von Druckluft angetriebenen Aktuator (93) verbunden und kann sich auf- und abwärts bewegen, wodurch sich auch die Welle (8) und der Halter (2) auf- und abwärts bewegen (siehe 7).

Claims (4)

  1. Ein Reinigungsgerät für optische Gegenstände, bestehend aus: einem oben offenen Hohlzyliner; einer Welle mit axialen Zähnen; einem Halter, der sich innerhalb des Hohlzylinders befindet und mit dem oberen Ende der besagten Welle fest verbunden ist, so daß er zusammen mit der Welle rotiert, wobei der Halter eine Anzahl nach oben zeigende Haltestäbe hat, auf denen das zu reinigende Objekt abgelegt werden kann; einem oberen Sitz und einem oberen Paßstück, die fest mit der Unterseite des Hohlzylinders verbunden sind und deren zentrale Bohrungen so ausgerichtet sind, daß die besagte Welle hindurchgehen kann; einem unteren Sitz und einem unteren Paßstück in einem angemessenen Abstand von oberem Sitz und oberem Paßstück, deren zentrale Bohrungen ebenfalls auf die Aufnahme der Welle ausgerichtet sind und die die Höhenlage der Welle einstellen; einer Wellenhülse unterhalb von oberem Sitz und oberem Paßstück und oberhalb von unterem Sitz und unterem Paßstück, durch die die besagte Welle geht und die mit Nuten versehen ist, in die die Zähne an der Welle eingreifen; einem Antrieb, der über eine geeignete Vorrichtung auf die Wellenhülse wirkt und sie in Rotation versetzen kann, wodurch auch die Welle in Rotation versetzt wird; einem Vorschub, der mit dem unteren Ende der Welle auf geeignete Weise verbunden ist und die Welle und damit den Halter auf- und abbewegen kann.
  2. Das Reinigungsgerät für optische Gegenstände aus Anspruch 1, bei dem die Haltestäbe oben eine säure- und laugenfeste Plastikkappe haben.
  3. Das Reinigungsgerät für optische Gegenstände aus Anspruch 1, bei dem die Verbindung zwischen Antrieb und Wellenhülse über einen Zahnriemen erfolgt, weshalb die Wellenhülse auf ihrer Außenseite entsprechend gezahnt ist.
  4. Das Reinigungsgerät für optische Gegenstände aus Anspruch 1, bei dem der Vorschub über ein Lager mit dem unteren Wellenende verbunden ist.
DE202006001235U 2005-09-28 2006-01-26 Reinigungsgerät für optische Gegenstände Expired - Lifetime DE202006001235U1 (de)

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TW094216669U TWM285024U (en) 2005-09-28 2005-09-28 Spin cleaning mechanism of photomasks
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